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TM 700 PB
Antriebselektronik
Betriebsanleitung
DE

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Inhaltsverzeichnis
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Inhaltszusammenfassung für Pfeiffer Vacuum TM 700 B

  • Seite 1 TM 700 PB Antriebselektronik Betriebsanleitung...
  • Seite 2: Inhaltsverzeichnis

    6.2 Betrieb über Anschluss "remote" ....... 15 Pfeiffer Vacuum Parametersatz ........18 7.1 Allgemeines .
  • Seite 3: Zu Dieser Anleitung

    Zu dieser Anleitung Zu dieser Anleitung Gültigkeit Diese Betriebsanleitung ist ein Kundendokument der Firma Pfeiffer Vacuum. Die Be- triebsanleitung beschreibt das benannte Produkt in seiner Funktion und vermittelt die wichtigsten Informationen für den sicheren Gebrauch des Gerätes. Die Beschreibung er- folgt nach den geltenden EU-Richtlinien.
  • Seite 4: Piktogramme

    Zu dieser Anleitung Piktogramme Verbot einer Handlung oder Tätigkeit im Zusammenhang mit einer Ge- fahrenquelle, deren Missachtung zu schwerwiegenden Unfällen führen kann Warnung vor der mit dem Piktogramm dargestellten Gefahr Gebot einer Handlung oder Tätigkeit im Umgang mit einer Gefahren- quelle, deren Missachtung zu schwerwiegenden Unfällen führen kann Wichtige Information zum Produkt oder zu diesem Dokument ...
  • Seite 5: Sicherheit

    ● Stromversorgung: Die Stromversorgung der Turbopumpe muss den Anforderungen für doppelte Isolierung zwischen Netzeingangsspannung und Betriebsspannung nach IEC 61010 und IEC 60950 entsprechen. Pfeiffer Vacuum empfiehlt, hierfür aus- schließlich Original-Netzteile und -Zubehör zu verwenden. Nur in diesem Fall kann Pfeiffer Vacuum die Einhaltung der Vorgaben aus europäischen und nordamerikani- schen Richtlinien gewährleisten.
  • Seite 6: Bestimmungsgemäße Verwendung

    Konformität des Gesamtsystems im Sinne der geltenden EU-Richtlinien zu überprü- fen und entsprechend neu zu bewerten. ● Die Antriebselektronik TM 700 PB dient dem Betrieb von Pfeiffer Vacuum Turbopum- pen und deren Zubehör in einem Bussystem Profibus-DP. Nicht bestimmungsgemäße Verwendung Bei nicht bestimmungsgemäßem Einsatz erlischt jeglicher Haftungs- und Gewährleis-...
  • Seite 7: Produktbeschreibung

    Anschlussspannung 48 V DC ± 5 % Anschlusspanel Profibus Turbopumpe HiPace 300 M, 700 M, 800M Zur sicheren Produktidentifikation bei der Kommunikation mit Pfeiffer Vacuum immer alle Angaben des Typenschildes bereithalten. TM 700 Mod.: PM C01 850 M.-No.: Ser.-No.: 12345678 48 V ±...
  • Seite 8: Funktion

    DC in Gehäusestecker mit Bajonettverriegelung für die Spannungsversorgung zwischen Pfeiffer Vacuum Netzteilen und der Antriebselektronik. accessory M12 Buchse mit Schraubverriegelung für den Anschluss von Pfeiffer Vacuum Zu- behör. Die Verwendung eines Y-Verteilers ermöglicht die Zweifachbelegung eines Anschlusses. PV.can M12 Buchse mit Schraubverriegelung und LED für den Anschluss einer integrierten Druckmessung und zu Pfeiffer Vacuum Servicezwecken.
  • Seite 9: Anschlussplan

    Anschlussplan Anschlussplan n.c. n.c. Zubehör A2 Zubehör B2 Kontaktbelastung Zubehör: 24 VDC 24 VDC -Pro Anschluss max. 20 0 mA -Summe aller Anschlüsse: max. 450 mA Zubehör A1 Zubehör B1 + 24 VDC* out Alle Ein- und Ausgänge in diesem Bereich sind galvanisch von +U B getrennt DI Motor Pumpe...
  • Seite 10: Anschluss "Profibus

    ● Für Parameterkanal (PPO1) und die Parametrierdaten können alle Pfeiffer Vacuum Parameter des Datentyps 0 ,1 ,2 und 7 verwendet werden. – Zusätzlich liefern die Pfeiffer Vacuum Parameter [P:303], [P:360] bis [P:369] Feh- lercodes gemäß ihrer Kodierung (siehe S. 13, Kap. 5.4).
  • Seite 11: Parameterkanal

