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Transmitter anschließen Elektrische Versorgung anschließen 4.9.1 Gerät erden 4.9.2 Netzanschluss herstellen Schnittstellen Schnittstelle RS-485 Vernetzung über den Anschluss RS-485 Pfeiffer Vacuum Protokoll für RS-485-Schnittstelle 5.3.1 Telegrammrahmen 5.3.2 Telegrammbeschreibung 5.3.3 Telegramm Beispiel 1 5.3.4 Telegramm Beispiel 2 5.3.5 Datentypen Parametersatz Allgemeines...
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Statusabfragen Sollwertvorgaben Betrieb Gerät einschalten LC-Anzeige Statussymbole Tastenfunktionen Parameter anzeigen und konfigurieren Anschlüsse mit dem Pfeiffer Vacuum Parametersatz konfigurieren 7.6.1 Allgemeines 7.6.2 Digitalausgang und Relais konfigurieren 7.6.3 Analogausgang konfigurieren 7.6.4 Zubehöranschluss konfigurieren Betriebsarten 7.7.1 Fernbedienung 7.7.2 Gasartabhängiger Betrieb 7.7.3 Hochlaufzeit 7.7.4 Drehzahlschaltpunkt einstellen...
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Tab. 27: Betriebsarten Vorpumpe Tab. 28: Anzeigebeispiele für den Transmitter Tab. 29: Anzeigebeispiele für den Druckistwert Tab. 30: Verhalten und Bedeutung der LED Anzeige Tab. 31: Fehlermeldungen der Antriebselektronik Tab. 32: Warnmeldungen der Antriebselektronik Tab. 33: Zubehör Tab. 34: TCP 350 5/56...
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Anschlussdiagramm TCP350 mit Zubehöranschluss RJ45 Abb. 7: Drehzahlstellbetrieb Pin 7 und Pin 26 Abb. 8: Anschluss des Erdungskabels an das TCP 350 Abb. 9: Vernetzung von Turbopumpen über Schnittstelle RS-485 Abb. 10: LC-Anzeige, Überblick Abb. 11: Schema der Leistungskennlinien, Beispiel schwere Gase [P:027] = 0 Abb.
Aufbewahren für späteres Nachschlagen. 1.1 Gültigkeit Diese Betriebsanleitung ist ein Kundendokument der Firma Pfeiffer Vacuum. Die Betriebsanleitung be- schreibt das benannte Produkt in seiner Funktion und vermittelt die wichtigsten Informationen für den sicheren Gebrauch des Gerätes. Die Beschreibung erfolgt nach den geltenden Richtlinien. Alle Anga- ben in dieser Betriebsanleitung beziehen sich auf den aktuellen Entwicklungsstand des Produktes.
Dieser Abschnitt beschreibt alle vorhandenen Aufkleber auf dem Produkt, sowie deren Bedeutung. Typenschild (Beispiel) Typenschilder der Geräte befinden sich gut sichtbar auf dem Ge- Ser. Nr.: Mod.: TCP 350 häuse Mod--Nr.: PM C01 740 Input: 115/230 V -20/+15% 50/60 Hz Output: 0 -72 V / 6.5 A 420 VA...
Zu dieser Anleitung Abkürzung Bedeutung im Dokument Pirani Transmitter [P:xxx] Steuerparameter der Antriebselektronik. Fettgedruckt als dreistellige Nummer in ecki- gen Klammern. Häufig in Verbindung mit einer Kurzbezeichnung angezeigt. Beispiel: [P:312] Softwareversion Piezo/Pirani Transmitter RS-485 Standard für eine physische Schnittstelle für die asynchrone serielle Datenübertragung (Recommended Standard) Schalter am Netzteil Temperatur (in °C)
Sicherheit 2 Sicherheit 2.1 Allgemeine Sicherheitshinweise Im vorliegenden Dokument sind folgende 4 Risikostufen und 1 Informationslevel berücksichtigt. GEFAHR Unmittelbar bevorstehende Gefahr Kennzeichnet eine unmittelbar bevorstehende Gefahr, die bei Nichtbeachtung zum Tod oder zu schweren Verletzungen führt. ► Anweisung zur Vermeidung der Gefahrensituation WARNUNG Möglicherweise bevorstehende Gefahr Kennzeichnet eine bevorstehende Gefahr, die bei Nichtbeachtung zum Tod oder zu schweren Verlet-...
