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Agilent VacIon Plus 800 Bedienungsanleitung

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Agilent VacIon Plus 800
User Manual

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Verwandte Anleitungen für Agilent VacIon Plus 800

Inhaltszusammenfassung für Agilent VacIon Plus 800

  • Seite 1 Agilent VacIon Plus 800 User Manual...
  • Seite 2 A WARNING notice denotes a hazard. Should Agilent and the user have a It calls attention to an operating Agilent Technologies Italia S.p.A. separate written agreement with procedure, practice, or the like that, if...

  • Seite 3: Inhaltsverzeichnis

    Uso corretto Uso improprio Attrezzatura di protezione Linee guida di sicurezza per pompe ioniche Trasporto e immagazzinaggio Descrizione del prodotto Installazione della pompa VacIon Plus 800 Preparazione per l'installazione Procedura di ispezione Ispezione visiva Valutazione del vuoto Cortocircuiti Installazione tipica...
  • Seite 4 Contents Unità di controllo per pompe VacIon Plus Collegamento dell'unità di controllo Avvio e funzionamento della pompa VacIon Plus 800 Operazioni preliminari prima di attivare la pompa Procedura di funzionamento Arresto della pompa VacIon Plus 800 Manutenzione Pulizia Smaltimento Servizio Post Vendita Betriebsanleitung Informationen über diese Betriebsanleitung...
  • Seite 5 Prüfung auf Vakuumintegrität Kurzschlüsse Typischer Aufbau Setup VacIon Plus 800 montieren Einlassflansch anschließen VacIon Plus Pumpenregler Anschluss der Steuereinheit Inbetriebnahme und Betrieb der VacIon Plus 800 Vorläufige Maßnahmen vor dem Einschalten der Pumpe Betrieb VacIon Plus 800 anhalten Wartung Reinigung Entsorgung Service Manuel d’utilisation...
  • Seite 6 Raccordement de la bride d’entrée Contrôleurs de la pompe VacIon Plus Raccordement de l’unité de commande Démarrage et fonctionnement de la pompe VacIon Plus 800 Actions préliminaires à la mise en marche de la pompe Procédure d’utilisation Arrêt de la pompe VacIon Plus 800...
  • Seite 7 Evaluación de vacío Cortocircuitos Instalación típica Preparación Montaje VacIon Plus 800 Conexión de brida de entrada Controladores de bomba VacIon Plus Conexión de la unidad de control Puesta en marcha y funcionamiento del VacIon Plus 800 Agilent VacIon Plus 800 User Manual...
  • Seite 8 Acciones preliminares antes de encender la bomba Procedimiento de funcionamiento Parada de VacIon Plus 800 Mantenimiento Limpieza Eliminación Servicio 使用说明 关于本手册 有效性 定义与术语 小心、警告和注意的定义 警告符号 安全 正确使用 不当使用 防护设备 离子泵的安全使用指南 运输和存储 产品描述 VacIon Plus 800 的安装 安装准备 检查程序 目视检查 真空评估 Agilent VacIon Plus 800 User Manual...
  • Seite 9 Contents 短路 典型安装 设置 VacIon Plus 800 的安装 入口法兰连接 真空加泵控制器 控制单元连接 VacIon Plus 800 的启动和运行 启动泵之前的初步操作 操作程序 停止 VacIon Plus 800 维护 清洗 处置 服务 取扱説明書 この説明書について 有効期限 定義と用語 注意、警告および注記の定義 警告記号 安全性 適切な取扱い 不適切な取扱い Agilent VacIon Plus 800 User Manual...
  • Seite 10 VacIon Plus 800 の取り付け 取り付けの準備 点検の手順 目視点検 真空の評価 ショート回路 (短絡) 標準的な設備 セットアップ VacIon Plus 800 の取り付け インレットフランジ接続 VacIon Plus ポンプコントローラー コントロールユニット接続 VacIon Plus 800 のセットアップと操作 ポンプをオンにする前の予備動作 操作の手順 VacIon Plus 800 を停止する メンテナンス クリーニング 処分 サービス Agilent VacIon Plus 800 User Manual...
  • Seite 11 Preparation for installation Inspection Procedure Visual Inspection Vacuum Evaluation Short Circuits Typical Installation Set-up VacIon Plus 800 mounting Inlet flange connection VacIon Plus Pump Controllers Control Unit Connection Start-up and operation of the VacIon Plus 800 Agilent VacIon Plus 800 User Manual...
  • Seite 12 Operating Procedure Stopping the VacIon Plus 800 Maintenance Cleaning Disposal Service Technical Information Description of the VacIon Plus 800 Technical specification Outline Drawing Stray Magnetic Field Pump Operating Procedure Safety Interlock Bakeout Operation Bakeout of VacIon Pump with the Integral Heaters...

  • Seite 13: Istruzioni Per L'uso

    Collegamento della flangia di ingresso Unità di controllo per pompe VacIon Plus Collegamento dell'unità di controllo Avvio e funzionamento della pompa VacIon Plus 800 Operazioni preliminari prima di attivare la pompa Procedura di funzionamento Arresto della pompa VacIon Plus 800...

  • Seite 14: Informazioni Su Questo Manuale

    Istruzioni per l’uso Informazioni su questo manuale Validità Questo manuale elenca le istruzioni per gli utenti della VacIon Plus 800, con particolare riferimento alle nozioni relative a sicurezza, funzionamento e manutenzione di primo livello, limitatamente alle operazioni di manutenzione di cui l’utente è...

  • Seite 15: Definizioni E Terminologia

    I messaggi di attenzione sono visualizzati prima di procedure che, se non ATTENZIONE osservate, potrebbero causare danni all’apparecchiatura. Le note contengono informazioni importanti e forniscono maggiori dettagli su NOTA passaggi specifici. Agilent VacIon Plus 800 User Manual...

  • Seite 16: Simboli Di Avvertenza

    Simboli di avvertenza Di seguito si riporta un elenco di simboli che vengono visualizzati insieme agli avvisi della pompa VacIon Plus 800. Viene mostrato anche il pericolo che descrivono. Un simbolo triangolare indica un’avvertenza. I significati dei simboli che possono...
  • Seite 17 Vietato l’accesso ai portatori di stimolatori cardiaci attivi Pericolo campo magnetico Peso Data di produzione Presenza di tensioni pericolose Presenza di superfici surriscaldate Pericolo generico Certificazione CE Certificazione CSA Certificazione RoHS Cina Rifiuti di Apparecchiature Elettriche ed Elettroniche Agilent VacIon Plus 800 User Manual...

  • Seite 18: Sicurezza

    Gli accessori e le attrezzature utilizzati con il prodotto devono essere forniti o approvati da Agilent Technologies.

  • Seite 19: Uso Improprio

    Istruzioni per l’uso Uso improprio Agilent Technologies declina ogni responsabilità derivante dall’uso improprio della VacIon Plus 800. L’uso improprio comporterà la perdita di tutti i reclami per responsabilità e garanzie. L’uso improprio è definito come: installazione della pompa con materiale di montaggio non ...

  • Seite 20: Attrezzatura Di Protezione

    In generale, l'operatore deve indossare scarpe antinfortunistiche durante la manipolazione della VacIon Plus 800 e durante l'installazione. Pericolo per la salute a causa di sostanze pericolose durante la AVVERTENZA manutenzione o l’installazione.

  • Seite 21: Linee Guida Di Sicurezza Per Pompe Ioniche

    Per evitare danni alle apparecchiature e per prevenire lesioni al personale AVVERTENZA operativo, è necessario seguire scrupolosamente le istruzioni di installazione fornite nel presente manuale! Agilent VacIon Plus 800 User Manual...

  • Seite 22: Trasporto E Immagazzinaggio

    Trasporto e immagazzinaggio Al fine di garantire il massimo livello di prestazioni e affidabilità delle pompe ioniche Agilent, è necessario attenersi alle seguenti linee guida per evitare la formazione di condensa: durante il trasporto, la movimentazione e l'immagazzinaggio delle pompe, non ...

  • Seite 23: Installazione Della Pompa Vacion Plus 800

    Evitare urti improvvisi della pompa VacIon Plus 800, ad es. a causa di cadute. Prestare attenzione a conservare la confezione di imballaggio per riutilizzarla in caso di immagazzinaggio per un lungo periodo di tempo o di spedizione.
  • Seite 24 Il funzionamento delle pompe è ottimizzato solo con l’uso delle apposite unità di controllo Agilent. Il rispetto delle normative di sicurezza nell’uso delle pompe è garantito solo ATTENZIONE con l’uso delle unità di controllo Agilent. Agilent VacIon Plus 800 User Manual...

  • Seite 25: Procedura Di Ispezione

    è stata danneggiata. La pompa non viene danneggiata da tale esposizione, sebbene sia buona prassi mantenerla sotto vuoto quando non è in uso, per evitare la contaminazione da polvere e l'accumulo di vapore acqueo presente nell'ambiente. Agilent VacIon Plus 800 User Manual...

  • Seite 26: Valutazione Del Vuoto

    In questo caso spegnere immediatamente l'alimentazione. Se l'integrità del vuoto è stata compromessa, la pompa deve essere controllata con uno spettrometro di massa prima dell'installazione nel sistema. Agilent VacIon Plus 800 User Manual...

  • Seite 27: Cortocircuiti

    La lettura di un ohmmetro sul passante della pompa potrebbe non essere efficace per trovare un cortocircuito. I cortocircuiti possono essere causati da urti meccanici alla pompa. Se la pompa è in cortocircuito, contattare Agilent. Installazione tipica Un'installazione tipica è mostrata nella figura seguente ed è costituita da: Pompa VacIon Plus.

  • Seite 28: Configurazione

    Figura 1 Installazione tipica Configurazione Svitare i bulloni della flangia principale e sollevare la flangia cieca. Rimuovere la guarnizione di tenuta in rame, che non deve essere riutilizzata, senza danneggiare la flangia. Figura 2 Agilent VacIon Plus 800 User Manual...

  • Seite 29: Montaggio Della Pompa Vacion Plus 800

    Si consiglia di utilizzare sempre quattro punti di aggancio. La pompa VacIon Plus 800 può essere installata in qualsiasi posizione, se adeguatamente sostenuta. Per installazioni in verticale in cui la pompa non venga appoggiata alla base o per installazioni in posizione diversa dalla verticale, la pompa, dato il suo peso, non può...

  • Seite 30: Collegamento Della Flangia Di Ingresso

    Alcune particelle di ossido di rame possono aderire al bordo esterno della guarnizione della flangia. Fare attenzione a non farle cadere nella pompa insieme a eventuali altri materiali estranei. Agilent VacIon Plus 800 User Manual...
  • Seite 31 6 – 11 Nm (4.5 - 8 ft.-lb). Dopo aver serrato un dado, stringere sempre il dado opposto rispetto al centro della flangia. Questa operazione serve a chiudere parzialmente il gioco tra le facce della flangia. Agilent VacIon Plus 800 User Manual...
  • Seite 32 Se per qualsiasi motivo non è possibile montare le viti nemmeno dal lato superiore, utilizzare perni prigionieri. Camera da vuoto Dado Rondella Perno prigioniero a doppia estremità M8 Rondella Dado Pompa VacIon Figura 4 Montaggio del perno prigioniero. Agilent VacIon Plus 800 User Manual...

