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LEYBOLD CMOVE 1250 Gebrauchsanleitung

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LEYCON
Gebrauchsanleitung 17200234_001_C1/2016
Regelgerät CMOVE 1250
Kat.-Nummer 230 200

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Verwandte Anleitungen für LEYBOLD CMOVE 1250

Inhaltszusammenfassung für LEYBOLD CMOVE 1250

  • Seite 1 LEYCON Gebrauchsanleitung 17200234_001_C1/2016 Regelgerät CMOVE 1250 Kat.-Nummer 230 200...
  • Seite 2 Copyright © Leybold GmbH 2016 Kein Teil dieser Gebrauchsanleitung darf ohne schriftliche Einwilligung von Leybold in irgendeiner Form (Fotokopie, Mikrofilm oder ein anderes Verfahren) reproduziert oder unter Verwendung elektronischer Systeme verarbeitet, vervielfältigt oder verbreitet werden. Bei Verstößen gegen diese Regelung behalten wir uns vor, Schadenersatz geltend zu machen.

  • Seite 3: Inhaltsverzeichnis

    Digitale Ein-/Ausgänge ................. 28 4.2.6 Analoge Ein-/Ausgänge ................ 31 4.2.7 Serielle Schnittstellen RS232 und RS485 ..........33 Betrieb ....................35 CMOVE 1250 ein- und ausschalten ..............35 Grundeinstellungen ................... 38 5.2.1 LCD-Kontrast ..................41 5.2.2 Maßeinheit des Druckes ............... 42 5.2.3...
  • Seite 4 Transport ......................91 Entsorgung ..................92 Ersatzteile und Zubehör ..............93 Anhang ....................95 12.1 Implementierte Drucksensoren ................ 95 12.2 Störungsbehebung ................... 96 12.3 Umrechnungstabellen ..................97 12.4 Literatur ......................98 12.5 Einbauerklärung ....................99 4/102 17200234_001_C1/2016 - © Leybold 602494DA.DOCX...

  • Seite 5: Produktbeschreibung

    Diese Gebrauchsanleitung ist gültig für Produkte mit der Katalognummer 230 200. Dieses Dokument basiert auf der Firmwareversion 3.1x. Falls das Gerät nicht wie beschrieben funktioniert, prüfen Sie, ob ihr Gerät mit dieser Firmwareversion ausgestattet ist; siehe Kapitel «5.1 CMOVE 1250 ein- und ausschalten». 602494DA.DOCX 17200234_001_C1/2016 - © Leybold...

  • Seite 6: Technische Daten

    MOVE 1250 <500 Anzeige LCD 64×128 Pixel Anzeige-Maßeinheiten (umschaltbar) Druck mbar, Torr, Pa, mV Fluss mbar l/s, Torr l/s, Pa l/s, %, mV Gültig für Sensoreinstellung 0 … +10 V lin und Ausgang AA 2. 6/102 17200234_001_C1/2016 - © Leybold 602494DA.DOCX...
  • Seite 7 Kapitel «5.2.10 Digitale Eingänge», Betrieb siehe Kapitel «5.4 Betrieb über die Ein- und Ausgänge» Detailinformation zur Verdrahtung siehe Kapitel «4.2.6 Analoge Ein-/Ausgänge», Konfiguration siehe Kapitel «5.2.12 Analoge Ein-/Ausgänge», Betrieb siehe Kapitel «5.4 Betrieb über die Ein- und Ausgänge» 602494DA.DOCX 17200234_001_C1/2016 - © Leybold 7/102...
  • Seite 8 Kapitel «5.2.12 Analoge Ein-/Ausgänge», Betrieb siehe Kapitel «5.4 Betrieb über die Ein- und Ausgänge». Anstelle der Ventile MOVE 1250 und MOVE X können mit dem 0 … +10 V-Analogausgang AA 2 auch andere geeignete Ventile angesteuert werden. 8/102 17200234_001_C1/2016 - © Leybold 602494DA.DOCX...
  • Seite 9 IP 30 Schutzklasse (EN 60529) Gewicht [kg] 1.65 Tabelle 1-1 Detailinformation zur Verdrahtung siehe Kapitel «4.2.7 Serielle Schnittstellen RS232 und RS485», Konfiguration siehe Kapitel «5.2.13 Serielle Schnittstelle», Betrieb siehe Kapitel «5.5 Betrieb über serielle Schnittstelle» 602494DA.DOCX 17200234_001_C1/2016 - © Leybold 9/102...
  • Seite 10 5.00E–04 … 1.00E+03 TTR 21X Tabelle 1-3 Da Leybold-Produkte laufend verbessert werden, besteht die Möglichkeit, dass weitere, neue Drucksensoren in Ihrem CMOVE 1250 implementiert sind. Anstelle der implementierten Drucksensoren können mit der Einstellung 0-10 V lin auch andere geeignete lineare Drucksensoren verwendet werden, siehe Kapitel «5.2.9 Drucksensor».
  • Seite 11 AA 2 Tabelle 1-4 Abmessungen [mm] 228.5 ø3.5 Abbildung 1-2 Anstelle der Ventile MOVE 1250 und MOVE X können mit dem 0 … +10 V Analogausgang AA 2 auch andere geeignete Ventile angesteuert werden. 602494DA.DOCX 17200234_001_C1/2016 - © Leybold 11/102...

  • Seite 12: Lieferumfang

    Unsachgemäß durchgeführte Wartungsarbeiten gefährden die Sicherheit, Haltbarkeit und Einsatzfähigkeit und führen zum Erlöschen der Garantie. Alle Arbeiten, die in dieser Gebrauchsanleitung nicht beschrieben sind, dürfen nur vom Leybold-Service durchgeführt werden oder von Fachpersonal, das speziell dafür vom Leybold Service geschult wurde. 12/102 17200234_001_C1/2016 - © Leybold 602494DA.DOCX...

  • Seite 13: Sicherheit

    Kennzeichnet eine möglicherweise gefährliche Situation. Wenn sie nicht gemieden wird, können leichte oder geringfügige Verletzungen die Folge sein. HINWEIS Gebot Kennzeichnet eine möglicherweise schädliche Situation. Wenn sie nicht gemieden wird, können Sachschäden die Folge sein. 602494DA.DOCX 17200234_001_C1/2016 - © Leybold 13/102...

