Verwandte Anleitungen für LEYBOLD COMBIVAC CM 31
Inhaltszusammenfassung für LEYBOLD COMBIVAC CM 31
- Seite 1 LEYBOLD VAKUUM Vakuumpumpen Instrumente Bauteile und Ventile GA 09.504 / 5.01 COMBIVAC CM 31 Kat.-Nr. 157 89, 896 89, 897 89 Gebrauchsanleitung...
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Seite 2: Inhaltsverzeichnis
THERMOVAC-Meßkanäle ... . . 16 1.3.1 COMBIVAC CM 31 ....6 2.4.5 Ausgangs-Schraubklemmen des 1.3.2... - Seite 3 Druckerausgabe ..... 25 Service bei LEYBOLD ....35 Inbetriebnahme .
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Seite 4: Beschreibung
1 Beschreibung 1.1.1 Verwendungszweck 1.1 Allgemeine Angaben Das COMBIVAC CM 31 ist ein universell verwendbares Das COMBIVAC CM 31 wird betriebsbereit Vakuummeter, das durch die Kombination von zwei ausgeliefert. Trotzdem empfehlen wir Ihnen, Meßprinzipien - Pirani (Thermovac) und Penning - eine diese Gebrauchsanleitung sorgfältig zu... -
Seite 5: Pm-Meßkanal
Reaktionszeit der Schaltpunkte ca. 30 ms 1.2.5 Schreiberausgänge bei Druckänderung größer als 1 Meßdekade Jeder Meßkanal hat einen Schreiberausgang. Schaltpunkte 2 je Meßkanal; Wechselkontakt Spannungsbereich 0 bis 10 V (nominal) Modi Einzel / Intervall (Grenzwerte -0,6 V bis +10,6 V) ≥... -
Seite 6: Mechanische Eigenschaften
Sechs Schaltpunkte, drei logarithmische Schreiber- -40 °C bis 60 °C Lagertemperatur ausgänge und die Eigenüberwachung erlauben die Inte- gration des COMBIVAC CM 31 in komplexe Vakuum- max. rel. Luftfeuchte 80 % n.c. steuerungen. Die beiden THERMOVAC-Kanäle sind unmittelbar nach Anlegen der Netzspannung aktiv. Der PENNINGVAC-Kanal kann vom zweiten THERMOVAC- 1.2.10 RS 232 C-Schnittstelle... -
Seite 7: Rs 232 C-Schnittstelle
162 88 1.4.1 Lieferumfang Meßleitung 10 m zu PR-Meßröhren 162 89 Kat.-Nr. Meßleitung 20 m zu PR-Meßröhren 157 56 COMBIVAC CM 31 Meßleitungen bis 100 m auf Anfrage Europa 230 V ; mbar 157 89 Testkopf T 35 (PENNINGVAC) 157 62 USA 120 V;... -
Seite 8: Bedienung Und Betrieb
Schritte durchzuführen: - Einsatz der richtigen Netzsicherung. - Prüfen und gegebenenfalls Anpassen Siehe hierzu Abschnitt 2.2.1. der eingestellten Netzspannung an die Das COMBIVAC CM 31 ist im Auslieferungszustand vorhandene Netzspannung. betriebsbereit. - Einbau bzw. Prüfen und gegebenen- falls Austauschen der eingebauten Meßröhre über die entsprechende Meßleitung ansch-... -
Seite 9: Änderung Der Netzspannungsein Stellung/ Sicherungswechsel
2.2.1 Ändern der Netzspannungseinstel- 2.3 Bedienelemente und lung / Sicherungswechsel deren Funktion Zum Ändern der Netzspannungseinstel- lung oder Wechsel der Netzsicherung ist Eine Übersicht über die Anordnung der Bedien- und die Netzleitung zu entfernen. Anzeigeelemente ist in Abb. 2 dargestellt. Zum Einstellen der Gerätespannung ist der Sicherungs- Die Bedienung des Gerätes erfolgt über sieben Taster. -
Seite 10: Numerische Anzeige
2.3.2 Numerische Anzeige Im Statusfeld (3/1) erfolgt die Anzeige der Trigger- und Gerätezustände. Diese sind den jeweils darunter befind- In der numerischen Anzeige (3/3) erfolgt die Darstellung lichen über die Taste anwählbaren Meßkanälen zuge- des Druckmeßwertes bezogen auf die jeweils eingestell- ordnet. -
Seite 11: Taste Tm 1, Tm 2 Und Pm
Anzeige CORR. Ist diese Bedingung nach dem Einschalten der Hoch- spannung einmal erfüllt worden, wird Meßbereitschaft LOCK gemeldet. Die Trigger sind danach aktiv, unabhängig Die Anzeige LOCK leuchtet, wenn die Parametereinstel- vom weiteren Druck oder Leitungs- bzw. Sensorzustand lung über die Tastatur gesperrt ist. Siehe hierzu auch bis zum Ausschalten der Hochspannung. -
Seite 12: Taste Dekrement
2.3.7 Taste Dekrement 2.3.9.1 Kontrolle und Einstellen der Geräteparameter Die Taste Dekrement (5/3) dient zum Einstellen der Trig- Zur Kontrolle und zum Einstellen der einzelnen Geräte- ger und anderer Geräteparameter. Mit jedem Drücken parameter wird die Taste PARA (5/1) gedrückt. Die wird der angezeigte Zustand um 1 zurückgesetzt, bei Anzeige PARA im Statusfeld (4/5) leuchtet, und die erste Zahlenwerten wird die niederwertigste Anzeigenstelle... - Seite 13 Parameterebene 1 sicht über die beiden Trigger-Zustände. In der Parameterebene 1 befindet sich folgender Inhalt: L Level-Trigger Beide Triggerausgänge arbeiten unabhängig vonein- Seite 1 ander. Die Einstellung der Schwellwerte ist beim PM- Eingestellter Triggerwert von Trigger 1. Meßkanal zwischen 1·10 mbar und 1·10 mbar und Die beiden Pfeile von Trigger 1 blinken bei nicht ange-...