  • Seite 33: Unità Di Controllo Per Pompe Vacion Plus

    Istruzioni per l’uso Unità di controllo per pompe VacIon Plus Le seguenti unità di controllo sono disponibili per alimentare le pompe VacIon Plus 800: 4UHV  IPC-Mini  Fare riferimento al catalogo del vuoto Agilent per scegliere la corretta unità di controllo (polarità...

  • Seite 34: Avvio E Funzionamento Della Pompa Vacion Plus 800

    Istruzioni per l’uso Avvio e funzionamento della pompa VacIon Plus 800 Tutte le istruzioni per l'uso corretto delle pompe VacIon Plus 800 sono contenute nel presente manuale e nel relativo manuale dell'unità di controllo della pompa. Leggere attentamente questi manuali prima di utilizzare la pompa.

  • Seite 35: Procedura Di Funzionamento

    PROTEZIONE, se l'unità di controllo ha questa predisposizione. Il sistema è ora automaticamente protetto contro gli aumenti di pressione al di sopra del limite preimpostato. Se si verifica tale aumento, l'unità di controllo viene disattivata automaticamente. Agilent VacIon Plus 800 User Manual...
  • Seite 36 Quando l'elemento riscaldante è installato, non toccare la pompa AVVERTENZA durante le fasi di riscaldamento e raffreddamento. L'alta temperatura può causare gravi danni. Non posizionare alcun dispositivo elettronico vicino alla pompa perché il ATTENZIONE campo magnetico può causare un malfunzionamento del dispositivo. Agilent VacIon Plus 800 User Manual...

  • Seite 37: Arresto Della Pompa Vacion Plus 800

    Istruzioni per l’uso Arresto della pompa VacIon Plus 800 Per arrestare la pompa mentre è in funzione, è necessario agire sull'unità di controllo che aziona la pompa e che è collegata ad essa. Manutenzione Le pompe delle serie VacIon Plus non richiedono alcuna manutenzione. Qualsiasi intervento sulle pompe deve essere eseguito da personale autorizzato.

  • Seite 38: Pulizia

    Agilent più vicino per la riparazione. Le pompe VacIon Plus 800 sono progettate con passanti ad alta tensione ed elementi pompa sostituibili. Prima di restituire la pompa al costruttore per le riparazioni, compilare il modulo NOTA "Request for Return"...

  • Seite 39: Smaltimento

    Figura 5 Logo "WEEE" Per maggiori informazioni consultare: http://www.agilent.com/environment/product/index.shtml Agilent VacIon Plus 800 User Manual...

  • Seite 40: Servizio Post Vendita

    È necessario completare il modulo “Request for Return” per restituire la pompa ad Agilent per l'assistenza (fornito alla fine di questo manuale). Agilent VacIon Plus 800 User Manual...

  • Seite 41: Betriebsanleitung

    Prüfung auf Vakuumintegrität Kurzschlüsse Typischer Aufbau Setup VacIon Plus 800 montieren Einlassflansch anschließen VacIon Plus Pumpenregler Anschluss der Steuereinheit Inbetriebnahme und Betrieb der VacIon Plus 800 Vorläufige Maßnahmen vor dem Einschalten der Pumpe Betrieb VacIon Plus 800 anhalten Wartung Reinigung Entsorgung Service...

  • Seite 42: Informationen Über Diese Betriebsanleitung

    Informationen über diese Betriebsanleitung Gültigkeit Diese Betriebsanleitung enthält die Anweisungen für die Benutzer der VacIon Plus 800 mit besonderer Bezugnahme auf die Begriffe für Sicherheit, Betrieb und Wartung auf der ersten Ebene, auf die Wartungsarbeiten beschränkt, für die der Benutzer verantwortlich ist.

  • Seite 43: Definitionen Und Terminologie

    Personen zur Folge haben könnte, wenn er nicht korrekt ausgeführt wird. Die Vorsichtshinweise werden vor Verfahren angezeigt, die Schäden am Gerät VORSICHT verursachen könnten, wenn sie nicht beachtet werden. Die Hinweise enthalten wichtige Informationen und liefern weitere Details über HINWEIS spezifische Arbeitsschritte. Agilent VacIon Plus 800 User Manual...

  • Seite 44: Warnsymbole

    Allgemeine Gefahr überhitzten Oberflächen Spannungen Vorhandensein von Quetschgefahr Schnittgefahr Gefahrstoffen Gefahr durch Herzschrittmacherträgern Magnetfelder ist der Zugang verwehrt Persönliche Schutzhandschuhe Unfallschutzschuhe Schutzausrüstung tragen tragen tragen Europäische Einschaltung Ausschaltung Konformitätserklärung Abfälle elektrischer und elektronischer Geräte Agilent VacIon Plus 800 User Manual...
  • Seite 45 Die folgenden Symbole erscheinen für Ihre Information auf dem Gerät. Einschaltung Ausschaltung Kein Zutritt für Personen mit Herzschrittmachern Gefahr durch Magnetfelder Gewicht Herstellungsdatum Vorhandensein gefährlicher Spannungen Vorhandensein von überhitzten Oberflächen Allgemeine Gefahr CE-Zertifizierung CSA-Zertifizierung China RoHS-Zertifizierung Abfälle elektrischer und elektronischer Geräte Agilent VacIon Plus 800 User Manual...

  • Seite 46: Sicherheit

    Sicherheitsbedingungen unwirksam machen und Unfälle des Personals, das die Maschine verwendet, verursachen. Agilent Technologies weist jede Verantwortung für Schäden an der Maschine oder für die körperliche Sicherheit des Bedieners oder Dritter aufgrund der Nichtbeachtung der Sicherheitsvorschriften, die in der technischen Dokumentation angegeben werden, zurück.

  • Seite 47: Unsachgemäße Anwendung

    Betriebsanleitung Unsachgemäße Anwendung Agilent Technologies weist jede Verantwortung aufgrund von unsachgemäßer Anwendung der VacIon Plus 800 zurück. Bei unsachgemäßer Verwendung verfallen alle Haftungs- und Gewährleistungsansprüche. Unsachgemäße Verwendung ist definiert als: Installation der Pumpe mit nicht spezifiziertem Befestigungsmaterial  Pumpen von ätzenden und oxidierenden Gasen ohne ordnungsgemäßen ...

  • Seite 48: Persönliche Schutzausrüstung

    Außerdem muss es die Sicherheitsanforderungen der gültigen Gesetzgebung im Anwendungsland der Maschine erfüllen. Im Allgemeinen muss der Bediener während der Handhabung der VacIon Plus 800 und während der Installation Unfallschutzschuhe tragen. Gesundheitsgefahr wegen Gefahrstoff während der Wartung oder der WARNUNG Installation.

  • Seite 49: Sicherheitsrichtlinie Für Ionenpumpen

    Temperatur zu schweren Verletzungen führen kann. Um Schäden an den Geräten zu vermeiden und um Verletzungen des WARNUNG Bedienpersonals zu verhindern, ist es notwendig, die in dieser Betriebsanleitung ausgehändigten Installationsanweisungen strengstens zu befolgen. Agilent VacIon Plus 800 User Manual...

  • Seite 50: Transport Und Lagerung

    Betriebsanleitung Transport und Lagerung Um ein Höchstmaß an Leistung und Zuverlässigkeit der Agilent Ionenpumpen zu gewährleisten, müssen folgende Richtlinien zum Vermeiden von Kondensation eingehalten werden: Beim Versand, Transport und der Lagerung von Pumpen sollten folgende  Vorschriftswerte für die Umgebung nicht überschritten werden: Temperatur: zwischen -20 °C und +70 °C;...

  • Seite 51: Vacion Plus 800 Installieren

    Betriebsanleitung VacIon Plus 800 installieren Vorbereitung zur Installation Die VacIon Plus 800 Pumpe wird in einer speziellen Schutzverpackung angeliefert. Wenn die Verpackung Anzeichen von Schäden aufweist, die während des Transports aufgetreten sein könnten, wenden Sie sich an Ihre örtliche Vertriebsstelle.
  • Seite 52 Pumpe nach dem Entfernen des Transportflansches erst angeschlossen werden, wenn die Pumpe im System installiert ist und alle Eintrittsflansche entsprechend angeschlossen oder geschlossen sind. Der Pumpenbetrieb wird nur durch den Einsatz speziell dafür vorgesehener Agilent Steuereinheiten optimiert. Die Einhaltung der Sicherheitsvorschriften beim Gebrauch der Pumpen ist nur VORSICHT! bei Verwendung von Agilent Steuereinheiten gewährleistet.

  • Seite 53: Inspektionsverfahren

    Atmosphäre ausgesetzt war, funktioniert einwandfrei, wenn sie nicht beschädigt wurde. Die Pumpe wird durch eine solche Aussetzung nicht beschädigt, obwohl sie normalerweise bei Nichtgebrauch unter Vakuum gehalten wird, um die Verunreinigung durch Staub und die Kondenswasserbildung aus der Umgebung zu vermeiden. Agilent VacIon Plus 800 User Manual...

  • Seite 54: Prüfung Auf Vakuumintegrität

    Pumpenstrom. Schalten Sie in diesem Fall den Strom sofort aus. Wenn die Vakuumintegrität nicht gegeben ist, sollte die Pumpe vor dem Einbau in das System mit einem Massenspektrometer-Lecksucher auf durchlässige Stellen überprüft werden. Agilent VacIon Plus 800 User Manual...

  • Seite 55: Kurzschlüsse

    Auffinden eines Kurzschlusses dienen. Kurzschlüsse können durch einen mechanischen Schlag an der Pumpe verursacht werden. Wenn die Pumpe einen Kurzschluss hatte, wenden Sie sich an Agilent. Typischer Aufbau Ein typischer Aufbau ist in der folgenden Abbildung dargestellt und besteht aus: VacIon Plus-Pumpe.

  • Seite 56: Setup

    VacIon-Pumpe Abbildung 6 Typischer Aufbau Setup Schrauben Sie die Hauptflanschschrauben ab und heben Sie den Blindflansch an. Entfernen Sie die Kupferdichtungsplatte, die nicht wiederverwendet werden darf, um den Flansch nicht zu beschädigen. Abbildung 7 Agilent VacIon Plus 800 User Manual...

  • Seite 57: Vacion Plus 800 Montieren

    Position muss die Pumpe aufgrund ihres Gewichts angemessen abgestützt werden. Es wird empfohlen, immer vier Befestigungspunkte zu nutzen. Die VacIon Plus 800 Pumpe kann in jeder beliebigen Position installiert werden, sofern sie gut gestützt wird. Der Einfachheit halber wird sie normalerweise in vertikaler Position mit dem Einlassflansch nach oben montiert, wobei die Halterbügel unter der Pumpe als Stütze dienen.

  • Seite 58: Einlassflansch Anschließen

    Schrauben Sie die Hauptflanschschrauben ab und heben Sie den Blindflansch an. Entfernen Sie die Kupferdichtungsplatte, die nicht wiederverwendet werden darf. Einige Kupferoxidpartikel können an der Außenkante der Flanschdichtung anhaften. Achten Sie darauf, dass diese oder andere Fremdmaterialien nicht in die Pumpe gelangen. Agilent VacIon Plus 800 User Manual...
  • Seite 59 Wenn die Schrauben nicht versilbert sind, ist eine Schmierung unerlässlich, um ein HINWEIS Festfressen von Mutter und Schraube nach dem Ausbrennen zu verhindern. Es ist darauf zu achten, dass die dem Vakuum ausgesetzten Flächen nicht mit Schmiermittel verunreinigt werden. Agilent VacIon Plus 800 User Manual...
  • Seite 60 Positionen unbequem sein könnte. Wenn aus irgendeinem Grund weder von der Oberseite noch von der Unterseite aus Schrauben montiert werden können, verwenden Sie Stiftschrauben. Vakuumkammer Mutter Unterlegsche Stiftschrauben M8 Unterlegsche Mutter VacIon-Pumpe Abbildung 9 Montage der Stiftschrauben Agilent VacIon Plus 800 User Manual...

