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Spectron Gas Control Systems GmbH
6.2.2 Einspülen des Prozessgases bis zum Verbraucher
Das Einspülen des kompletten Leitungsnetzes bis zum Verbraucher muss über ein Abgasventil
am Verbraucher erfolgen. Nehmen Sie dazu die Anlagendokumentation des Verbrauchers zur
Hand. Diese Prozedur gilt nicht für Fluor oder Fluorgemische.
1. Alle Ventile schließen.
2. Ventil der Prozessgasquelle und nachfolgend die Ventile HPI und PLI langsam öffnen, so-
dass sich der gesamte Bereich in dem das Prozessgas eindringen soll bis zum Verbraucher
mit diesem füllt (Druckaufbau). Dabei ist der Prozessquellendruck sowie die Gasarteigen-
schaften zu berücksichtigen.
3. Absperrventil am Verbraucher öffnen. Stellen Sie sicher, dass das Prozessgas gefahrlos
über den Verbraucher abgeleitet werden kann.
Die Entspannungsstation befindet sich jetzt in betriebsbereiten Zustand.
Nach der ersten Inbetriebnahme müssen immer beide Stationsseiten angeschlossen sein. Vor
jedem Flaschenwechsel ist der Umschalthebel mit der Anzeige "In Betrieb" auf die Flaschensei-
te umzulegen, aus der nun Gas entnommen werden soll. Der Pfeil mit der Aufschrift "Reserve-
seite" zeigt sodann auf die Seite der Entspannungsstation, auf der die Gasflaschen nun auszut-
auschen sind.
Das Umlegen des Umschalthebels ist außerordentlich wichtig, da ansonsten nach erfolg-
tem Austausch der entleerten Gasflaschen gegen volle Gasflaschen und nachfolgendem
Öffnen des Brauchgasventils, diese Seite wieder die Gasversorgung übernehmen würde!
Die Reserveseite bliebe dann die Reserve, jedoch mit nicht mehr 100%ig gefülltem Gas-
reservoir.
6.2.3 Passivieren und Einspülen für Fluorgemische
GEFAHR
Fluorgemische
Fluorgemische sind sehr stark toxische und korrosive Gase. Bei Beaufschlagung von nicht pas-
sivierten Oberflächen mit Fluorgemischen oder in Verbindung mit (Luft-)Feuchtigkeit kann es zu
heftigen Reaktionen kommen.
a) Beim Einsatz der Armaturen für Gasgemische mit einem Fluoranteil bis zu 10% sind die
Spül- und Passivierungsvorschriften genauesten einzuhalten!
b) Nicht für Gasgemische mit einem Fluoranteil > 10% einsetzen!
GEFAHR
Passivierung
Während der Passivierung kommt es durch die ablaufende chemische Reaktion zu einer örtli-
chen Erwärmung.
a) Vor der Passivierung muss die gesamte gasführende Oberfläche mit Spülgas gespült wer-
den!
b) Während des gesamten Vorganges muss die Temperatur der Armaturen überwacht wer-
den. Sie darf nicht 50°C überschreiten.
Die Passivierung muss stufenweise durchgeführt werden. In der ersten Stufe darf der Fluoran-
teil max. 1% betragen. In den weiteren Stufen darf die Konzentration jeweils um maximal 1% er-
höht werden. Insgesamt muss diese Passivierung aus mindestens 3 Stufen bestehen.
Wenn das gesamte System nach der ersten Stufe gefüllt ist, dann muss das Gasgemisch für
mindestens 12 Stunden bei etwa 1 bar im System verweilen.
Danach ist das gesamte System zu spülen und die nächste Stufe kann eingebracht werden.
GDS_BE56-2U_0720
Inbetriebnahme | 6
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