  • Seite 14: Verwendungszweck

    SICHERHEIT Verwendungszweck 2.3.1 Bestimmungsgemäße Verwendung • Das Regelgerät CMOVE 1250 wird zur Druckregelung oder Gasflusssteuerung in einem Vakuumsystem verwendet. Systemübersicht und mögliche Betriebsmodi siehe Kapitel «3.2 Funktion». • Das CMOVE 1250 ist für den Einbau in einen Baugruppenträger (19"-Rackeinschub) bestimmt.

  • Seite 15: Qualifikation Des Personals

    Gerät vor Nässe schützen. Abbildung 2-1 Trennvorrichtung Die Trennvorrichtung muss vom Benutzer klar erkennbar und leicht erreichbar sein. Um das Messgerät vom Netz zu trennen, müssen Sie das Netzkabel ausstecken. Trennvorrichtung gem. EN 61010-1 Abbildung 2-2 602494DA.DOCX 17200234_001_C1/2016 - © Leybold 15/102...

  • Seite 16: Aufbau Und Funktion

    Command-Taste, zum Bestätigen Serielle Schnittstelle einer Einstellung oder zur Rückkehr Netzschalter auf den vorhergehenden Bildschirm k Netzanschluss d Edit-Taste, zum Ändern von Einstellungen Ventilanschluss e Pfeiltasten, zum Ändern von Werten m Anschlüsse für Drucksensoren 16/102 17200234_001_C1/2016 - © Leybold 602494DA.DOCX...

  • Seite 17: Funktion

    Drucksensoren»), oder ein entsprechend geeigneter anderer Sensor, kann für diesen Betriebsmodus verwendet werden. Der Drucksensor liefert ein stetiges Drucksignal (0 … +10 VDC) an das CMOVE 1250. Das CMOVE 1250 vergleicht das Drucksignal (Istwert) mit dem Solldruck und steuert das Regelventil so, dass die dynamischen Eigenschaften des zu regelnden Prozesses gut ausgeglichen werden.

  • Seite 18: Reglertypen

    CMOVE 1250 Vakuumpumpe Abbildung 3-3 Reglertypen Das CMOVE 1250 verfügt über zwei Reglertypen: Auto: Der Reglertyp Auto ist ein PI-Regler (proportional/integral) mit den Regelgeschwindigkeiten 1 … 99 (1 = langsam, 99 = schnell). Dieser Regler ermöglicht ein schnelles Optimieren des Regelprozesses.

  • Seite 19: Gasflusssteuerung (Fluss)

    (Option) Vakuumpumpe Abbildung 3-4 Der Gasflusswert wird am CMOVE 1250 eingestellt. Dies ergibt einen entsprechenden Gasfluss durch das verwendete Ventil (bei einer Druckdifferenz Δp von 1 bar). Die Gasflusskurve hängt vom verwendeten Ventil ab. Die nachfolgenden Kurven beziehen sich auf einen Mittelwert für Luft bei einem Druckunterschied Δp von 1 bar.
  • Seite 20 Ventilspannung [V] Abbildung 3-5 Gasflusskurve für das Ventil MOVE X Beispiel einer Gasflusskurve (Mittelwert 500 sccm F.S.) bei einem Differenzdruck Δp = 1 bar. Gasfluss [sccm] Regelventil offen Regelventil geschlossen Spulenstrom [mA] Abbildung 3-6 20/102 17200234_001_C1/2016 - © Leybold 602494DA.DOCX...

  • Seite 21: Installation

    Die hier beschriebenen Arbeiten dürfen nur von Fachpersonal ausgeführt werden. Auspacken • Vor dem Auspacken des CMOVE 1250 ist zu kontrollieren, ob die Verpackung Transportschäden aufweist und das CMOVE 1250 beschädigt sein könnte. • Lieferung auf Vollständigkeit und Transportschäden kontrollieren. Im Fehlerfall bitte sofort lokale Vertretung benachrichtigen;...

  • Seite 22: Einbau In Das System

    Das Gerät kann als Einbaugerät die geforderte Schutzart (Schutz gegen Fremdkörper und Wasser) von z.B. Schaltschränken nach EN 60204-1 aufheben. Geforderte Schutzart durch geeignete Maßnahmen wiederherstellen. CMOVE 1250 in einen 19"-Rackeinschub einschieben und mit den mitgelieferten Halsschrauben und Plastiknippeln anschrauben. Höhe 3HE Abbildung 4-1 22/102 17200234_001_C1/2016 - ©...

  • Seite 23: Elektrischer Anschluss

    Schutzleiter hergestellt werden. Die Steckdose muss abgesichert sein mit 10 A Abbildung 4-2 Die Netzspannung sollte über einen zentralen Verteiler zugeführt und geschaltet werden, da der Netzschalter des CMOVE 1250 im eingebauten Zustand nicht zugänglich ist. 602494DA.DOCX 17200234_001_C1/2016 - © Leybold 23/102...

  • Seite 24: Ventile Anschließen

    Das Regelventil an der Gerätedose «X9 valve» anschließen (MOVE 1250 und Verbindungskabel siehe Kapitel «11 Ersatzteile und Zubehör»). Abbildung 4-3 X9 VALVE Signal Anschlussstift (Serielle Schnittstelle) ANOUT+ 3 (nicht verwendet) ANOUT- 4 (nicht verwendet) 24VDC Tabelle 4-1 24/102 17200234_001_C1/2016 - © Leybold 602494DA.DOCX...
  • Seite 25 Das Regelventil an der Gerätedose «X9 valve» anschließen (MOVE X und Verbindungskabel siehe Kapitel «11 Ersatzteile und Zubehör»). Abbildung 4-4 X9 VALVE Signal Anschlussstift 1 (nicht verwendet) 2 (nicht verwendet) ANOUT+ ANOUT- 24VDC 5 (nicht verwendet) Tabelle 4-2 602494DA.DOCX 17200234_001_C1/2016 - © Leybold 25/102...