- Seite 14 Gasart-Korrektur Fadenmaterial des angeschlossenen Sensors (FILA- GAS.n2 ; Luft / Stickstoff (N MENT). GAS.Ar ; Argon FIL tu Wolfram TR 211, TR 201 und TR 205 FIL ni Nickel TR 206 Auslieferstatus: Luft / Stickstoff FIL pt Platin TR 216 Zur genaueren Bestimmung des wahren Druckes eines Auslieferstatus FIL tu...
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Seite 15: Verriegeln Der Parametereinstellung
Seite 9 Seite 10 für THERMOVAC-Meßkanal (TM) Einstellung des Analogausganges (siehe hierzu auch Hinweis Abschnitt 2.10.2). In der Geräteparameterebene 2 gibt es in der Parame- terseite 9 für den THERMOVAC-Meßkanal und für den Es können 8 verschiedene Bereiche eingestellt werden. PENNINGVAC-Meßkanal unterschiedliche Anzeigen. -
Seite 16: Versorgungs-Und Steckeranschlüsse Auf Der Geräterückseite
S 1 = TM 1-Meßkanal S 2 = TM 2-Meßkanal Hinweis Die in dieser Abbildung dargestellten Klem- menbezeichnungen sind nach DIN-Vorschrift durchgeführt. Aus Platzgründen sind die Ziffern-Bezeichnun- gen nicht auf der Geräterückseite bzw. der Klemmenleiste dargestellt. Abb. 7 Geräterückseite COMBIVAC CM 31... -
Seite 17: Ausgangs-Schraubklemmen Des Penningvac-Meßkanals
Die Belegung der 4poligen Klemmleiste (Abb. 7) ist wie Die Belegung der 8poligen Klemmleiste (Abb. 7) ist wie folgt: folgt: Kontaktbelegung Kontaktbelegung ———————————————————————— (Ruhezustand) Kontaktsymbol Triggerschwellwert (TRG) in Vorber. ———————————————————————— Triggerschwellwert (Masse) Vorbereitung Ready Schreiberausgang 0 bis 10 V (REC) NO (offen) Schreiberausgang (Masse) NC (geschlossen) -
Seite 18: Aufstellen Des Gerätes
2.5 Aufstellen des Gerätes 2.5.4 Verwendung des CM 31 als Tischgerät Das CM 31 arbeitet zuverlässig bei den üblichen indu- Zur Verwendung des CM 31 als Tischgerät kann an der striellen Umgebungsbedingungen (siehe Abschnitt Geräteunterseite der Standfuß (Best.-Nr. 200 60 900) 1.2.9). -
Seite 19: Der Penningvac-Meßkanal
2.6.2 Der PENNINGVAC-Meßkanal Der PENNINGVAC-Meßkanal ist werkseitig abgeglichen Abgleich und wartungsfrei. zu hoch Mit dem Testkopf T 35 läßt sich die Gerätefunktion über- prüfen. Der Testkopf stellt einen Simulator der PEN- NINGVAC-Meßröhre dar. Mit eingebauten Widerständen werden verschiedene Druckwerte simuliert, die an drei Abgleich exakt Steckbuchsen zur Verfügung stehen. -
Seite 20: Zustandsmeldungen
2.9 Zustandsmeldungen Dies ist ein Hinweis, das CM 31 gemäß Ge- brauchsanleitung zu bedienen, da hier eine Fehlbedienung vorliegt. Das COMBIVAC CM 31 zeigt verschiedene Zustands- meldungen an. Z.B.: L Die Trigger sind im Intervall-Modus, aber der FAIL FAIL bezeichnet einen Sensorfehler. -
Seite 21: Schreibertabellen
2.10 Schreibertabellen Gleichungen für den Schreiberausgang (U ) beim THERMOVAC-Meßkanal; siehe auch Tabelle 2: Für Ano 2.10.1 Schreibertabellen für den TM-Meß- = — ( log p + 3) kanal Tabelle 1 Verhalten von Schreiberausgang, Trigger-Relais und Bereit- melder im TM-Meßkanal Für Ano = 1,58704·log p + 5,23887 Trigger-Relais... - Seite 22 Tabelle 3 Anzeigeauflösung und -schritte Druck Schrittweite Schrittweite [mbar / Torr] bei STD bei HIGH 1,00·10 0,1er-Schritte 0,1er-Schritte 1,00·10 0,1er-Schritte 0,01er-Schritte 3,00·10 0,1er-Schritte 0,02er-Schritte 6,00·10 0,1er-Schritte 0,05er-Schritte 1,00·10 0,1er-Schritte 0,01er-Schritte 3,00·10 0,1er-Schritte 0,02er-Schritte 6,00·10 0,1er-Schritte 0,05er-Schritte 1,00·10 usw. 0,1er-Schritte 0,01er-Schritte usw.