  • Seite 61: Vacion Plus Pumpenregler

    Betriebsanleitung VacIon Plus Pumpenregler Für die Versorgung der VacIon Plus 800 Pumpen sind die folgenden Regler erhältlich: 4UHV Regler  IPC-Mini  Bitte entnehmen Sie dem Agilent Vakuumkatalog die richtigen Regler (Polarität und Leistung) für jede Pumpe. Anschluss der Steuereinheit...

  • Seite 62: Inbetriebnahme Und Betrieb Der Vacion Plus 800

    Betriebsanleitung Inbetriebnahme und Betrieb der VacIon Plus 800 Alle Anweisungen für den richtigen Gebrauch der VacIon Plus 800 Pumpen sind in diesem Handbuch und im Handbuch der entsprechenden Pumpensteuereinheit enthalten. Lesen Sie diese Handbücher vor der Verwendung der Pumpe aufmerksam durch.

  • Seite 63: Betrieb

    Steuereinheit in den SCHUTZ-Zustand, wenn die Steuereinheit diesen Zustand vorsieht. Das System ist jetzt automatisch gegen Druckanstiege über den voreingestellten Grenzwert hinaus geschützt. Sollte ein solcher Anstieg auftreten, wird die Steuereinheit automatisch abgeschaltet. Agilent VacIon Plus 800 User Manual...
  • Seite 64 Wenn das Heizelement installiert ist, berühren Sie die Pumpe während der WARNUNG Aufheiz- und Abkühlphase nicht. Die hohe Temperatur kann zu schweren Verletzungen führen. Stellen Sie kein elektronisches Gerät in die Nähe der Pumpe, da das Magnetfeld VORSICHT eine Fehlfunktion des Geräts verursachen kann. Agilent VacIon Plus 800 User Manual...

  • Seite 65: Vacion Plus 800 Anhalten

    Steuereinheit entfernen, stellen Sie sicher, dass die Hauptstromversorgung von der Steuereinheit getrennt ist. Warten Sie nach dem Ausschalten der Hauptstromversorgung von der Steuereinheit mindestens 10 Sekunden, damit sich die Kondensatoren vollständig entladen können. Agilent VacIon Plus 800 User Manual...

  • Seite 66: Reinigung

    Versand in die Pumpenverpackung eingelegt werden. Wenn Sie die Pumpe verschrotten möchten, muss Sie diese in Übereinstimmung mit den spezifischen nationalen Normen entsorgen. Reinigung Reinigen Sie die Außenfläche der VacIon Plus 800 nur mit einem milden Reinigungsmittel. Agilent VacIon Plus 800 User Manual...

  • Seite 67: Entsorgung

    Endabnehmer sollte daher den Lieferanten des Geräts - d. h. die Muttergesellschaft oder den Wiederverkäufer - kontaktieren, um den Entsorgungsprozess zu starten, nachdem er die Verkaufsbedingungen geprüft hat. Abbildung 10 Logo „WEEE“ Für weitere Informationen siehe: http://www.agilent.com/environment/product/index.shtml Agilent VacIon Plus 800 User Manual...

  • Seite 68: Service

    Sie sich bitte an den örtlichen Händler oder direkt and die Email-Adresse vpt-customercare@agilent.com vpl-customercare@agilent.com Das Ausfüllen des "Request for Return" formulars ist erforderlich, um die Pumpe zur Wartung an Agilent zurückzusenden (am Ende dieses Handbuchs angegeben). Agilent VacIon Plus 800 User Manual...

  • Seite 69: Manuel D'utilisation

    Raccordement de la bride d’entrée Contrôleurs de la pompe VacIon Plus Raccordement de l’unité de commande Démarrage et fonctionnement de la pompe VacIon Plus 800 Actions préliminaires à la mise en marche de la pompe Procédure d’utilisation Arrêt de la pompe VacIon Plus 800...

  • Seite 70: Informations Concernant Ce Manuel

    Validité Le présent manuel contient les instructions destinées aux utilisateurs de la VacIon Plus 800, notamment celles relatives à la sécurité, au fonctionnement et à la maintenance de premier niveau, dans la limite des activités de maintenance incombant à l’utilisateur.

  • Seite 71: Définitions Et Terminologie

    Les messages d’attention sont affichés au début de procédures qui, si elles ne ATTENTION sont pas respectées, peuvent entraîner des dommages aux équipements. Les remarques contiennent des informations importantes et fournissent des NOTE précisions sur certains passages particuliers. Agilent VacIon Plus 800 User Manual...

  • Seite 72: Symboles D'avertissement

    Symboles d'avertissement Les symboles accompagnant les messages d’avertissement et d’attention de la VacIon Plus 800 sont représentés ci-dessous, ainsi que le danger qu’ils signalent. Un symbole triangulaire indique un avertissement. La signification des symboles figurant à côté des avertissements dans le document est explicitée ci-après : Présence de tension...
  • Seite 73 Accès refusé aux porteurs de stimulateurs cardiaques actifs Risque de champ magnétique Poids Données de production Présence de tension dangereuse Présence de surfaces chaudes Danger générique Certification CE Certification CSA Certification RoHS Chine Déchets d’équipements électriques et électroniques Agilent VacIon Plus 800 User Manual...

  • Seite 74: Sécurité

    à des risques d’accident. Agilent Technologies décline toute responsabilité en cas de dommage à la pompe ou de blessure des opérateurs ou de tiers dérivant d’un non-respect des normes, règles et consignes de sécurité...

  • Seite 75: Utilisation Non Prévue

    Manuel d’utilisation Utilisation non prévue Agilent Technologies décline toute responsabilité dérivant d’une utilisation non prévue de la VacIon Plus 800. Une utilisation inappropriée entraînera l’annulation de toutes les créances et garanties. Une utilisation inappropriée est définie comme suit : installation de la pompe avec un matériau de montage non spécifié ;...

  • Seite 76: Équipements De Protection Individuelle

    1ans le pays d’utilisation de l'appareil. En règle générale, l’opérateur doit porter des chaussures de sécurité pendant la manipulation de la VacIon Plus 800 et pendant son installation. Danger pour la santé en raison de la présence de substances AVERTISSEMENT dangereuses pendant la maintenance ou l’installation.

  • Seite 77: Règles De Sécurité Applicables Aux Pompes Ioniques

    étant donné qu’une température élevée peut provoquer de graves dommages. Pour éviter d’endommager les équipements et prévenir les risques de AVERTISSEMENT blessure des opérateurs, respectez rigoureusement les instructions d’installation fournies dans le présent manuel. Agilent VacIon Plus 800 User Manual...

  • Seite 78: Transport Et Stockage

    Transport et stockage Afin de garantir les meilleures performances et la fiabilité maximale des pompes ioniques Agilent, il faut respecter les directives suivantes pour éviter la condensation : Lors de l’expédition, de la manutention et de l’entreposage de pompes, les ...

  • Seite 79: Installation De La Pompe Vacion Plus 800

    Manuel d’utilisation Installation de la pompe VacIon Plus 800 Préparation avant installation La pompe VacIon Plus 800 est livrée dans un emballage de protection spécial. En cas de détection de signes de détérioration éventuelle pendant le transport, contactez votre revendeur local.
  • Seite 80 Le fonctionnement de la pompe n'est optimisé que si celle-ci est utilisée avec l'une des unités de contrôle Agilent spécifiques. Lors de l'utilisation des pompes, le respect des normes de sécurité est ATTENTION impérativement subordonné à l'emploi des unités de contrôle Agilent. Agilent VacIon Plus 800 User Manual...

  • Seite 81: Procédure D'inspection

    La pompe ne subit aucun préjudice suite à cette exposition ; toutefois, il vaut mieux la laisser sous vide quand elle n’est pas utilisée afin d’éviter toute contamination par de la poussière et l’accumulation de vapeur d’eau de l’environnement. Agilent VacIon Plus 800 User Manual...

  • Seite 82: Évaluation Du Vide

    Dans ce cas, mettez immédiatement l’alimentation sur OFF. Si l’intégrité du vide a été perdue, contrôlez les fuites de la pompe avec un détecteur de fuite par spectrométrie de masse avant de l’installer sur le système. Agilent VacIon Plus 800 User Manual...

  • Seite 83: Courts-Circuits

    Câble haute tension. Pompe auxiliaire primaire (ex. : pompe à spirales). Indicateur de vide poussé (ex. : Agilent UHV24 ou UHV24P). Chambre sous vide. Une vanne métallique pour isoler hermétiquement la pompe ionique du reste du système peut également être installée, si nécessaire.

  • Seite 84: Montage

    Figure 11 Installation type Montage Dévissez les boulons de la bride principale et soulevez la bride pleine. Déposez la plaque du joint en cuivre sans endommager la bride ; ne réutilisez pas la plaque. Figure 12 Agilent VacIon Plus 800 User Manual...

  • Seite 85: Montage De La Pompe Vacion Plus 800

    être soutenue de manière appropriée en raison de son poids. Il est conseillé d’utiliser toujours quatre points de fixation. La pompe VacIon Plus 800 peut être montée dans n’importe quelle position à condition qu’elle soit soutenue de manière appropriée. Pour des raisons de commodité, elle est généralement montée en position verticale, avec la bride...

  • Seite 86: Raccordement De La Bride D'entrée

    ; ne la réutilisez pas. Certaines particules d’oxyde de cuivre peuvent adhérer au bord extérieur du joint de la bride. Veillez à ce que ces particules ou toute autre matière étrangère ne tombent pas dans la pompe. Agilent VacIon Plus 800 User Manual...
  • Seite 87 Serrez chaque écrou au couple de 6 – 11 Nm (4,5 - 8 pi-lb). Après avoir serré un écrou, il faut toujours resserrer celui situé à l’opposé par rapport au centre de la bride. Cette opération permet de fermer partiellement l’espace entre les faces des brides. Agilent VacIon Plus 800 User Manual...
  • Seite 88 être inconfortable dans certaines positions. Si les vis ne peuvent pas être montées par le dessus pour une raison quelconque, utilisez les goujons. Chambre sous vide Écrou Rondelle Goujon M8 à double filetage Rondelle Écrou Pompe Vaclon Figure 14 Montage des goujons Agilent VacIon Plus 800 User Manual...

  • Seite 89: Contrôleurs De La Pompe Vacion Plus

    Manuel d’utilisation Contrôleurs de la pompe VacIon Plus Les séries suivantes de contrôleurs adaptées aux pompes VacIon Plus 800 sont disponibles : Contrôleur 4UHV  IPC-Mini  Veuillez consulter le Catalogue des systèmes de vide Agilent pour sélectionner le contrôleur correct (polarité et puissance) pour chaque pompe.

