Herunterladen Inhalt Inhalt
Teilen
Diese Seite drucken
Pfeiffer Vacuum TC 1200 E74 Betriebsanleitung
  1. Anleitungen
  2. Marken
  3. Pfeiffer Vacuum Anleitungen
  4. Antriebssysteme
  5. TC 1200 E74
  6. Betriebsanleitung
Pfeiffer Vacuum TC 1200 E74 Betriebsanleitung

Pfeiffer Vacuum TC 1200 E74 Betriebsanleitung

Vorschau ausblenden
Inhaltsverzeichnis

Werbung

Quicklinks

Diese Anleitung herunterladen
BETRIEBSANLEITUNG
DE
Original
TC 1200 E74
Antriebselektronik

Werbung

Inhaltsverzeichnis
loading

Verwandte Anleitungen für Pfeiffer Vacuum TC 1200 E74

Inhaltszusammenfassung für Pfeiffer Vacuum TC 1200 E74

  • Seite 1 BETRIEBSANLEITUNG Original TC 1200 E74 Antriebselektronik...

  • Seite 2: Haftungsausschluss

    Verwendung widersprechen oder explizit als vorhersehbarer Fehlgebrauch definiert sind. Urheberrechtshinweis (Copyright) Dieses Dokument ist das geistige Eigentum von Pfeiffer Vacuum, und alle Inhalte dieses Dokuments sind urheberrechtlich geschützt (Copyright). Sie dürfen ohne vorherige schriftliche Genehmigung von Pfeiffer Vacuum weder ganz noch auszugsweise kopiert, verändert, vervielfältigt oder veröffentlicht werden.

  • Seite 3: Inhaltsverzeichnis

    5.3.3 Telegramm Beispiel 1 5.3.4 Telegramm Beispiel 2 5.3.5 Datentypen Parametersatz Allgemeines Stellbefehle Statusabfragen Sollwertvorgaben Zusätzliche Parameter für das DCU Betrieb Anschlüsse mit dem Pfeiffer Vacuum Parametersatz konfigurieren 7.1.1 Anschluss "E74" konfigurieren 7.1.2 Zubehöranschlüsse konfigurieren 7.1.3 Schnittstellen auswählen Betriebsarten 7.2.1 Gasartabhängiger Betrieb 3/48...
  • Seite 4 7.2.7 Drehzahlvorgabe bestätigen 7.2.8 Betriebsarten Vorpumpe 7.2.9 Standby-Betrieb Vorpumpe 7.2.10Betrieb mit Zubehör 7.2.11Flutmodi Turbopumpe einschalten Turbopumpe ausschalten Betriebsüberwachung 7.5.1 Betriebsanzeige über LED 7.5.2 Temperaturüberwachung Störungen Allgemeines Fehlercodes Warn- und Fehlermeldungen bei Betrieb mit DCU Servicelösungen von Pfeiffer Vacuum Konformitätserklärung 4/48...
  • Seite 5 Tabellenverzeichnis Tabellenverzeichnis Tab. 1: Aufkleber auf dem Produkt Tab. 2: Verwendete Abkürzungen im Dokument Tab. 3: Zulässige Umgebungsbedingungen Tab. 4: Merkmale der Gerätevariante Tab. 5: Abgegebene Antriebsleistung in Abhängigkeit der bereitgestellten Netzspan- nung Tab. 6: Anschlussbeschreibung der Antriebselektronik Tab. 7: Anschlussbelegung des 15-poligen Anschlusses "E74"...
  • Seite 6 Abbildungsverzeichnis Abbildungsverzeichnis Abb. 1: Anschlusspanel TC 1200 E74 Abb. 2: Diagramm und Belegung des Anschlusspanels Abb. 3: RS-485 Geräte anschließen Abb. 4: Schnittstelle "E74" Abb. 5: Vernetzung mehrerer Antriebselektroniken im RS-485 Bus Abb. 6: Schema der Leistungskennlinien, Beispiel schwere Gase [P:027] = 0 Abb.