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Seite 23: Schreibertabellen Für Den Pm-Meßkanal
2.10.2 Schreibertabellen für den Beispiel p = 7·10 mbar PM-Meßkanal Tabelle 5 Verhalten von Schreiberausgang, Trigger-Relais und Bereit- melder im PM-Meßkanal Ua = — ( log 7·10 + 9) = — (-2,155 + 9) = 9,78 V PM-Meßkanal Trigger-Relais Schreiber- Arbeitskontakt Ausgang Zustand... - Seite 24 Tabelle 7 Anzeigeauflösung und -schritte Tabelle 8 Zuordnung; Meßbereich, Meßunsicherheit und Schaltpunkthysterese in Einstellung Level-Trigger Druck Schrittweite Schrittweite mbar Torr Meßunsicherheit Trigger-Hysterese [mbar] bei STD bei HIGH Level-Trigger 9,90·10 0,1er-Schritte 0,05er-Schritte 9,9·10 9,9·10 9,9·10 nicht einstellbar 1,00·10 1,0·10 1,0·10 1,0·10 0,1er-Schritte 0,01er-Schritte nicht einstellbar...
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Seite 25: Rs 232 C-Schnittstelle
3 RS 232 C-Schnittstelle 3.2 Schnittstellenparameter 3.1 Technische Beschreibung 3.2.1 Baudrate Die Pegel der RS 232 C-Schnittstelle sind wie folgt defi- Die Baudrate ist fest eingestellt auf 2400 Baud. niert: Pegel LOW (L) HIGH (H) 3.2.2 Datenformat ———————————————————————— Spannungsbereich -3 bis -25 V 3 bis 25 V Das Datenformat ist fest eingestellt auf: Logikzustand... -
Seite 26: Baudrate Und Datenformat
- Sendedaten Pin 2 Gegenseite: 3.3.1.4 Quittierungszeichen Empfangsdaten Im Fernsteuerbetrieb antwortet das A-Seriengerät auf - Empfangsdaten RxD Pin 3 Gegenseite: jede empfangene Zeichenkette, die mit dem Endezei- Sendedaten chen <CR> abgeschlossen wurde, mit einem der beiden - Signalmasse GND Pin 5 Gegenseite: Quittierungs-Zeichen: <ACK>... -
Seite 27: Rücksetz-Zeichen
3.3.1.5 Rücksetz-Zeichen 3.4 Datenausgabe und Mit dem Zeichen <ESC> (Escape; ASCII-Code: 27 Datenformate ohne <CR> läßt sich die Schnittstelle des A-Seriengerä- tes wieder in einen definierten Zustand zurücksetzen. Eine eventuell in Bearbeitung befindliche Empfangszei- 3.4.1 Meßwertausgabe chenkette wird gelöscht und die Abarbeitung abgebro- chen. -
Seite 28: Parameterausgabe Und Antwortzeiten
Ausgabe, wenn Meßbetrieb möglich bezeichenkette weitere Zeichen, werden diese ignoriert Meßwertformat: und sind ungültig. Meßkanal:Einheit:-n.nnE-mm<CR><LF> Bedeutung: Meßkanal TM1, TM2, PM 3 Zeichen 3.5 Schnittstellenbefehle :Einheit mbar, Torr, Pa, Micron 7 Zeichen :-n.nn Mantisse evtl. mit und Dateneingabe beim Vorzeichen 6 Zeichen E-mm Exponent immer mit A-Seriengerät mit... -
Seite 29: Triggereinstellungsbefehle
3.5.2 Triggereinstellungsbefehle 3.5.3 Bedienparameter Einzeltrigger einstellen Parametereinstellung für Level-Mode und falls über Tastatur vorhanden CE-Mode Parameter änderbar LOK W OFF Triggerwerte einstellen TRG W Meßkanal, p1, p2 (Geräteparameter über Wertevorrat für p1: 1 oder 2, entspricht Trigger Tastatur einstellbar) 1 oder Trigger 2 eines Meß- Parameter nicht änderbar LOK W ON kanals... -
