Verwandte Anleitungen für LEYBOLD THERMOVAC TM 21
Inhaltszusammenfassung für LEYBOLD THERMOVAC TM 21
- Seite 1 Vakuum-Messung LEYBOLD INFICON und Komponenten Lecksuche In Situ Analyse GA 09.212 / 6.01 THERMOVAC TM 21 Kat.-Nr 157 83, 896 83, 897 83 Gebrauchsanleitung...
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Seite 2: Inhaltsverzeichnis
LEYBOLD-Service Seite Falls Sie ein Gerät an LEYBOLD schicken, geben Sie 2.4.2 Anschluß der THERMOVAC-Meßröhre . . . 12 an, ob das Gerät frei von gesundheitsgefährdenden 2.4.3 Ausgangs-Schraubklemmen ... 12 Schadstoffen ist oder ob es kontaminiert ist. -
Seite 3: Beschreibung
1 Beschreibung 1.1.1 Verwendungszweck 1.1 Allgemeine Angaben Das THERMOVAC TM 21 bietet eine kontinuierliche Va- Das THERMOVAC TM 21 wird betriebsbereit ausgelie- kuummessung von 5·10 mbar bis Atmosphärendruck fert. Trotzdem empfehlen wir Ihnen, diese Gebrauchsan- sowie Kontroll- und Steuerfunktionen im Druckbereich leitung sorgfältig zu lesen, um Ihnen so von Anfang an von 5·10 mbar bis 500 mbar. -
Seite 4: Relais-Ausgänge
1.2.2 Relais-Ausgänge Netzfrequenz 50 bis 60 Hz Leistungsaufnahme 12 VA Das THERMOVAC TM 21 hat zwei variable Schaltpunk- te mit je einem potentialfreien Relais-Wechselkontakt und einem Bereit-Meldekreis mit Schließkontakt. 1.2.5 Mechanische Eigenschaften Max. Schaltspannung 250 V AC / 60 V DC Abmessung (BxHxT) in mm 106,5 x 128,5 x 285,5 Max. -
Seite 5: Technische Beschreibung
1.3 Technische gen überbrücken. Außerdem ist mit Hilfe von Modems (Modulatoren zum Senden im Tonfrequenzbereich und Beschreibung Demodulatoren zum Rückverwandeln in digitale Signale) auch eine Übertragung über Telefonleitungen möglich. 1.3.1 THERMOVAC TM 21 Mit dem Wärmeleitungs-Vakuummeter THERMOVAC 1.4 Ausstattung TM 21 lassen sich Steuerungen über die beiden Schalt- trigger realisieren. -
Seite 6: Bedienung Und Betrieb
2 Bedienung und Betrieb 2.1 Inbetriebnahme 2.2 Elektrischer Anschluß Vor Anschluß an das Netz bitte sicherheitshalber folgen- Achtung Vor der Erstinbetriebnahme des Gerätes de Prüfung vornehmen: sind folgende Schritte durchzuführen: - Einstellung auf richtige Netzspannung (Geräterücksei- - Prüfen und gegebenenfalls Anpassen te);... -
Seite 7: Änderung Der Netzspannungsein Stellung/ Sicherungswechsel
2.2.1 Ändern der Netzspannungseinstel- 2.3 Bedienelemente und lung / Sicherungswechsel deren Funktion Zum Ändern der Netzspannungseinstellung oder Wechsel der Netzsicherung ist die Eine Übersicht über die Anordnung der Bedien- und An- Netzleitung zu entfernen. zeigeelemente ist in Abb. 2 dargestellt. Die Bedienung des Gerätes erfolgt über vier Taster. -
Seite 8: Numerische Anzeige
2.3.2 Numerische Anzeige 2.3.4 Statusfeld In der numerischen Anzeige (3/3) erfolgt die Darstellung Das Statusfeld (3/1) befindet sich zwischen dem Tasten- des Druckmeßwertes bezogen auf die jeweils eingestell- feld und der Meßwertanzeige. te Maßeinheit. Im Statusfeld erfolgt die Anzeige der Trigger- und Gerä- Für die Maßeinheiten Torr, Pa und mbar erfolgt die Meß- tezustände. -
Seite 9: Taste Tm
parameter. 2.3.8 Taste PARA Die Taste „PARA“ (4/3) dient zum Umschalten auf den Parametermodus, bei dem einzelne Geräteparameter 2.3.5 Taste TM kontrolliert bzw. eingestellt werden können sowie zum Die Taste TM (4/1) hat nur bei der Kontrolle und Einstel- Blockieren der Parametereinstellung. lung der Geräteparameter eine Funktion. - Seite 10 rück. Es wird jeweils diejenige Einstellung gespeichert, Seite 1b die beim Verlassen der Parameterseite angezeigt wurde. Diese Seite erscheint nur, wenn vorher auf Parameter- seite 3 der Triggermodus H angewählt wurde. Mit den Sollten sich in der Anzeige keine Änderungen nach Tasten Inkrement oder Dekrement wird hier der obere Druck auf Tasten Dekrement (4/5) oder Inkrement (4/4) Schwellwert von Trigger 1 eingestellt.