Sicherheit WARNUNG Lebensgefahr durch fehlende Netztrenneinrichtung Die Vakuumpumpe und die Antriebselektronik sind nicht mit einer Netztrenneinrichtung (Hauptschal- ter) ausgestattet. ► Installieren Sie eine Netztrenneinrichtung gemäß SEMI-S2. ► Sehen Sie einen Leistungsschalter mit einem Ausschaltvermögen von min. 10.000 A vor. WARNUNG Lebensgefahr durch elektrischen Schlag aufgrund nicht sachgerechter Installation Das Gerät verwendet berührungsgefährliche Spannung als elektrische Versorgung.
● Verwendung von Zubehör oder Ersatzteilen, die nicht in dieser Anleitung genannt sind 2.7 Personenqualifikation Die in diesem Dokument beschriebenen Arbeiten dürfen nur Personen ausführen, die die geeignete technische Ausbildung besitzen und über die nötigen Erfahrungen verfügen oder über Pfeiffer Vacuum an entsprechenden Schulungen teilgenommen haben. 12/56...
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Sicherheit Personen schulen 1. Schulen Sie technisches Personal am Produkt. 2. Lassen Sie zu schulendes Personal nur unter Aufsicht durch geschultes Personal mit und an dem Produkt arbeiten. 3. Lassen Sie nur geschultes technisches Personal mit dem Produkt arbeiten. 4. Stellen Sie sicher, dass beauftragtes Personal vor Arbeitsbeginn diese Betriebsanleitung und alle mitgeltenden Dokumente gelesen und verstanden hat, insbesondere Sicherheits-, Wartungs- und Instandsetzungsinformationen.
Produktbeschreibung 3 Produktbeschreibung 3.1 Produkt identifizieren ► Halten Sie zur sicheren Produktidentifikation bei der Kommunikation mit Pfeiffer Vacuum immer alle Angaben des Typenschildes bereit. ► Informieren Sie sich über Zertifizierungen durch Prüfsiegel auf dem Produkt oder unter www.certi- pedia.com mit der Firmen ID-Nr. 000021320.
REMOTE High Density D-Sub-Buchse mit 26 Polen für den Anschluss und die Konfiguration einer Fernbedienung. RS485 RJ45 Steckkontakt, 8-polig für den Anschluss von Pfeiffer Vacuum Bediengeräten ↑ (z. B. HPU oder eines PCs) mit RS485/RS232- oder RS485/USB-Adapter. SERVICE RJ45 Steckkontakt, 8-polig für Servicezwecke.
► Ziehen Sie den Netzstecker vom Gerät ab. ► Sichern Sie das Gerät gegen unbeabsichtigtes Wiedereinschalten. Der externe Anschluss einer Pfeiffer Vacuum Turbopumpe an die Antriebselektronik TCP 350 ist mit ge- schirmten Verbindungskabeln in verschiedenen Längen aus dem Pfeiffer Vacuum Zubehörprogramm möglich.
Installation Abb. 3: Turbopumpe an der Antriebselektronik anschließen 1 Antriebselektronik TCP 350 Befestigungsmaterial 2 Turbopumpe Erdungskabel PE 3 Anschluss "Vakuumpumpe" Pumpenanschlusskabel 4 Zubehöranschlüsse Anschluss "PUMP" am TCP Vorgehen 1. Verwenden Sie das entsprechende Verbindungskabel aus dem Lieferumfang der Antriebselektro- nik oder aus dem Zubehörprogramm.
Installation potential-free contacts Abb. 6: Anschlussdiagramm TCP350 mit Zubehöranschluss RJ45 4.5 Anschluss "SERVICE" Der Anschluss mit der Bezeichnung "SERVICE" an der Antriebselektronik dient ausschließlich Service- und Konfigurationszwecken. Die Anschlüsse sind galvanisch sicher von der maximal auftretenden Ver- 20/56...
Der 26-polige D-Sub-Anschluss mit der Bezeichnung "REMOTE" bietet die Möglichkeit der Fernbedie- nung der Antriebselektronik. Die bedienbaren Einzelfunktionen sind durch "SPS-Pegel" dargestellt. Die folgenden Angaben stellen die Werkseinstellungen der Antriebselektronik dar. Sie können diese mittels des Pfeiffer Vacuum Parametersatzes konfigurieren. Benötigte Werkzeuge ● kalibrierter Drehmomentschlüssel ●...
