INFICON E3000 Handbuch Seite 62

Tabelle 10: Warn- und Fehlermeldungen (Forts.)
Nr. Meldung
W77 Veränderter Kalibrierfaktor!
(Kann gemeldet werden, während die
Kalibrierung getestet wird.)
W78 Signaldifferenz zwischen Testleck und
Luft ist zu klein. (1.25 bei R134a)
W79 Faktor außerhalb des Bereiches!
W80 Kathode umgeschaltet!
W81 Kalibrierungsfaktor zu klein!
W82 Kalibrierungsfaktor zu groß!
E83 Baseline vom Transpector nicht gefun-
den
E84 Testlecksignal zu klein
(Strom vom Testleck absolut zu klein,
ca. 1 g/a bei R134a)
W85 Problem beim Peakfinding!
W86 Interne Kalibrierung nicht möglich
W87 Nicht unterstütztes Gas im ECO-Check!
E90 Überdrehzahl (der TMP, E001)
62
7 Warn- und Fehlermeldungen
Mögliche Fehlerquellen
Die Kalibrierung hat sich um mehr als 15 % seit der
letzten Kalibrierung geändert.
– Das Kalibrierleck ist zu klein.
– Das Kalibrierleck ist defekt.
Das Untergrundsignal während der Kalibrierung ist
zu hoch.
Während der Kalibrierung war das Luftsignal nicht
stabil (zu früh bestätigt).
Während der IGS-Kalibrierung wurde ein ungültiger
Faktor festgestellt.
Das Gerät wurde ohne Kalibrierung auf eine andere
Kathode umgestellt.
Der Kalibrierungsfaktor wurde während der internen
Kalibrierung mit < 0,1 oder während der externen
Kalibrierung mit < 0,01 ermittelt.
Es wurde nicht richtig kalibriert.
Die Leckrate der Kalibrierlecks ist nicht korrekt (ins-
besondere während der externen Kalibrierung).
Der Kalibrierungsfaktor wurde während der internen
Kalibrierung mit >10 ermittelt oder während der ex-
ternen Kalibrierung mit > 99,9 ermittelt.
Es wurde nicht richtig kalibriert.
Die Leckrate der Kalibrierlecks ist nicht korrekt (ins-
besondere während der externen Kalibrierung).
Der Transpector-Sensor ist unempfindlich.
Der Transpector hat einen Fehler.
Das Kalibrierleck ist zu klein.
Das Kalibrierleck ist defekt.
– Die Transpectorempfindlichkeit ist zu niedrig.
– Der Gasdurchfluss zum Sensor ist behindert, der
Flussteiler ist verstopft.
Der Transpector kann den Peak nicht finden.
Kalibrieren nicht möglich.
Sie versuchen zu kalibrieren, während das Gerät
nicht messbereit ist.
– EEPROM in ECO-Check nicht programmiert.
– Das ECO-Check ist defekt.
Die Drehzahl der Turbomolekularpumpe ist zu hoch. Wenden Sie sich an den INFICON-Kundendienst.
Störungsbeseitigung
Kalibrieren Sie das Gerät neu, siehe Seite
Prüfen Sie die Leckrate des Kalibrierlecks oder benutzen
Sie ein Kalibrierleck mit höherer Leckrate.
Überprüfen Sie das Untergrundsignal, indem Sie die
ZERO-Funktion ausschalten (ZERO-Taste länger als 2 s
drücken).
Kalibrieren Sie das Gerät neu, siehe Seite
Wiederholen Sie die IGS-Kalibrierung,
gleich", Seite 43.
Wenn das Problem bestehen bleibt: Wenden Sie sich an
den INFICON-Kundendienst.
Kalibrieren Sie das Gerät neu, siehe Seite
Überprüfen Sie die Eingabe für die Leckrate,
„6.4.2 Kalibrieren", Seite 37.
Kalibrieren Sie das Gerät neu, siehe Seite
Tauschen Sie das externe Kalibrierleck aus.
Überprüfen Sie die Eingabe für die Leckrate,
„6.4.2 Kalibrieren", Seite 37.
Kalibrieren Sie das Gerät neu, siehe Seite
Tauschen Sie das externe Kalibrierleck aus.
Wenden Sie sich an den INFICON-Kundendienst.
Wenden Sie sich an den INFICON-Kundendienst.
Benutzen Sie ein Kalibrierleck mit höherer Leckrate.
Prüfen Sie die Leckrate des Kalibrierlecks.
Wenden Sie sich an den INFICON-Kundendienst.
Tauschen Sie das Kalibrierleck aus. Wenn der Fehler wei-
terhin bestehen bleibt, wenden Sie sich an den INFICON-
Kundendienst.
– Warten Sie mit der Kalibrierung, bis das Gerät hoch-
gelaufen ist.
– Rufen Sie über das Menü die Messanzeige auf.
Verwenden Sie ein anderes ECO-Check.
37.
37.
siehe „IGS-Ab-
37.
siehe
37.
siehe
37.