  • Seite 26: Drucksensor

    Drucksensoren, die nur beim Unterschreiten eines bestimmten Druckes eingeschaltet werden dürfen (z.B. ITR 100), starten erst bei anliegendem Signal "Emission EIN" am digitalen Eingang DE 7 des CMOVE 1250 (siehe Kapitel «5.4 Betrieb über die Ein- und Ausgänge»). 26/102 17200234_001_C1/2016 - © Leybold...
  • Seite 27 Drucksensoren, die nur beim Unterschreiten eines bestimmten Druckes eingeschaltet werden dürfen (z.B. PTR 237), starten erst bei anliegendem Signal "Emission EIN" am digitalen Eingang DE 7 des CMOVE 1250 (siehe Kapitel «5.4 Betrieb über die Ein- und Ausgänge»). 602494DA.DOCX 17200234_001_C1/2016 - © Leybold...

  • Seite 28: Digitale Ein-/Ausgänge

    • Abgeschirmte Signalleitungen verwenden und nur einseitig erden. • Signalleitungen räumlich getrennt von Steuer- und Netzzuleitungen verlegen. Beigelegte 25-polige D-Sub-Kabeldose gemäß der Steckerbelegung anschließen. Kabeldose einstecken und mit den Schrauben sichern. Im Lieferumfang enthalten Abbildung 4-6 28/102 17200234_001_C1/2016 - © Leybold 602494DA.DOCX...

  • Seite 29: Beschreibung

    +24 VDC/2.5 mA umschalten DE 7 Emission EIN +24 VDC/2.5 mA DE 8 Degas EIN +24 VDC/2.5 mA DE GND Masse Digitale Eingänge 0 VDC DE GND Masse Digitale Eingänge 0 VDC Tabelle 4-6 602494DA.DOCX 17200234_001_C1/2016 - © Leybold 29/102...

  • Seite 30: Steckerbelegung Digitale Ausgänge

    +24 VDC/100 mA DA GND Masse Digitale Ausgänge 0 VDC DA GND Masse Digitale Ausgänge 0 VDC DA +24VDC Speisung Digitale Ausgänge +24 VDC nicht belegt nicht belegt nicht belegt nicht belegt Tabelle 4-7 30/102 17200234_001_C1/2016 - © Leybold 602494DA.DOCX...

  • Seite 31: Analoge Ein-/Ausgänge

    Störeinflüsse durch Kabelinduktivitäten! Wir empfehlen: • Signalleitungen ≤25 m. • Abgeschirmte Signalleitungen verwenden und nur einseitig am CMOVE 1250 erden. • Signalleitungen räumlich getrennt von Steuer- und Netzzuleitungen verlegen. Beigelegten 15-poligen D-Sub-Kabelstecker gemäß der Steckerbelegung anschließen. Kabelstecker einstecken und mit den Schrauben sichern.
  • Seite 32 Masse analoge Ein-/Ausgänge 0 VDC 9 … 15 Tabelle 4-10 Anstelle des MOVE 1250 und des MOVE X können über den analogen Ausgang AA 2 mit 0 … +10 VDC andere Ventile angesteuert werden. 32/102 17200234_001_C1/2016 - © Leybold 602494DA.DOCX...

  • Seite 33: Serielle Schnittstellen Rs232 Und Rs485

    Schnittstellenleitung RS485: ≤100 m. • Abgeschirmte Schnittstellenleitung verwenden und nur einseitig erden. • Schnittstellenleitung räumlich getrennt von Steuer- und Netzzuleitungen verlegen. 9-poligen Kabelstecker gemäß der Steckerbelegung anschließen. Kabelstecker einstecken und mit den Schrauben sichern. Abbildung 4-10 602494DA.DOCX 17200234_001_C1/2016 - © Leybold 33/102...
  • Seite 34 Tabelle 4-11 Steckerbelegung RS485 Bezeichnung Anschlussstift Nicht anschließen Nicht anschließen Nicht anschließen SIO GND Nicht anschließen Busabschluss (–) Mit Anschlussstift 7 verbinden TXD/RXD (–) TXD/RXD (+) Busabschluss (+) Mit Anschlussstift 8 verbinden Tabelle 4-12 34/102 17200234_001_C1/2016 - © Leybold 602494DA.DOCX...

  • Seite 35: Betrieb

    Sensor spezifizierten Messbereiches liegt. Achten Sie auf korrekten Einbau und die Einhaltung der Spezifikationen gemäß Kapitel «1.4 Technische Daten». Achten Sie darauf, dass der Netzschalter auf der Rückseite des CMOVE 1250 auf ON steht. Abbildung 5-1 CMOVE 1250 über den geschalteten Netzverteiler einschalten.
  • Seite 36 Abbildung 5-3 … Nach dem ersten Einschalten • wird das Regelventil MOVE 1250 erkannt, sofern es angeschlossen ist. Druck • nimmt das CMOVE 1250 nach 3 >1.00E+03 Sekunden im Druckregelungs-Modus Ist : mbar den Betrieb auf. Es gelten die ab Werk Soll: 1.33E+01 mbar...
  • Seite 37 Nach jedem weiteren Einschalten • wird das Regelventil MOVE 1250 erkannt, sofern es angeschlossen ist. • wenn die Autoboot Einstellung eingeschaltet ist (Default), nimmt das CMOVE 1250 nach 3 Sekunden den Betrieb in demjenigen Betriebsmodus auf, der vor dem vorhergehenden Ausschalten wirksam war.

  • Seite 38: Grundeinstellungen

    BETRIEB Grundeinstellungen Bevor Sie das CMOVE 1250 in Betrieb nehmen, sind folgende Grundeinstellungen vorzunehmen: Grundeinstellungen Beschreibung LCD-Kontrast Siehe Kapitel «5.2.1 LCD-Kontrast» Maßeinheit des Druckes Siehe Kapitel «5.2.2 Maßeinheit des Druckes» Sprache Siehe Kapitel «5.2.3 Sprache» Automatisches Laden Siehe Kapitel «5.2.4 Automatisches Laden»...

