Zu dieser Anleitung Zu dieser Anleitung Gültigkeit Diese Betriebsanleitung ist ein Kundendokument der Firma Pfeiffer Vacuum. Die Be- triebsanleitung beschreibt das benannte Produkt in seiner Funktion und vermittelt die wichtigsten Informationen für den sicheren Gebrauch des Gerätes. Die Beschreibung er- folgt nach den geltenden EU-Richtlinien.
Zu dieser Anleitung 1.2.2 Piktogramme Verbot einer Handlung oder Tätigkeit im Zusammenhang mit einer Ge- fahrenquelle, deren Missachtung zu schwerwiegenden Unfällen führen kann Warnung vor der mit dem Piktogramm dargestellten Gefahr Gebot einer Handlung oder Tätigkeit im Umgang mit einer Gefahren- quelle, deren Missachtung zu schwerwiegenden Unfällen führen kann Wichtige Information zum Produkt oder zu diesem Dokument 1.2.3...
Der sichere Betrieb nach der Installation liegt in der Verantwortung des Betreibers. Keine eigenmächtigen Umbauten oder Veränderungen am Gerät vornehmen. Für sichere Integration in einen Not-Aus-Sicherheitskreis sorgen. Pfeiffer Vacuum für spezielle Anforderungen konsultieren. WARNUNG Gefahr durch fehlende Netztrenneinrichtung Pumpe und Antriebselektronik sind nicht mit einer Netztrenneinrichtung ausgestattet.
Konformität des Gesamtsystems im Sinne der geltenden EU-Richtlinien zu überprü- fen und entsprechend neu zu bewerten. ● Die externe Antriebselektronik TCP 1200 dient ausschließlich dem Betrieb von Pfeif- fer Vacuum Turbopumpen der Serie HiPace®: – HiPace 1200 mit TCP 1200 –...
Der integrierte Gehäuselüfter ist über den Zubehöranschluss "accessory A in" mit einem Verbindungskabel angeschlossen. Entsprechende Einstellparameter sind vorkonfigu- riert und gegen Änderungen gesperrt. Trennen der Kabelverbindung führt zu einer Feh- lermeldung. Die Pfeiffer Vacuum Antriebselektronik TCP 1200 ist bei folgenden Umgebungsbedin- gungen zu installieren und zu betreiben. Aufstellungsort wettergeschützt (Innenräume) Zul.
Accessory A1 ist über den Steuranschluss "pump.2 output" direkt an der Pumpe verfügbar. Accessory A2 ist belegt für die interne Lüftkühlung. accessory B M12 Buchse mit Schraubverriegelung für den Anschluss von Pfeiffer Vacuum Zu- behör. Die Verwendung eines Y-Verteilers ermöglicht die Zweifachbelegung des Anschlusses.
Sensor 2- ACC A1 24V DC** to panel accessory A RS 485 D+ RS485 in 24V DC +24V DC* GND* RS 485 D- Gauge-ID gauge 24V DC Signal to panel RS 485 Abb. 4: Anschlussplan und Belegung der TCP 1200...
Gerät aufrecht einbauen. 5.1.1 Rackeinbau Das Gehäuse der Antriebselektronik TCP 1200 besteht aus einem 19" Baugruppenträ- ger zum Einbau in einen Rackschrank. Gerät waagerecht in die Führungsschienen eines 19"/3HE- Rack einschieben und Frontplatte mit vier Befestigungsschrauben festschrauben.
Installation 13.2 13.1 13.3 Abb. 5: Turbopumpe an der Antriebselektronik TCP 1200 anschließen Anschluss "pump1. output" 13.1 Anschluss "Pumpe" Steueranschluss "pump2.output" 13.2 Steueranschluss "Pumpe" 13.3 Verbindungskabel TCP - Pumpe Verbindungskabel zwischen der Antriebselektronik und der Turbopumpe installieren. Haltebügel sichern, Stecker einrasten und Verschraubungen zudrehen.
