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6 Betrieb
Tabelle 7: Geräteinformationen
Menüpunkt
Seite 1: Allgemeines
Vorvakuumdruck
Fluss
Totaldruck
Zeit seit Power ON
Betriebsstunden
Seriennummer
Softwareversion
Elektronik Temp.
TSP Temperatur
Kalibrierlecktemperatur
Seite 2: Daten der Turbomolekularpumpe
Zustand
Akt. Fehlercode
Drehzahl
Strom
Spannung
Antriebsleistung
Betriebsstunden der TMP
Betriebsstunden TC
Hochlaufzeit
Softwareversion
Seite 3: Daten des Transpectors
Konfiguration
Box version
Control SW version
Measure SW version
Filament
Power on time
Emission on time A
Emission on time B
TSP Temperatur
Argon-Position
Seite 4: Daten des ECO-Check
Gas
Leckrate nom. / bei T
Version / Checks.
Serien Nr.
Serien Nr Reservoir
Abfülldatum
Ablaufdatum
Gain / Offset
Format
Beschreibung
mbar
Druck am Einlass des Massenspektrometers
sccm
Fluss durch die Schnüffelleitung
mbar
Druck im Massenspektrometer
Min
h
9000 XXX XXXX
x.xx.xx
°C / °F
Temperatur der CPU-Karte
°C / °F
Temperatur des Massenspektrometers
°C / °F
Temperatur des ECO-Check
An / Aus / Hochlauf
Hz
A
V
W
h
Betriebsstunden der Turbomolekularpumpe
h
Betriebsstunden des Frequenzwandlers für TMP
s
xxxxxx
x.xx
x.xx
x.xx
A oder B/A oder B
Eingestellte Kathode/aktive Kathode
h
h
h
°C / °F
Temperatur des Massenspektrometers
+ / - x.xx
Rxxx
Gas des internen Lecks
x.x g/a / x.x g/a
Nennleckrate / Leckrate bei aktueller Temperatur
x.x / Hexadezimalcode Software-Version mit Checksum
9000 XXX XXXX
9000 XXX XXXX
TT.MM.JJJJ
TT.MM.JJJJ
Parameter für die Temperatur-Messung im ECO-Check
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