  • Seite 39: Wechsel Zur Konfigurationsebene

    Betriebsebene Soll I: 1.33E+01 mbar (Druck oder Fluss) VENTIL SENSOR ALLG. Betriebsmodus Druck Druck >1.00E+03 Ist : mbar Soll: 1.33E+01 mbar PARAM QUELLE REGLER Betriebsmodus Fluss Fluss mbarl/s Druck :>1.00E+03 mbar PARAM SOLL 602494DA.DOCX 17200234_001_C1/2016 - © Leybold 39/102...

  • Seite 40: Aufbau Der Konfigurationsebene

    DE 6: Druckreg. EIN DA 6: Betriebsbereit AA 2: Ventil Signal DE 7: Emission EIN DA 7: Emission EIN AA 3: Ventilstellung DE 8: Degas EIN DA 8: Sensor Status AA 4: +10V REF DE1-4 DA1-4 40/102 17200234_001_C1/2016 - © Leybold 602494DA.DOCX...

  • Seite 41: Lcd-Kontrast

    Helligkeitsstufen des LCD-Bildschirms Masseinheit : mbar von 0 … 99 (0 = hell, 99 = dunkel) Sprache : deutsch Autom. Laden : ein einstellen Autom. Reset : ein speichern und zurück zum Bildschirm «Konfiguration» 602494DA.DOCX 17200234_001_C1/2016 - © Leybold 41/102...

  • Seite 42: Maßeinheit Des Druckes

    Die Editiermarke erscheint in der Zeile Allg. Einstellungen «Maßeinheit». LCD-Kontrast : 30 Maßeinheit des Drucks wählen: Masseinheit mbar mbar, Pascal, Torr Sprache : deutsch Autom. Laden : ein Autom. Reset : ein speichern und zurück zum Bildschirm «Konfiguration» 42/102 17200234_001_C1/2016 - © Leybold 602494DA.DOCX...

  • Seite 43: Sprache

    Die Editiermarke erscheint in der Zeile Allg. Einstellungen «Sprache». LCD-Kontrast : 30 Sprache wählen: Masseinheit : mbar Deutsch, Englisch Sprache deutsch Autom. Laden : ein Autom. Reset : ein speichern und zurück zum Bildschirm «Konfiguration» command 602494DA.DOCX 17200234_001_C1/2016 - © Leybold 43/102...

  • Seite 44: Automatisches Laden

    Wird die Funktion «Autom. Laden» ausgeschaltet, bleibt das CMOVE 1250 beim Einschalten auf dem Bildschirm «Konfiguration» in der Konfigurationsebene stehen. Das CMOVE 1250 regelt nicht. Sie können nun die Ursache des Netzunterbruchs analysieren und nach dem Start des CMOVE 1250 entsprechend reagieren.

  • Seite 45: Automatischer Reset

    5.2.5 Automatischer Reset Diese Funktion ist nur im Betriebsmodus Druckregelung aktiv. Die Einstellung definiert das Verhalten des CMOVE 1250 in den folgenden Fällen: • wenn der Betriebsmodus von Druckregelung auf Flussregelung und wieder zurück auf Druckregelung geändert wurde. • wenn Signal «Extern ZU» (DE 3) aktiv ist.
  • Seite 46 BETRIEB Automatischer Reset EIN In all den oben erwähnten Fällen nimmt das CMOVE 1250 die Druckregelung wieder auf unter der Annahme, dass die aktuelle Ventilposition 0 (geschlossen) ist. Automatischer Reset AUS In all den oben erwähnten Fällen nimmt das CMOVE 1250 die Druckregelung wieder auf und fährt auf diejenige Ventilposition zurück, auf der es vor dem Vorfall stand.

  • Seite 47: Betriebsmodus

    BETRIEB 5.2.6 Betriebsmodus Das CMOVE 1250 arbeitet in den folgenden Betriebsmodi: • Druck (Druckregelung) • Fluss (Gasflusssteuerung) Die Beschreibung der Betriebsmodi finden Sie in Kapitel «3.2 Funktion». Beachten Sie beim Umstellen des Betriebsmodus (Druck/Fluss), dass für die beiden Modi unterschiedliche Sollwerte und Sollwertquellen verwendet werden.

  • Seite 48: Ventil

    BETRIEB 5.2.7 Ventil Die Regelventile MOVE 1250 und MOVE X können direkt am CMOVE 1250 eingestellt werden. Das MOVE 1250 wird automatisch erkannt. Ist ein MOVE 1250 am CMOVE 1250 angeschlossen, kann keine andere Ventileinstellung gemacht werden. Der Bildschirm «Konfiguration» gibt die aktuelle...

  • Seite 49: Regelcharakteristik

    BETRIEB 5.2.8 Regelcharakteristik Im Druckregelungsmodus kann das CMOVE 1250 auf zwei Arten betrieben werden: • Standardbetrieb (STD) mit variablem Gasfluss (Upstream-Regelung) • Inversbetrieb (INV) mit variablem Leitwert (Downstream-Regelung) Im Gasflusssteuerungsmodus arbeitet das CMOVE 1250 im Standardbetrieb (STD) (upstream control). Der Inversbetrieb (INV) kann zwar gewählt werden, wird aber ignoriert.

  • Seite 50: Drucksensor

    Messbereich automatisch eingestellt. Liste der implementierten Sensoren siehe Kapitel «12.1 Implementierte Drucksensoren». Das CMOVE 1250 zeigt in der Bildschirmzeile «Anschl.» die aktive Gerätedose an. Mit der Einstellung 0–10 V lin können Sie auch nichtimplementierte Drucksensoren verwenden. Die Anzeige im CMOVE 1250 gibt dann die Druckwerte in mV an.

  • Seite 51: Digitale Eingänge

    5.2.10 Digitale Eingänge Das CMOVE 1250 verfügt über acht digitale Eingänge. Der Bildschirm informiert über Zuordnung und Status der digitalen Eingänge, lässt aber keine Einstellungen zu. Erscheint ein schwarzes Rechteck am Ende einer Zeile, deutet dies daraufhin, dass das angezeigte Signal aktiv ist (Betrieb über die Ein-/Ausgänge siehe Kapitel «5.4 Betrieb über die Ein- und...

