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BETRIEBSANLEITUNG
DE
Original
TC 400 EC
Antriebselektronik

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Inhaltszusammenfassung für Pfeiffer Vacuum TC 400 EC

  • Seite 1 BETRIEBSANLEITUNG Original TC 400 EC Antriebselektronik...
  • Seite 2 6.3 Vernetzung über den Anschluss RS-485 ......20 Pfeiffer Vacuum Parametersatz ........21 7.1 Allgemeines .
  • Seite 3 Ausschalten......... . 33 Pfeiffer Vacuum Protokoll auf "RS-485" ......34 8.1 Telegrammrahmen .
  • Seite 4 Zu dieser Anleitung Zu dieser Anleitung Gültigkeit Diese Betriebsanleitung ist ein Kundendokument der Firma Pfeiffer Vacuum. Die Be- triebsanleitung beschreibt das benannte Produkt in seiner Funktion und vermittelt die wichtigsten Informationen für den sicheren Gebrauch des Gerätes. Die Beschreibung er- folgt nach den geltenden EU-Richtlinien.
  • Seite 5 Zu dieser Anleitung 1.2.2 Piktogramme Verbot einer Handlung oder Tätigkeit im Zusammenhang mit einer Ge- fahrenquelle, deren Missachtung zu schwerwiegenden Unfällen führen kann Warnung vor der mit dem Piktogramm dargestellten Gefahr Gebot einer Handlung oder Tätigkeit im Umgang mit einer Gefahren- quelle, deren Missachtung zu schwerwiegenden Unfällen führen kann Wichtige Information zum Produkt oder zu diesem Dokument 1.2.3...
  • Seite 6 ● Stromversorgung: Die Stromversorgung der Turbopumpe muss den Anforderungen für doppelte Isolierung zwischen Netzeingangsspannung und Betriebsspannung nach IEC 61010 und IEC 60950 entsprechen. Pfeiffer Vacuum empfiehlt, hierfür aus- schließlich Original-Netzteile und -Zubehör zu verwenden. Nur in diesem Fall kann Pfeiffer Vacuum die Einhaltung der Vorgaben aus europäischen und nordamerikani- schen Richtlinien gewährleisten.
  • Seite 7  Nach Einbau in eine Anlage ist der Betreiber verpflichtet, vor der Inbetriebnahme die Konformität des Gesamtsystems im Sinne der geltenden EU-Richtlinien zu überprü- fen und entsprechend neu zu bewerten. ● Die Antriebselektronik TC 400 EC dient dem Betrieb von Pfeiffer Vacuum Turbopum- pen und deren Zubehör. Nicht bestimmungsgemäße Verwendung Bei nicht bestimmungsgemäßem Einsatz erlischt jeglicher Haftungs- und Gewährleis-...
  • Seite 8 Zur sicheren Produktidentifikation bei der Kommunikation mit Pfeiffer Vacuum immer alle Angaben des Typenschildes bereithalten. 3.1.1 Produktmerkmale Die Antriebselektronik des Typs TC 400 EC stellt einen festen Bestandteil der Turbopum- pe dar. Sie dient dem Antrieb, der Überwachung sowie der Steuerung der gesamten Pumpe. Merkmal...
  • Seite 9 M12 Buchse (D-kodiert) mit Schraubverriegelung und L/A-LED für den Anschluss einer EtherCAT-Leitung zum nächsten Gerät. RS-485 M12 Buchse mit Schraubverriegelung für den Anschluss von Pfeiffer Vacuum Be- diengeräten oder PC. Die Verwendung eines Y-Verteilers ermöglicht die Einbin- dung in ein Bussystem.
  • Seite 10 24 V DC*** GND*** CAN-L n.c. RS 485 D + 24 V DC* out GND* RS 485 D - n.c. n.c. + U B (+24 / +48 VDC ± 10 %) Abb. 3: Anschlussplan und Belegung der TC 400 EC...
  • Seite 11 Die Verwendung von Ethernet Switches und Hubs ist nicht vorgesehen. 5.1.1 Projektierung  Zur Projektierung die ESI-Datei "TC 400 EC.xml" verwenden ( im Lieferumfang). Geräte-Identifikation EtherCAT-Geräte werden grundsätzlich durch ihre Position im Bus adressiert. Eine klas- sische Adresseinstellung ist nicht notwendig.
  • Seite 12 Verbindung aktiv "BOOTSTRAP" booting error Prozessdaten Prozessausgangsdaten ● Prozessausgangsdaten sind wie folgt vordefiniert: Default RxPDO (Steuerung -> TC 400 EC, "output"), CoE 1600h.1-4 (1 Byte) Byte.Bit Bedeutung 7000.01 Turbo Start Stop Pumpstand (0: aus, 1: ein) 7000.02 Turbo Reset Alarm 0->1: Störungsquittierung...
