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BETRIEBSANLEITUNG
DE
Original
TCP 1200
Antriebselektronik

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Inhaltszusammenfassung für Pfeiffer Vacuum TCP 1200

  • Seite 1 BETRIEBSANLEITUNG Original TCP 1200 Antriebselektronik...
  • Seite 2: Inhaltsverzeichnis

    Messeinrichtung anschließen ........21 Pfeiffer Vacuum Parametersatz ........22 9.1 Allgemeines .
  • Seite 3 10.8 Ausschalten ..........37 Pfeiffer Vacuum Protokoll auf "RS-485" ......38 11.1 Telegrammrahmen .
  • Seite 4: Zu Dieser Anleitung

    Zu dieser Anleitung Zu dieser Anleitung Gültigkeit Diese Betriebsanleitung ist ein Kundendokument der Firma Pfeiffer Vacuum. Die Be- triebsanleitung beschreibt das benannte Produkt in seiner Funktion und vermittelt die wichtigsten Informationen für den sicheren Gebrauch des Gerätes. Die Beschreibung er- folgt nach den geltenden EU-Richtlinien.
  • Seite 5: Piktogramme

    Zu dieser Anleitung 1.2.2 Piktogramme Verbot einer Handlung oder Tätigkeit im Zusammenhang mit einer Ge- fahrenquelle, deren Missachtung zu schwerwiegenden Unfällen führen kann Warnung vor der mit dem Piktogramm dargestellten Gefahr Gebot einer Handlung oder Tätigkeit im Umgang mit einer Gefahren- quelle, deren Missachtung zu schwerwiegenden Unfällen führen kann Wichtige Information zum Produkt oder zu diesem Dokument 1.2.3...
  • Seite 6: Sicherheit

    Der sichere Betrieb nach der Installation liegt in der Verantwortung des Betreibers.  Keine eigenmächtigen Umbauten oder Veränderungen am Gerät vornehmen.  Für sichere Integration in einen Not-Aus-Sicherheitskreis sorgen.  Pfeiffer Vacuum für spezielle Anforderungen konsultieren. WARNUNG Gefahr durch fehlende Netztrenneinrichtung Pumpe und Antriebselektronik sind nicht mit einer Netztrenneinrichtung ausgestattet.
  • Seite 7: Bestimmungsgemäße Verwendung

    Konformität des Gesamtsystems im Sinne der geltenden EU-Richtlinien zu überprü- fen und entsprechend neu zu bewerten. ● Die externe Antriebselektronik TCP 1200 dient ausschließlich dem Betrieb von Pfeif- fer Vacuum Turbopumpen der Serie HiPace®: – HiPace 1200 mit TCP 1200 –...
  • Seite 8: Produktbeschreibung

    Produktbeschreibung Produktbeschreibung Produktidentifikation 3.1.1 Produktmerkmale ● Die externe Antriebselektronik TCP 1200 dient der Spannungsversorgung, Steuerung und Überwachung einer Turbopumpe und angeschlossener Peripheriegeräte. Merkmal TCP 1200 Anschlusspanel Standard (RS485) Turbopumpe HiPace, geeignet für TCP 1200, 1500, 1800, 2300 Netzanschluss: Frequenz (Bereich)
  • Seite 9: Funktion

    Der integrierte Gehäuselüfter ist über den Zubehöranschluss "accessory A in" mit einem Verbindungskabel angeschlossen. Entsprechende Einstellparameter sind vorkonfigu- riert und gegen Änderungen gesperrt. Trennen der Kabelverbindung führt zu einer Feh- lermeldung. Die Pfeiffer Vacuum Antriebselektronik TCP 1200 ist bei folgenden Umgebungsbedin- gungen zu installieren und zu betreiben. Aufstellungsort wettergeschützt (Innenräume) Zul.
  • Seite 10: Anschlusspanel

    Accessory A1 ist über den Steuranschluss "pump.2 output" direkt an der Pumpe verfügbar. Accessory A2 ist belegt für die interne Lüftkühlung. accessory B M12 Buchse mit Schraubverriegelung für den Anschluss von Pfeiffer Vacuum Zu- behör. Die Verwendung eines Y-Verteilers ermöglicht die Zweifachbelegung des Anschlusses.
  • Seite 11: Anschlussplan

