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Pfeiffer Vacuum TC 110 E74 Betriebsanleitung
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Pfeiffer Vacuum TC 110 E74 Betriebsanleitung

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BETRIEBSANLEITUNG
DE
Original
TC 110 E74
Antriebselektronik

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Verwandte Anleitungen für Pfeiffer Vacuum TC 110 E74

Inhaltszusammenfassung für Pfeiffer Vacuum TC 110 E74

  • Seite 1 BETRIEBSANLEITUNG Original TC 110 E74 Antriebselektronik...

  • Seite 2: Inhaltsverzeichnis

    6.1 Steckerbelegung ..........13 Pfeiffer Vacuum Parametersatz ........14 7.1 Allgemeines .

  • Seite 3: Zu Dieser Anleitung

    Zu dieser Anleitung Zu dieser Anleitung Gültigkeit Diese Betriebsanleitung ist ein Kundendokument der Firma Pfeiffer Vacuum. Die Be- triebsanleitung beschreibt das benannte Produkt in seiner Funktion und vermittelt die wichtigsten Informationen für den sicheren Gebrauch des Gerätes. Die Beschreibung er- folgt nach den geltenden EU-Richtlinien.

  • Seite 4: Anweisung Im Text

    Zu dieser Anleitung Pictographs Verbot einer Handlung oder Tätigkeit im Zusammenhang mit einer Ge- fahrenquelle, deren Missachtung zu schwerwiegenden Unfällen führen kann Warnung vor der mit dem Piktogramm dargestellten Gefahr Gebot einer Handlung oder Tätigkeit im Umgang mit einer Gefahren- quelle, deren Missachtung zu schwerwiegenden Unfällen führen kann Wichtige Information zum Produkt oder zu diesem Dokument ...

  • Seite 5: Sicherheit

    ● Stromversorgung: Die Stromversorgung der Turbopumpe muss den Anforderungen für doppelte Isolierung zwischen Netzeingangsspannung und Betriebsspannung nach IEC 61010 und IEC 60950 entsprechen. Pfeiffer Vacuum empfiehlt, hierfür aus- schließlich Original-Netzteile und -Zubehör zu verwenden. Nur in diesem Fall kann Pfeiffer Vacuum die Einhaltung der Vorgaben aus europäischen und nordamerikani- schen Richtlinien gewährleisten.

  • Seite 6: Bestimmungsgemäße Verwendung

     Nach Einbau in eine Anlage ist der Betreiber verpflichtet, vor der Inbetriebnahme die Konformität des Gesamtsystems im Sinne der geltenden EU-Richtlinien zu überprü- fen und entsprechend neu zu bewerten. ● Die Antriebselektronik TC 110 E74 dient dem Betrieb von Pfeiffer Vacuum Turbopum- pen und deren Zubehör. Nicht bestimmungsgemäße Verwendung Bei nicht bestimmungsgemäßem Einsatz erlischt jeglicher Haftungs- und Gewährleis-...

  • Seite 7: Produktbeschreibung

    Informationen über weitere Zertifizierungen ggf. dem Prüfsiegel auf dem Produkt ent- nehmen oder unter: ● www.tuvdotcom.com ● TUVdotCOM-ID 0000021320 Die Antriebselektronik des Typs TC 110 E74 stellt einen festen Bestandteil der Turbo- Produktmerkmale pumpe dar. Sie dient dem Antrieb, der Überwachung sowie der Steuerung der gesamten Pumpe.

  • Seite 8: Maße

    Produktbeschreibung Maße Die Antriebselektronik TC 110 E74 hat abweichend zum Standardgerät TC 110 die fol- genden Abmessungen.  Abweichende Einbaumaße der Turbopumpe zu ihrer Betriebsanleitung berücksichti- gen. Allgemeine Anschlussbeschreibung PV.can M12 Buchse mit Schraubverriegelung und LED. Der Anschluss "PV.can" dient aus- schließlich Service-Zwecken.

  • Seite 9: Anschlussplan

    Anschlussplan Anschlussplan Kontaktbelastung max. 6 mA / Kontakt RS 485 + 24 VDC* RS 485 - n.c. Kontaktbelastung Zubehör je Anschluss: max. 200 mA Abb. 2: Anschlussplan und Belegung der TC 110 E74...

  • Seite 10: Anschluss "X3

    Anschluss "X3" Anschluss "X3" Fernbedienung und Spannungsversorgung sind über den 15-poligen D-Sub-Anschluss mit der Bezeichnung ”X3“ an der TC 110 E74 möglich.  Abgeschirmte Stecker und Kabel verwenden. Folgende Angaben stellen die Werkseinstellungen dar. Sie können mittels Pfeiffer Vacuum Parametersatz konfiguriert werden.
  • Seite 11 Die digitalen Eingänge am Anschluss "X3" dienen der Schaltung verschiedener Funkti- Eingänge onen der Antriebselektronik. Die Eingänge DI1 - DI2 sind ab Werk mit Funktionen belegt. Diese sind über die Schnittstelle RS-485 und den Pfeiffer Vacuum Parametersatz konfi- gurierbar. DI Remote Vorrang / Pin 2 V+ : Der Anschluss "X3"...
  • Seite 12 Anschluss "X3" Über Pin 13 und Pin 14 am Anschluss "X3" der Antriebselektronik ist die Anbindung je- RS-485 weils eines Pfeiffer Vacuum Anzeige- und Bediengerätes (DCU oder HPU) oder eines externen PC möglich. VORSICHT Gefahr eines elektrischen Schlages Die Isolationsmaßnahmen des Bussystems sind nur für die Verwendung von Sicher- heitskleinspannungen ausgelegt.