  • Seite 13 Anschluss "EtherCAT" Byte.Bit Bedeutung 6000.01 Rotation Pumpe dreht > 60 min (0: nein, 1: ja) 6000.02 Normal Normalbetrieb (0: nein, 1: ja) 6000.03 Acceleration Pumpe beschleunigt (0: nein, 1: ja) 6000.04 Deceleration Pumpe verzögert (0: nein, 1: ja) 6000.05 Remote / Local Steuerung über EtherCAT (0: ja, 1: nein) 6000.07 Turbo Low Speed Standby (0: aus, 1: ein)
  • Seite 14 F9F8 FW Update Funct. Gen. Number (1) UDINT 1. Idx = Index, sIdx = Subindex, hexadezimal 2. RO = nur lesbar, RW = les-/schreibbar, P = für Prozessdaten geeignet Eingangsdaten (TC 400 EC -> Steuerung) sIdx Name Zugriff Beschreibung 2000...
  • Seite 15 Anschluss "EtherCAT" sIdx Name Zugriff Beschreibung Speed Status USINT RO P 0: gestoppt (< 60 min 1: beschleunigt 2: auf Drehzahl 3: verzögert Actual Speed (rel.) SINT RO P Actual Speed (abs.) DINT RO P Ready for Process BOOL RO P Drehzahlschaltpunkt erreicht (0: nein, 1: ja) 2002...
  • Seite 16 F9F7 Total Time Powered UDINT RO P 1. Idx = Index, sIdx = Subindex, hexadezimal 2. RO = nur lesbar, RW = les-/schreibbar, P = für Prozessdaten geeignet Ausgangsdaten (Steuerung -> TC 400 EC) sIdx Name Zugriff Beschreibung 3005 Out Component Operation Htg.
  • Seite 17 : 01 00 00 00 status USINT response BYTE() 1. Idx = Index, sIdx = Subindex, hexadezimal 2. RO = nur lesbar, RW = les-/schreibbar, P = für Prozessdaten geeignet Konfigurationsdaten (Steuerung -> TC 400 EC) sIdx Name Zugriff Beschreibung 4001 Cfg Pump Operation Intf.
  • Seite 18 Anschluss "EtherCAT" sIdx Name Zugriff Beschreibung DI1 Configuration USINT 0: deaktiviert 1: Freigabe Fluten 2: Heizung 3: Sperrgas 4: Hochlaufzeitüberwachung 5: Drehzahlstellbetrieb DI2 Configuration USINT siehe 4009.01 DI3 Configuration USINT siehe 4009.01 DO1 Configuration USINT 0: Drehzahlschaltpunkt erreicht 1: kein Fehler 2: Fehler 3: Warnung 4: Fehler und/oder Warnung...
  • Seite 19 Verbindungen Über den Anschluss mit der Bezeichnung ”RS-485“ an der Antriebselektronik ist die An- bindung eines Pfeiffer Vacuum Anzeige- und Bediengerätes (DCU oder HPU) oder ei- nes externen PC möglich. Die Schnittstelle ist galvanisch sicher von der maximal auftre- tenden Versorgungsspannung der Antriebselektronik getrennt. Die elektrischen Verbindungen sind intern optisch entkoppelt.
  • Seite 20 Anschluss "RS-485" Vernetzung über den Anschluss RS-485 USB/RS-485-converter USB/RS-485-converter TC/TM TC/TM RS 485 RJ45 TC 600 / 750 VORSICHT Gefahr eines elektrischen Schlages Die Isolationsmaßnahmen des Bussystems sind nur für die Verwendung von Sicher- heitskleinspannungen ausgelegt.  Nur geeignete Geräte an das Bussystem anschließen. ...
  • Seite 21 Anzeige * bedeutet ggf. Darstellung als Symbol Kurzbeschreibung des Parameters Bezeichnung Funktionsbeschreibung des Parameters Funktionen Art der Formatierung des Parameters für die Verwendung mit dem Pfeiffer Vacuum Datentyp Protokoll R: Lesezugriff; W: Schreibzugriff Zugriffsart Physikalische Einheit der beschriebenen Kenngröße Einheit Zulässige Grenzwerte für die Eingabe eines Wertes...