Die digitalen Eingänge am Anschluss "REMOTE" dienen der Schaltung verschiedener Funktionen der Antriebselektronik. Die Eingänge DI1 bis DI2 sind ab Werk mit Funktionen belegt. Diese können Sie über die Schnittstelle RS-485 und den Pfeiffer Vacuum Parametersatz konfigurieren. DI1 (Freigabe Fluten)/Pin 2...
U (V) Abb. 7: Drehzahlstellbetrieb Pin 7 und Pin 26 4.6.3 Ausgänge Die digitalen Ausgänge am Anschluss "REMOTE" haben eine Belastungsgrenze von maximal 24 V/ 50 mA pro Ausgang. Sie können alle unten aufgeführten Ausgänge mit dem Pfeiffer Vacuum Parame- 23/56...
Fehler Kontakt ge- schlosssen 4.7 Zubehör anschließen Installation und Betrieb von Zubehör Pfeiffer Vacuum bietet für Ihre Produkte eine Reihe von speziell abgestimmtem Zubehör ● Informationen und Bestellmöglichkeiten zu zugelassenem Zubehörportfolio für hybrid- gelagerte Turbopumpen finden Sie online. Zubehöranschluss an der Antriebselektronik TCP 350 Die Antriebselektronik der Turbopumpe bietet Platz für den Anschluss von maximal 2 Zube-...
Verfügbare Typen von Transmittern Vorgehen 1. Schließen Sie bei Bedarf einen Transmitter am Anschluss "GAUGE" an. 2. Entsprechende Verbindungskabel erhalten Sie im Pfeiffer Vacuum Zubehör. 3. Ändern Sie ggf. den Anzeigenamen des Transmitters über die Einstellung des Parameters [P:738]. 25/56...
Anschluss des Erdungskabels an das TCP 350 1 Erdungsanschluss Gehäuserückseite ● Der Erdungsanschluss ist für das TCP 350 obligatorisch, um applikative Störeinflüsse abzuleiten. ● Alternativ ist das TCP 350 nach dem Einbau in ein Rack geerdet. Vorgehensweise 1. Verwenden Sie den Erdungsanschluss auf der Geräterückseite (M4 Gewindebolzen).
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Installation 3. Stecken Sie das Netzanschlusskabel (nicht im Lieferumfang) in den Anschlussstecker "AC in" auf der Geräterückseite. 4. Sichern Sie die Verbindung mit dem Haltebügel. 5. Verbinden Sie das Netzkabel mit dem betreiberseitigen Versorgungsnetz. 27/56...
Tab. 13: Anschlussbelegung der RS-485 Anschlussbuchse RJ-45 Pfeiffer Vacuum Anzeige- und Bediengeräte oder PC anschließen 1. Verwenden Sie entsprechende Verbindungskabel aus dem Lieferumfang des Bediengerätes oder aus dem Zubehörprogramm. 2. Nutzen Sie die Möglichkeit, einen PC über den USB/RS-485-Konverter anzuschließen.
3. Achten Sie darauf, dass alle am Bus angeschlossenen Geräte unterschiedliche RS-485 Geräte- adressen haben [P:797]. 5.3 Pfeiffer Vacuum Protokoll für RS-485-Schnittstelle 5.3.1 Telegrammrahmen Der Telegrammrahmen des Pfeiffer Vacuum-Protokolls enthält nur Zeichen im ASCII-Code [32; 127] mit Ausnahme des Telegramm-Ende Zeichens C . Grundsätzlich sendet ein Master (z. B. ein PC) ein Telegramm, welches ein Slave (z.
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Schnittstellen Datentyp Beschreibung Länge Beispiel l1 – l0 u_expo_new Positive Exponentialzahl. Die letzten bei- 100023 entspricht den Stellen sind der Exponent mit einem 1,0 · 10 Abzug von 20. 100000 entspricht 1,0 · 10 string16 Beliebige Zeichenkette mit 16 Zeichen. das_ist-ein_Beispiel ASCII-Codes zwischen 32 und 127 string8...
