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TC 1200 EC
Antriebselektronik
Betriebsanleitung
DE

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Inhaltszusammenfassung für Pfeiffer Vacuum TC 1200 EC

  • Seite 1 TC 1200 EC Antriebselektronik Betriebsanleitung...
  • Seite 2 6.3 Vernetzung über den Anschluss RS-485 ......20 Pfeiffer Vacuum Parametersatz ........21 7.1 Allgemeines .
  • Seite 3 Zu dieser Anleitung Zu dieser Anleitung Gültigkeit Diese Betriebsanleitung ist ein Kundendokument der Firma Pfeiffer Vacuum. Die Be- triebsanleitung beschreibt das benannte Produkt in seiner Funktion und vermittelt die wichtigsten Informationen für den sicheren Gebrauch des Gerätes. Die Beschreibung er- folgt nach den geltenden EU-Richtlinien.
  • Seite 4 Zu dieser Anleitung Piktogramme Verbot einer Handlung oder Tätigkeit im Zusammenhang mit einer Ge- fahrenquelle, deren Missachtung zu schwerwiegenden Unfällen führen kann Warnung vor der mit dem Piktogramm dargestellten Gefahr Gebot einer Handlung oder Tätigkeit im Umgang mit einer Gefahren- quelle, deren Missachtung zu schwerwiegenden Unfällen führen kann Wichtige Information zum Produkt oder zu diesem Dokument ...
  • Seite 5 Der sichere Betrieb nach der Installation liegt in der Verantwortung des Betreibers.  Keine eigenmächtigen Umbauten oder Veränderungen am Gerät vornehmen.  Für sichere Integration in einen Not-Aus-Sicherheitskreis sorgen.  Pfeiffer Vacuum für spezielle Anforderungen konsultieren. WARNUNG Gefahr durch fehlende Netztrenneinrichtung Pumpe und Antriebselektronik sind nicht mit einer Netztrenneinrichtung ausgestattet.
  • Seite 6  Nach Einbau in eine Anlage ist der Betreiber verpflichtet, vor der Inbetriebnahme die Konformität des Gesamtsystems im Sinne der geltenden EU-Richtlinien zu überprü- fen und entsprechend neu zu bewerten. ● Die Antriebselektronik TC 1200 EC dient dem Betrieb von Pfeiffer Vacuum Turbopum- pen und deren Zubehör. Nicht bestimmungsgemäße Verwendung Bei nicht bestimmungsgemäßem Einsatz erlischt jeglicher Haftungs- und Gewährleis-...
  • Seite 7 Informationen über weitere Zertifizierungen ggf. dem Prüfsiegel auf dem Produkt ent- nehmen oder unter: ● www.tuvdotcom.com ● TUVdotCOM-ID 0000021320 Die Antriebselektronik des Typs TC 1200 EC stellt einen festen Bestandteil der Turbo- Produktmerkmale pumpe dar. Sie dient dem Antrieb, der Überwachung sowie der Steuerung der gesamten Pumpe.
  • Seite 8 M12 Buchse (D-kodiert) mit Schraubverriegelung und L/A-LED für den Anschluss einer EtherCAT-Leitung zum nächsten Gerät. RS-485 M12 Buchse mit Schraubverriegelung für den Anschluss von Pfeiffer Vacuum Be- diengeräten oder PC. Die Verwendung eines Y-Verteilers ermöglicht die Einbin- dung in ein Bussystem.
  • Seite 9 Der sichere Betrieb nach der Installation liegt in der Verantwortung des Betreibers.  Keine eigenmächtigen Umbauten oder Veränderungen am Gerät vornehmen.  Für sichere Integration in einen Not-Aus-Sicherheitskreis sorgen.  Pfeiffer Vacuum für spezielle Anforderungen konsultieren. WARNUNG Gefahr durch fehlende Netztrenneinrichtung Pumpe und Antriebselektronik sind nicht mit einer Netztrenneinrichtung ausgestattet.
  • Seite 10 24 V DC** 24 V DC** Zubehör A1 Zubehör B1 CAN-H 24 V DC*** GND*** CAN-L n.c. RS 485 D + 24 V DC* out GND* RS 485 D - n.c. n.c. Abb. 4: Anschlussplan und Belegung der TC 1200 EC...
  • Seite 11  Eingehende Kabel aus Richtung Steuerung an EtherCAT IN einstecken.  Busverbindug zu weiteren Geräten an EtherCAT OUT anschließen. Die Verwendung von Ethernet Switches und Hubs ist nicht vorgesehen.  Zur Projektierung die ESI-Datei "TC 1200 EC.xml" verwenden ( im Lieferumfang). Projektierung Geräte-Identifikation EtherCAT-Geräte werden grundsätzlich durch ihre Position im Bus adressiert.