    Anschluss "Profibus" ● Der Zugriff auf die Funktionen in den Modulen kann durch die externe Beschaltung der Antriebselektronik (z.B. "remote") beeinflusst werden. ● Ausgangsdaten beschreiben die Datenkommunikation vom Master (z.B. SPS) an die Antriebselektronik. ● Eingangsdaten beschreiben die Datenkommunikation von der Antriebselektronik an den Master (z.B.
  • Seite 12 Anschluss "Profibus" Ausgangsdaten Eingangsdaten Störungsquittierung; -> Einschaltsperre Warnung Drehzahlstellbetrieb Einschaltsperre (Wiedereinschalten nur durch Pumpstand aus und wieder ein) Fehler Betrieb (kein Fehler, Pumpstand und Motor Pumpe sind an, keine Einschaltsperre) Pumpstand Einschaltbereitschaft (kein Fehler, keine ein- schaltsperre, Freigabe Prozessdaten) PPO3 Byte Ausgangsdaten (4 Byte) Eingangsdaten (4 Byte) Steuerwort (siehe PPO1)
  • Seite 13: Erweiterte Diagnosedaten

    Anschluss "Profibus" Erweiterte Diagnosedaten Byte Bezeichnung Beschreibung Profibus Standarddiagnose festgelegt durch Profibus-Spezifikation Länge der externen Diagnosedaten 8-36 reserviert 37-38 aktueller Fehlercode 0: kein Fehler 1-999: Gerätefehler* 1001-1999: Gerätewarnung 1-999* 2000: unbekanntes Modul 3xxx: Parametrierdaten fehlerhaft gemäß Feh- lernummer im Parameterkanal** 39-69 interner Zustand *Gerätefehler und Warnungen sind in der Antriebselektronik verankert (siehe S.
  • Seite 14: Anschluss "Remote

    = 50 V DC; I = 1 A) DO Remote Vorrang GND: aus; V+: Remote Vorrang aktiv RS-485 D+ gemäß Spezifikation und Pfeiffer Vacuum Protokoll RS-485 D- gemäß Spezifikation und Pfeiffer Vacuum Protokoll Masse (GND*) Bezugsmasse für alle digitalen Eingänge und alle Ausgänge...
  • Seite 15: Betrieb Über Anschluss "Remote

    Die digitalen Eingänge am Anschluss "remote" dienen der Schaltung verschiedener Eingänge Funktionen der Antriebselektronik. Die Eingänge DI1 - DI2 sind ab Werk mit Funktionen belegt. Diese sind über die Schnittstelle RS-485 und den Pfeiffer Vacuum Parametersatz konfigurierbar. DI1 (Freigabe Fluten) / Pin 2...
  • Seite 16 U(V) Die digitalen Ausgänge am Anschluss "remote" sind mit maximal 24 V / 50 mA je Aus- Ausgänge gang belastbar. Alle unten aufgeführten Ausgänge sind mittels Pfeiffer Vacuum Parame- tersatz über die Schnittstelle RS-485 konfigurierbar (Beschreibung bezogen auf Werkseinstellungen). DO1 (Drehzahlschaltpunkt erreicht) / Pin 8 Active high nach Erreichen des Drehzahlschaltpunktes.
  • Seite 17 Warnungen; Relais 3 ist aktiv. Über Pin 24 und Pin 25 am Anschluss "remote" der Antriebselektronik ist die Anbindung RS-485 jeweils eines Pfeiffer Vacuum Anzeige- und Bediengerätes (DCU oder HPU) oder eines externen PC möglich. VORSICHT Gefahr eines elektrischen Schlages Die Isolationsmaßnahmen des Bussystems sind nur für die Verwendung von Sicher-...
  • Seite 18: Pfeiffer Vacuum Parametersatz

    Anzeige * bedeutet ggf. Darstellung als Symbol Kurzbeschreibung des Parameters Bezeichnung Funktionsbeschreibung des Parameters Funktionen Art der Formatierung des Parameters für die Verwendung mit dem Pfeiffer Vacuum Datentyp Protokoll R: Lesezugriff; W: Schreibzugriff Zugriffsart Physikalische Einheit der beschriebenen Kenngröße Einheit Zulässige Grenzwerte für die Eingabe eines Wertes...
  • Seite 19: Nur Für Profibus