Seite 30: Programmbeispiel Zur Einstellung Von Parametern
NAK$ = CHR$(21): ACK$ = CHR$(6) ‘opening RS232 comunication OPEN „COM1:2400,N,8,1,rs,cs,ds,cd“ FOR RANDOM AS #1 LOCATE 1, 1: PRINT “Sample Control Program for Leybold A-Series Gauge“; LOCATE 2, 1: PRINT “COMBIVAC CM31 with RS232-Interface“; ‘ set display to PM measurement channel PRINT #1, “dsp w pm1“... - Seite 31 ‘ take measurement value from CM31 PM cold cathode gauge channel PRINT #1, “MESr pM1“ ‘ command: read measurement value from CM31 LINE INPUT #1, AckNakTest$ ‘ get handshake character from CM31 IF AckNakTest$ <> ACK$ THEN ‘test for <ACK>/<NAK> character PRINT #1, “eri r“...
- Seite 32 ELSE LOCATE 12, 1: PRINT SPACE$(79); ‘ clear screen line LOCATE 12, 1: PRINT “setting CM31 display to channel TM2 successful“; END IF ‘read current displayed measurement channel of CM31 PRINT #1, “dsp R“ ‘ command: read CM31 display channel LINE INPUT #1, AckNakTest$ ‘...
- Seite 33 PRINT #1, “eri r“ ‘ if <NAK>, then request CM31 error code LINE INPUT #1, AckNakTest$ ‘ get handshake character (without test) LINE INPUT #1, FailMessg$ ‘ get error code from CM31 LOCATE 18, 1: PRINT SPACE$(79); ‘ clear screen line LOCATE 18, 1: PRINT “failure on setting of trigger PM no.
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Seite 34: Beispiele Von Leitungsverbindungen Zwischen Schnittstelle Und Ibm ® -Pc
3.8 Beispiele von Leitungsverbindungen zwischen Schnitt- ® stelle und IBM Beispiel für 9-polige PC-Steckverbindung A-Seriengeräte A-S- A-S- IBM-PC Bemerkung für A-Seite Name Name Bemerkung für PC-Seite frei lassen evtl. mit 6 verbinden durchverbinden durchverbinden durchverbinden durchverbinden durchverbinden durchverbinden durchverbinden durchverbinden durchverbinden durchverbinden Schirmanschluß... -
Seite 35: Wartung
4 Wartung 4.1 Service bei LEYBOLD Falls Sie ein Gerät an LEYBOLD schicken, geben Sie an, ob das Gerät frei von gesundheitsgefährdenden Schadstoffen ist oder ob es kontaminiert ist. Wenn es kontaminiert ist, geben Sie auch die Art der Gefährdung an. -
Seite 36: Kurzanweisung
5 Kurzanweisung... -
Seite 37: Parameterebene
2. Parameterebene Einheit Seite 6 MBAR, TORR, PA, MICRON PARA Für TM-Meßkanal: Faden-Material bei TM Wolfram, Nickel, Platin [Fil tu; Fil ni; Fil pt] Seite 7 Für PM-Meßkanal: HV-Automatik für PM [AUTO.0; AUTO.1] PARA Für TM / PM-Meßkanal: Anzeigeauflösung Seite 8 [STD, HIGH] PARA Für TM-Meßkanal: Abgleich Leitungslänge für TM... -
Seite 39: Eg-Konformitätserklärung
EG-Konformitätserklärung Angewandte harmonisierte Normen: Hiermit erklären wir, die Leybold AG, daß die nachfol- gend bezeichneten Produkte aufgrund ihrer Konzipie- • EN 61010 - 1 : 1993 rung und Bauart sowie in der von uns in Verkehr ge- brachten Ausführung den einschlägigen grundlegenden Sicherheits- und Gesundheitsanforderungen der EG- Richtlinien entsprechen. - Seite 40 LEYBOLD AG Vakuum Bonner Straße 498 (Bayenthal) D-50968 Köln Telefon: (0221) 347-0 Telefax: (0221) 347-1250...