  • Seite 7: Zu Dieser Anleitung

    Aufbewahren für späteres Nachschlagen. 1.1 Gültigkeit Diese Betriebsanleitung ist ein Kundendokument der Firma Pfeiffer Vacuum. Die Betriebsanleitung be- schreibt das benannte Produkt in seiner Funktion und vermittelt die wichtigsten Informationen für den sicheren Gebrauch des Gerätes. Die Beschreibung erfolgt nach den geltenden Richtlinien. Alle Anga- ben in dieser Betriebsanleitung beziehen sich auf den aktuellen Entwicklungsstand des Produktes.

  • Seite 8: Aufkleber Auf Dem Produkt

    Bedeutung im Dokument AI / AO Analoger Eingang / Analoger Ausgang Ausschaltvermögen (Ampere interrupting capacity) Display Control Unit (Anzeige- und Bediengerät von Pfeiffer Vacuum) DI / DO Digitaler Eingang / Digitaler Ausgang Ausführung in Anlehnung an SEMI E74 Betrag der Drehzahl einer Vakuumpumpe (frequency, in 1/min oder Hz) Handheld Programming Unit.

  • Seite 9: Sicherheit

    Sicherheit 2 Sicherheit 2.1 Allgemeine Sicherheitshinweise Im vorliegenden Dokument sind folgende 4 Risikostufen und 1 Informationslevel berücksichtigt. GEFAHR Unmittelbar bevorstehende Gefahr Kennzeichnet eine unmittelbar bevorstehende Gefahr, die bei Nichtbeachtung zum Tod oder zu schweren Verletzungen führt. ► Anweisung zur Vermeidung der Gefahrensituation WARNUNG Möglicherweise bevorstehende Gefahr Kennzeichnet eine bevorstehende Gefahr, die bei Nichtbeachtung zum Tod oder zu schweren Verlet-...

  • Seite 10: Sicherheitsmaßnahmen

    Sicherheit GEFAHR Lebensgefahr durch elektrischen Schlag Nicht spezifizierte oder nicht zugelassene Netzteile führen zu schwersten Verletzungen bis hin zum Todesfall. ► Achten Sie darauf, dass das Netzteil den Anforderungen für doppelte Isolierung zwischen Netz- eingangsspannung und Ausgangsspannung gemäß IEC 61010-1, IEC 60950-1 und IEC 62368-1 entspricht.

  • Seite 11: Einsatzgrenzen Des Produkts

    Turbopumpe auch bei höheren Umgebungstemperaturen. ● Bei Überschreiten der maximal zulässigen Betriebstemperatur der Turbopumpe redu- ziert die Antriebselektronik zuerst die Antriebsleistung und schaltet gegebenenfalls an- schließend ab. 2.5 Bestimmungsgemäße Verwendung ● Die Antriebselektronik dient ausschließlich dem Betrieb von Pfeiffer Vacuum Turbopumpen und deren Zubehör. 11/48...

  • Seite 12: Vorhersehbarer Fehlgebrauch

    Sicherheit 2.6 Vorhersehbarer Fehlgebrauch Bei Fehlgebrauch des Produkts erlischt jeglicher Haftungs- und Gewährleistungsanspruch. Als Fehlge- brauch gilt jede, auch unabsichtliche Verwendung, die dem Zweck des Produktes zuwider läuft, insbe- sondere: ● Anschluss an Stromversorgungen, die nicht den Bestimmungen nach IEC 61010 oder IEC 60950 entsprechen ●...

  • Seite 13: Produktbeschreibung

    Firmen ID-Nr. 000021320. 3.2 Produktmerkmale Die Antriebselektronik des Typs TC 1200 E74 stellt einen festen Bestandteil der Turbopumpe dar. Die Antriebselektronik dient dem Antrieb, der Überwachung sowie der Steuerung der gesamten Turbopum- pe. Die Antriebselektronik besitzt ein integriertes Weitspannungsnetzteil. Die Leistung der Antriebselekt- ronik ist abhängig von der lokal bereitgestellten Netzspannung.

  • Seite 14: Lieferumfang

    Beschreibung AC in Gehäusestecker HAN 3A für die Spannungsversorgung accessory M12 Buchse mit Schraubverriegelung für den Anschluss von Pfeiffer Vacuum Zu- behör. Die Verwendung eines Y-Verteilers ermöglicht die Zweifachbelegung eines Anschlusses. PV.can M12 Buchse mit Schraubverriegelung und LED für Pfeiffer Vacuum Servicezwecke.