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Installation WARNUNG Gefahr durch fehlende Netztrenneinrichtung Pumpe und Antriebselektronik sind nicht mit einer Netztrenneinrichtung ausgestattet. Installation einer betreiberseitigen Netztrenneinrichtung gemäß SEMI-S2. Leistungsschalter mit einem Ausschaltvermögen von min. 10.000 A vorsehen. WARNUNG Gefahr des elektrischen Schlags Bei Defekt können die mit dem Netz verbundenen Teile unter Spannung stehen. ...
Fernbedienung ist über den 26-poligen D-Sub-Anschluss mit der Bezeichnung ”remote“ an der Antriebselektronik möglich. Die bedienbaren Einzelfunktionen sind durch "SPS- Pegel" dargestellt. Den Remotestecker von der TCP 1200 entfernen und eine Fernbedienung anschlie- ßen. Belegung des Anschlusssteckers gemäß Tabelle. Abgeschirmte Stecker und Kabel verwenden.
Die digitalen Eingänge am Anschluss "remote" dienen der Schaltung verschiedener Funktionen der Antriebselektronik. Die Eingänge DI1 - DI2 sind ab Werk mit Funktionen belegt. Diese sind über die Schnittstelle RS-485 und den Pfeiffer Vacuum Parametersatz konfigurierbar. DI1 (Freigabe Fluten) / Pin 2...
6.2.3 Ausgänge Die digitalen Ausgänge am Anschluss "remote" sind mit maximal 24 V / 50 mA je Aus- gang belastbar. Alle unten aufgeführten Ausgänge sind mittels Pfeiffer Vacuum Parame- tersatz über die Schnittstelle RS-485 konfigurierbar (Beschreibung bezogen auf Werkseinstellungen). DO1 (Drehzahlschaltpunkt erreicht) / Pin 8 Active high nach Erreichen des Drehzahlschaltpunktes.
RS-485 Über Pin 24 und Pin 25 am Anschluss "remote" der Antriebselektronik ist die Anbindung jeweils eines Pfeiffer Vacuum Anzeige- und Bediengerätes (DCU oder HPU) oder eines externen PC möglich. Die Verbindungen sind nach Spezifikation der Schnittstelle RS-485 aufzubauen.
+24 V Ausgang ≤ 210 mA belastbar (mit Remote - Pin 1) RS-485: D- nicht angeschlossen Pfeiffer Vacuum Anzeige- und Bediengeräte oder PC anschließen An der Schnittstelle RS-485 ist der Anschluss jeweils eines externen Bediengeräts möglich. Der Anschluss einer USB-Schnittstelle (PC) ist über den USB/RS-485-converter mög- lich.
Anschluss "RS-485" Vernetzung über den Anschluss RS-485 USB/RS485-converter USB/RS485-converter RS 485 VORSICHT Gefahr eines elektrischen Schlages Die Isolationsmaßnahmen des Bussystems sind nur für die Verwendung von Sicher- heitskleinspannungen ausgelegt. Nur geeignete Geräte an das Bussystem anschließen. Die Verbindungen sind nach Spezifikation der Schnittstelle RS-485 aufzubauen. ...
Vacuum Druckmessgeräts der Serie ActiveLine möglich. Druckmessung mit dem TCP 1200 Die Druckmessung über die Antriebselektronik TCP 1200 ist direkt mit dem eingebau- ten Anzeige- und Bediengerät DCU verknüpft. Dadurch ist die Versorgung der An- schlussbuchse "Gauge" abhängig von der Verwendung des DCU.
* bedeutet ggf. Darstellung als Symbol Bezeichnung Kurzbeschreibung des Parameters Funktionen Funktionsbeschreibung des Parameters Datentyp Art der Formatierung des Parameters für die Verwendung mit dem Pfeiffer Vacuum Protokoll Zugriffsart R: Lesezugriff; W: Schreibzugriff Einheit Physikalische Einheit der beschriebenen Kenngröße min / max Zulässige Grenzwerte für die Eingabe eines Wertes...
