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Tabelle 10: Warn- und Fehlermeldungen (Forts.)
Nr. Meldung
E39 Emission ausgefallen
(Die Emission auf beiden Kathoden kann
nicht eingeschaltet werden.)
E40 Emission ausgefallen
(Die Emission ist während des Betriebes
ausgefallen.)
E41 Keine Kommunikation mit Transpector! Die Software kann die Verbindung zum Transpector
E42 Transpector-Temperatur > 70 °C oder
< 0 °C!
E43 Transpector-Grenzwert überschritten!
E44 Transpector-Kommunikationsfehler!
E45 Transpector-Hardwarefehler!
E46 Transpector-Hardwarewarnung!
E47 Transpector-Überdruck!
E48 Emission ausgefallen
(Die Emission ist während des Betriebes
ausgefallen.)
W49 Keine Emission mit der ersten Kathode
E50 Steuerung Turbopumpe oder Elektronik! Es liegt ein Fehler in der Steuerung der Turbomole-
E51 Keine Kommunikation mit dem Turbo-
controller!
W59 Überlauf der EEPROM-Parameter Warte-
schlange!
W60 Alle EEPROM-Parameter verloren! Bitte
überprüfen Sie Ihre Einstellungen!
60
7 Warn- und Fehlermeldungen
Mögliche Fehlerquellen
– Wenn das Gerät längere Zeit ausgeschaltet war,
kann dieser Fehler in den ersten 10 Minuten nach
dem Einschalten auftreten.
– Beide Kathoden sind defekt.
– Der Transpector ist defekt.
– Wenn das Gerät längere Zeit ausgeschaltet war,
kann dieser Fehler in den ersten 10 Minuten nach
dem Einschalten auftreten.
– Der Vordruck ist zu hoch.
– Der Transpector ist defekt.
nicht aufbauen.
Der Transpector ist defekt.
Der Hauptluftfilter ist verschmutzt.
– Die Umgebungstemperatur ist zu hoch.
– Die Umgebungstemperatur ist zu niedrig.
Interner Transpector-Datenfehler
Interner Transpector-Datenfehler
Interner Transpector-Datenfehler
Interner Transpector-Datenfehler
Wenn das Gerät längere Zeit ausgeschaltet war, kann
dieser Fehler in den ersten 10 Minuten nach dem
Einschalten auftreten.
Die Schnüffelleitung ist nicht angeschlossen.
– Der Vordruck ist zu hoch.
– Der Transpector ist defekt.
Das Einschalten der Emission ist fehlgeschlagen. Das
Gerät hat auf die zweite Kathode umgeschaltet.
kularpumpe vor.
– Verdrahtungsebene defekt
– CPU-Karte MC50 defekt
EEPROM defekt.
Eine neue Verdrahtungsebene wurde installiert.
Wenn die Meldung während des Hochlaufens stän-
dig auftritt, ist der EEPROM auf der Verdrahtungs-
ebene fehlerhaft.
Störungsbeseitigung
Bestätigen Sie die Fehlermeldung und starten Sie das
Gerät neu. Wenn das Problem bestehen bleibt: Wenden
Sie sich an den INFICON-Kundendienst.
Bestätigen Sie die Fehlermeldung und starten Sie das
Gerät neu. Wenn das Problem bestehen bleibt: Wenden
Sie sich an den INFICON-Kundendienst.
– Überprüfen Sie die Verbindung zwischen Transpector
und Verdrahtungsebene.*
– Wenden Sie sich an den INFICON-Kundendienst.
Wenden Sie sich an den INFICON-Kundendienst.
Reinigen oder ersetzen Sie den Filter,
Bestätigen Sie die Arbeit,
siehe Seite
Beachten Sie die Umgebungsbedingungen,
Seite
14.
Wenden Sie sich an den INFICON-Kundendienst.
Wenden Sie sich an den INFICON-Kundendienst.
Wenden Sie sich an den INFICON-Kundendienst.
Wenden Sie sich an den INFICON-Kundendienst.
Bestätigen Sie die Fehlermeldung und starten Sie das
Gerät neu. Wenn das Problem bestehen bleibt: Wenden
Sie sich an den INFICON-Kundendienst.
Schließen Sie die Schnüffelleitung an und bestätigen Sie
die Fehlermeldung. Starten Sie das Gerät neu.
Bestätigen Sie die Fehlermeldung und starten Sie das
Gerät neu. Wenn das Problem bestehen bleibt: Wenden
Sie sich an den INFICON-Kundendienst.
Sie können weitermessen, aber lassen Sie die Kathoden
überprüfen.
Wenden Sie sich an den INFICON-Kundendienst.
Wenden Sie sich an den INFICON-Kundendienst.
Wenden Sie sich an den INFICON-Kundendienst.
Alle Einstellungen sind auf die Werkseinstellung zurück-
gesetzt. Nehmen Sie Ihre Einstellungen erneut vor.
Wenden Sie sich an den INFICON-Kundendienst.
siehe Seite
70.
67.
siehe
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