  • Seite 15: Installation

    Installation 4 Installation 4.1 Anschlussdiagramm GEFAHR Lebensgefahr durch elektrischen Schlag Nicht spezifizierte oder nicht zugelassene Netzteile führen zu schwersten Verletzungen bis hin zum Todesfall. ► Achten Sie darauf, dass das Netzteil den Anforderungen für doppelte Isolierung zwischen Netz- eingangsspannung und Ausgangsspannung gemäß IEC 61010-1, IEC 60950-1 und IEC 62368-1 entspricht.

  • Seite 16: Abb. 2: Diagramm Und Belegung Des Anschlusspanels

    Installation n.c. n.c. Zubehör A2 Zubehör B2 24 V DC** 24 V DC** Zubehör A1 Zubehör B1 start / stop (+) AO1 (-) CAN-H acceleration status (+) 24 V DC*** normal status (+) GND*** deceleration status (+) CAN-L alarm staus (+) remote / local status (+) ~ alarm status (+) start / stop (-)

  • Seite 17: Anschluss "E74

    4.3 Anschluss "RS-485" Die Schnittstelle mit der Bezeichnung "RS-485" an der Antriebselektronik ist für den Anschluss eines Pfeiffer Vacuum Anzeige- und Bediengerätes (DCU oder HPU) oder eines externen PC vorgesehen. Die Anschlüsse sind galvanisch sicher von der maximal auftretenden Versorgungsspannung der An- triebselektronik getrennt.

  • Seite 18: Netzanschluss

    Installation USB/RS-485-converter DCU 310 / 400 TC 400 / TM 700 DCU 002 HPU 001 RS-485 Abb. 3: RS-485 Geräte anschließen RS-485 Geräte anschließen An der Schnittstelle RS-485 ist der Anschluss jeweils eines externen Bediengerätes möglich. 1. Verwenden Sie entsprechende Verbindungskabel aus dem Lieferumfang des Bediengerätes oder aus dem Zubehörprogramm.

  • Seite 19: Tab. 9: Anschlussbelegung Des Netzanschlusssteckers

    Tab. 9: Anschlussbelegung des Netzanschlusssteckers Netzanschluss herstellen 1. Bestellen Sie das passende Netzanschlusskabel aus dem Pfeiffer Vacuum Zubehör. 2. Konfektionieren Sie ein eigenes Netzanschlusskabel unter Verwendung der Anschlussbuchse HAN 3A aus dem Lieferumfang der Turbopumpe. 3. Stecken Sie das Netzanschlusskabel in den Netzanschluss "AC in".

  • Seite 20: Schnittstellen

    Lebensgefahr durch elektrischen Schlag an den Kommunikationsschnittstellen. ► Schließen Sie nur geeignete Geräte an das Bussystem an. Die Schnittstelle mit der Bezeichnung "RS-485" an der Antriebselektronik ist für den Anschluss eines Pfeiffer Vacuum Anzeige- und Bediengerätes (DCU oder HPU) oder eines externen PC vorgesehen. 20/48...

  • Seite 21: Tab. 12: Merkmale Der Schnittstelle Rs-485

    Schnittstellen Die Anschlüsse sind galvanisch sicher von der maximal auftretenden Versorgungsspannung der An- triebselektronik getrennt. Die elektrischen Verbindungen sind intern optisch entkoppelt. Bezeichnung Wert Serielle Schnittstelle RS-485 Baudrate 9600 Baud Datenwortlänge 8 bit Parität keine (no parity) Startbits Stopbits Tab. 12: Merkmale der Schnittstelle RS-485 Belegung RS-485: D+...

  • Seite 22: Pfeiffer Vacuum Protokoll Für Rs-485-Schnittstelle

    Schnittstellen 5.3 Pfeiffer Vacuum Protokoll für RS-485-Schnittstelle 5.3.1 Telegrammrahmen Der Telegrammrahmen des Pfeiffer Vacuum-Protokolls enthält nur Zeichen im ASCII-Code [32; 127] mit Ausnahme des Telegramm-Ende Zeichens C . Grundsätzlich sendet ein Master (z.B. ein PC) ein Telegramm, welches ein Slave (z.B. Antriebselektronik oder Transmitter) beantwortet.