  • Seite 22 Pfeiffer Vacuum Parametersatz 7.2.3 Stellbefehle default  Anzeige Bezeichnung Funktionen Einheit min max 001 Heating Heizung 0 = aus 1 = ein 002 Standby Standby 0 = aus 1 = ein 004 RUTimeCtrl Hochlaufzeitüberwachung 0 = aus 1 = ein 009 ErrorAckn Störungsquittierung...
  • Seite 23 Pfeiffer Vacuum Parametersatz default  Anzeige Bezeichnung Funktionen Einheit min max 041 Press1HVen Freigabe HV-Sensor integriert (nur IKT) 0 = aus 1 = ein 2 = ein, bei Drehzahlschaltpunkt erreicht 3 = ein, bei Druckschaltpunkt unterschrit- 045 Cfg Rel R1...
  • Seite 24 Pfeiffer Vacuum Parametersatz default  Anzeige Bezeichnung Funktionen Einheit min max DrvPower Antriebsleistung 999999 PumpCycles Pumpenzyklen 65535 TempPwrStg Temperatur Endstufe °C 999999 TempElec Temperatur Elektronik °C 999999 TempPmpBot Temperatur Pumpenunterteil °C 999999 AccelDecel Beschleunigung / Verzögerung rpm/s 999999 SealGasFlw Sperrgasfluss...
  • Seite 25 Pfeiffer Vacuum Parametersatz 7.3.1 Zubehöranschluss  Konfiguration über Parameter [P:035], [P:036], [P:037] oder [P:038]. Option Beschreibung 0 = Lüfter (Dauerbetrieb) Steuerung über Parameter Pumpstand 1 = Flutventil, stromlos geschlossen Steuerung über Parameter Freigabe Fluten. Bei Verwen- dung eines stromlos geschlossenen Flutventils 2 = Heizung Steuerung über Parameter Heizung und Drehzahlschalt-...
  • Seite 26 1,5 - 8,5 V für Sensor RPT p (hPa) = 10 (U-10,5 V) 1,5 - 8,5 V für Sensor IKT p (hPa) = 10 9 V: Überschreitung 8 = Ansteuerung Vorvakuum Vorvakuumsignal; Ansteuerung von Pfeiffer Vacuum Turbopumpständen 7.3.5 Analogeingang an "remote"  Konfiguration über Parameter [P:057].
  • Seite 27 Das Pumpen von Gasen mit höheren Molekülmassen im falschen Gasmodus kann zur Zerstörung der Pumpe führen.  Auf korrekt eingestellten Gasmodus achten.  Vor Einsatz von Gasen mit größeren Molekülmassen (> 80) Pfeiffer Vacuum verständigen. ● Gasmodus "0” für Gase mit der Molekülmasse > 39, z. B. Argon.
  • Seite 28 Pfeiffer Vacuum Parametersatz  Um Drehzahlschwankungen zu vermeiden, empfiehlt Pfeiffer Vacuum eine etwas niedrigere Frequenz im Drehzahlstellbetrieb einzustellen. 7.4.4 Vorgabe Leistungsaufnahme  Parameter [P:708] auf gewünschten Wert in % einstellen. Bei Einstellung der Vorgabe Leistungsaufnahme unter 100 % verlängert sich die Hoch- laufzeit.
  • Seite 29 Pfeiffer Vacuum Parametersatz Bei eingeschaltetem Pumpstand [P:010] gilt der Drehzahlschaltpunkt 1 als Signalgeber. Bei ausgeschaltetem Pumpstand orientieren sich Signalausgabe und Statusabfrage am Drehzahlschaltpunkt 2. Die Signalausgabe unterliegt der Hysterese zwischen den bei- den Schaltpunkten. [P:017] = 1 [P:701] [P:719] [P:010]...
  • Seite 30 Schwankungen bei der Leistungsaufnahme von Turbopumpen im Leer- lauf und unterschiedliche Vorvakuumdrücke der Vorpumpen erforden das individuelle Einstellen des Intervallbetriebs. Pfeiffer Vacuum empfiehlt den Intervallbetrieb zwischen 5 und 10 hPa. Für das Einstellen der Schaltschwellen ist eine Druckmesseinrichtung und ein Dosierventil notwendig.
  • Seite 31 Das Signal kann auch dem Schalten eines Vorvakuum-Sicherheitsventils dienen. 7.4.11 Standby-Betrieb Vorpumpe Angeschlossene Pfeiffer Vacuum Vorpumpen mit Drehzahlregelung können durch Kon- figuration eines Digitalausgangs [P:019] oder [P:024] in Standby-Betrieb gebracht wer- den. Dabei schaltet das Pumpstandsignal die Vorpumpe bei entsprechender Leistungs- aufnahme der Turbopumpe nicht aus, sondern in Betrieb mit verminderter Drehzahl.