Pfeiffer Vacuum Parametersatz 9.2.3 Stellbefehle Anzeige Bezeichnung Funktionen Einheit min max default 001 Heating Heizung 0 = aus 1 = ein 002 Standby Standby 0 = aus 1 = ein 004 RUTimeCtrl Hochlaufzeitüberwachung 0 = aus 1 = ein 009 ErrorAckn Störungsquittierung...
Pfeiffer Vacuum Parametersatz Option Beschreibung 4 = Lüfter (temperaturgeregelt) Steuerung über Parameter Pumpstand und Temperatur- schwellenwerte 5 = Sperrgas Steuerung über Parameter Pumpstand und Sperrgas 6 = immer 0 GND für die Steuerung eines externen Gerätes 7 = immer 1 +24 V DC für die Steuerung eines externen Gerätes...
Beschreibung 0 = aus Schnittstellenauswahl über [P:060] einstellbar 1 = ein Schnittstellenauswahl verriegelt Arbeiten mit dem Pfeiffer Vacuum Parametersatz 9.4.1 Werkseinstellungen Die Antriebselektronik ist werkseitig vorprogrammiert. Dadurch wird der einwandfreie und sichere Betrieb der Turbopumpe ohne zusätzliche Konfiguration gewährleistet. 9.4.2 Einstellungen überprüfen...
Das Pumpen von Gasen mit höheren Molekülmassen im falschen Gasmodus kann zur Zerstörung der Pumpe führen. Auf korrekt eingestellten Gasmodus achten. Vor Einsatz von Gasen mit größeren Molekülmassen (> 80) Pfeiffer Vacuum verständigen. ● Gasmodus "0” für Gase mit der Molekülmasse > 39, z. B. Argon.
Pfeiffer Vacuum Parametersatz 9.4.5 Hochlaufzeit Der Hochlauf der Turbopumpe ist werkseitig zeitüberwacht. Verlängerte Hochlaufzeiten können auf verschiedene Ursachen hinweisen. z.B.: ● zu hohe Gaslasten ● Leck im System ● Sollwert Hochlaufzeit zu niedrig Ggf. externe und applikationsbedingte Ursachen beseitigen.
Schwankungen bei der Leistungsaufnahme von Turbopumpen im Leer- lauf und unterschiedliche Vorvakuumdrücke der Vorpumpen erforden das individuelle Einstellen des Intervallbetriebs. Pfeiffer Vacuum empfiehlt den Intervallbetrieb zwischen 5 und 10 hPa. Für das Einstellen der Schaltschwellen ist eine Druckmesseinrichtung und ein Dosierventil notwendig.
Pfeiffer Vacuum Parametersatz Vakuumsystem mit der Funktion "Pumpstand" einschalten und Hochlauf abwarten. Durch Gaseinlass über ein Dosierventil einen Vorvakuumdruck von 10 hPa erzeugen. Parameter [P:316] ablesen und notieren. Einschaltschwelle der Vorpumpe mit Parameter [P:711] auf die ermittelte Antriebs- leistung für 10 hPa Vorvakuumdruck einstellen.
Pfeiffer Vacuum Parametersatz Nicht Fluten In diesem Betriebsmodus wird nicht geflutet. Parameter [P:030] = 1 Direkt Fluten Beginn und Flutzeit sind nicht konfigurierbar. Fluten beginnt mit einer Zeitverzögerung von 6 s nach "Pumpstand aus". Bei erneutem Einschalten der Funktion Pumpstand schließt das Flutventil automatisch.
Betrieb 10 Betrieb 10.1 Funktion Abb. 13: Frontplatte DCU LC-Anzeige, beleuchtet LEDs "Betriebsanzeige" Statussymbole Bedientasten 10.2 LC-Anzeige 721: Venting time ---> 3600 s Die vierzeilige LC-Anzeige visualisiert die Funktionen des DCU. Folgende Funktionen sind zugewiesen: – Zeile 1: Nummer und Name des ausgewählten Parameters (z.B. 721: Vent time). –...