  • Seite 23: Telegramm Beispiel

    Schnittstellen 5.3.4 Telegramm Beispiel 2 Stellbefehl Pumpstand einschalten (Parameter [P:010], Geräteadresse Slave: "042" --> ASCII Stellbefehl verstanden Pumpstand einschalten (Parameter [P:010], Geräteadresse Slave: "042" --> ASCII 5.3.5 Datentypen Datentyp Beschreibung Länge Beispiel l1 – l0 boolean_old Logischer Wert (falsch / wahr) 000000 entspricht falsch 111111 entspricht wahr...

  • Seite 24: Parametersatz

    Wichtige Einstellwerte und funktionsrelevante Kenngrößen sind als Parameter werkseitig in der An- triebselektronik programmiert. Jeder Parameter besitzt eine dreistellige Nummer und eine Benennung. Die Verwendung der Parameter ist über Pfeiffer Vacuum Anzeige- und Bediengeräte oder über RS-485 extern mittels Pfeiffer Vacuum Protokoll möglich.
  • Seite 25 Parametersatz Anzeige Bezeichnun- Funktionen Ein- min. max. ten- griffs- heit fault Cfg DO2 Konfiguration 0 = Drehzahlschaltpunkt er- Ausgang DO2 reicht 1 = kein Fehler 2 = Fehler 3 = Warnung 4 = Fehler und /oder War- nung 5 = Solldrehzahl erreicht 6 = Pumpe ein 7 = Pumpe beschleunigt 8 = Pumpe verzögert...
  • Seite 26 Parametersatz Anzeige Bezeichnun- Funktionen Ein- min. max. ten- griffs- heit fault Cfg Acc A1 Konfiguration 0 = Lüfter (Dauerbetrieb) Zubehöran- 1 = Flutventil, stromlos ge- schluss A1 schlossen 2 = Heizung 3 = Vorpumpe 4 = Lüfter (temperaturgere- gelt 5 = Sperrgas 6 = immer "0"...

  • Seite 27: Statusabfragen

    Parametersatz Anzeige Bezeichnun- Funktionen Ein- min. max. ten- griffs- heit fault CtrlViaInt Bedienung 1 = remote über Schnitt- 2 = RS-485 stelle 4 = PV.can 8 = Feldbus 16 = E74 255 = Schnittstellenauswahl entriegeln IntSelLckd Schnittstellen- 0 = aus auswahl ver- 1 = ein riegelt...

  • Seite 28: Tab. 16: Statusabfragen

    Parametersatz Anzeige Bezeichnungen Funktio- Zugriffs- Ein- min. max. tentyp heit fault OpHrsElec Betriebsstunden Antriebs- 65535 elektronik Nominal Spd Nenndrehzahl (Hz) 999999 DrvPower Antriebsleistung 999999 PumpCycles Pumpenzyklen 65535 TempPwrStg Temperatur Endstufe °C 999999 TempElec Temperatur Elektronik °C 999999 TempPmpBot Temperatur Pumpenun- °C 999999 terteil...

  • Seite 29: Sollwertvorgaben

    In der Antriebselektronik ist werkseitig der Grundparametersatz eingestellt. Für die Steue- rung von angeschlossenen externen Komponenten (z. B. Vakuummessgeräte) sind in den entsprechenden Pfeiffer Vacuum Anzeige- und Bediengeräten zusätzliche Parameter (er- weiterter Parametersatz) verankert. ● Bitte beachten Sie entsprechende Betriebsanleitung der jeweiligen Komponente.

  • Seite 30: Tab. 18: Parameter Für Dcu-Funktionen

    Parametersatz Anzeige Beschreibung Funktionen Ein- min. max. tentyp griffsart heit fault Pressure Druckistwert (ActiveLi- 1·10 1·10 Ctr Name Typ Anzeige- und Be- diengerät Ctr Software Softwareversion An- zeige- und Bedienge- rät Gaugetype Typ Druckmessröhre Param set Parametersatz 0 = Grundpara- metersatz 1 = erweiterter Parametersatz...