  • Seite 52: Digitale Ausgänge

    5.2.11 Digitale Ausgänge Das CMOVE 1250 verfügt über acht digitale Ausgänge. Der Bildschirm informiert über Zuordnung und Status der digitalen Ausgänge, lässt aber (außer DA 3) keine Einstellungen zu. Erscheint ein schwarzes Rechteck am Ende einer Zeile, deutet dies daraufhin, dass das angezeigte Signal aktiv ist (Betrieb über die Ein-/Ausgänge siehe Kapitel «5.4 Betrieb über...
  • Seite 53 Ausgänge 5 bis 8. DA 5: Sensor Fehler DA 6: Betriebsbereit zum Bildschirm DA 7: Emission EIN «Digitale Ausgänge 1 bis 4» DA 8: Sensor Status DA1-4 zurück zum Bildschirm «Eingänge/Ausgänge» DA1-4 602494DA.DOCX 17200234_001_C1/2016 - © Leybold 53/102...
  • Seite 54 Die jeweils gültige Formel finden Sie in der Betriebsanleitung des verwendeten Drucksensors (siehe  [3] … [12]). Die Schaltpunkte sind ab Werk auf 10% F.S. (entspricht +1.0 V) eingestellt. 54/102 17200234_001_C1/2016 - © Leybold 602494DA.DOCX...

  • Seite 55: Analoge Ein-/Ausgänge

    5.2.12 Analoge Ein-/Ausgänge Das CMOVE 1250 verfügt über zwei analoge Eingänge und vier analoge Ausgänge. Der Bildschirm informiert über Zuordnung und Status der analogen Ein- und Ausgänge, lässt aber keine Einstellungen zu (Betrieb über die Ein-/Ausgänge siehe Kapitel «5.4 Betrieb über die Ein- und Ausgänge»).

  • Seite 56: Analoge Eingänge

    Unter « Analoge Ausgänge » sehen Sie die Belegung Analoge Ausgänge der analogen Ausgänge 1 bis 4. AA 1: Signal Sensor AA 2: Ventil Signal zum Bildschirm «Analoge Eingänge» AA 3: Ventilstellung AA 4: +10V REF zurück zum Bildschirm «Eingänge/Ausgänge» 56/102 17200234_001_C1/2016 - © Leybold 602494DA.DOCX...

  • Seite 57: Serielle Schnittstelle

    BETRIEB 5.2.13 Serielle Schnittstelle Das CMOVE 1250 kann über die Schnittstellen RS232 und RS485 betrieben werden, siehe Kapitel «5.5 Betrieb über serielle Schnittstelle». Welche Schnittstelle soll wann benutzt werden? RS232: Bei Schnittstellenleitungen <25 m und wenigen Störfaktoren (Steuer- und Netzzuleitungen) «PRI-Status: ein»...
  • Seite 58 RS 232 (PRI-Status: ein), Param. : RS 485 (PRI-Status: ein), PRI-Status: RS 232 (PRI-Status: aus), RS 485 (PRI-Status: aus), oder ----- (kein Schnittstellenbetrieb) Die jeweiligen Schnittstellenparameter werden angezeigt. speichern und zurück zum Bildschirm «Eingänge/Ausgänge» 58/102 17200234_001_C1/2016 - © Leybold 602494DA.DOCX...

  • Seite 59: Betrieb Über Die Tasten

    • Druck (Druckregelung) • Fluss (Gasflusssteuerung) Die Beschreibung der Betriebsmodi finden Sie in Kapitel «3.2 Funktion». Nach dem Einschalten des CMOVE 1250 sind dieselben Betriebsmodus- und Parametereinstellungen aktuell, die vor dem vorhergehenden Ausschalten aktuell waren. Aktueller Betriebsmodus Der aktuelle Betriebsmodus ist in der Statuszeile ersichtlich:...

  • Seite 60: Druckregelung

    Der Betrieb des angeschlossenen Sensors außerhalb seiner Spezifikationen kann Kontamination verursachen oder den Sensor beschädigen. CMOVE 1250 nur einschalten, wenn der Druck in der Vakuumkammer innerhalb des für den Sensor spezifizierten Messbereiches liegt. Der Sollwert (Soll) für den Druckregelmodus kann intern über die Tasten vorgegeben werden oder extern durch ein entsprechendes Sollwertsignal (0 …...

  • Seite 61: Symbolerklärung

    Min : 1.33E+00mbar zum Editieren des Sollwerts «Soll» Max : 1.33E+03mbar SAVE zum Editieren des Sollwerts «Min» zum Editieren des Sollwerts «Max» SAVE speichern und zurück zum Bildschirm «Druck» zurück zum Bildschirm «Druck» ohne zu speichern 602494DA.DOCX 17200234_001_C1/2016 - © Leybold 61/102...
  • Seite 62 Unter «Sollwertquelle Druck» sehen Sie die aktuelle Sollwertquelle Druck Quelle für die Druckregelung. Quelle : intern zum Einstellen der Quelle speichern und zurück zum Bildschirm SAVE «Druck» zurück zum Bildschirm «Druck» ohne zu SAVE speichern 62/102 17200234_001_C1/2016 - © Leybold 602494DA.DOCX...

