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Spectron Gas Control Systems GmbH
6.2.2 Einspülen des Prozessgases bis zum Verbraucher
Das Einspülen des kompletten Leitungsnetzes bis zum Verbraucher muss über ein Abgasventil
am Verbraucher erfolgen. Nehmen Sie dazu die Anlagendokumentation des Verbrauchers zur
Hand. Diese Prozedur gilt nicht für Fluor oder Fluorgemische.
1. Alle Ventile schließen und Druckregler durch Drehen des Handrades entgegen dem Uhrzei-
gersinn bis zum Anschlag vollständig entspannen.
2. Ventil der Prozessgasquelle und nachfolgend die Ventile HPI und PLI öffnen, sodass sich
der gesamte Bereich in dem das Prozessgas eindringen soll bis zum Verbraucher mit die-
sem füllt (Druckaufbau).
3. Druckregler zunächst schrittweise langsam auf einen geringen Hinterdruck einstellen.
Dabei ist der Prozessquellendruck sowie die Gasarteigenschaften zu berücksichtigen.
4. Absperrventil am Verbraucher öffnen. Stellen Sie sicher, dass das Prozessgas gefahrlos
über den Verbraucher abgeleitet werden kann.
Die Entspannungsstation befindet sich jetzt in betriebsbereiten Zustand.
Wenn der Betrieb im Anschluss an das Einspülen nicht fortgeführt wird, muss der Druckregler
wieder vollständig entspannt werden. Dies geschieht durch Drehen des Handrades gegen den
Uhrzeigersinn bis zum Anschlag.
Wenn der Betrieb der Anlage im Anschluss aufgenommen wird, den Druckregler schrittweise
auf den benötigten Hinterdruck einstellen.
6.2.3 Passivieren und Einspülen für Fluorgemische
GEFAHR
Fluorgemische
Fluorgemische sind sehr stark toxische und korrosive Gase. Bei Beaufschlagung von nicht pas-
sivierten Oberflächen mit Fluorgemischen oder in Verbindung mit (Luft-)Feuchtigkeit kann es zu
heftigen Reaktionen kommen.
a) Beim Einsatz der Armaturen für Gasgemische mit einem Fluoranteil bis zu 10% sind die
Spül- und Passivierungsvorschriften genauesten einzuhalten!
b) Nicht für Gasgemische mit einem Fluoranteil > 10% einsetzen!
GEFAHR
Passivierung
Während der Passivierung kommt es durch die ablaufende chemische Reaktion zu einer örtli-
chen Erwärmung.
a) Vor der Passivierung muss die gesamte gasführende Oberfläche mit Spülgas gespült wer-
den!
b) Während des gesamten Vorganges muss die Temperatur der Armaturen überwacht wer-
den. Sie darf nicht 50°C überschreiten.
Die Passivierung muss stufenweise durchgeführt werden. In der ersten Stufe darf der Fluoran-
teil max. 1% betragen. In den weiteren Stufen darf die Konzentration jeweils um maximal 1% er-
höht werden. Insgesamt muss diese Passivierung aus mindestens 3 Stufen bestehen.
Wenn das gesamte System nach der ersten Stufe gefüllt ist, dann muss das Gasgemisch für
mindestens 12 Stunden bei etwa 1 bar im System verweilen.
Danach ist das gesamte System zu spülen und die nächste Stufe kann eingebracht werden.
Wenn die Konzentration dem Prozessgas entspricht und die letzte Stufe abgeschlossen ist,
dann kann der Hinterdruck langsam bis auf den benötigten Prozessgasdruck erhöht werden.
GDS_BE55-1-VCR_1020
Inbetriebnahme | 6
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