  • Seite 31: Betrieb

    Betrieb 7 Betrieb 7.1 Anschlüsse mit dem Pfeiffer Vacuum Parametersatz konfigurieren Die Antriebselektronik ist mit den Basisfunktionen werkseitig vorkonfiguriert und betriebsbereit. Für indi- viduelle Anforderungen können Sie die meisten Anschlüsse der Antriebselektronik mit dem Parameter- satz konfigurieren. 7.1.1 Anschluss "E74" konfigurieren Option Beschreibung 0 = Drehzahl Drehzahlsignal;...

  • Seite 32: Schnittstellen Auswählen

    Das Fördern von Gasen mit unzulässig hohen Molekülmassen führt zur Zerstörung der Turbopumpe. ► Achten Sie auf den korrekt eingestellten Gasmodus [P:027] in der Antriebselektronik. ► Halten Sie Rücksprache mit Pfeiffer Vacuum, bevor Sie Gase mit größeren Molekülmassen (> 80) einsetzen.

  • Seite 33: Vorgabe Leistungsaufnahme

    Betrieb P max [P:708] Abb. 6: Schema der Leistungskennlinien, Beispiel schwere Gase [P:027] = 0 Leistungsaufnahme Leistungskennlinie im Gasmodus "0" (Gase mit der Molekül- masse > 39, z. B. Argon) Drehzahl Leistungskennlinie im Gasmodus "1" (Gase mit der Molekül- masse ≤ 39) Maximale Leistungsauf- Leistungskennlinie im Gasmodus "2"...

  • Seite 34: Abb. 7: Drehzahlschaltpunkt 1 Aktiv

    Betrieb Drehzahlschaltpunkt 1 [P:017] = 0 f (%) [P:701] [P:010] [P:302] Process Abb. 7: Drehzahlschaltpunkt 1 aktiv Drehzahlschaltpunkt 1 einstellen Signalausgabe und Statusparameter orientieren sich am eingestellten Wert für den Drehzahlschalt- punkt 1 [P:701]. 1. Stellen Sie den Parameter [P:701] auf den gewünschten Wert in % ein. 2.

  • Seite 35: Drehzahlstellbetrieb

    3. Kontrollieren Sie die Solldrehzahlen (Parameter [P:308] oder [P:397]). 7.2.6 Standby Pfeiffer Vacuum empfiehlt den Standby-Betrieb der Turbopumpe während Prozess- oder Betriebspau- sen. Bei aktiviertem Standby-Betrieb reduziert die Antriebselektronik die Drehzahl der Turbopumpe. Im Drehzahlstellbetrieb ist der Standby-Modus unwirksam. Die Werkseinstellung für Standby beträgt 66,7 % der Nenndrehzahl.

  • Seite 36: Betriebsarten Vorpumpe

    Leerlauf und unterschiedliche Vorvakuumdrücke der Vorpumpen erfordern ein individuelles Ein- stellen des Intervallbetriebes. Pfeiffer Vacuum empfiehlt den Intervallbetrieb zwischen 5 und 10 hPa. Für das Einstellen der Schalt- schwellen benötigen Sie eine Druckmesseinrichtung und ein Dosierventil. 1. Stellen Sie den Parameter [P:025] auf "1".

  • Seite 37: Standby-Betrieb Vorpumpe

    2. Nutzen Sie dieses Signal für die Steuerung eines Vorvakuum-Sicherheitsventils. 7.2.9 Standby-Betrieb Vorpumpe Falls Sie eine Pfeiffer Vacuum Vorpumpe mit Drehzahlregelung verwenden, lässt sich diese durch Kon- figuration des Digitalausgangs [P:019] oder [P:024] im Standby-Modus betreiben. Die Leistungsaufnah- me der Turbopumpe hat direkten Einfluss auf die Drehzahl der Vorpumpe.

  • Seite 38: 11Flutmodi

    3. Trennen Sie die Stromversorgung gemäß Betriebsanleitung der Turbopumpe oder des Netzteils. 7.5 Betriebsüberwachung 7.5.1 Betriebsanzeige über LED LEDs an der Antriebselektronik zeigen grundlegende Betriebszustände der Vakuumpumpe an. Eine dif- ferenzierte Fehler- und Warnungsanzeige ist nur bei Betrieb mit Pfeiffer Vacuum Anzeige- und Bedien- gerät oder PC möglich. 38/48...