- Seite 11 einander verknüpft. Bei der Schwellwert-Einstellung Seite 7 muß folgende Bedingung erfüllt sein: Fadenmaterial des angeschlossenen Sensors (FILA- Schwellwert 1 < Schwellwert 2 MENT). Das eingestellte Intervall (Differenz zwischen FIL tu Wolfram TR 211, TR 201 und TR 205 Schwellwert 1 und 2) kann 5 % des eingestellten FIL ni Nickel TR 206 Wertes von Schwellwert 1 nicht unterschreiten.
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Seite 12: Verriegeln Der Parametereinstellung
Lineare Ausgangscharakteristik: 2.4 Versorgungs-und 0 0,1 10 V Steckeranschlüsse auf 1·10 1·10 1·10 mbar der Geräterückseite 1·10 1·10 1·10 mbar 1·10 1·10 1·10 mbar 1·10 1·10 1·10 mbar Alle Versorgungs- und Steckeranschlüsse befinden sich 1·10 1·10 1·10 mbar auf der Geräterückseite. Diese sind in Abb. 6 dargestellt. 1·10 1·10 1·10... -
Seite 13: Rs 232 C-Schnittstelle
(6/3) unterhalb des Meßröhrenanschlusses. Die Belegung der 4poligen Klemmleiste (Abb. 6) wie folgt: Kontaktbelegung ——————————————————————————— Schreiberausgang 0 bis 10 V (REC) Schreiberausgang (Masse) Die Belegung der 8poligen Klemmleiste (Abb. 6) wie folgt: Kontaktbelegung Kontaktsymbol ————————————————————————————— Ready NO (offen) NC (geschlossen) Trigger 1 NO (offen) NC (geschlossen) -
Seite 14: Aufstellen Des Gerätes
2.5 Aufstellen des Gerätes 2.5.4 Verwendung des TM 21 als Tischgerät Das TM 21 arbeitet zuverlässig bei den üblichen indu- Zur Verwendung des TM 21 als Tischgerät kann an der striellen Umgebungsbedingungen (Kapitel 1.2.6). Geräteunterseite der Standfuß (Best.-Nr. 200 60 900) Das Gerät wird in einem robusten Tischgehäuse ausge- angebracht werden. -
Seite 15: Abgleich Der Thermovac-Meßröhren
2.7 Abgleich der Vakuum-Apparatur belüften und nochmals die 100%- Einstellung kontrollieren. Eine eventuelle Abweichung THERMOVAC-Meßröhren mit dem Potentiometer korrigieren. War eine Korrektur der 100 %-Einstellung notwendig, Nullpunkt-Einstellung wiederholen. Die Alterung und die Verschmutzung des Meßfadens be- einträchtigen die Genauigkeit der Druckanzeige. Daher wird empfohlen, die THERMOVAC-Meßröhren bei Be- darf abzugleichen. -
Seite 16: Schreibertabelle
Dies ist ein Hinweis, das TM 21 gemäß Ge- Gleichungen für den Schreiberausgang (U ) beim brauchsanleitung zu bedienen, da hier eine THERMOVAC-Meßkanal; siehe auch Tabelle 2: Fehlbedienung vorliegt. Logarithmisches Ausgangsverhalten: Z.B.: L Für Ano Die Trigger sind im Intervall-Modus, aber der Schwellwert 1 ist größer/gleich Schwellwert 2. - Seite 17 Tabelle 2 Verhalten von TM-Druckanzeige zu TM-Schreiberausgang Tabelle 3 Anzeigeauflösung und -schritte mbar Torr Micron Schreiber- Schreiber- Druck Schrittweite Schrittweite Spannung Spannung [mbar / Torr] bei STD bei HIGH ANO -3 ANO -4 1,00·10 5,0·10 5,0·10 5,0·10 0,00 V 0,1er-Schritte 0,1er-Schritte 9,0·10 9,0·10...