  • Seite 90: Démarrage Et Fonctionnement De La Pompe Vacion Plus

    Démarrage et fonctionnement de la pompe VacIon Plus 800 Toutes les instructions relatives à une utilisation correcte des pompes VacIon Plus 800 sont reportées dans ce manuel et dans celui de l’unité de commande pertinente de la pompe. Lisez attentivement ces manuels avant d’utiliser la pompe.

  • Seite 91: Procédure D'utilisation

    PROTECT si cette condition est disponible sur l’unité de commande. Le système est désormais protégé automatiquement contre les hausses de pression supérieures à la limite prédéfinie. Si une augmentation de ce type se produit, l’unité de commande sera éteinte automatiquement. Agilent VacIon Plus 800 User Manual...
  • Seite 92 La présence de températures élevées peut provoquer de graves dommages. Ne mettez pas d’appareil électronique à proximité de la pompe étant donné que ATTENTION le champ magnétique risque de provoquer un dysfonctionnement de l’appareil. Agilent VacIon Plus 800 User Manual...

  • Seite 93: Arrêt De La Pompe Vacion Plus 800

    Manuel d’utilisation Arrêt de la pompe VacIon Plus 800 Pour arrêter la pompe pendant son fonctionnement, il faut intervenir sur l’unité de commande qui gère la pompe et y est reliée. Entretien La pompe série VacIon Plus ne requiert aucun entretien. Toute intervention sur la pompe doit être exécutée par du personnel agréé.

  • Seite 94: Nettoyage

    Agilent le plus proche pour la faire réparer. Les pompes VacIon Plus 800 sont constituées de traversées haute tension et de composants remplaçables. Avant de renvoyer la pompe au fabricant en vue de sa réparation, remplissez la NOTE fiche «...

  • Seite 95: Élimination

    Figure 15 Logo « DEEE » Pour plus de précisions, veuillez consulter : http://www.agilent.com/environment/product/index.shtml Agilent VacIon Plus 800 User Manual...

  • Seite 96: Service

    à: vpt-customercare@agilent.com vpl-customercare@agilent.com Vous devez remplir le formulaire de “Request for Return” pour retourner votre pompe à Agilent pour l’entretien (fourni à la fin du présent manuel). Agilent VacIon Plus 800 User Manual...

  • Seite 97: Instrucciones De Uso

    Conexión de brida de entrada Controladores de bomba VacIon Plus Conexión de la unidad de control Puesta en marcha y funcionamiento del VacIon Plus 800 Acciones preliminares antes de encender la bomba Procedimiento de funcionamiento Parada de VacIon Plus 800...

  • Seite 98: Acerca De Este Manual

    Acerca de este manual Validez Este manual enumera las instrucciones para los usuarios de la VacIon Plus 800, con particular referencia a la información relacionada con la seguridad, la operación y el mantenimiento de primer nivel que está limitado a las operaciones de mantenimiento que son responsabilidad del usuario.

  • Seite 99: Definiciones Y Terminología

    Los mensajes de precaución se muestran antes de los procedimientos que, si no PRECAUCIÓN se respetan, pueden causar daños al equipo. Las notas están previstas para llamar la atención sobre información importante y NOTA proporcionar más detalles en relación con pasos específicos. Agilent VacIon Plus 800 User Manual...

  • Seite 100: Símbolos De Advertencia

    Símbolos de advertencia La siguiente es una lista de los símbolos que aparecen en conjunto con las advertencias en la VacIon Plus 800. También se muestra el peligro que describen. Un símbolo triangular indica una advertencia. Los significados de los símbolos que pueden aparecer junto a las advertencias en la documentación son los siguientes:...
  • Seite 101 Acceso denegado a portadores de marcapasos activo Peligro campo magnético Peso Fecha de producción Presencia de tensiones peligrosas Presencia de superficies calientes Riesgo genérico Certificación CE Certificación CSA Certificación China RoHS Residuos de aparatos eléctricos y electrónicos Agilent VacIon Plus 800 User Manual...

  • Seite 102: Seguridad

    Agilent Technologies declina toda responsabilidad por los daños producidos al equipo o por la seguridad física del operador o de terceros que se deriven del incumplimiento de las normas de seguridad indicadas en la documentación...

  • Seite 103: Uso Incorrecto

    Instrucciones de uso Uso incorrecto Agilent Technologies declina toda responsabilidad que se derive del uso incorrecto de la bomba VacIon Plus 800. El uso incorrecto anulará todas las reclamaciones por responsabilidad y garantías. El uso incorrecto se define como: instalación de la bomba con el material de montaje incorrecto ...

  • Seite 104: Equipo De Protección

    Además, debe cumplir con los requisitos de seguridad de la legislación vigente en el país en donde se utiliza el equipo. En general, el operador debe usar zapatos antiaccidentes durante la instalación y manipulación de la bomba VacIon Plus 800. Peligro para la salud debido a la presencia de sustancias peligrosas ADVERTENCIA durante el mantenimiento o la instalación.

  • Seite 105: Normativas De Seguridad Para Bombas De Iones

    Para evitar daños al equipo y prevenir lesiones al personal operativo, se ADVERTENCIA deben cumplir estrictamente las instrucciones de instalación indicadas en este manual. Agilent VacIon Plus 800 User Manual...

  • Seite 106: Transporte Y Almacenamiento

    Instrucciones de uso Transporte y Almacenamiento Para garantizar el máximo nivel de rendimiento y fiabilidad de las bombas de iones Agilent, siga atentamente las siguientes pautas para evitar la condensación: durante el transporte, movimiento y almacenamiento de las bombas, no se ...

  • Seite 107: Instalación De Vacion Plus 800

    Instalación de VacIon Plus 800 Preparación para la instalación VacIon Plus 800 se entrega en un embalaje protector especial. Si el mismo muestra signos de daños que pueden haber ocurrido durante el transporte, por favor comuníquese con su oficina de ventas local.
  • Seite 108 El funcionamiento de la bomba se optimiza utilizando solo uno de los controladores especiales Agilent. El acuerdo de especificaciones de seguridad con la bomba está garantizado PRECAUCIÓN utilizando únicamente el controlador Agilent. Agilent VacIon Plus 800 User Manual...

  • Seite 109: Procedimiento De Inspección

    La bomba no se daña por dicha exposición, aunque es una buena práctica mantenerla al vacío cuando no esté en uso, para evitar la contaminación por polvo y la acumulación de vapor de agua del medio ambiente. Agilent VacIon Plus 800 User Manual...

  • Seite 110: Evaluación De Vacío

    (OFF). Si se ha perdido la integridad del vacío, la bomba debe revisarse con un detector de pérdidas con un espectrómetro de masas antes de la instalación en el sistema. Agilent VacIon Plus 800 User Manual...

  • Seite 111: Cortocircuitos

    Cable de alto voltaje. Bomba de respaldo primaria (por ejemplo, una bomba scroll). Manómetro de vacío alto (p. Ej., Agilent UHV24 o UHV24P). Cámara de vacío. Si es necesario, también se puede instalar una válvula metálica para aislar la bomba de iones del resto del sistema.

  • Seite 112: Preparación

    Figura 16 Instalación típica Preparación Aflojar los tornillos de la brida principal y levante la brida ciega. Retire la placa de la junta de cobre, que no debe reutilizarse, sin dañar la brida. Figura 17 Agilent VacIon Plus 800 User Manual...

  • Seite 113: Montaje Vacion Plus 800

    Se recomienda utilizar siempre cuatro puntos de fijación. La bomba VacIon Plus 800 se puede instalar en cualquier posición si se apoya adecuadamente. Por comodidad, normalmente se monta en posición vertical con la brida de entrada en la parte superior, utilizando como soporte los soportes debajo de la bomba.

  • Seite 114: Conexión De Brida De Entrada

    Algunas partículas de óxido de cobre pueden adherirse al borde exterior de la junta de la brida. Tenga cuidado de no permitir que las mismas u otros materiales extraños caigan dentro de la bomba. Agilent VacIon Plus 800 User Manual...
  • Seite 115 Asegure las tuercas y apriete cada una a un par de 6-11 N m (4.5 - 8 ft.-lbs). Después de apretar una tuerca, apriete siempre la tuerca opuesta con respecto al centro de la brida. Esto cerrará parcialmente el espacio entre las caras de la brida. Agilent VacIon Plus 800 User Manual...
  • Seite 116 Si por alguna razón no se pueden instalar tornillos tampoco desde el lado superior, se deben usar pernos. Cámara de vacío Tuerca Arandela Perno doble M8 Arandela Tuerca Bomba VacIon Figura 19 Montaje con perno Agilent VacIon Plus 800 User Manual...

  • Seite 117: Controladores De Bomba Vacion Plus

     IPC-Mini  Por favor, consulte el Catálogo de Vacío Agilent para elegir el controlador correcto (polaridad y potencia) para cada bomba. Conexión de la unidad de control El alto voltaje en el cable de alta tensión que conecta la unidad de ADVERTENCIA control a la bomba de iones puede causar lesiones graves o la muerte.

  • Seite 118: Puesta En Marcha Y Funcionamiento Del Vacion Plus 800

    Instrucciones de uso Puesta en marcha y funcionamiento del VacIon Plus 800 Todas las instrucciones para el uso correcto de las bombas VacIon Plus 800 están contenidas en el presente manual y en el manual de la unidad de control de la bomba correspondiente.

  • Seite 119: Procedimiento De Funcionamiento

    PROTECT, si la unidad de control tiene esta predisposición. El sistema ahora está protegido automáticamente contra aumentos de presión por encima del límite preestablecido. Si se produce un aumento de este tipo, la unidad de control se apagará automáticamente. Agilent VacIon Plus 800 User Manual...
  • Seite 120 La alta temperatura puede causar daños graves. No coloque ningún dispositivo electrónico cerca de la bomba, ya que el campo PRECAUCIÓN magnético puede provocar un mal funcionamiento del dispositivo. Agilent VacIon Plus 800 User Manual...

  • Seite 121: Parada De Vacion Plus 800

    Espere al menos 10 segundos después de desconectar la alimentación principal de la unidad de control para permitir que los condensadores se descarguen por completo. Agilent VacIon Plus 800 User Manual...

  • Seite 122: Limpieza

    Si se va a eliminar una bomba, debe eliminarse de acuerdo con las regulaciones nacionales específicas. Limpieza La superficie externa de VacIon Plus 800 solo se puede limpiar con un detergente suave. Agilent VacIon Plus 800 User Manual...

  • Seite 123: Eliminación

    Casa Matriz o con un revendedor, para iniciar el proceso de recolección y eliminación después de verificar las condiciones contractuales de venta. Figura 20 Logotipo “WEEE” Para más información, consulte: http://www.agilent.com/environment/product/index.shtml Agilent VacIon Plus 800 User Manual...

  • Seite 124: Servicio

    Si un cliente necesita un servicio de intercambio avanzado o reparación, contacte con un distribuidor local o contacte por correo a: vpt-customercare@agilent.com vpl-customercare@agilent.com Es obligatorio completar la “Request for Return” para devolver su bomba a Agilent para mantenimiento (proporcionada al final del presente manual). Agilent VacIon Plus 800 User Manual...