    Sensor 2- ACC A1 24V DC** to panel accessory A RS 485 D+ RS485 in 24V DC +24V DC* GND* RS 485 D- Gauge-ID gauge 24V DC Signal to panel RS 485 Abb. 4: Anschlussplan und Belegung der TCP 1200...
  • Seite 12: Installation

     Gerät aufrecht einbauen. 5.1.1 Rackeinbau Das Gehäuse der Antriebselektronik TCP 1200 besteht aus einem 19" Baugruppenträ- ger zum Einbau in einen Rackschrank.  Gerät waagerecht in die Führungsschienen eines 19"/3HE- Rack einschieben und Frontplatte mit vier Befestigungsschrauben festschrauben.
  • Seite 13: Erdung

    Installation 13.2 13.1 13.3 Abb. 5: Turbopumpe an der Antriebselektronik TCP 1200 anschließen Anschluss "pump1. output" 13.1 Anschluss "Pumpe" Steueranschluss "pump2.output" 13.2 Steueranschluss "Pumpe" 13.3 Verbindungskabel TCP - Pumpe  Verbindungskabel zwischen der Antriebselektronik und der Turbopumpe installieren.  Haltebügel sichern, Stecker einrasten und Verschraubungen zudrehen.
  • Seite 14 Installation WARNUNG Gefahr durch fehlende Netztrenneinrichtung Pumpe und Antriebselektronik sind nicht mit einer Netztrenneinrichtung ausgestattet. Installation einer betreiberseitigen Netztrenneinrichtung gemäß SEMI-S2.  Leistungsschalter mit einem Ausschaltvermögen von min. 10.000 A vorsehen. WARNUNG Gefahr des elektrischen Schlags Bei Defekt können die mit dem Netz verbundenen Teile unter Spannung stehen. ...
  • Seite 15: Anschluss "Remote

    Fernbedienung ist über den 26-poligen D-Sub-Anschluss mit der Bezeichnung ”remote“ an der Antriebselektronik möglich. Die bedienbaren Einzelfunktionen sind durch "SPS- Pegel" dargestellt.  Den Remotestecker von der TCP 1200 entfernen und eine Fernbedienung anschlie- ßen. Belegung des Anschlusssteckers gemäß Tabelle.  Abgeschirmte Stecker und Kabel verwenden.
  • Seite 16: Eingänge

    Die digitalen Eingänge am Anschluss "remote" dienen der Schaltung verschiedener Funktionen der Antriebselektronik. Die Eingänge DI1 - DI2 sind ab Werk mit Funktionen belegt. Diese sind über die Schnittstelle RS-485 und den Pfeiffer Vacuum Parametersatz konfigurierbar. DI1 (Freigabe Fluten) / Pin 2...
  • Seite 17: Ausgänge

    6.2.3 Ausgänge Die digitalen Ausgänge am Anschluss "remote" sind mit maximal 24 V / 50 mA je Aus- gang belastbar. Alle unten aufgeführten Ausgänge sind mittels Pfeiffer Vacuum Parame- tersatz über die Schnittstelle RS-485 konfigurierbar (Beschreibung bezogen auf Werkseinstellungen). DO1 (Drehzahlschaltpunkt erreicht) / Pin 8 Active high nach Erreichen des Drehzahlschaltpunktes.
  • Seite 18: Rs-485

    RS-485 Über Pin 24 und Pin 25 am Anschluss "remote" der Antriebselektronik ist die Anbindung jeweils eines Pfeiffer Vacuum Anzeige- und Bediengerätes (DCU oder HPU) oder eines externen PC möglich.  Die Verbindungen sind nach Spezifikation der Schnittstelle RS-485 aufzubauen.
  • Seite 19: Anschluss "Rs-485

    +24 V Ausgang ≤ 210 mA belastbar (mit Remote - Pin 1) RS-485: D- nicht angeschlossen Pfeiffer Vacuum Anzeige- und Bediengeräte oder PC anschließen  An der Schnittstelle RS-485 ist der Anschluss jeweils eines externen Bediengeräts möglich.  Der Anschluss einer USB-Schnittstelle (PC) ist über den USB/RS-485-converter mög- lich.
  • Seite 20: Vernetzung Über Den Anschluss Rs-485