  • Seite 13: Anschluss "E74

    Anschluss "E74" Anschluss "E74" Der Anschluss "E74" an der TC 110 E74 mit 15-poliger Anschlussbuchse enthält neben den in der Richtlinie SEMI E74-0301 definierten Signalen ein invertiertes Alarmsignal. Input signal Output signal signal (+) signal (+) signal (-) signal (-) Die Signal(-)-Leitungen des "alarm status (+)"...

  • Seite 14: Pfeiffer Vacuum Parametersatz

    Anzeige * bedeutet ggf. Darstellung als Symbol Kurzbeschreibung des Parameters Bezeichnung Funktionsbeschreibung des Parameters Funktionen Art der Formatierung des Parameters für die Verwendung mit dem Pfeiffer Vacuum Datentyp Protokoll R: Lesezugriff; W: Schreibzugriff Zugriffsart Physikalische Einheit der beschriebenen Kenngröße Einheit Zulässige Grenzwerte für die Eingabe eines Wertes...
  • Seite 15 Pfeiffer Vacuum Parametersatz Stellbefehle default  Anzeige Bezeichnung Funktionen Einheit min max 001 Heating Heizung 0 = aus 1 = ein 002 Standby Standby 0 = aus 1 = ein 004 RUTimeCtrl Hochlaufzeitüberwachung 0 = aus 1 = ein 009 ErrorAckn Störungsquittierung...

  • Seite 16: Status Abfragen

    Pfeiffer Vacuum Parametersatz default  Anzeige Bezeichnung Funktionen Einheit min max 055 Cfg AO1 Konfiguration Ausgang AO1 0 = Istdrehzahl 1 = Leistung 2 = Strom 3 = immer 0 V 4 = immer 10 V 6 = Druckwert 1...
  • Seite 17 Pfeiffer Vacuum Parametersatz default  Anzeige Bezeichnung Funktionen Einheit min max ErrHist9 Fehlercode Historie, Pos. 9 ErrHist10 Fehlercode Historie, Pos. 10 SetRotSpd Solldrehzahl (1/min) 999999 ActualSpd Istdrehzahl (1/min) 999999 NominalSpd Nenndrehzahl (1/min) 999999 Sollwertvorgaben default  Anzeige Bezeichnung Funktionen Einheit min max...

  • Seite 18: Anschlüsse Konfigurieren

    Pfeiffer Vacuum Parametersatz Anschlüsse konfigurieren Die Antriebselektronik ist werkseitig vorkonfiguriert. Dadurch ist die Turbopumpe mit den notwendigsten Funktionen sofort betriebsbereit. Für individuelle Anforderungen können die meisten Anschlüsse der Antriebselektronik mit dem Parametersatz konfiguriert wer- den.  Konfiguration über Parameter [P:035], [P:036], [P:037] oder [P:038].
  • Seite 19 7 = Druckwert 2 (U-5,5 V) 1,5 - 8,5 V für Sensor RPT p (hPa) = 10 (U-10,5 V) 1,5 - 8,5 V für Sensor IKT p (hPa) = 10 9 V: Überschreitung 8 = Ansteuerung Vorvakuum Vorvakuumsignal; Ansteuerung von Pfeiffer Vacuum Turbopumpständen...

  • Seite 20: Arbeiten Mit Dem Pfeiffer Vacuum Parametersatz

    Das Pumpen von Gasen mit höheren Molekülmassen im falschen Gasmodus kann zur Zerstörung der Pumpe führen.  Auf korrekt eingestellten Gasmodus achten.  Vor Einsatz von Gasen mit größeren Molekülmassen (> 80) Pfeiffer Vacuum verständigen. ● Gasmodus "0” für Gase mit der Molekülmasse > 39, z. B. Argon.

  • Seite 21: Drehzahlschaltpunkt Einstellen

    Maximalleistung wird die Drehzahl der Turbopumpe reduziert, bis ein Gleichgewicht zwischen zulässiger Leistung und Gasreibung erreicht wird.  Um Drehzahlschwankungen zu vermeiden, empfiehlt Pfeiffer Vacuum eine etwas niedrigere Frequenz im Drehzahlstellbetrieb einzustellen.  Parameter [P:708] auf gewünschten Wert in % einstellen.
  • Seite 22 Pfeiffer Vacuum Parametersatz [P:017] = 0 [P:701] [P:010] [P:302] Process Abb. 4: Beispiel für Konfiguration Drehzahlschaltpunkt 1 aktiv Drehzahlschaltpunkt 1 & 2  Parameter [P:701] auf gewünschten Wert in % einstellen.  Parameter [P:719] auf gewünschten Wert in % einstellen.
  • Seite 23  Parameter [P:707] auf gewünschten Wert in % einstellen.  Parameter [P:026] = 1  Abfrage der Parameter [P:308]/[P:397]. Pfeiffer Vacuum empfiehlt den Standby-Betrieb der Turbopumpe während Prozess- oder Standby Betriebspausen. Bei aktiviertem Standby-Betrieb reduziert die Antriebselektronik die Drehzahl der Turbopumpe. Im Drehzahlstellbetrieb ist der Standby-Modus unwirksam.