  • Seite 125: 使用说明

    运输和存储 产品描述 VacIon Plus 800 的安装 安装准备 检查程序 目视检查 真空评估 短路 典型安装 设置 VacIon Plus 800 的安装 入口法兰连接 真空加泵控制器 控制单元连接 VacIon Plus 800 的启动和运行 启动泵之前的初步操作 操作程序 停止 VacIon Plus 800 维护 清洗 处置 服务 Agilent VacIon Plus 800 User Manual...

  • Seite 126: 关于本手册

    使用说明 关于本手册 有效性 本手册列出 VacIon Plus 800 用户说明，特别注意与安全、操作和一级维护有关的 注意事项，受用户负责的维护操作限制。 维护操作在特定章节中说明，对于更高等级的维护设有具体规定（接受过维护操作 专门培训的人员），用户不得执行此类操作。 要正确安装和启动/停止，请参考“Technical Information”章节。 本手册包含有用信息，确保所有使用 VacIon Plus 800 的人员可以安全操作，在设备整个寿命期内发挥完美效率。 注意 将本手册和所有相关出版物放置在所有操作员、维护人员方便访问的位置。 Agilent VacIon Plus 800 User Manual...

  • Seite 127: 定义与术语

    使用说明 定义与术语 小心、警告和注意的定义 本手册的一些重要参考内容用背景色突出显示。 警告消息提醒操作员注意特定过程或做法，如果执行错误，可能导致人员重 警告 伤。 程序开始前，提示小心消息，如果不遵守过程指示，可能导致设备损坏。 小心 注意旨在让人注意重要信息，提供具体步骤的更多详细信息。 注意 Agilent VacIon Plus 800 User Manual...

  • Seite 128: 警告符号

    使用说明 警告符号 下面是 VacIon Plus 800 警告与符号标志，及对应的危险描述。 三角形标志表示警告。本文档中，警告对应的符号标志含义如下： 危险电压 高温表面 普通危险 存在危险物质 挤压危险 割伤危险 磁场危险 禁止持有心律调节器的人访问 佩戴防护手套 佩戴个人防护装备 穿防事故鞋 欧洲合规性声明 电源开启 电源关闭 废电子电气设备 Agilent VacIon Plus 800 User Manual...
  • Seite 129 使用说明 仪器上的警告标签可能会有以下标志。如果看到该符号标志，请参考相关操作或维 护手册，了解该警告标志所指示的正确操作。 仪器上会有以下符号标志，供您参考。 电源开启 电源关闭 禁止持有心律调节器的人访问 磁场危险 重量 生产日期 危险电压 高温表面 普通危险 CE 认证 CSA 认证 中国 RoHS 认证 废电子电气设备 Agilent VacIon Plus 800 User Manual...

  • Seite 130: 正确使用

    使用说明 安全 本节包含机械指令 2006/42/EC 规定的信息，这些信息对于遵守常规安全法规以及 机器特定用途相关安全法规至关重要。 不遵守这些说明或本手册的其他说明，将导致设计阶段设想的安全条件无效，操作 员可能发生事故。 对于不遵守技术文档中的安全规定而导致的机器损坏或者操作员或第三方人身伤 害，Agilent Technologies 不承担任何责任。 正确使用 本手册包含机器安全工作需要遵守的重要警告和安全说明。 本手册所述产品仅用于本手册指定的应用领域。手册还规定了产品应用和操作基本 要求相关的说明，以及可确保正常运行的安全措施。对于将产品用于非本手册介绍 的用途或者产品使用过程中不遵守基本要求和安全措施，Agilent Technologies 不承 担任何责任。 必须由能够采取必要安全措施，不会导致损坏或受伤的具备资质人员使用产品。产 品的配套配件和设备必须由 Agilent Technologies 提供或授权使用。 必须由了解相关风险的专业技术人员执行任何调整或维护操作。 必须由 Agilent 授权人员执行产品维修。 Agilent VacIon Plus 800 User Manual...

  • Seite 131: 不当使用

    使用说明 不当使用 对于 VacIon Plus 800 的不当使用，Agilent Technologies 不承担任何责任。 使用不当将导致所有责任和保修索赔变得无效。 使用不当的定义为： 使用未指定的安装材料安装泵  在没有适当吹扫流量的情况下泵送腐蚀性和氧化性气体  泵送爆炸性气体  泵送冷凝蒸汽  液体泵送  泵送尘土  气体产量过高时进行操作  前真空压力过高  以与实际使用的气体不同的选定气体形式进行操作  在绝缘输入热量不正确的情况下进行操作  在不适当的高磁场中进行操作  在通风不当的情况下进行排气  使用真空泵产生压力  在电离辐射区域中操作设备  在潜在爆炸区进行操作...

  • Seite 132: 防护设备

    使用说明 防护设备 泵系统操作或维护人员的防护设备必须适合执行的操作类型。此外，还必须符合机 器使用所在国家的现行法规要求。 通常，操作员在操作和安装 VacIon Plus 800 时必须穿防事故鞋。 维护或安装时危险物质导致的健康危险。 警告 • 根据流程特性，真空泵、组件或工作流体可能被有毒、反应性或放射性物质污 染。 • 维护维修或重新安装时，穿戴合适防护设备。 掉落物体导致受伤的风险 警告 手动运输真空泵时，存在重物滑动和掉落的危险。 • 双手搬运中小型真空泵。 • 如果设备重量超过 20 kg，应使用合适的起吊设备运输。 • 穿着符合指令 EN 347，并带有铁鞋头的安全鞋。 Agilent VacIon Plus 800 User Manual...

  • Seite 133: 离子泵的安全使用指南

    使用说明 小心 锋利边缘导致受伤的风险 • 维护泵或者对系统执行泵安装/拆卸操作前，等待泵完全停止。 • 不要直接在高真空法兰内操作。 • 如果需要，穿戴符合 EN 420 的防护手套。 离子泵的安全使用指南 由于其清洁、泵送不同气体的能力以及维护和无振动的操作，通常用于制造超高真 空环境。 根据尺寸，泵可能很重，必须通过合适的移动和搬运工具进行处理。原则上，只要 遵守泵手册中的准则并正确支持泵，在任何位置安装都是可能的。 由于离子泵配备永磁体，建议不要在这些泵附近安装任何电子设备，以避免因磁干 扰而导致设备故障。 离子泵可以通过高电压进行作业。为避免受伤，在将高压连接到泵之前，切勿将其 连接到泵，并且所有入口法兰均已正确连接或堵死。在对泵进行任何操作之前，请 将其与高压电源断开。 离子泵可以配备加热器。安装加热元件时，请勿在加热和冷却阶段接触泵，因为高 温可能会造成严重损坏。 为避免损坏设备和操作人员受伤，应严格遵守本手册的安装说明！ 警告 Agilent VacIon Plus 800 User Manual...

  • Seite 134: 运输和存储

    使用说明 运输和存储 为了保证安捷伦离子泵的最佳性能和可靠性，必须遵循以下准则以避免冷凝：: 在运输、移动和储存泵时，不应超出以下环境条件：  温度：在-20°C至+70°C之间;  相对湿度：5%至95%（无冷凝）。  为了防止因污染而产生气污问题，请勿徒手处理暴露于真空中的部件。始终使用 小心 真空兼容手套或采用其他适当的防护措施。 正常暴露在环境中不会损坏泵。但是，建议在系统安装之前保持关闭状态，从而 注意 防止任何形式的灰尘污染。 产品描述 本设备具有专业用途，供专业人员使用。 VacIon Plus泵系列是离子泵，由于其清洁、泵送不同气体的能力以及维护和无振 动的操作，通常用于制造超高真空环境。 详细信息可参阅附录"技术信息"。 Agilent VacIon Plus 800 User Manual...

  • Seite 135: Vacion Plus 800 的安装

    使用说明 VacIon Plus 800 的安装 安装准备 VacIon Plus 800采用特殊的保护包装。 如果在运输过程中表现出了可能发生损坏 的迹象，请联系当地的销售办事处。 避免因掉落而对VacIon Plus 800造成突然的冲击。请注意维护包装盒，以便在长 时间存放或装运时重复使用包装盒。 请勿以未经授权的方式处置包装材料。该材料是 100% 可回收的，并符合 EEC 指 令 94/62 和随后的修订规定。 为了避免排气问题，请勿徒手处理暴露于真空中的部件。始终使用手套或采用其 小心 他适当的防护措施。 Agilent VacIon Plus 800 User Manual...
  • Seite 136 使用说明 泵很重，必须通过合适的移动和操作工具进行处理。在处理过程中，始终建 警告 议同时使用四个吊环螺栓。 请勿在暴露于大气物质（雨、雪、冰）、灰尘、腐蚀性气体或爆炸性环境中或火灾 风险高的环境中安装或使用泵。在操作过程中，如果要获得声明中的功能规格，环 境温度必须在 0 °C 和 +85 °C 之间，湿度必须在 0 和 95% 之间（无冷凝）。 应使用 pinch-off 管将泵进行密封，直到准备好与真空系统连接 小心 警告 卸下运输法兰后，为避免受伤，切勿在泵安装到系统中之前将高压连接到泵 上，并且确保所有入口法兰均已正确连接或堵死。 仅使用一种特殊的安捷伦控制器来优化泵操作。 仅使用安捷伦控制器才能保证使用泵的安全规格协议。 小心 Agilent VacIon Plus 800 User Manual...

  • Seite 137: 检查程序

    使用说明 检查程序 在运输之前，对VacIon Plus泵进行抽空、烘烤、密封以及泄漏检查。 在安装之 前，以下信息和过程可用于评估VacIon Plus泵的真空完整性。 目视检查 检查泵是否在运输过程中发生物理损坏。 检查pinch-off密封（被橡胶盖覆盖）情 况。 如果打开，则泵处于大气压。 夹紧密封非常锋利。打开时要小心。小心你的手指。 警告 如果VacIon Plus泵在运输过程中或在存放期间暴露在大气中，则在未损坏的情况 下可以正常运行。 泵不会因这种暴露而受到损伤，但为了避免灰尘污染和环境中水蒸气的积聚，在不 使用时将泵保持在真空状态是好的做法。 Agilent VacIon Plus 800 User Manual...

  • Seite 138: 真空评估

    使用说明 真空评估 离子泵在真空状态下进行运输。 在卸下运输法兰以安装在真空系统上之前，建议 短暂启动泵，以验证真空完整性和正常运行。 要在排气前验证新泵的真空完整性： 按照控制单元说明手册中所述，将离子泵连接到控制单元。 控制单元施加到离子泵上的高电压可能导致严重伤害或死亡。确保高压电缆 警告 已正确连接到离子泵及其动力装置。 确保泵已正确接地。 主电源开关处于 OFF 位置时，将控制单元插入合适的电源。 将电源调到ON位置。 按照控制单元手册上的说明启动离子泵。观察设备显示屏上的读数，以指示以 下情况之一： 如果泵没有泄漏且处于低压，则当泵送气体时，压力指示将迅速下降至或 低于 1E-8 mbar 范围。 如果泵内部的压力达到或接近大气水平，则高压馈通内可能会出现电弧， 发出爆裂声，泵电流将波动。如果发生这种情况，请立即关闭电源。 如果真空完整性已受损，在安装到系统之前，应使用质谱仪检漏器对泵进行泄 漏检查。 Agilent VacIon Plus 800 User Manual...