  • Seite 12 Verbindung aktiv "BOOTSTRAP" booting error Prozessdaten Prozessausgangsdaten ● Prozessausgangsdaten sind wie folgt vordefiniert: Default RxPDO (Steuerung -> TC 1200 EC, "output"), CoE 1600h.1-4 (1 Byte) Byte.Bit Bedeutung 7000.01 Turbo Start Stop Pumpstand (0: aus, 1: ein) 7000.02 Turbo Reset Alarm 0->1: Störungsquittierung...
  • Seite 13 Anschluss "EtherCAT" Byte.Bit Bedeutung 6000.01 Rotation Pumpe dreht > 60 min (0: nein, 1: ja) 6000.02 Normal Normalbetrieb (0: nein, 1: ja) 6000.03 Acceleration Pumpe beschleunigt (0: nein, 1: ja) 6000.04 Deceleration Pumpe verzögert (0: nein, 1: ja) 6000.05 Remote / Local Steuerung über EtherCAT (0: ja, 1: nein) 6000.07 Turbo Low Speed Standby (0: aus, 1: ein)
  • Seite 14 F9F8 FW Update Funct. Gen. Number (1) UDINT 1. Idx = Index, sIdx = Subindex, hexadezimal 2. RO = nur lesbar, RW = les-/schreibbar, P = für Prozessdaten geeignet Eingangsdaten (TC 1200 EC -> Steuerung) sIdx Name Zugriff Beschreibung 2000...
  • Seite 15 Anschluss "EtherCAT" sIdx Name Zugriff Beschreibung 2001 In Operation Speed Status USINT RO P 0: gestoppt (< 60 min 1: beschleunigt 2: auf Drehzahl 3: verzögert Actual Speed (rel.) SINT RO P Actual Speed (abs.) DINT RO P Ready for Process BOOL RO P Drehzahlschaltpunkt erreicht...
  • Seite 16 F9F7 Total Time Powered UDINT RO P 1. Idx = Index, sIdx = Subindex, hexadezimal 2. RO = nur lesbar, RW = les-/schreibbar, P = für Prozessdaten geeignet Ausgangsdaten (Steuerung -> TC 1200 EC) sIdx Name Zugriff Beschreibung 3005 Out Component Operation Htg.
  • Seite 17 : 01 00 00 00 status USINT response BYTE() 1. Idx = Index, sIdx = Subindex, hexadezimal 2. RO = nur lesbar, RW = les-/schreibbar, P = für Prozessdaten geeignet Konfigurationsdaten (Steuerung -> TC 1200 EC) sIdx Name Zugriff Beschreibung 4001 Cfg Pump Operation Intf.
  • Seite 18 Anschluss "EtherCAT" sIdx Name Zugriff Beschreibung DI1 Configuration USINT 0: deaktiviert 1: Freigabe Fluten 2: Heizung 3: Sperrgas 4: Hochlaufzeitüberwachung 5: Drehzahlstellbetrieb DI2 Configuration USINT siehe 4009.01 DI3 Configuration USINT siehe 4009.01 DO1 Configuration USINT 0: Drehzahlschaltpunkt erreicht 1: kein Fehler 2: Fehler 3: Warnung 4: Fehler und/oder Warnung...
  • Seite 19 Verbindungen Über den Anschluss mit der Bezeichnung ”RS-485“ an der Antriebselektronik ist die An- bindung eines Pfeiffer Vacuum Anzeige- und Bediengerätes (DCU oder HPU) oder ei- nes externen PC möglich. Die Schnittstelle ist galvanisch sicher von der maximal auftre- tenden Versorgungsspannung der Antriebselektronik getrennt. Die elektrischen Verbindungen sind intern optisch entkoppelt.
  • Seite 20 Anschluss "RS-485" Vernetzung über den Anschluss RS-485 USB/RS485-converter USB/RS485-converter RS 485 VORSICHT Gefahr eines elektrischen Schlages Die Isolationsmaßnahmen des Bussystems sind nur für die Verwendung von Sicher- heitskleinspannungen ausgelegt.  Nur geeignete Geräte an das Bussystem anschließen.  Die Verbindungen sind nach Spezifikation der Schnittstelle RS-485 aufzubauen. ...