    Anschluss "RS-485" Vernetzung über den Anschluss RS-485 USB/RS485-converter USB/RS485-converter RS 485 VORSICHT Gefahr eines elektrischen Schlages Die Isolationsmaßnahmen des Bussystems sind nur für die Verwendung von Sicher- heitskleinspannungen ausgelegt.  Nur geeignete Geräte an das Bussystem anschließen.  Die Verbindungen sind nach Spezifikation der Schnittstelle RS-485 aufzubauen. ...
  • Seite 21: Messeinrichtung Anschließen

    Vacuum Druckmessgeräts der Serie ActiveLine möglich. Druckmessung mit dem TCP 1200 Die Druckmessung über die Antriebselektronik TCP 1200 ist direkt mit dem eingebau- ten Anzeige- und Bediengerät DCU verknüpft. Dadurch ist die Versorgung der An- schlussbuchse "Gauge" abhängig von der Verwendung des DCU.
  • Seite 22: Pfeiffer Vacuum Parametersatz

    * bedeutet ggf. Darstellung als Symbol Bezeichnung Kurzbeschreibung des Parameters Funktionen Funktionsbeschreibung des Parameters Datentyp Art der Formatierung des Parameters für die Verwendung mit dem Pfeiffer Vacuum Protokoll Zugriffsart R: Lesezugriff; W: Schreibzugriff Einheit Physikalische Einheit der beschriebenen Kenngröße min / max Zulässige Grenzwerte für die Eingabe eines Wertes...
  • Seite 23: Stellbefehle

    Pfeiffer Vacuum Parametersatz 9.2.3 Stellbefehle Anzeige Bezeichnung Funktionen Einheit min max default  001 Heating Heizung 0 = aus 1 = ein 002 Standby Standby 0 = aus 1 = ein 004 RUTimeCtrl Hochlaufzeitüberwachung 0 = aus 1 = ein 009 ErrorAckn Störungsquittierung...
  • Seite 24: Statusabfragen

    Pfeiffer Vacuum Parametersatz Anzeige Bezeichnung Funktionen Einheit min max default  046 Cfg Rel R2 Konfiguration Relais 2 Optionen siehe [P:019] 047 Cfg Rel R3 Konfiguration Relais 3 Optionen siehe [P:019] 050 SealingGas Sperrgas 0 = aus 1 = ein...
  • Seite 25: Sollwertvorgaben

    Pfeiffer Vacuum Parametersatz Anzeige Bezeichnung Funktionen Einheit min max default  336 AccelDecel Beschleunigung / Verzögerung rpm/s 999999 349 ElecName Bezeichnung Antriebselektronik 354 HW Version Hardwareversion Antriebselektronik 360 ErrHist1 Fehlercode Historie, Pos. 1 361 ErrHist2 Fehlercode Historie, Pos. 2 362 ErrHist3 Fehlercode Historie, Pos.
  • Seite 26: Digitalausgänge Und Relais An "Remote

    Pfeiffer Vacuum Parametersatz Option Beschreibung 4 = Lüfter (temperaturgeregelt) Steuerung über Parameter Pumpstand und Temperatur- schwellenwerte 5 = Sperrgas Steuerung über Parameter Pumpstand und Sperrgas 6 = immer 0 GND für die Steuerung eines externen Gerätes 7 = immer 1 +24 V DC für die Steuerung eines externen Gerätes...
  • Seite 27: Analogausgang An "Remote

    Beschreibung 0 = aus Schnittstellenauswahl über [P:060] einstellbar 1 = ein Schnittstellenauswahl verriegelt Arbeiten mit dem Pfeiffer Vacuum Parametersatz 9.4.1 Werkseinstellungen Die Antriebselektronik ist werkseitig vorprogrammiert. Dadurch wird der einwandfreie und sichere Betrieb der Turbopumpe ohne zusätzliche Konfiguration gewährleistet. 9.4.2 Einstellungen überprüfen...
  • Seite 28: Gasartabhängiger Betrieb

    Das Pumpen von Gasen mit höheren Molekülmassen im falschen Gasmodus kann zur Zerstörung der Pumpe führen.  Auf korrekt eingestellten Gasmodus achten.  Vor Einsatz von Gasen mit größeren Molekülmassen (> 80) Pfeiffer Vacuum verständigen. ● Gasmodus "0” für Gase mit der Molekülmasse > 39, z. B. Argon.
  • Seite 29: Hochlaufzeit