  • Seite 63: Auswahl Der Reglertypen

    Auswahl der Reglertypen Die nachfolgenden Einstellungen sind nur im Druckregelmodus wirksam. Das CMOVE 1250 enthält die automatischen Reglertypen Auto 1 bis Auto 99 (Proportional/ Integral-Regelung) und PID (Proportional/Integral/Differenzial-Regelung). Auto eignet sich am Besten für eine schnelle Prozessoptimierung, der PID-Reglertyp wird dann verwendet, wenn eine präzise Regelung auf den Sollwert und eine schnelle Reaktion...
  • Seite 64 Auto ---- (wird diese Taste bei aktueller «Auto 1»- ---- Anzeige gedrückt, wird der Reglertyp auf ---- «PID» zurückgesetzt.) SAVE speichern und zurück zum Bildschirm «Druck» SAVE zurück zum Bildschirm «Druck» ohne zu speichern 64/102 17200234_001_C1/2016 - © Leybold 602494DA.DOCX...
  • Seite 65 Bildschirm «Reglertyp» Soll : 1.33E+01 mbar PARAM QUELLE REGLER REGLER Unter «Reglertyp» sehen Sie den aktuellen Regler. Reglertyp zum Einstellen des Reglertyps Typ : 0.3 s 0.0 s zurück zum Bildschirm «Druck» SAVE SAVE 602494DA.DOCX 17200234_001_C1/2016 - © Leybold 65/102...
  • Seite 66 SAVE zählvorgang auf «Auto 1».) zum Einstellen der Verstärkung Kp SAVE zum Einstellen der Nachstellzeit Tn zum Einstellen der Vorhaltezeit Tv speichern und zurück zum Bildschirm «Druck» zurück zum Bildschirm «Druck» ohne zu speichern 66/102 17200234_001_C1/2016 - © Leybold 602494DA.DOCX...

  • Seite 67: Gasflusssteuerung

    Ventil ganz öffnen (maximaler Gasfluss) Ventil ganz schließen (zu – kein Gasfluss) zur Gasfluss-Einstellung Die Editiermarke erscheint vor dem Gasflusswert. Fluss Gasfluss einstellen mbarl/s Druck :>1.00E+03 mbar PARAM SOLL Einheit wechseln siehe Kapitel «5.2.2 Maßeinheit des Druckes» 602494DA.DOCX 17200234_001_C1/2016 - © Leybold 67/102...

  • Seite 68: Gasfluss Vordefinieren

    BETRIEB Gasfluss vordefinieren Das CMOVE 1250 erlaubt es, einen Gasfluss-Sollwert auf die Menütaste «SOLL» zu programmieren. Der Gasfluss-Sollwert kann im Betrieb direkt mit der Menütaste «SOLL» abgerufen werden. Der Bildschirm «Fluss» gibt den aktuellen Gasfluss Fluss und Druckwert (Istwert) wieder.
  • Seite 69 Die Editiermarke erscheint in der Zeile «Quelle». Sollwertquelle Fluss zwischen intern und extern AE 2 wählen Soll Quelle intern speichern und zurück zum Bildschirm «Fluss» SAVE zurück zum Bildschirm «Fluss» ohne zu speichern SAVE 602494DA.DOCX 17200234_001_C1/2016 - © Leybold 69/102...
  • Seite 70 Druck : >1.00E+03 mbar PARAM SOLL Der Bildschirm «Fluss» mit externer Sollwertquelle Fluss gibt den aktuellen Gasfluss und Druckwert wieder. Der Sollwert kann nicht mehr über die Tasten mbarl/s eingestellt werden. Druck : >1.00E+03 mbar PARAM 70/102 17200234_001_C1/2016 - © Leybold 602494DA.DOCX...

  • Seite 71: Betrieb Über Die Ein- Und Ausgänge

    Signal ab, wird wieder der zuletzt verwendete Sollwert angefahren (Druck oder Fluss). DE 5 Betriebsmodus Fluss Wechselt beim CMOVE 1250 auf den Betriebsmodus Fluss. Nach dem Abfallen des Signals bleibt die Einstellung des Betriebsmodus erhalten. Der im Flussmodus definierte Sollwert wird angefahren. DE 6 Betriebsmodus Druck Wechselt beim CMOVE 1250 auf den Betriebsmodus Druck.
  • Seite 72 Sensorfehler Das Kabel zum Drucksensor ist unterbrochen. DA 6 Betriebsbereit Das CMOVE 1250 ist betriebsbereit. Es liegen keine Fehlermeldungen vor. DA 7 Emission EIN (HV EIN) Diese Funktion ist aktiviert (siehe DE 7), wenn der angeschlossene Drucksensor sie zur Verfügung stellt. Weitere Hinweise finden Sie in der Anleitung des Drucksensors (siehe ...
  • Seite 73 Das Ventilpositionssignal, das an diesem Ausgang zur Verfügung steht, kann direkt weiter verarbeitet werden. AA 4 Referenzspannung An diesem Ausgang liegt eine konstante +10 VDC Spannung an. Über einen Spannungsteiler können die analogen Eingänge gespeist werden. 602494DA.DOCX 17200234_001_C1/2016 - © Leybold 73/102...

  • Seite 74: Betrieb Über Serielle Schnittstelle

    Kommunikation Es können nur ASCII-Zeichen übertragen werden. Jede Datenübermittlung wird mit <CR><LF> abgeschlossen. Bei den Daten an das CMOVE 1250 sind keine Leerstellen (SPACE) zugelassen. Es dürfen nur Großbuchstaben (upper case) verwendet werden. Es besteht kein Zeitlimit zwischen den Zeichen, so dass auch eine manuelle Bedienung über die Schnittstelle möglich ist.
  • Seite 75 Mögliche Ursachen, falls Sie keine Antwort erhalten: • Verbindungskabel nicht korrekt angeschlossen, siehe Kapitel «4.2.7 Serielle Schnittstellen RS232 und RS485» • Schnittstelle im CMOVE 1250 nicht korrekt definiert, siehe Kapitel «5.2.13 Serielle Schnittstelle» • Übertragungsparameter der Steuerung nicht korrekt eingestellt, siehe oben •...

  • Seite 76: Sollwerte

    BETRIEB 5.5.2 Sollwerte Die Sollwerte bleiben nach Ausschalten des CMOVE 1250 erhalten. Druckregelung Befehl Antwort Vorgabe PRS=x.xxEsxx PRS=x.xxEsxx<Einheit> PRS=xxxxx PRS=xxxxxmV Beispiele PRS=1.00E+03 PRS=1.00E+03mbar PRS=09999 PRS=_9999mV Abfrage PRS? PRS=x.xxEsxx<Einheit> PRS=xxxxxmV Beispiele PRS? PRS=1.00E+03mbar PRS? PRS=_9999mV Tabelle 5-2 Gasflusssteuerung Befehl Antwort FLO=x.xxEsxx Vorgabe FLO=x.xxEsxx<Einheit>l/s...
  • Seite 77 (abhängig von der Druckeinheit) FLO=3.74E-06 FLO=3.74E-06Torrl/s Vorgabe MOVE X FLO=000.0 FLO=_ _0.0% Vorgabe AA2 FLO=00000 FLO=_ _ _ _0mV Tabelle 5-4 In der Anzeige erscheint <ZU>. Vorgabe für mbar Vorgabe für Pa Vorgabe für Torr 602494DA.DOCX 17200234_001_C1/2016 - © Leybold 77/102...