  • Seite 21 Bezeichnung des Parameters in einem Pfeiffer Vacuum Anzeige- und Bediengerät Anzeige Kurzbeschreibung des Parameters Bezeichnung Funktionsbeschreibung des Parameters Funktionen Art der Formatierung des Parameters für die Verwendung mit dem Pfeiffer Vacuum Datentyp Protokoll R: Lesezugriff; W: Schreibzugriff Zugriffsart Physikalische Einheit der beschriebenen Kenngröße Einheit Zulässige Grenzwerte für die Eingabe eines Wertes...
  • Seite 22 Pfeiffer Vacuum Parametersatz Stellbefehle default  Anzeige Bezeichnung Funktionen Einheit min max 001 Heating Heizung 0 = aus 1 = ein 002 Standby Standby 0 = aus 1 = ein 004 RUTimeCtrl Hochlaufzeitüberwachung 0 = aus 1 = ein 009 ErrorAckn Störungsquittierung...
  • Seite 23 Pfeiffer Vacuum Parametersatz default  Anzeige Bezeichnung Funktionen Einheit min max 045 Cfg Rel R1 Konfiguration Relais 1 Optionen siehe [P:019] 046 Cfg Rel R2 Konfiguration Relais 2 Optionen siehe [P:019] 047 Cfg Rel R3 Konfiguration Relais 3 Optionen siehe [P:019]...
  • Seite 24 Pfeiffer Vacuum Parametersatz default  Anzeige Bezeichnung Funktionen Einheit min max TempPmpBot Temperatur Pumpenunterteil °C 999999 TMSactTemp aktuelle Temperatur TMS-Heizung °C 999999 TMS steady Temperatur TMS eingeschwungen AccelDecel Beschleunigung / Verzögerung rpm/s 999999 TempBearng Temperatur Lager °C 999999 TempMotor Temperatur Motor °C...
  • Seite 25 Pfeiffer Vacuum Parametersatz Option Beschreibung 3 = Vorpumpe Steuerung über Parameter Pumpstand und Betriebsart Vor- pumpe 4 = Lüfter (temperaturgeregelt) Steuerung über Parameter Pumpstand und Temperatur- schwellenwerte 5 = Sperrgas Steuerung über Parameter Pumpstand und Sperrgas 6 = immer 0 GND für die Steuerung eines externen Gerätes...
  • Seite 26 0 = aus Schnittstellenauswahl über [P:060] einstellbar 1 = ein Schnittstellenauswahl verriegelt Arbeiten mit dem Pfeiffer Vacuum Parametersatz Die Antriebselektronik ist werkseitig vorprogrammiert. Dadurch wird der einwandfreie Werkseinstellungen und sichere Betrieb der Turbopumpe ohne zusätzliche Konfiguration gewährleistet.  Vor dem Betrieb mit Parametern Sollwertvorgaben und Stellbefehle auf ihre Eignung Einstellungen über-...
  • Seite 27 Das Pumpen von Gasen mit höheren Molekülmassen im falschen Gasmodus kann zur Zerstörung der Pumpe führen.  Auf korrekt eingestellten Gasmodus achten.  Vor Einsatz von Gasen mit größeren Molekülmassen (>80) Pfeiffer Vacuum verständigen. ● Gasmodus "0” für Gase mit der Molekülmasse > 39, z. B. Argon.
  • Seite 28 Pfeiffer Vacuum Parametersatz Der Drehzahlschaltpunkt kann zur Meldung "Pumpe für den Prozess betriebsbereit" ge- Drehzahlschaltpunkt nutzt werden. Überschreiten oder Unterschreiten des aktiven Drehzahlschaltpunkts ak- einstellen tiviert bzw. deaktiviert ein Signal am vorkonfigurierten Ausgang der Antriebselektronik und den Statusparameter [P:302]. Drehzahlschaltpunkt 1 ...
  • Seite 29 Wert ein.  Zulässigen Drehzahlbereich der Turbopume einhalten (siehe Kap. Technische Daten der Betriebsanleitung für die betreffende Turbopumpe). Pfeiffer Vacuum empfiehlt den Standby-Betrieb der Turbopumpe während Prozess- oder Standby Betriebspausen. Bei aktiviertem Standby-Betrieb reduziert die Antriebselektronik die Drehzahl der Turbopumpe.
  • Seite 30 Vorvakuumdrücke der Vorpumpen erforden das individuelle Einstellen des Intervallbetriebs. Pfeiffer Vacuum empfiehlt den Intervallbetrieb zwischen 5 und 10 hPa. Für das Einstellen der Schaltschwellen ist eine Druckmesseinrichtung und ein Dosierventil notwendig.  Vakuumsystem mit der Funktion "Pumpstand" einschalten und Hochlauf abwarten.