Alle funktionsrelevanten Größen einer Turbopumpe sind als Parameter in der Antriebse- lektronik verankert. Jeder Parameter besitzt eine dreistellige Nummer und eine Benen- nung. Parameter können über Pfeiffer Vacuum Anzeige- und Bediengeräte oder über RS-485 mit dem Pfeiffer Vacuum Protokoll verwendet werden.
Betrieb ● Der Parameter ist eingestellt. ● Der Editiermodus für den Parameter ist beendet. Der Pfeil ( –––►) erlischt. Der Editiermodus ( –––►) wird unter folgenden Bedingungen automatisch und ohne Übernahme des zu verändernden Wertes wieder verlassen: ● Eingabeunterbrechung, bzw. keine Tastenbedienung länger als 10s. ●...
Pfeiffer Vacuum Protokoll auf "RS-485" 11 Pfeiffer Vacuum Protokoll auf "RS-485" 11.1 Telegrammrahmen Der Telegrammrahmen des Pfeiffer Vacuum-Protokolls enthält nur Zeichen im ASCII- Code [32; 127] mit Ausnahme des Telegramm-Ende Zeichens . Grundsätzlich sendet ein Master (z.B. ein PC) ein Telegramm, welches von einem Slave (z.B. Antriebse- lektronik oder Transmitter) beantwortet wird.
Ein, blinkend "Pumpstand AUS", Drehzahl > 60 min kein Fehler, keine Warnung Ein, blitzend Warnung Ein, konstant Fehler Die einfarbige Anzeige auf der Frontplatte des TCP 1200 zeigt die Betriebszustände der Antriebselektronik. Anzeige Aktivität Bedeutung – keine ausreichende Spannungsversorgung keine Blitzend –...
Fehler- Problem mögliche Ursachen Behebung code Err001 Überdrehzahl Pfeiffer Vacuum Service verständigen Quittieren nur bei Drehzahl f = 0 Err002 Überspannung – falsche Netzeingangspannung Netzeingangsspannung überprüfen Quittieren nur bei Drehzahl f = 0 Pfeiffer Vacuum Service verständigen...
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Störungen Fehler- Problem mögliche Ursachen Behebung code Wrn076 Hohe Temperatur Elektronik – mangelhafte Kühlung Kühlung verbessern Einsatzbedingungen überprüfen Wrn100 Drehzahl auf Minimalwert angehoben – Zulässige Vorgaben für Drehzahlstell- [P:707] oder [P:717] überprüfen betrieb oder Standby nicht korrekt ...
Zubehör 13 Zubehör Benennung TCP 1200 Netzkabel 230 V AC, CEE 7/7 auf HAN 3A, 3 m P 4564 309 HA Netzkabel 208 V AC, NEMA 6-15 auf HAN 3A, 3 m P 4564 309 HB Remote-Adapter für RS-485 PM 061 649 -X...
Hiermit erklären wir, dass das unten aufgeführte Produkt allen einschlägigen Bestim- mungen folgender EG-Richtlinien entspricht: ● Elektromagnetische Verträglichkeit 2014/30/EU ● Niederspannung 2014/35/EU TCP 1200 Harmonisierte Normen und angewendete, nationale Normen und Spezifikationen: DIN EN 61000-3-2 : 2008 DIN EN 61000-3-3 : 2006...
VAKUUMLÖSUNGEN AUS EINER HAND Pfeiffer Vacuum steht weltweit für innovative und individuelle Vakuumlösungen, für technologische Perfektion, kompetente Beratung und zuverlässigen Service. KOMPLETTES PRODUKTSORTIMENT Vom einzelnen Bauteil bis hin zum komplexen System: Wir verfügen als einziger Anbieter von Vakuumtechnik über ein komplettes Produktsortiment.