Anzeige der Parameterbeschreibung im Display Beschreibung Kurzbeschreibung des Parameters Funktionen Funktionsbeschreibung des Parameters Datentyp Art der Formatierung des Parameters für die Verwendung mit dem Pfeiffer Vacuum Protokoll Zugriffsart R (read): Lesezugriff ; W (write): Schreibzugriff Einheit Physikalische Einheit der beschriebenen Kenngröße min.
Betrieb 7 Betrieb 7.1 Gerät einschalten WARNUNG Lebensgefahr durch elektrischen Schlag im Störungsfall Im Störungsfall stehen die mit dem Netz verbundenen Geräte möglicherweise unter Spannung. Es besteht Lebensgefahr durch elektrischen Schlag bei Berührung spannungsführender Komponenten. ► Halten Sie den Netzanschluss immer frei zugänglich, um die Verbindung jederzeit trennen zu können.
Betrieb Zeilen- Funktion nummer Zeile 3 hat 2 Funktionen: ● Funktion 1: Es erscheinen aktuelle, den Betrieb und die Bedienung betreffende Meldungen. ● Funktion 2: Darstellung eines gewünschten zweiten Parameters in der Form [Para- meternummer: Wert]. Die Funktion dieser Zeile läßt sich über Parameter [P:795] Servicelin in Zeile 1 einstellen.
● Drücken der Taste "EIN/AUS" ● Wenn Zeile 3 = leer, erscheint "data not changed". 7.6 Anschlüsse mit dem Pfeiffer Vacuum Parametersatz konfigurieren Die Antriebselektronik ist mit den Basisfunktionen werkseitig vorkonfiguriert und betriebsbereit. Für indi- viduelle Anforderungen können Sie die meisten Anschlüsse der Antriebselektronik mit dem Parameter- satz konfigurieren.
Betrieb 7.6.1 Allgemeines Werkseinstellungen wiederherstellen Für den Betrieb der Turbopumpe ohne zusätzliche Konfiguration ist die Antriebselektronik werkseitig vorprogrammiert. ► Stellen Sie bei Bedarf die Werkseinstellungen über Parameter [P:095] her. Einstellungen überprüfen 1. Überprüfen Sie vor dem Betrieb mit Parametern die Sollwertvorgaben und Stellbefehle auf ihre Eignung für den Prozess.
Betrieb 7.7 Betriebsarten 7.7.1 Fernbedienung Möglichkeiten ● Bedienung über die Tastatur der TCP 350 ohne explizite Priorisierung der Bedienschnittstellen (Standard) ● Fernbedienung über die Schnittstelle RS-485 ● Steuerung über die Schaltfunktionen des Anschlusses "REMOTE" ─ Anschluss mehrerer TCPs möglich Standardbetrieb einstellen ► Stellen Sie den Parameter [P:028] auf den Wert "0" ein.
Betrieb P max [P:708] C-D = Gas mode "0" A-B = Gas mode "1" Abb. 11: Schema der Leistungskennlinien, Beispiel schwere Gase [P:027] = 0 Leistungsaufnahme Nenndrehzahl Drehzahl Leistungskennlinie im Gasmodus "0" (Gase mit der Molekül- masse > 39, z. B. Argon) Maximale Leistungsauf- Leistungskennlinie im Gasmodus "1"...
Betrieb [P:017] = 0 f (%) [P:701] [P:010] [P:302] Process Abb. 12: Drehzahlschaltpunkt aktiv Drehzahlschaltpunkt einstellen Signalausgabe und Statusparameter orientieren sich am eingestellten Wert für den Drehzahlschalt- punkt [P:701]. ► Stellen Sie den Parameter [P:701] auf den gewünschten Wert in % ein. 7.7.5 Drehzahlstellbetrieb Der Drehzahlstellbetrieb dient der Reduzierung der Drehzahl und somit der Saugleistung der Turbo- pumpe.
Leerlauf und unterschiedliche Vorvakuumdrücke der Vorpumpen erfordern ein individuelles Ein- stellen des Intervallbetriebes. Pfeiffer Vacuum empfiehlt den Intervallbetrieb zwischen 5 und 10 hPa. Für das Einstellen der Schalt- schwellen benötigen Sie eine Druckmesseinrichtung und ein Dosierventil. 1. Stellen Sie den Parameter [P:025] auf "1".
