Setup - Agilent VacIon Plus 800 Bedienungsanleitung

Betriebsanleitung
Vakuumkammer
Thermoelement-Manometer
Ventil
Turbomolekularpumpe
Primäre Scroll-Pumpe
Hochspannungskabel
Hochspannungskabel
Ionenpumpenregler
VacIon-Pumpe
Abbildung 6 Typischer Aufbau

Setup

Schrauben Sie die Hauptflanschschrauben ab und heben Sie den Blindflansch an.
Entfernen Sie die Kupferdichtungsplatte, die nicht wiederverwendet werden darf, um den
Flansch nicht zu beschädigen.
Abbildung 7
56 Agilent VacIon Plus 800 User Manual