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Seite 18: Rs 232 C-Schnittstelle
3 RS 232 C-Schnittstelle 3.1 Technische 3.2 Schnittstellenparameter Beschreibung 3.2.1 Baudrate Die Pegel der RS 232 C-Schnittstelle sind wie folgt defi- Die Baudrate ist fest eingestellt auf 2400 Baud. niert: Pegel LOW (L) HIGH (H) ———————————————————————— 3.2.2 Datenformat Spannungsbereich -3 bis -25 V 3 bis 25 V Das Datenformat ist fest eingestellt auf: Logikzustand... -
Seite 19: Baudrate Und Datenformat
- Sendedaten Pin 2 Gegenseite: 3.3.1.4 Quittierungszeichen Empfangsdaten Im Fernsteuerbetrieb antwortet das A-Seriengerät auf - Empfangsdaten RxD Pin 3 Gegenseite: jede empfangene Zeichenkette, die mit dem Endezei- Sendedaten chen <CR> abgeschlossen wurde, mit einem der beiden - Signalmasse GND Pin 5 Gegenseite: Quittierungs-Zeichen: <ACK>... -
Seite 20: Rücksetz-Zeichen
3.3.1.5 Rücksetz-Zeichen 3.4 Datenausgabe und Mit dem Zeichen <ESC> (Escape; ASCII-Code: 27 Datenformate ohne <CR> läßt sich die Schnittstelle des A-Seriengerä- tes wieder in einen definierten Zustand zurücksetzen. Eine eventuell in Bearbeitung befindliche Empfangszei- 3.4.1 Meßwertausgabe chenkette wird gelöscht und die Abarbeitung abgebro- chen. -
Seite 21: Druckerausgabe
3.4.1.2 Druckerausgabe 3.5 Schnittstellenbefehle Im „Print Only“ Betrieb wird der Meßwert im folgenden und Dateneingabe beim Format an den Drucker gesendet: A-Seriengerät mit Ausgabe, wenn Meßbetrieb möglich Meßwertformat: RS 232 C Schnittstelle Meßkanal:Einheit:-n.nnE-mm<CR><LF> Bedeutung: Die Schnittstellenbefehle setzen sich aus folgenden Tei- Meßkanal 3 Zeichen len zusammen:... -
Seite 22: Triggereinstellungsbefehle
3.5.2 Triggereinstellungsbefehle High Voltage Switching Schalten der Hochspannung; Einzeltrigger einstellen nur für PM-Kanal im CM 33 für Level-Mode Hochspannung ausschalten HVS W Meßkanal,OFF Triggerwerte einstellen TRG W Meßkanal, p1, p2 Hochspannung einschalten HVS W Meßkanal,ON Wertevorrat für p1: 1 oder 2, entspricht Trigger Zust. -
Seite 23: Programmbeispiel Zur Einstellung Von Parametern
NAK$ = CHR$(21): ACK$ = CHR$(6) ‘opening RS232 communisation OPEN „COM1 :2400,N,8,1,rs,cs,ds,cd“ FOR RANDOM AS #1 LOCATE 1, 1: PRINT “Sample Control Program for Leybold A-Series Gauge“; LOCATE 2, 1: PRINT “THERMOVAC TM21 with RS232-lnterface“; ‘ set display to TM1 measurement channel PRINT #1, “dsp w tm2“... - Seite 24 LOCATE 10, 1: PRINT SPACE$(79); ‘ clear screen line LOCATE 10, 1: PRINT “failure on reading TM1 gas type: “; LOCATE 10, 40: PRINT FailMessg$; ‘ error code to screen ELSE LINE INPUT #1, GasType$ ‘ if no failure then get gas status LOCATE 10, 1: PRINT SPACE$(79);...
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Seite 25: Beispiele Von Leitungsverbindungen Zwischen Schnittstelle Und Ibm ® -Pc
3.8 Beispiele von Leitungsverbindungen zwischen Schnitt- ® stelle und IBM Beispiel für 9-polige PC-Steckverbindung A-Seriengeräte A-S- A-S- IBM-PC Bemerkung für A-Seite Name Name Bemerkung für PC-Seite ––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––– frei lassen evtl. mit 6 verbinden durchverbinden durchverbinden durchverbinden durchverbinden durchverbinden durchverbinden durchverbinden durchverbinden durchverbinden durchverbinden... -
Seite 26: Kurzanweisung Zur Parametereinstellung
5 Kurzanweisung zur Parametereinstellung Hinweis Bei vorheriger Auswahl des Triggermodus „Hysterese“ müssen pro Schaltpunkt zwei Schwellwerte eingegeben werden. Trigger 1 Schaltpunkt einstellen Trigger 2 Schaltpunkt einstellen Level, Intervall, Hysterese [L, I, H] GA 09.212/6.01 - 07/97... -
Seite 27: Parameterebene
2. Parameterebene Einheit Seite 6 MBAR, TORR, PA, MICRON PARA Faden-Material Wolfram, Nickel, Platin Seite 7 [Fil tu; Fil ni; Fil pt] PARA Anzeigeauflösung Seite 8 [STD, HIGH] PARA Abgleich Leitungslänge Seite 9 Autom. Leitungslängenabgleich [CLA] Leitungslängen in 5 m-Schritten [CL xxx] PARA Einstellung des Analogausgangs (log. - Seite 28 LEYBOLD INFICON Bonner Straße 498 (Bayenthal) D-50968 Köln Telefon: (0221) 347-0 Telefax: (0221) 347-1250 http://www.leyboldvac.de e-mail:documentation@leyboldvac.de GA 09.212/6.01 - 07/97...