  • Seite 139: 典型安装

    使用说明 短路 如果阳极和阴极之间短路，或者在 StarCell 的情况下，阴极和泵体之间短路，则 将汲取控制单元的短路电流，并指示低电压。如果控制单元或高压电缆和接头存在 短路，则当高压接头与泵断开时，也会观察到低电压（请参阅控制单元手册）。 泵反馈装置上的欧姆表读数可能无法有效地发现短路。短路可能是由泵的机械冲击 引起的。如果泵短路，请联系安捷伦。 典型安装 典型安装如下图所示，包括： 真空加泵。 离子泵控制单元。 清洁粗抽泵（通常是涡轮分子泵）。 热偶真空计，能够指示从大气到1E-3 mbar范围的压力。 用于密封真空室中的粗抽泵的金属阀。粗抽线通常由不锈钢或铜管或其他低蒸 汽压力材料制成。 高压电缆。 主备用泵（例如涡旋泵） 高真空计（例如安捷伦 UHV24 或 UHV24P）。 真空室。 如果需要，还可以安装一个金属阀，以密封系统其余部分的离子泵。 Agilent VacIon Plus 800 User Manual...
  • Seite 140 使用说明 真空室 热偶真空计 阀门 涡轮分子泵 主（涡旋）泵 高压电缆 高压电缆 离子泵控制器 真空泵 图 21 典型安装 设置 拧下主法兰螺栓并提起空白法兰。拆下铜垫片板，不得重复使用，不得损坏法兰。 图 22 Agilent VacIon Plus 800 User Manual...

  • Seite 141: Vacion Plus 800 的安装

    使用说明 VacIon Plus 800 的安装 对于垂直安装，如果泵没有停留在底座上，或者安装在垂直位置以外的位 警告 置，则必须方便地支撑泵。建议始终使用四个连接点。 VacIon Plus 800 泵可安装在任何位置（如果支撑方便）。为方便起见，它通常安 装在垂直位置，顶部有入口法兰，用作泵下支架的支撑。对于垂直安装，如果泵没 有停留在底座上，或者安装在垂直位置以外的位置，则泵由于其重量，不能悬臂安 装，但必须由支撑装置（支撑杆或支撑板，其几何形状取决于泵安装的系统类型） 进行适当支撑。此类支架可通过泵两侧的螺柱（带 M12 螺纹）与泵耦合。建议始 终同时使用四个提升点。有关泵安装的详细信息，请参阅附录"技术信息"。 图 23 VIP 800 显示 M12 螺柱 Agilent VacIon Plus 800 User Manual...

  • Seite 142: 入口法兰连接

    使用说明 入口法兰连接 泵的安装应留有足够的空间，以便安装和拆卸高压连接器。 泵应配有pinch-off制管来保持密封，直到准备好连接到真空系统。这样可以避免 灰尘和其他不良材料的积聚。在断开pinch-off密封之前，请查看检查程序（参见 前一段）。 在干净的无烟、无尘、无花粉的地方打开pinch-off制管，为离子泵通风。强烈建 议使用干燥氮气进行通风。 这可以通过在离子泵法兰上放置一个干净的聚乙烯袋 来完成。 小型泵可以完全放在袋子内。也将钳子放入袋子内，用清洁、干燥的氮 气清洗袋子几分钟； 然后从袋子外面拿起钳子，以防夹断。 请勿用锯或研磨机打开夹紧关闭密封。这些方法会导致金属颗粒在泵打开时被吸 小心 入的空气吸入泵中。 夹紧密封非常锋利。打开时要小心。小心你的手指。 警告 使用适当的程序来保持泵和真空系统的清洁状态。 拧下主法兰螺栓并提起空白法兰。拆下铜垫片板，不得重复使用。一些氧化铜颗粒 可能粘附在法兰垫片的外边缘。小心不要让它们或任何其他异料落入泵中。 Agilent VacIon Plus 800 User Manual...
  • Seite 143 如果泵配备有入口滤网，则将其安装在泵颈内。 入口滤网未固定在颈部，但其尺 小心 寸设计是为了在颈部和滤网之间保持最小的间隙，从而确保最后一个滤网的稳定 性和正确的位置。 用短长度和大直径的管道将离子泵连接到真空室，以保持尽可能高的泵速。接下来 的操作如下： 提起并支撑离子泵； 请始终按照安装过程中的说明同时使用四个支撑点或吊环 螺栓。 检查配对法兰的清洁度，刀口是否有划痕。 在泵法兰和真空室法兰之间放置新的铜垫片。 用新螺钉将泵的法兰螺栓与真空室连接。对于位于 NW 35（2.75" o.d.）的法 兰，还可以将垫圈安装在螺母和螺钉头下方。 使用镀银螺钉或将高温润滑剂涂抹在螺钉螺纹上。润滑简化了密封和拆卸的过 程。推荐的润滑剂是 Fel-Pro C-100。注意，不要用润滑剂污染泵或真空系统 的内表面。 如果螺钉不是镀银的，则必须进行润滑，以防止烘烤后螺母和螺钉磨损。注意不 注意 要用润滑剂污染泵或真空系统的内表面。 连接螺母，将每个螺母拧紧到 6 ~ 11 Nm（4.5 - 8 英尺-磅）的扭矩。拧紧螺 母后，始终紧固与法兰中心相对的螺母。这将部分缩小法兰面之间的间隙。 Agilent VacIon Plus 800 User Manual...
  • Seite 144 使用说明 重复顺序紧固两次以上。 继续拧紧螺栓，直到法兰面相碰，扭矩明显增加。 请注意，也可以从下侧安装螺钉，即使在某些位置可能会不方便。如果出于任何原 因不能从上侧安装螺钉，则必须使用螺柱。 真空室 螺母 垫圈 双头螺柱 垫圈 螺母 真空泵 图 24 螺柱安装 Agilent VacIon Plus 800 User Manual...

  • Seite 145: 真空加泵控制器

    使用说明 真空加泵控制器 以下控制器系列可用于为 VacIon Plus 800 泵提供: 4UHV控制器  IPC-Mini  请参阅安捷伦真空目录（Agilent Vacuum Catalogue），为每个泵选择正确的控制 器（极性和功率）。 控制单元连接 连接控制单元和离子泵的高压电缆中的高电压可能导致严重伤害或死亡。在 警告 连接泵高压馈通电缆的高压连接器之前，或在卸下电缆之前，请确保从控制 单元上卸下主电源。 为避免受伤，在将高压泵安装到系统中之前，切勿将高压电缆连接到泵上， 警告 并且确保所有入口法兰均已正确连接或堵死。 确保泵已正确连接到接地的真 空系统。 在从控制单元上拆下电缆的高压接头之前，请确保从控制单元上卸下主电 警告 源。从控制单元上卸下主电源后至少等待 10 秒钟，以允许电容器完全放 电。 要从控制器上断开同轴高压电缆，请从控制单元上滑动安全锁定套筒（几乎不需要 套筒移动），同时拉动电缆接头的公端，将其从控制单元的插座上拆下。 Agilent VacIon Plus 800 User Manual...

  • Seite 146: Vacion Plus 800 的启动和运行

    正确使用 VacIon Plus 800 泵的所有说明都包含在本手册和相关泵控制单元手册 中。使用泵之前，请仔细阅读这些手册。 启动泵之前的初步操作 对于 Diode 版本，粗泵至等于或低于 1E-5 Torr（mbar）的压力 - StarCell 版 本的 1E-4 Torr - 建议用于最快的启动速度，以保持泵的使用寿命。通常，这种 压力水平可以通过涡轮分子泵轻松达到，该涡轮分子泵由主泵支撑，最好不含油。 原则上也可以在高于我们建议的压力下启动，但是长时间使用会影响泵的使用寿 命。 过去，需要在高压下启动离子泵是因为它直接连接到主泵上。 由于涡轮分子 泵的发明，这已经没有必要了。 吸湿性沉积 - 这是暴露于空气和氢吸收到钛阴极的自然后果 - 与离子泵的物理工 作原理相关的现象 - 可能会导致启动时间随着使用时长的增加而增加。实际上， 在启动时发生的泵加热导致水蒸气和一些先前泵送的氢气的释放； 因此，可以延 长开始时间。 Agilent VacIon Plus 800 User Manual...

  • Seite 147: 操作程序

    据在真空系统中通过预真空涡轮分子泵（由主泵支持）建立最小启动压力。 我 们建议在离子泵和涡轮分子泵之间安装全金属阀，以便以后可以对其进行绝缘。 将控制单元插入合适的电源并打开电源。按照控制单元手册中的说明为离子泵 供电。 观察控制单元显示屏上的电压、电流和压力。如果离子泵在过高的压力下启 动，通常电压大约为数百伏特。如果电压在这些值下保持不变，为了避免泵过 热，我们建议将其关闭，并在较低的压力下再次启动（参见"使用"的段落）。 如果电流值接近控制单元的短路电流，则可能表明泵和系统中存在无限制的辉 光放电。在任何启动过程中，通常都会发现粗抽压力暂时升高。 如果已将离子 泵启动至建议压力，则电压将迅速达到预设值（3、5或7 kV）。 一旦达到工作 电压，电流将开始减小。 我们建议此时关闭粗抽阀，以使离子泵和系统与涡轮 分子泵隔离。 如果在关闭粗抽阀后离子泵电压下降，请重新打开该阀以进行其 他粗抽。. 随着压力降低，电压将再次升高，并且粗抽阀可能会关闭。 当电压达到预设的运行值时，如果控制单元具有此预设，则将其设置为“保 护”状态。 现在系统可以得到自动保护，防止压力超过预设极限。 如果发生 这种增加，控制单元将自动关闭。 如果控制单元允许您设置使用中的泵类型，则控制器显示屏将显示通过转换当 前值获得的压力值，该压力值与本手册“技术信息”段落中显示的压力相对于 电流的曲线图一致。 如果控制器没有此倾向，请直接参考此图。 值得注意的 是，如果离子泵在运行过程中开始受到泄漏电流的影响，则压力指示可能不正 确。 在这种情况下，通过显示屏上显示的电流转换获得的压力将高于实际压 力。 Agilent VacIon Plus 800 User Manual...
  • Seite 148 使用说明 给泵排气时，请使用干燥的氮气。 这样可以避免水蒸气被泵壁吸收。 关闭泵 后，我们建议等待其内部元件冷却，然后再将泵暴露在大气压下。 当使用泵输送有毒、易燃或放射性气体时，请遵循每次处理气体所需的程 警告 序。 不要在有爆炸性气体的地方使用泵。 安装加热元件时，请勿在加热和冷却阶段接触泵。高温可能导致严重损坏。 警告 请勿将任何电子设备放在泵附近，因为磁场可能会导致设备故障。 小心 Agilent VacIon Plus 800 User Manual...