    Pfeiffer Vacuum Parametersatz Nur für Profibus default  Anzeige Bezeichnung Funktionen Einheit min max Profibus Geräteadresse Fehlernummer 65535 Steuerwort 65535 Zustandswort 65535 Stellbefehle default  Anzeige Bezeichnung Funktionen Einheit min max 001 Heating Heizung 0 = aus 1 = ein...
  • Seite 20: Status Abfragen

    Pfeiffer Vacuum Parametersatz default  Anzeige Bezeichnung Funktionen Einheit min max 037 Cfg Acc A2 Konfiguration Zubehöranschluss A2 Optionen siehe [P:035] 038 Cfg Acc B2 Konfiguration Zubehöranschluss B2 Optionen siehe [P:035] 041 Press1HVen Freigabe HV-Sensor integriert (nur IKT) 0 = aus...
  • Seite 21 Pfeiffer Vacuum Parametersatz default  Anzeige Bezeichnung Funktionen Einheit min max DrvVoltage Antriebsspannung 9999.99 OpHrsElec Betriebsstunden Antriebselektronik 65535 Nominal Spd Nenndrehzahl (Hz) 999999 DrvPower Antriebsleistung 999999 PumpCycles Pumpenzyklen 65535 TempPwrStg Temperatur Endstufe °C 999999 TempElec Temperatur Elektronik °C 999999 BearngWear Verschleißgrad Fanglager...
  • Seite 22: Anschlüsse Konfigurieren

    Pfeiffer Vacuum Parametersatz Anschlüsse konfigurieren Die Antriebselektronik ist werkseitig vorkonfiguriert. Dadurch ist die Turbopumpe mit den notwendigsten Funktionen sofort betriebsbereit. Für individuelle Anforderungen können die meisten Anschlüsse der Antriebselektronik mit dem Parametersatz konfiguriert wer- den.  Konfiguration über Parameter [P:035], [P:036], [P:037] oder [P:038].
  • Seite 23: Arbeiten Mit Dem Pfeiffer Vacuum Parametersatz

    0 = aus Schnittstellenauswahl über [P:060] einstellbar 1 = ein Schnittstellenauswahl verriegelt Arbeiten mit dem Pfeiffer Vacuum Parametersatz Die Antriebselektronik ist werkseitig vorprogrammiert. Dadurch wird der einwandfreie Werkseinstellungen und sichere Betrieb der Turbopumpe ohne zusätzliche Konfiguration gewährleistet.  Vor dem Betrieb mit Parametern Sollwertvorgaben und Stellbefehle auf ihre Eignung Einstellungen über-...
  • Seite 24 Das Pumpen von Gasen mit höheren Molekülmassen im falschen Gasmodus kann zur Zerstörung der Pumpe führen.  Auf korrekt eingestellten Gasmodus achten.  Vor Einsatz von Gasen mit größeren Molekülmassen (> 80) Pfeiffer Vacuum verständigen. ● Gasmodus "0” für Gase mit der Molekülmasse > 39, z. B. Argon.
  • Seite 25: Drehzahlschaltpunkt Einstellen

    Pfeiffer Vacuum Parametersatz Der Drehzahlschaltpunkt kann zur Meldung "Pumpe für den Prozess betriebsbereit" ge- Drehzahlschaltpunkt nutzt werden. Überschreiten oder Unterschreiten des aktiven Drehzahlschaltpunkts ak- einstellen tiviert bzw. deaktiviert ein Signal am vorkonfigurierten Ausgang der Antriebselektronik und den Statusparameter [P:302]. Drehzahlschaltpunkt 1 ...
  • Seite 26 Wert ein.  Zulässigen Drehzahlbereich der Turbopume einhalten (siehe Kap. Technische Daten der Betriebsanleitung für die betreffende Turbopumpe). Pfeiffer Vacuum empfiehlt den Standby-Betrieb der Turbopumpe während Prozess- oder Standby Betriebspausen. Bei aktiviertem Standby-Betrieb reduziert die Antriebselektronik die Drehzahl der Turbopumpe.
  • Seite 27 Vorvakuumdrücke der Vorpumpen erforden das individuelle Einstellen des Intervallbetriebs. Pfeiffer Vacuum empfiehlt den Intervallbetrieb zwischen 5 und 10 hPa. Für das Einstellen der Schaltschwellen ist eine Druckmesseinrichtung und ein Dosierventil notwendig.  Vakuumsystem mit der Funktion "Pumpstand" einschalten und Hochlauf abwarten.
  • Seite 28: Betrieb Mit Zubehör