  • Seite 39: Temperaturüberwachung

    Betrieb Symbol LED Status Anzeige Bedeutung stromlos Ein, blitzend "Pumpstand AUS", Drehzahl ≤ 60 min Grün Ein, invers blitzend "Pumpstand EIN", Solldrehzahl nicht erreicht Ein, konstant "Pumpstand EIN", Solldrehzahl erreicht Ein, blinkend "Pumpstand AUS", Drehzahl > 60 min Gelb keine Warnung Ein, konstant Warnung kein Fehler, keine Warnung...

  • Seite 40: Störungen

    ● Quittieren Sie nur bei Drehzahl f = 0 fehlerhaft Err010 Interner Gerätefehler ● Gerät defekt ● Verständigen Sie den Pfeiffer Vacuum Service ● Quittieren Sie nur bei Drehzahl f = 0 Err021 Antriebselektronik er- ● ungeeignete Software- ● Verständigen Sie den Pfeiffer Vacuum Service...
  • Seite 41 Problem mögliche Ursachen Behebung code Err041 Antriebsfehler ● Gerät defekt ● Verständigen Sie den Pfeiffer Vacuum Service ● Quittieren Sie nur bei Drehzahl f = 0 Err043 Interner Konfigurations- ● Gerät defekt ● Verständigen Sie den Pfeiffer Vacuum Service fehler Err044 Übertemperatur Elektro-...

  • Seite 42: Tab. 25: Fehlermeldungen Der Antriebselektronik

    Problem mögliche Ursachen Behebung code Err802 Fehler Magnetlagersen- ● Kalibrierwerte ungültig ● Verständigen Sie den Pfeiffer Vacuum Service sorik ● Gerät defekt ● Führen Sie einen Kalibriervorgang durch ● Quittieren Sie nur bei Drehzahl f = 0 Err810 Interner Konfigurations- ●...

  • Seite 43: Warn- Und Fehlermeldungen Bei Betrieb Mit Dcu

    ● Tauschen Sie das Druckmessgerät kom- plett aus ** Error E040 ** Hardwarefehler ● externes RAM defekt ● Verständigen Sie den Pfeiffer Vacuum Ser- vice ** Error E042 ** Hardwarefehler ● EPROM Prüfsumme falsch ● Verständigen Sie den Pfeiffer Vacuum Ser-...

  • Seite 44: Tab. 27: Warn- Und Fehlermeldungen Bei Verwendung Eines Dcu

    Problem mögliche Ursachen Behebung ** Error E090 ** Interner Geräte- ● RAM nicht ausreichend ● Verständigen Sie den Pfeiffer Vacuum Ser- fehler ● DCU ist an falsche Antriebs- vice elektronik angeschlossen ● Schließen Sie das DCU an die passende Antriebselektronik an...

  • Seite 45: Servicelösungen Von Pfeiffer Vacuum

    Wir sind stets darauf bedacht, unsere Kernkompetenz, den Service an Vakuumkomponenten, zu per- fektionieren. Nach dem Kauf eines Produktes von Pfeiffer Vacuum ist unser Service noch lange nicht zu Ende. Oft fängt Service dann erst richtig an. Natürlich in bewährter Pfeiffer Vacuum Qualität.
  • Seite 46 6. Bringen Sie die Erklärung zur Kontaminierung außen an der Verpa- ckung an. ERKLÄRUNG KONTAMINIERUNG 7. Senden Sie nun Ihr Produkt an Ihr lokales Service Center. 8. Sie erhalten eine Rückmeldung/ein Angebot von Pfeiffer Vacuum. Für alle Serviceaufträge gelten unsere Verkaufs- und Lieferbedingungen sowie die Reparatur- und War- tungsbedingungen für Vakuumgeräte und -komponenten.

  • Seite 47: Konformitätserklärung

    Konformitätserklärung Erklärung für Produkt(e) vom Typ: Antriebselektronik TC 1200 E74 Hiermit erklären wir, dass das aufgeführte Produkt allen einschlägigen Bestimmungen folg- ender europäischer Richtlinien entspricht. Elektromagnetische Verträglichkeit 2014/30/EU Niederspannung 2014/35/EU Beschränkung der Verwendung bestimmter gefährlicher Stoffe 2011/65/EU Beschränkung der Verwendung bestimmter gefährlicher Stoffe, delegierte Richtlinie...

Inhaltsverzeichnis