    Pfeiffer Vacuum Parametersatz 9.4.5 Hochlaufzeit Der Hochlauf der Turbopumpe ist werkseitig zeitüberwacht. Verlängerte Hochlaufzeiten können auf verschiedene Ursachen hinweisen. z.B.: ● zu hohe Gaslasten ● Leck im System ● Sollwert Hochlaufzeit zu niedrig  Ggf. externe und applikationsbedingte Ursachen beseitigen.
  • Seite 30: Drehzahlstellbetrieb

    Pfeiffer Vacuum Parametersatz [P:017] = 1 [P:701] [P:719] [P:010] [P:302] Process Abb. 11: Beispiel für Konfiguration Drehzahlschaltpunkt 1+2 aktiv; [P:701] > [P:719] [P:017] = 1 [P:719] [P:701] [P:010] [P:302] Process Abb. 12: Beispiel für Konfiguration Drehzahlschaltpunkt 1+2 aktiv; [P:701] < [P:719] 9.4.7...
  • Seite 31: Standby

    Schwankungen bei der Leistungsaufnahme von Turbopumpen im Leer- lauf und unterschiedliche Vorvakuumdrücke der Vorpumpen erforden das individuelle Einstellen des Intervallbetriebs. Pfeiffer Vacuum empfiehlt den Intervallbetrieb zwischen 5 und 10 hPa. Für das Einstellen der Schaltschwellen ist eine Druckmesseinrichtung und ein Dosierventil notwendig.
  • Seite 32: Verzögertes Einschalten

    Pfeiffer Vacuum Parametersatz  Vakuumsystem mit der Funktion "Pumpstand" einschalten und Hochlauf abwarten.  Durch Gaseinlass über ein Dosierventil einen Vorvakuumdruck von 10 hPa erzeugen.  Parameter [P:316] ablesen und notieren.  Einschaltschwelle der Vorpumpe mit Parameter [P:711] auf die ermittelte Antriebs- leistung für 10 hPa Vorvakuumdruck einstellen.
  • Seite 33: Überwachung Der Thermischen Belastung

    Pfeiffer Vacuum Parametersatz Nicht Fluten In diesem Betriebsmodus wird nicht geflutet.  Parameter [P:030] = 1 Direkt Fluten Beginn und Flutzeit sind nicht konfigurierbar. Fluten beginnt mit einer Zeitverzögerung von 6 s nach "Pumpstand aus". Bei erneutem Einschalten der Funktion Pumpstand schließt das Flutventil automatisch.
  • Seite 34: Betrieb

    Betrieb 10 Betrieb 10.1 Funktion Abb. 13: Frontplatte DCU LC-Anzeige, beleuchtet LEDs "Betriebsanzeige" Statussymbole Bedientasten 10.2 LC-Anzeige 721: Venting time ---> 3600 s Die vierzeilige LC-Anzeige visualisiert die Funktionen des DCU. Folgende Funktionen sind zugewiesen: – Zeile 1: Nummer und Name des ausgewählten Parameters (z.B. 721: Vent time). –...
  • Seite 35: Tastenfunktionen

    Betrieb 10.3 Tastenfunktionen 4 Kurzhubtasten (Softkeys) bilden die Bedienerschnittstelle des DCU. Taste Anwendung/Beispiel Erläuterung Reset (Störungsquittierung) quittiert aufgetretene Störun- gen (rote LED leuchtet) [309]: ActualSpd Parameter zurückblättern [308]: SetRotSpd Blättert einen Parameter zurück [310]: DrvCurrent Parameter vorblättern [311]: OpHrsPump Blättert einen Parameter vor [001]: Heating Wert verändern (Editiermodus) –––►...
  • Seite 36: Einschalten

    Alle funktionsrelevanten Größen einer Turbopumpe sind als Parameter in der Antriebse- lektronik verankert. Jeder Parameter besitzt eine dreistellige Nummer und eine Benen- nung. Parameter können über Pfeiffer Vacuum Anzeige- und Bediengeräte oder über RS-485 mit dem Pfeiffer Vacuum Protokoll verwendet werden.
  • Seite 37: Druckmessung