  • Seite 149: 停止 Vacion Plus 800

    使用说明 停止 VacIon Plus 800 如果要在泵运行时停止泵，必须对驱动泵并与其连接的控制单元进行操作。 维护 VacIon Plus 系列泵不需要任何维护。在泵上进行的任何操作必须由授权人员执 行。 在泵上进行任何操作之前，请将其与高压电源断开。 警告 将控制单元连接到离子泵的高压电缆中的高压会导致严重的人身伤害甚至死 警告 亡。 在将电缆的高压连接器安装到泵高压穿通线上之前，或者在拆除它之 前，请确保已从控制单元上断开了主电源。 从控制单元上卸下电缆的高压连 接器之前，请确保已从控制单元上卸下主电源。从控制单元上断开主电源 后，至少要等待 10 秒钟，以允许电容器完全放电。 Agilent VacIon Plus 800 User Manual...
  • Seite 150 使用说明 Vacion Plus 泵无需维护。如果泵的使用寿命到期或过早失效，请联系离您最近的 安捷伦销售/服务处进行维修。 VacIon Plus 800 泵采用可更换的高压馈通和泵元件设计。 在将泵退回给工作人员进行维修之前，必须填写本说明书随附的" Request for Return 注意 "表格并将其发送到当地销售办事处。装运前，必须将表格的副本放入泵包装中。 如果泵要报废，必须按照具体的国家标准进行处理。 清洗 VacIon Plus 800 的外表面只能用温和的洗涤剂进行清洁。 Agilent VacIon Plus 800 User Manual...
  • Seite 151 使用说明 处置 标签中的“WEEE”徽标含义。 按照 EC WEEE（废电子电气设备）指令应用以下符号。 此符号（仅在欧盟国家有效）表示所适用产品不得与家庭或工业垃圾一起处置，必 须送至专门废弃物回收系统。因此，欢迎最终用户联系设备供应商（无论是母公司 还是零售商），在检查销售合同条款后启动回收和处置流程。 图 25 “WEEE”徽标 有关更多信息，请参考： http://www.agilent.com/environment/product/index.shtml Agilent VacIon Plus 800 User Manual...
  • Seite 152 使用说明 服务 如果客户需要高级替换或维修服务，请联系当地经销商或直接发送邮件至 vpt-customercare@agilent.com vpl-customercare@agilent.com 需要填写 ”Request for Return” 表才能将泵退回到 Agilent 维修部门（在本手册末尾 会提供）。 Agilent VacIon Plus 800 User Manual...

  • Seite 153: 取扱説明書

    VacIon Plus 800 の取り付け 取り付けの準備 点検の手順 目視点検 真空の評価 ショート回路 (短絡) 標準的な設備 セットアップ VacIon Plus 800 の取り付け インレットフランジ接続 VacIon Plus ポンプコントローラー コントロールユニット接続 VacIon Plus 800 のセットアップと操作 ポンプをオンにする前の予備動作 操作の手順 VacIon Plus 800 を停止する メンテナンス クリーニング 処分 サービス Agilent VacIon Plus 800 User Manual...

  • Seite 154: この説明書について

    取扱説明書 この説明書について 有効期限 本説明書には、特に安全、操作手順およびユーザーに必要なメンテナンス手順の みの簡易メンテナンスに関連する考え方を参考に、VacIon Plus 800 の使用方法 をユーザーに説明します。 高度なメンテナンス（メンテナンス手順の個別訓練を受けた人員）に関連した各 条項とあわせて、各セクションで説明するメンテナンス手順は、ユーザーは行わ ないでください。 正しい取付および始動/停止については、「Technical Information」セクション を参照してください。 本説明書には、 VacIon Plus 800 を使用する人員がすべて安全に使用でき、また機器使用寿 注記 命中に効率よく使用できるのに、役立つ情報が記載されています。 本説明書は、関連するすべての刊行物とあわえて、オペレータ/メンテナン ス要員に分かりやすい、取り扱いしやすい場所に保管してください。 Agilent VacIon Plus 800 User Manual...

  • Seite 155: 定義と用語

    取扱説明書 定義と用語 注意、警告および注記の定義 本説明書の 重要な参照項目のいくつかは、対比しやすい色で協調表示し、枠組 みで囲っています。 警告メッセージは、オペレータに対して、正しい操作をしない場合、重度 警告 の怪我を負う可能性があることを示すため、個別手順または操作方法への 注意を向けるものです。 注意メッセージは、その手順を順守しない場合、機器が破損する原因となる場 注意 合、その手順を実施する前に、表示されます。 注記は、重要事項について注意を呼びかけ、各ステップについて詳細な状況を 注記 伝えることが目的です。 Agilent VacIon Plus 800 User Manual...

  • Seite 156: 警告記号

    取扱説明書 警告記号 下記は、VacIon Plus 800 に関する警告と関連して表示される記号一覧です。各 記号が示す危険事項もあわせて表示されます。 三角記号は、警告を表します。文書中に警告とあわせて表示される記号の意味 は、次のとおりです。: 危険電圧 表面が熱い 一般的な危険 危険物質がある 圧搾の危険 切断の危険 作動中のペースメーカーの保有者へのアクセスは 電磁場危険 拒否されます 保護手袋着用 個人防護装置装着 事故防止靴着用 欧州適合宣言 電源オン 電源オフ 電気電子機器廃棄物（WEEE） Agilent VacIon Plus 800 User Manual...
  • Seite 157 取扱説明書 以下の記号は、機器に貼付する警告ラベルに使用する場合があります。この記号 を使用する場合は、警告ラベルが示す正しい手順について、関連する操作または 保守説明書を参照してください。 下記の記号は参照のため、機器に表示されています。 電源オン 電源オフ 作動中のペースメーカーの保有者へのアクセスは拒 否されます 電磁場危険 重量 生産日 危険電圧 表面が熱い 一般的な危険 CE 認定 CSA 認定 RoHS 中国認定 電気電子機器廃棄物（WEEE） Agilent VacIon Plus 800 User Manual...

  • Seite 158: 安全性

    安全性 本セクションには、一般的に、および機械の各使用状況に関連して準拠および順 守に必要な機械類指令 2006/42/EC での規定事項が記載されています。 ここでの記載事項および本説明書に記載のその他手順に準拠しない場合、デザイ ンフェーズで規定の安全条件が非効率となり、機械の操作担当者に事故が発生す る原因となる場合があります。 Agilent Technologies では、技術説明書に記載の安全規則に準拠しない結果発 生する、オペレータまたは第3者による機械破損あるいは身体への安全に対して 全責任を免責とします。 適切な取扱い 本説明書には、機器が安全に作動するたえに順守が必要な重要警告事項および安 全事項が記載されています。 本説明書に記載の製品は、手順で説明した用途部分専用です。本説明書では、本 製品の使用および操作に関する必須要件および安定動作上必要な安全対策も示し ています。Agilent Technologies では、本説明書に記載した以外の用途、ある いは必須要件と安全対策を順守しない用途については一切保証しません。また一 切責任を負いかねます。 本製品は、破損または個人の怪我の原因とならない状態で必要な安全対策を講じ ることができる、有資格要員のみが使用してください。本製品で使用するアクセ サリおよび設備はいずれも、Agilent Technologies が提供または承認したもの でなければなりません。 調節またはメンテナンス操作はいずれも、リスクを熟知した専門技術者が実施し なければなりません。 本製品の修理はいずれも、Agilent 公認要員が専属で実施しなければなりませ ん。 Agilent VacIon Plus 800 User Manual...

  • Seite 159: 不適切な取扱い

    不適切な使用は以下のように定義されます: 不特定の取り付け材料を使用したポンプの設置  適切なパージフローなしに腐食性ガスと酸化性ガスをポンプすること  爆発性ガスをポンプすること  凝縮蒸気をポンプすること  液体をポンプすること  チリほこり等をポンプすること  不適切な高ガススループットでの操作  不適切な高い前真空圧での操作  実際に使用されるガスとは異なる選択されたガスモダリティでの操作  不適切な高レベルの断熱性入熱での操作  不適切な高磁場での操作  不適切な高排出率での排出  真空ポンプを使用して圧力を生成すること  電離放射線のあるエリアでの装置の操作  爆発の可能性のある場所での操作  衝撃のような圧力や振動、または周期的な力がデバイスに影響を与えるシス  テムにおける装置の使用。 Agilent VacIon Plus 800 User Manual...
  • Seite 160 防具 ポンプシステムのメンテナンス操作をしている、または実施しているオペレータ の防具は常に、実施中の操作タイプに十分対応できなければなりません。また、 機械を使用する国の政府官庁による安全要件を順守しなければなりません。 通常、オペレータは VacIon Plus 800 の取扱い中、および設置作業中、事故防 止靴を着用しなければなりません。 メンテナンスまたは設置中の有害物質による健康被害。 警告 • プロセス特長により異なりますが、真空ポンプのコンポーネントまたは作動 液は、毒性、反応性または放射性物質により汚染される場合があります。 • メンテナンスおよび修理中、または再設置中は、十分な防具を着用してくだ さい。 落下物による怪我のリスク。 警告 真空ポンプを手で搬送させる場合は、荷物が下に滑落し危険です。 • 小型および中型の真空ポンプの場合も、両手で運んでください。 • 重量が 20 kg を超える器具は、適切なリフティング装置で搬送してくださ い。 • 指令 EN 347 にしたがって、爪先が鋼製の安全長靴を着用してください。 Agilent VacIon Plus 800 User Manual...

  • Seite 161: イオンポンプの安全ガイドライン

    鋭利な先端部による怪我のリスク。 • ポンプの保守作業前、またはポンプをシステムに取り付ける、あるいは取り 外す前に、ポンプが完全に停止するまで待ってください。 • 高真空フランジ内部で直接操作しないでください。 • 必要な場合は、EN 420 にしたがって、保護手袋を着用してください。 イオンポンプの安全ガイドライン その清浄性、さまざまなガスをポンプできる能力、およびメンテナンス不要や振 動のない操作という特徴のため、イオンポンプは超高真空を生成するために一般 的に使用されています。 サイズによっては、ポンプは重い場合があるので、適切な移動および取り扱いツ ールを使用して取り扱う必要があります。 ポンプマニュアルのガイドラインが遵 守され、ポンプが正しくサポートされている場合に限り、原則として任意の位置 への設置が可能です。 イオンポンプには永久磁石が装備されているため、磁気干渉による装置の誤動作 を防ぐために、ポンプの近くに電子デバイスを置かないことが推奨されます。 イオンポンプは、高電圧の印加により機能します。 怪我を防ぐために、ポンプを システムに取り付け、すべてのインレットフランジを適切に接続するか、ブラン クオフする前に、ポンプに高電圧を接続しないでください。 ポンプに作業を行う 前に、ポンプを高電圧電源から外してください。 イオンポンプにはヒーターを装備することができます。 発熱体を取り付ける場合 は、高温が重大な損傷を与える可能性があるため、加熱および冷却段階でポンプ に触れないでください。 器具への破損を避け、また作業員の怪我を防止するため、本説明書に記載 警告 の設置方法を厳守してください! Agilent VacIon Plus 800 User Manual...

  • Seite 162: 輸送 & 保管

    取扱説明書 輸送 & 保管 Agilentイオンポンプの最高レベルでの性能と信頼性を保証するには、結露を防ぐ ために以下のガイドラインに従う必要があります。： ポンプの輸送、移動、保管の際は、以下の環境仕様を超えないでください。:  温度：-20 °C から+70 °C の間;  相対湿度：5%と95%の間 (結露なし)。  汚染によるガス放出の問題を防ぐために、真空にさらされる構成部分を取り扱 注意 う際に素手を使用しないでください。 常に真空対応の手袋またはその他の適切 な保護具を使用してください。 通常の環境への暴露はポンプを損傷することはありません。 それでも、チリほ 注記 こりによるあらゆる形態の汚染を防ぐため、システムに取り付けられるまでは 閉じたままにすることが推奨されます。 製品説明 この機器は専門家により取り扱われる業務用の使用を目的としています。 VacIon Plusシリーズポンプは、その清浄性、様々なガスをポンプできる能力、お よびメンテナンス不要や振動のない操作という特長のため、超高真空を生成する ために一般的に使用されるイオンポンプです。 詳細情報は、付録「技術情報」に記載されています。 Agilent VacIon Plus 800 User Manual...

