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Abb. 5:
Zone frei von leit-
fähigem Material
mit den Abmes-
sungen R
Platzierung der Entladeelektrode
Optimale Entladeergebnisse werden erzielt, wenn die Elektrode in
Bereichen minimaler Bahnkapazitäten platziert wird. In der Praxis bedeu-
tet dies eine Platzierung mit maximalen Abständen zur Maschinenumge-
bung, d.h. keine Montage der Entladeelektrode an Umlenkwalzen.
Als Anhaltspunkt kann folgende Betrachtung dienen:
Ein Raum mit dem Radius R des Elektrodenabstandes zur Bahn sollte
mindestens frei von leitfähigem Material bleiben (Abb. 5). Die Entfernung
der Emissionsspitzen zur leitfähigen, geerdeten Maschinenumgebung
muss größer sein als zu dem zu entladenden Substrat.
Der Abstand der Entladeelektrode zum Substrat beträgt je nach Anwen-
dungsfall 30...100 mm.
R
R
R
Bei zweiseitiger Entladung dürfen die Elektroden nicht gegenüberliegend
angeordnet sein. Der Abstand zwischen den beiden Elektroden sollte
größer sein als der zweifache Elektrodenabstand zur Bahn.
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BA-de-2019-2111_EXR5C / EXR50
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