  • Seite 78: Betriebsmodus

    BETRIEB 5.5.3 Betriebsmodus Das CMOVE 1250 beginnt nach dem Einstellen des Betriebsmodus sofort auf den Sollwert, der für den entsprechenden Betriebsmodus definiert wurde, zu regeln. Kontrollieren Sie vor dem Einstellen des Betriebsmodus die eingestellten Sollwerte. MOD=W bedeutet: der Regler bleibt in der momentanen Position stehen.

  • Seite 79: Tasten Freigeben Oder Sperren

    BETRIEB 5.5.4 Tasten freigeben oder sperren Die Tasten am CMOVE 1250 können über die Schnittstelle gesperrt werden. Die Tasten am CMOVE 1250 sind nach dem Einschalten der Netzspannung immer freigegeben. Tasten sperren Befehl Antwort Vorgabe TAS=D TAS=DISABLE TAS=DISABLE Abfrage TAS?

  • Seite 80: Istwert

    = < Bereichsunterschreitung (underrange) n = > Bereichsüberschreitung (overrange) n = O Aus (off) n = E Fehler (error) 5.5.7 Maßeinheit Befehl Antwort UNT? UNT=mbar Abfrage UNT? UNT=Pa UNT? UNT=Torr UNT? UNT=mV Tabelle 5-12 80/102 17200234_001_C1/2016 - © Leybold 602494DA.DOCX...

  • Seite 81: Sprache

    Befehl Antwort Bedeutung Abfrage VEN? VEN=xx Beispiel VEN? VEN=_0 MOVE 1250 STD VEN=80 MOVE 1250 INV VEN=_2 AA 2 STD VEN=82 AA 2 INV VEN=_3 MOVE X STD VEN=83 MOVE X INV Tabelle 5-15 602494DA.DOCX 17200234_001_C1/2016 - © Leybold 81/102...
  • Seite 82 Befehl Antwort Abfrage VAT? VAT=hhh Beispiel VAT? VAT=0BC Tabelle 5-17 • Status Befehl Antwort Abfrage VAS? VAS=hhh Beispiel VAS? VAS=007 Tabelle 5-18 • Version Befehl Antwort Abfrage VAV? VAV=xxx Beispiel VAV? VAV=115 Tabelle 5-19 82/102 17200234_001_C1/2016 - © Leybold 602494DA.DOCX...

  • Seite 83: Reglerparameter

    Für den PID-Regler (proportional/integral/differenzial) wählen Sie RAS = 0 und fahren fort bei den Einstellungen: Verstärkung Kp, Nachstellzeit Tn und Vorhaltezeit Tv. Befehl Antwort RAS=xx RAS=xx Vorgabe Beispiel RAS=_0 RAS=_0 (PID) Abfrage RAS? RAS=_0 Tabelle 5-21 602494DA.DOCX 17200234_001_C1/2016 - © Leybold 83/102...
  • Seite 84 RSI=_ _30.3 Tabelle 5-23 • Vorhaltezeit Tv Wählen Sie eine Vorhaltezeit zwischen 0.0 und 3600.0 Sekunden. Befehl Antwort Vorgabe RSD=xxxx.x RSD=xxxx.x Beispiel RSD=0021.2 RSD=_ _21.2 Abfrage RSD? RSD=xxxx.x Beispiel RSD? RSD=_ _21.2 Tabelle 5-24 84/102 17200234_001_C1/2016 - © Leybold 602494DA.DOCX...

  • Seite 85: Digitale Ein-/Ausgänge

    DE 4 DE 3 DE 2 DE 1 Befehl Antwort Abfrage DIN? DIN=hh Beispiel DIN? DIN=23 Tabelle 5-26 Degas Befehl Antwort Abfrage DEG? DEG=x Beispiel DEG? DEG=0 Ausschalten DEG=0 DEG=0 Einschalten DEG=1 DEG=1 Tabelle 5-27 602494DA.DOCX 17200234_001_C1/2016 - © Leybold 85/102...
  • Seite 86 Zustand des DA 1, die letzte den Zustand des DA 8. DOT=08 → 00001000 Binäre Zahl Digitaler Ausgang DA 8 DA 7 DA 6 DA 5 DA 4 DA 3 DA 2 DA 1 Befehl Antwort Abfrage DOT? DOT=hh Beispiel DOT? DOT=08 Tabelle 5-29 86/102 17200234_001_C1/2016 - © Leybold 602494DA.DOCX...

  • Seite 87: Wartung

    GEFAHR Stromschlag Spannungsführende Teile können Verletzung oder Tod verursachen. Das Produkt vom Netz trennen. CMOVE 1250 außen reinigen Für die äußere Reinigung reicht im Normalfall ein leicht feuchtes Tuch. Benutzen Sie keine aggressiven oder scheuernden Reinigungsmittel. GEFAHR Stromschlag Der Kontakt mit netzspannungsführenden...
  • Seite 88 WARTUNG CMOVE 1250 innen reinigen Bei stark staubiger Umgebung ist das CMOVE 1250 periodisch innen zu entstauben. Der Staub kann mit trockener Druckluft vorsichtig weggeblasen werden. WARNUNG Druckluft Unsachgemäßer Umgang mit Druckluft kann zu Verletzungen führen. Beim Umgang mit Druckluft die einschlägigen Vorschriften beachten und die Schutzmaßnahmen einhalten.