Betrieb 7.7.9 Betrieb mit Zubehör Installation und Betrieb von Zubehör Pfeiffer Vacuum bietet für Ihre Produkte eine Reihe von speziell abgestimmtem Zubehör ● Informationen und Bestellmöglichkeiten zu zugelassenem Zubehör finden Sie online. ● Das im Folgenden beschriebene Zubehör ist nicht im Lieferumfang enthalten.
Betrieb 7.7.11 Transmitter betreiben Druckmessung Die Antriebselektronik bietet eine annähernde Messgenauigkeit. Für die exakte Druckmes- sung, besonders bei linearen Transmittern im unteren Druckbereich, eignen sich Pfeif- fer Vacuum Mesgeräte. Aktiven Transmitter anzeigen Das Gerät erkennt Transmitter der gleichen Kennwiderstandsgruppe. 1. Stellen Sie den Parameter [P:794] auf "1" (Anzeige erweiterter Parametersatz). 2.
Betrieb Symbol LED Status Anzeige Bedeutung stromlos Ein, blitzend "Pumpstand AUS", Drehzahl ≤ 60 min-1 Grün Ein, invers blitzend "Pumpstand EIN", Solldrehzahl nicht erreicht Ein, konstant "Pumpstand EIN", Solldrehzahl erreicht Ein, blinkend "Pumpstand AUS", Drehzahl > 60 min-1 kein Fehler, keine Warnung Ein, blitzend Warnung Ein, konstant...
Wartung 8 Wartung WARNUNG Lebensgefahr durch elektrischen Schlag bei Wartungs- und Servicearbeiten Das Gerät ist nur bei gezogenem Netzstecker und stillstehender Vakkumpumpe völlig spannungsfrei. Es besteht Lebensgefahr durch elektrischen Schlag bei Berührung spannungsführender Komponen- ten. ► Schalten Sie vor allen Arbeiten den Hauptschalter aus. ►...
Schutz von Umwelt und Personen betreffenden Vorschriften er- folgen, um die Verschwendung von Naturressourcen zu reduzieren und Verschmutzungen zu verhindern. 9.1 Allgemeine Entsorgungshinweise Pfeiffer Vacuum Produkte enthalten Werkstoffe, die Sie recyclen müssen. ► Entsorgen Sie unsere Produkte nach Beschaffenheit als – Eisen – Aluminium –...
Warnungen (* Warning F––– *) führen nicht zum Abschalten von Komponenten. Fehlermeldungen behandeln 1. Lesen Sie Fehlercodes über Pfeiffer Vacuum Anzeige- und Bediengeräte oder einen PC aus. 2. Beseitigen Sie die Ursache der Störung. 3. Setzen Sie die Fehlermeldung mit Parameter [P:009] zurück.
Störungen Fehler- Problem mögliche Ursachen Behebung code Err037 Fehlerhafte Moto- ● Verständigen Sie den Pfeiffer Vacuum Service rendstufe oder Steuerung Err040 Fehlerhafte Spei- ● Verständigen Sie den Pfeiffer Vacuum Service chererweiterung Err043 Speichern von Pa- ● Interner Konfigurationsfehler ● Verständigen Sie den Pfeiffer Vacuum Service...
Wir sind stets darauf bedacht, unsere Kernkompetenz, den Service an Vakuumkomponenten, zu per- fektionieren. Nach dem Kauf eines Produktes von Pfeiffer Vacuum ist unser Service noch lange nicht zu Ende. Oft fängt Service dann erst richtig an. Natürlich in bewährter Pfeiffer Vacuum Qualität.
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6. Bringen Sie die Erklärung zur Kontaminierung außen an der Verpa- ckung an. ERKLÄRUNG KONTAMINIERUNG 7. Senden Sie nun Ihr Produkt an Ihr lokales Service Center. 8. Sie erhalten eine Rückmeldung/ein Angebot von Pfeiffer Vacuum. Für alle Serviceaufträge gelten unsere Verkaufs- und Lieferbedingungen sowie die Reparatur- und War- tungsbedingungen für Vakuumgeräte und -komponenten.
Netzkabel 208 V AC, NEMA 6-15 auf C13, 3 m P 4564 309 ZF Verbindungskabel TCP 350 - HiPace mit 2 Zubehörports M8, 3 m PM 061 353 -T Verbindungskabel TCP 350 - HiPace mit 2 Zubehörports M12, 3 m...