    Die Stärke der Beanspruchung der Fanglager orientiert sich an der Schwere der Störein- Fanglagerbeanspru- flüsse auf den laufenden Rotor. Die Beanspruchung der Fanglager wird in % der insge- chung samt möglichen Beanspruchung durch die Antriebselektronik aufsummiert und kann über die Schnittstelle RS-485 mittels Pfeiffer Vacuum Anzeige- und Bediengerät oder PC beobachtet werden.
  • Seite 29: Wuchtzustand

    ● Ausgabe entsprechender Warnmeldung ab 75 % Gesamtbeanspruchung. ● Ausgabe entsprechender Fehlermeldung ab 100 % Gesamtbeanspruchung. – Betrieb der Pumpe ist nicht mehr möglich. – Pfeiffer Vacuum Service verständigen. Die Magnetlagersensorik überwacht permanent den aktuellen Wuchtzustand des Ro- Wuchtzustand tors. Der Wuchtzustand in % der maximal möglichen Unwucht des Rotors wird durch die Antriebselektronik aufsummiert und kann über die Schnittstelle RS-485 mittels Pfeiffer...
  • Seite 30: Pfeiffer Vacuum Protokoll Auf "Rs-485

    Pfeiffer Vacuum Protokoll auf "RS-485" Pfeiffer Vacuum Protokoll auf "RS-485" Telegrammrahmen Der Telegrammrahmen des Pfeiffer Vacuum-Protokolls enthält nur Zeichen im ASCII- Code [32; 127] mit Ausnahme des Telegramm-Ende Zeichens . Grundsätzlich sendet ein Master  (z.B. ein PC) ein Telegramm, welches von einem Slave  (z.B. Antriebse- lektronik oder Transmitter) beantwortet wird.
  • Seite 31: Verwendete Datentypen

    Pfeiffer Vacuum Protokoll auf "RS-485" Beispiel 2 Stellbefehl Pumpstand einschalten (Parameter [P:010], Geräteadresse Slave: "042") ! ASCII Stellbefehl verstanden Pumpstand einschalten (Parameter [P:010], Geräteadresse Slave: "042")  ASCII Verwendete Datentypen Datentyp Beschreibung Länge l1 - l0 Beispiel 0 - boolean_old...
  • Seite 32: Störungen

    Abb. 8: Verhalten und Bedeutung der LEDs an der Antriebselektronik Fehlercodes Fehler- Problem mögliche Ursachen Behebung code Err001 Überdrehzahl  Pfeiffer Vacuum Service verständigen  Quittieren nur bei Drehzahl f = 0 Err002 Überspannung – Falsches Netzteil verwendet  Netzteiltyp überprüfen  Netzteilspannung überprüfen Err006 Hochlaufzeitfehler –...
  • Seite 33 Fehler- Problem mögliche Ursachen Behebung code Err021 Antriebselektronik erkennt Pumpe nicht  Pfeiffer Vacuum Service verständigen  Quittieren nur bei Drehzahl f = 0 Err041 Überstrom Motor  Pfeiffer Vacuum Service verständigen Err043 Interner Konfigurationsfehler  Pfeiffer Vacuum Service verständigen Err044 Übertemperatur Elektronik...
  • Seite 34 – Druckanstiegsgeschwindigkeit zu hoch;  Flutrate pumpenspezifisch überprüfen und Flutrate zu hoch anpassen Wrn801 Bremselektronik defekt  Pfeiffer Vacuum Service verständigen Wrn806 Bremswiderstand defekt  Pfeiffer Vacuum Service verständigen Wrn807 Anforderung Abgleich Positionssenso- – Wurde durch Zustandsbewertung emp-  Automatischer Abgleich bei Drehzahl f=0 fohlen Wrn890 Fanglagerverschleiß...
  • Seite 35: Konformitätserklärung

    DIN EN 61000-3-3 : 2006 DIN EN 61010-1 : 2010 DIN EN 61326-1 : 2006 DIN EN 62061 : 2005 Semi F47-0200 Semi S2-0706 Unterschriften: Pfeiffer Vacuum GmbH Berliner Straße 43 35614 Asslar Deutschland (M.Bender) (Dr. M. Wiemer) CE/2015 Geschäftsführer...
  • Seite 36 Vakuumlösungen Pfeiffer Vacuum steht weltweit für innovative und individuelle aus einer Hand Vakuumlösungen, für technologische Perfektion, kompetente Beratung und zuverlässigen Service. Komplettes Vom einzelnen Bauteil bis hin zum komplexen System: Produktsortiment Wir verfügen als einziger Anbieter von Vakuumtechnik über ein komplettes Produktsortiment.

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