  • Seite 32 Pfeiffer Vacuum Parametersatz Lüfter Zwei Optionen in der Anschlusskonfiguration ermöglichen den Dauerbetrieb oder das temperaturgeregelte Ein- und Ausschalten einer angeschlossenen Luftkühlung (siehe S. 24, Kap. 7.3). Schwellenwerte sind typenspezifisch in der Antriebselektronik verankert. Sperrgasventil  Mit Parameter [P:050] ein angeschlossenes Sperrgasventil über den vorkonfigurier- ten Ausgang ein- oder ausschalten.
  • Seite 33 Pfeiffer Vacuum Parametersatz Pumpe ein-/ausschalten 7.5.1 Einschalten Die Funktion "Pumpstand" umfasst den Betrieb der Turbopumpe mit der Steuerung aller angeschlossenen Zubehörgeräte (z.B. Vorpumpe).  Stromversorgung mit Schalter S1 am Netzteil einschalten.  Parameter [P:023] = 1  Parameter [P:010] = 1 Anstehende (und behobene) Störungsmeldungen werden zurückgesetzt.
  • Seite 34 Pfeiffer Vacuum Protokoll auf "RS-485" Pfeiffer Vacuum Protokoll auf "RS-485" Telegrammrahmen Der Telegrammrahmen des Pfeiffer Vacuum-Protokolls enthält nur Zeichen im ASCII- Code [32; 127] mit Ausnahme des Telegramm-Ende Zeichens . Grundsätzlich sendet ein Master  (z.B. ein PC) ein Telegramm, welches von einem Slave  (z.B. Antriebse- lektronik oder Transmitter) beantwortet wird.
  • Seite 35 Pfeiffer Vacuum Protokoll auf "RS-485" 8.2.2 Beispiel 2 Stellbefehl Pumpstand einschalten (Parameter [P:010], Geräteadresse Slave: "042") ! ASCII Stellbefehl verstanden Pumpstand einschalten (Parameter [P:010], Geräteadresse Slave: "042")  ASCII Verwendete Datentypen Datentyp Beschreibung Länge l1 - l0 Beispiel 0 - boolean_old...
  • Seite 36 Abb. 12: Verhalten und Bedeutung der LEDs an der Antriebselektronik Fehlercodes Fehler- Problem mögliche Ursachen Behebung code Err001 Überdrehzahl  Pfeiffer Vacuum Service verständigen  Quittieren nur bei Drehzahl f = 0 Err002 Überspannung – Falsches Netzteil verwendet  Netzteiltyp überprüfen  Netzteilspannung überprüfen Err006 Hochlaufzeitfehler –...
  • Seite 37 Problem mögliche Ursachen Behebung code Err010 Interner Gerätefehler  Pfeiffer Vacuum Service verständigen  Quittieren nur bei Drehzahl f = 0 Err021 Antriebselektronik erkennt Pumpe nicht  Pfeiffer Vacuum Service verständigen  Quittieren nur bei Drehzahl f = 0 Err043 Interner Konfigurationsfehler ...
  • Seite 38 Störungen Fehler- Problem mögliche Ursachen Behebung code Wrn116 Temperaturauswertung Lager fehlerhaft  Pfeiffer Vacuum Service verständigen Wrn117 Hohe Temperatur Pumpenunterteil – mangelhafte Kühlung  Kühlung verbessern  Einsatzbedingungen überprüfen Wrn118 Hohe Temperatur Endstufe – mangelhafte Kühlung  Kühlung verbessern  Einsatzbedingungen überprüfen Wrn119 Hohe Temperatur Lager –...
  • Seite 39 EG-Richtlinien entspricht: ● Elektromagnetische Verträglichkeit 2014/30/EU ● Niederspannung 2014/35/EU ● Beschränkung der Verwendung bestimmter gefährlicher Stoffe 2011/65/EU TC 400 EC Harmonisierte Normen und angewendete, nationale Normen und Spezifikationen: DIN EN 61000-3-2 : 2014 DIN EN 61000-3-3 : 2013...
  • Seite 40 VAKUUMLÖSUNGEN AUS EINER HAND Pfeiffer Vacuum steht weltweit für innovative und individuelle Vakuumlösungen, für technologische Perfektion, kompetente Beratung und zuverlässigen Service. KOMPLETTES PRODUKTSORTIMENT Vom einzelnen Bauteil bis hin zum komplexen System: Wir verfügen als einziger Anbieter von Vakuumtechnik über ein komplettes Produktsortiment.