  • Seite 89: Reparaturen

    Reparaturen dürfen nur von Fachpersonal ausgeführt werden. Wir empfehlen diese Arbeiten in einem unserer Service-Center durchführen zu lassen. Die Kontaktadressen der Service-Center finden Sie auf der Dokumentrückseite. Die auf dem Regelgerät angegebene Fabrikationsnummer ist unbedingt anzugeben; siehe Kapitel «1.2 Produktidentifikation». 602494DA.DOCX 17200234_001_C1/2016 - © Leybold 89/102...

  • Seite 90: Außerbetriebsetzung Und Lagerung

    Das Produkt vom Netz trennen. Elektrischen Anschluss trennen. Angeschlossene Geräte, z.B. Ventil, Drucksensor bzw. an den diversen Anschlüssen, entfernen. Halsschrauben und Plastiknippeln entfernen. CMOVE 1250 aus dem 19"-Rackeinschub herausziehen. Lagerung HINWEIS Falsche Lagerung Unsachgemäße Lagerung (statische Ladungen, Feuchtigkeit usw.) kann zu Defekten an den elektronischen Komponenten führen.

  • Seite 91: Verpackung Und Transport

    Immer die Original-Verpackung verwenden und Produkt vorsichtig behandeln. Verpackung Wenn Sie ein Produkt für Instandsetzungsarbeiten einsenden, versehen Sie das Produkt mit einer dichten und schlagfesten Verpackung. Leybold übernimmt keine Verantwortung für Schäden, die auf ungeeignete Verpackung zurückzuführen sind. Transport HINWEIS Ungeeignete Verpackung Produkt kann beschädigt werden, wenn keine geeignete Verpackung...

  • Seite 92: Entsorgung

    Kontaminierte Bauteile (radioaktiv, toxisch, ätzend, mikrobiologisch usw.) müssen entsprechend den länderspezifischen Vorschriften dekontaminiert, entsprechend ihrer Materialart getrennt und entsorgt werden. • Nicht kontaminierte Bauteile Diese Bauteile sind entsprechend ihrer Materialart zu trennen und der Wiederverwertung zuzuführen. 92/102 17200234_001_C1/2016 - © Leybold 602494DA.DOCX...

  • Seite 93: Ersatzteile Und Zubehör

    Ersatzteile und Zubehör HINWEIS Keine Original-Ersatzteile Nicht originale Ersatzteile können das Produkt beschädigen. Nur originale Ersatzteile von Leybold verwenden. Bestellen Sie Ersatzteile und Zubehör immer mit: • allen Angaben gemäß Typenschild • Beschreibung und Bestellnummer gemäß Ersatzteil- oder Zubehörliste. Zubehör...
  • Seite 94 ERSATZTEILE UND ZUBEHÖR Verbindungskabel CMOVE 1250 – Regelventil Länge [m] Bestellnummer MOVE 1250 230 220 230 221 230 222 230 223 230 224 230 225 MOVE X 230 210 230 211 230 212 230 213 230 214 230 215 Tabelle 11-2 94/102 17200234_001_C1/2016 - ©...

  • Seite 95: Anhang

    TTR 21X 5.00E-04 1.00E+03 Tabelle 12-1 Da die Leybold Produktepalette ständig verbessert und ergänzt wird, ist es möglich, dass in Ihrem CMOVE 1250 bereits weitere, neue Drucksensoren implementiert sind. In [mbar]. Druckeinheit ändern siehe Kapitel «5.2.2 Maßeinheit des Druckes». In [mV].

  • Seite 96: Störungsbehebung

    Ventil prüfen, siehe Soll: 1.33E+01 mbar Ventil defekt Ventilanleitung PARAM QUELLE REGLER Falsches Ventil MOVE 1250 angeschlossen anschließen Fluss ERROR mbarl/s Geräteeingang (X9) Gerät prüfen / Druck :>1.00E+03 mbar defekt austauschen PARAM SOLL Tabelle 12-2 96/102 17200234_001_C1/2016 - © Leybold 602494DA.DOCX...

  • Seite 97: Umrechnungstabellen

    0.394 0.033 inch 2.54 0.083 30.48 Tabelle 12-5 Temperatur °C °F K–273.15 9/5 K–459.67 °C °C+273.15 9/5 °C+32 5/9 (°F+459.67) 5/9 (°F–32) °F Tabelle 12-6 °C -40 -20 °F 104 140 176 212 602494DA.DOCX 17200234_001_C1/2016 - © Leybold 97/102...

  • Seite 98: Literatur

     [1]  [7] www.leybold.com www.leybold.com Gebrauchsanleitung Gebrauchsanleitung Regelventil MOVE 1250 THERMOVAC-Transmitter TTR 100 17200236_001 GA 09.221/1.01 Leybold GmbH, D–50968 Köln Leybold GmbH, D–50968 Köln  [2]  [8] www.leybold.com www.leybold.com Gebrauchsanleitung Gebrauchsanleitung Regelventil MOVE X PENNING-Transmitter PTR 225, 17200235_001 PTR 225 S, PTR 237 Leybold GmbH, D–50968 Köln...

  • Seite 99: Einbauerklärung

    ANHANG 12.5 Einbauerklärung 602494DA.DOCX 17200234_001_C1/2016 - © Leybold 99/102...
  • Seite 100 ANHANG Notizen 100/102 17200234_001_C1/2016 - © Leybold 602494DA.DOCX...
  • Seite 101 (EU), póngase en contacto con su representante de Leybold. Français Le mode d‘emploi fourni avec ce produit est rédigé en anglais et en allemand. N‘hésitez pas à contacter votre agence Leybold si (003) vous avez besoin du mode d‘emploi traduit dans la langue de votre pays (union européenne).

  • Seite 102: Vertriebs- Und Servicenetz

    Vertriebs- und Servicenetz Deutschland Grossbritannien Amerika Leybold Japan Co., Ltd. Tsukuba Technical Service Center Leybold UK LTD. 1959, Kami-yokoba Leybold GmbH Unit 9 Tsukuba-shi, Ibaraki-shi 305-0854 Sales, Service, Support Center (3SC) Silverglade Business Park Leybold USA Inc. Japan Bonner Straße 498...

Inhaltsverzeichnis