  • Seite 31 Pfeiffer Vacuum Parametersatz Je nach Konfiguration können verschiedene Zubehörgeräte an der Turbopumpe ange- Betrieb mit Zubehör schlossen und über Parameter der Antriebselektronik gesteuert werden. Heizung  Mit Parameter [P:001] Heizung ein- oder ausschalten. Die Aktivierung der angeschlossenen Gehäuseheizung ist abhängig vom Drehzahl-...
  • Seite 32 Pfeiffer Vacuum Parametersatz Pumpe ein-/ausschalten Die Funktion "Pumpstand" umfasst den Betrieb der Turbopumpe mit der Steuerung aller Einschalten angeschlossenen Zubehörgeräte (z.B. Vorpumpe).  Parameter [P:023] = 1  Parameter [P:010] = 1 Anstehende (und behobene) Störungsmeldungen werden zurückgesetzt. Nach erfolg- reich abgeschlossenem Selbsttest setzt die Antriebselektronik den Motor der Turbopum- pe und alle angeschlossenen Zubehörgeräte entsprechend ihrer Konfiguration in Be-...
  • Seite 33 Pfeiffer Vacuum Protokoll auf "RS-485" Pfeiffer Vacuum Protokoll auf "RS-485" Telegrammrahmen Der Telegrammrahmen des Pfeiffer Vacuum-Protokolls enthält nur Zeichen im ASCII- Code [32; 127] mit Ausnahme des Telegramm-Ende Zeichens . Grundsätzlich sendet ein Master  (z.B. ein PC) ein Telegramm, welches von einem Slave  (z.B. Antriebse- lektronik oder Transmitter) beantwortet wird.
  • Seite 34 Pfeiffer Vacuum Protokoll auf "RS-485" Beispiel 2 Stellbefehl Pumpstand einschalten (Parameter [P:010], Geräteadresse Slave: "042") ! ASCII Stellbefehl verstanden Pumpstand einschalten (Parameter [P:010], Geräteadresse Slave: "042")  ASCII Verwendete Datentypen Datentyp Beschreibung Länge l1 - l0 Beispiel 0 - boolean_old...
  • Seite 35 Fehler- Problem mögliche Ursachen Behebung code Err001 Überdrehzahl  Pfeiffer Vacuum Service verständigen  Quittieren nur bei Drehzahl f = 0 Err002 Überspannung – falsche Netzeingangspannung  Netzeingangsspannung überprüfen  Quittieren nur bei Drehzahl f = 0  Pfeiffer Vacuum Service verständigen...
  • Seite 36 Problem mögliche Ursachen Behebung code Err010 Interner Gerätefehler  Pfeiffer Vacuum Service verständigen  Quittieren nur bei Drehzahl f = 0 Err021 Antriebselektronik erkennt Pumpe nicht  Pfeiffer Vacuum Service verständigen  Quittieren nur bei Drehzahl f = 0 Err043 Interner Konfigurationsfehler ...
  • Seite 37 Störungen Fehler- Problem mögliche Ursachen Behebung code Wrn119 Hohe Temperatur Lager – mangelhafte Kühlung  Kühlung verbessern  Einsatzbedingungen überprüfen Wrn143 Hohe Temperatur Betriebsmittelpumpe – mangelhafte Kühlung  Kühlung verbessern  Einsatzbedingungen überprüfen Wrn168 Hohe Verzögerung – Druckanstiegsgeschwindigkeit zu  Flutrate pumpenspezifisch überprüfen und hoch;...
  • Seite 38 Hiermit erklären wir, dass das unten aufgeführte Produkt allen einschlägigen Bestim- mungen folgender EG-Richtlinien entspricht: ● Elektromagnetische Verträglichkeit 2004/108/EG ● Niederspannung 2006/95/EG TC 1200 EC Harmonisierte Normen und angewendete, nationale Normen und Spezifikationen: DIN EN 61000-3-2 : 2008 DIN EN 61000-3-3 : 2006...
  • Seite 39 Vakuumlösungen Pfeiffer Vacuum steht weltweit für innovative und individuelle aus einer Hand Vakuumlösungen, für technologische Perfektion, kompetente Beratung und zuverlässigen Service. Komplettes Vom einzelnen Bauteil bis hin zum komplexen System: Produktsortiment Wir verfügen als einziger Anbieter von Vakuumtechnik über ein komplettes Produktsortiment.