    Betrieb ● Der Parameter ist eingestellt. ● Der Editiermodus für den Parameter ist beendet. Der Pfeil ( –––►) erlischt. Der Editiermodus ( –––►) wird unter folgenden Bedingungen automatisch und ohne Übernahme des zu verändernden Wertes wieder verlassen: ● Eingabeunterbrechung, bzw. keine Tastenbedienung länger als 10s. ●...
  • Seite 38: Pfeiffer Vacuum Protokoll Auf "Rs-485

    Pfeiffer Vacuum Protokoll auf "RS-485" 11 Pfeiffer Vacuum Protokoll auf "RS-485" 11.1 Telegrammrahmen Der Telegrammrahmen des Pfeiffer Vacuum-Protokolls enthält nur Zeichen im ASCII- Code [32; 127] mit Ausnahme des Telegramm-Ende Zeichens . Grundsätzlich sendet ein Master  (z.B. ein PC) ein Telegramm, welches von einem Slave  (z.B. Antriebse- lektronik oder Transmitter) beantwortet wird.
  • Seite 39: Beispiel 2

    Pfeiffer Vacuum Protokoll auf "RS-485" 11.2.2 Beispiel 2 Stellbefehl Pumpstand einschalten (Parameter [P:010], Geräteadresse Slave: "042") ! ASCII Stellbefehl verstanden Pumpstand einschalten (Parameter [P:010], Geräteadresse Slave: "042")  ASCII 11.3 Verwendete Datentypen Datentyp Beschreibung Länge l1 - l0 Beispiel 0 - boolean_old...
  • Seite 40: Störungen

    Ein, blinkend "Pumpstand AUS", Drehzahl > 60 min kein Fehler, keine Warnung Ein, blitzend Warnung Ein, konstant Fehler Die einfarbige Anzeige auf der Frontplatte des TCP 1200 zeigt die Betriebszustände der Antriebselektronik. Anzeige Aktivität Bedeutung – keine ausreichende Spannungsversorgung keine Blitzend –...
  • Seite 41: Fehlercodes

    Fehler- Problem mögliche Ursachen Behebung code Err001 Überdrehzahl  Pfeiffer Vacuum Service verständigen  Quittieren nur bei Drehzahl f = 0 Err002 Überspannung – falsche Netzeingangspannung  Netzeingangsspannung überprüfen  Quittieren nur bei Drehzahl f = 0  Pfeiffer Vacuum Service verständigen...
  • Seite 42 Störungen Fehler- Problem mögliche Ursachen Behebung code Wrn076 Hohe Temperatur Elektronik – mangelhafte Kühlung  Kühlung verbessern  Einsatzbedingungen überprüfen Wrn100 Drehzahl auf Minimalwert angehoben – Zulässige Vorgaben für Drehzahlstell-  [P:707] oder [P:717] überprüfen betrieb oder Standby nicht korrekt ...
  • Seite 43: Zubehör

    Zubehör 13 Zubehör Benennung TCP 1200 Netzkabel 230 V AC, CEE 7/7 auf HAN 3A, 3 m P 4564 309 HA Netzkabel 208 V AC, NEMA 6-15 auf HAN 3A, 3 m P 4564 309 HB Remote-Adapter für RS-485 PM 061 649 -X...
  • Seite 44: Maße

    Maße 14 Maße 482.7 303.6 465.7 435.8 482.7 Abb. 14: TCP 1200...
  • Seite 45: Konformitätserklärung

    Hiermit erklären wir, dass das unten aufgeführte Produkt allen einschlägigen Bestim- mungen folgender EG-Richtlinien entspricht: ● Elektromagnetische Verträglichkeit 2014/30/EU ● Niederspannung 2014/35/EU TCP 1200 Harmonisierte Normen und angewendete, nationale Normen und Spezifikationen: DIN EN 61000-3-2 : 2008 DIN EN 61000-3-3 : 2006...
  • Seite 46: Kompetenz In Theorie Und Praxis

    VAKUUMLÖSUNGEN AUS EINER HAND Pfeiffer Vacuum steht weltweit für innovative und individuelle Vakuumlösungen, für technologische Perfektion, kompetente Beratung und zuverlässigen Service. KOMPLETTES PRODUKTSORTIMENT Vom einzelnen Bauteil bis hin zum komplexen System: Wir verfügen als einziger Anbieter von Vakuumtechnik über ein komplettes Produktsortiment.

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