  • Seite 24: Betrieb Mit Zubehör

    Vorvakuumdrücke der Vorpumpen erforden das individuelle Einstellen des Intervallbetriebs. Pfeiffer Vacuum empfiehlt den Intervallbetrieb zwischen 5 und 10 hPa. Für das Einstellen der Schaltschwellen ist eine Druckmesseinrichtung und ein Dosierventil notwendig.  Vakuumsystem mit der Funktion "Pumpstand" einschalten und Hochlauf abwarten.

  • Seite 25: Überwachung Der Thermischen Belastung

    Pfeiffer Vacuum Parametersatz Bei Unterschreiten der Flutdrehzahl öffnet das Flutventil für die eingestellte Flutzeit. Bei Netzausfall wird nach Unterschreiten der eingestellten Flutdrehzahl geflutet. Die Flut- dauer ist in diesem Fall abhängig von der gelieferten Restenergie des sich drehenden Rotors. Bei Netzwiederkehr wird der Flutvorgang abgebrochen.

  • Seite 26: Pfeiffer Vacuum Protokoll Auf "Rs-485

    Pfeiffer Vacuum Protokoll auf "RS-485" Pfeiffer Vacuum Protokoll auf "RS-485" Telegrammrahmen Der Telegrammrahmen des Pfeiffer Vacuum-Protokolls enthält nur Zeichen im ASCII- Code [32; 127] mit Ausnahme des Telegramm-Ende Zeichens . Grundsätzlich sendet ein Master  (z.B. ein PC) ein Telegramm, welches von einem Slave  (z.B. Antriebse- lektronik oder Transmitter) beantwortet wird.

  • Seite 27: Verwendete Datentypen

    Pfeiffer Vacuum Protokoll auf "RS-485" Beispiel 2 Stellbefehl Pumpstand einschalten (Parameter [P:010], Geräteadresse Slave: "042") ! ASCII Stellbefehl verstanden Pumpstand einschalten (Parameter [P:010], Geräteadresse Slave: "042")  ASCII Verwendete Datentypen Datentyp Beschreibung Länge l1 - l0 Beispiel falsch / wahr 000000 / 111111 pos.

  • Seite 28: Störungen

    Abb. 7: Verhalten und Bedeutung der LEDs an der Antriebselektronik Fehlercodes Fehler- Problem mögliche Ursachen Behebung code Err001 Überdrehzahl  Pfeiffer Vacuum Service verständigen  Quittieren nur bei Drehzahl f = 0 Err002 Überspannung – Falsches Netzteil verwendet  Netzteiltyp überprüfen  Netzteilspannung überprüfen Err006 Hochlaufzeitfehler –...
  • Seite 29 Problem mögliche Ursachen Behebung code Err010 Interner Gerätefehler  Pfeiffer Vacuum Service verständigen  Quittieren nur bei Drehzahl f = 0 Err021 Antriebselektronik erkennt Pumpe nicht  Pfeiffer Vacuum Service verständigen  Quittieren nur bei Drehzahl f = 0 Err043 Interner Konfigurationsfehler ...
  • Seite 30 Störungen Fehler- Problem mögliche Ursachen Behebung code Wrn116 Temperaturauswertung Lager fehlerhaft  Pfeiffer Vacuum Service verständigen Wrn117 Hohe Temperatur Pumpenunterteil – mangelhafte Kühlung  Kühlung verbessern  Einsatzbedingungen überprüfen Wrn118 Hohe Temperatur Endstufe – mangelhafte Kühlung  Kühlung verbessern  Einsatzbedingungen überprüfen Wrn119 Hohe Temperatur Lager –...

  • Seite 31: Konformitätserklärung

    EG-Richtlinien entspricht: ● Elektromagnetische Verträglichkeit 2014/30/EU ● Niederspannung 2014/35/EU ● Beschränkung der Verwendung bestimmter gefährlicher Stoffe 2011/65/EU TC 110 E74 Harmonisierte Normen und angewendete, nationale Normen und Spezifikationen: DIN EN 61000-3-2 : 2014 DIN EN 61000-3-3 : 2013...

  • Seite 32: Kompetenz In Theorie Und Praxis

    VAKUUMLÖSUNGEN AUS EINER HAND Pfeiffer Vacuum steht weltweit für innovative und individuelle Vakuumlösungen, für technologische Perfektion, kompetente Beratung und zuverlässigen Service. KOMPLETTES PRODUKTSORTIMENT Vom einzelnen Bauteil bis hin zum komplexen System: Wir verfügen als einziger Anbieter von Vakuumtechnik über ein komplettes Produktsortiment.

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