  • Seite 163: Vacion Plus 800 の取り付け

    取扱説明書 VacIon Plus 800 の取り付け 取り付けの準備 VacIon Plus 800 は特別な保護パッケージで提供されます。 輸送中に損傷の兆候 が見られる場合は、販売営業所にお問い合わせください。 VacIon Plus800が落下することにより引き起こされる突然の衝撃を避けてくださ い。 長期保管や輸送の際に再利用できるよう、梱包箱を使用可能な状態で保管し てください。 梱包材を不適切な方法で破棄しないでください。 この材料は100％リサイクル可 能であり、EEC指令94/62およびその後の修正法規に準拠しています。 ガス放出の問題を防ぐために、真空にさらされる構成部分を取り扱う際に素手 注意 を使用しないでください。常に真空対応の手袋またはその他の適切な保護具を 使用してください。 Agilent VacIon Plus 800 User Manual...
  • Seite 164 取扱説明書 ポンプは重いため、適切な移動および取り扱いツールを使用して取り扱う 警告 必要があります。 取り扱い中は、常に 4 つのアイボルトを同時に使用する ことが推奨されます 大気中の物質（雨、雪、氷）、チリほこり、侵略的なガスにさらされる環境、ま たは爆発性の環境や火災の危険性が高い環境にポンプを設置または使用しないで ください。 動作中、明示された機能仕様を得るには、環境温度が0°C〜 + 85°C、 湿度が0〜95％（結露なし）である必要があります。 ポンプは、真空システムに取り付ける準備ができるまで、pinch-off チューブ 注意 で密閉しておく必要があります 警告 輸送用フランジを取り外した後は、怪我を防ぐために、ポンプをシステム に取り付け、すべてのインレットフランジが適切に接続またはブランクオ フされる前に、ポンプに高電圧を接続しないでください。 ポンプの操作は、特別なAgilentコントローラーのいずれかを使用して最適化され ます。 ポンプを使用した安全仕様の合意は、Agilent コントローラーを使用した場合 注意 のみ保証されます。 Agilent VacIon Plus 800 User Manual...

  • Seite 165: 点検の手順

    取扱説明書 点検の手順 VacIon Plusポンプは、出荷前に1E-10 mbar未満で排気、ベイクアウト、密閉、お よび漏洩チェックされます。以下の情報と手順を使用して、取り付け前にVacIon Plusポンプの真空の完全性を評価できます。 目視点検 輸送中に起こった可能性のある物理的損傷を確認するためポンプを点検します。 Pinch-off の封（ゴム製キャップでカバーされています）を点検します。もし開い ている場合、ポンプは大気圧です。 ピンチオフ封は非常に鋭利です。 開くときはご注意ください。指に気をつ 警告 けてください。 輸送中または保管中に大気にさらされたVacIon Plusポンプは、損傷がなければ正 常に動作します。 ポンプはこのような暴露によって害を受けることはありませんが、チリほこりの 汚染や環境からの水蒸気の蓄積を避けるために、使用しない時は真空下に保つこ とが推奨されます。 Agilent VacIon Plus 800 User Manual...

  • Seite 166: 真空の評価

    取扱説明書 真空の評価 イオンポンプは排気された状態で出荷されます。 真空システムに取り付けるため に郵送フランジを取り外す前に、真空の完全性と適切な動作を確認するために、 ポンプを短時間始動することが推奨されます。 通気する前に新しいポンプの真空の完全性を確認するには以下を行います： コントロールユニットの取扱説明書の説明に従い、イオンポンプをコントロ ールユニットに接続します。 コントロールユニットによってイオンポンプに印加される高電圧は、重大 警告 な損傷または死亡の原因となる可能性があります。 高電圧ケーブルがイオ ンポンプとそのパワーユニットに正しく接続されていることを確認してく ださい。 ポンプが十分に接地されていることを確認してください。 主電源スイッチをOFFにして、コントロールユニットを適切な電源に接続し ます。 ONにして電源を入れます。 コントロールユニットのマニュアルの指示に従い、イオンポンプをオンにし ます。 以下のいずれかの状態を示すために、ユニットディスプレイの読み取 り値を確認します： ポンプに漏れがなく、低圧の場合、ガスの量がポンプされると、圧力表 示は1E-8mbarの範囲以下に急速に低下します。 ポンプ内の圧力が大気圧またはその近似値にある場合、アークが高電圧 フィードスルー内で衝突し、ポップ音が発生したり、ポンプ電流が変動 したりする可能性があります。 その場合は、すぐに電源を切ってくださ い。 真空の完全性が失われた場合は、システムに取り付ける前に、質量分析計の 漏洩検知器でポンプの漏洩チェックを行う必要があります。 Agilent VacIon Plus 800 User Manual...

  • Seite 167: ショート回路 (短絡)

    高電圧コネクターがポンプから切断されたときにも低電圧が示されます（コント ロールユニットのマニュアルを参照してください）。 ポンプフィードスルー上の電気抵抗計の読み取り値は、短絡を見つけるのに効果 的でない場合があります。 短絡は、ポンプへの機械的な衝撃によって引き起こさ れる可能性があります。 ポンプが短絡している場合は、Agilentにご連絡くださ い。 標準的な設備 標準的な設備は次の図に示され、以下で構成されています： VacIon Plus ポンプ。 イオンポンプ コントロールユニット。 クリーン粗引きポンプ（標準的にはターボ分子ポンプ）。 熱電対真空計、大気圧から1E-3 mbar までの範囲の圧力を示すことができま す。 真空チャンバーから粗引きポンプを密閉するための金属製バルブ。 粗引きラ インは通常、ステンレススチール、または銅管、または他の低蒸気圧材でで きています。 高電圧ケーブル。 主要バッキングポンプ （例：スクロールポンプ） 高真空計（例：Agilent UHV24 または UHV24P）。 真空チェンバー。 必要に応じて、システムの他の部分からイオンポンプを密閉するための金属製バ ルブを取り付けることもできます。 Agilent VacIon Plus 800 User Manual...

  • Seite 168: セットアップ

    取扱説明書 真空チェンバー 熱電対真空計 バルブ ターボ分子ポンプ 主要（スクロール）ポ プ 高電圧ケーブル 高電圧ケーブル イオンポンプコントローラー VacIon ポンプ 図 26 標準的な設備 セットアップ 主要なフランジボルトを緩め、ブランクフランジを持ち上げます。 フランジを損 傷することなく、再利用してはならない銅製ガスケットプレートを取り外します。 図 27 標準 Agilent VacIon Plus 800 User Manual...

  • Seite 169: Vacion Plus 800 の取り付け

    取扱説明書 VacIon Plus 800 の取り付け ポンプが土台に載っていない垂直での設置、または垂直以外の位置での設 警告 置の場合、ポンプはその重量のために適宜支えられなければなりません。 常に 4 つの付着点を使用することが推奨されます。 VacIon Plus 800ポンプは、適宜支えられていればどの位置にも設置できます。 都合のよい設置方法として、通常はポンプの下のブラケットを支えとして使用 し、インレットフランジを上部の位置にして垂直に取り付けられます。 ポンプが土台に載っていない垂直に設置する場合、または垂直以外の位置に設置 する場合、ポンプはその重量のために、一端が固定されその他の端が固定されて いない形で取り付けることはできませんが、支えにより、適切に支える必要があ ります。（支えのバーまたはプレート、その形状はポンプが取り付けられている システムのタイプによって異なります）。 このような支えは、ポンプの両側にあるスタッド（M12ネジ付き）を介してポン プに結合できます。 常に同時に4つの付着点を使用することが推奨されます。 ポンプの取り付けの詳細については、付録「技術情報」を参照してください。 図 28 M12 スレッドスタッドを示す VIP800 Agilent VacIon Plus 800 User Manual...

  • Seite 170: インレットフランジ接続

    しておく必要があります。 これにより、チリほこりやその他の不要物質の蓄積が 回避できます。 pinch-off の封を外す前に、点検の手順を確認してください（前の 段落を参照）。 スモッグ、チリほこり、花粉などのない清潔な場所で pinch-off チューブを開いて イオンポンプを通します。乾燥窒素ガスで通気することが強く推奨されます。こ れは、清潔なポリエチレン袋をイオンポンプフランジの上に置くことにより行う ことができます。 小さなポンプの場合は袋の中に完全に入れることもできます。 プライヤーも袋の中に入れ、清潔で乾燥した窒素で袋を数分間パージします。 次 に、pinch-off を外すために、袋の外側からプライヤーを扱います。 のこぎりやグラインダーでピンチオフ封を開けないでください。 これらの方法 注意 では、ポンプが開いているときに、流入する空気によって金属粒子がポンプに 引き込まれます。 ピンチオフ封は非常に鋭利です。 開くときはご注意ください。指に気をつ 警告 けてください。 適切な手順を使用して、ポンプと真空システムが清潔な状態を維持します。 メインフランジボルトを緩め、ブランクフランジを持ち上げます。 再利用しては いけない銅製ガスケットプレートを取り外します。 酸化銅の一部の粒子がフラン ジガスケットの外縁に付着する場合があります。 それらやその他の異物がポンプ 内に落ちないように注意してください。 Agilent VacIon Plus 800 User Manual...
  • Seite 171 の寸法はネックとスクリーンの間に最低限のクリアランスを確保するように設 計されているため、このスクリーンの安定性と正しい位置が保証されます。 可能な限りのポンプ速度を維持するために、イオンポンプを短い長さと大きい直 径のパイプで真空チャンバーに接続します。 次のように進めます: イオンポンプを持ち上げて適切に支えます。 取付け手順で説明されているよ うに、常に4つの支えまたはアイボルトを同時に使用してください。 合いフランジが清潔で、ナイフエッジに傷がないかどうかを点検します。 ポンプフランジと真空チャンバーフランジの間に新しい銅ガスケットを配置 します。 新しいネジで、ポンプの合いフランジをチャンバーにボルトで固定します。 NW 35（2.75 " o.d.）を超えるフランジの場合は、ナットとネジ頭の下にも座 金を取り付けます。 銀メッキのネジを使用するか、ネジ山に高温用潤滑剤を塗布します。 潤滑剤 により、密封と分解が簡単になります。推奨される潤滑剤はFel-ProC-100で す。 ポンプの内面やバキュームシステムを潤滑剤で汚染しないように注意し てください。 ネジが銀メッキされていない場合は、ベイクアウト後のナットとネジのかじり 注記 を防ぐために潤滑剤が不可欠です。 真空にさらされた表面を潤滑剤で汚染しな いように注意してください。 ナットを取り付け、それぞれを6〜11 Nm（4.5〜8 ft.-lbs）のトルクで締めま す。ナットを締めた後は、必ず反対側のナットをフランジの中心に対して締 めます。 これにより、フランジ面間の隙間が部分的に閉じられます。 Agilent VacIon Plus 800 User Manual...
  • Seite 172 取扱説明書 さらに2サイクル、順次締め付けを繰り返します。 フランジ面が接触し、トルクの顕著な増加が感じられるまで、ボルトを締め 続けます。 位置によっては取り付けにくい場合があっても、下側からもネジを取り付けるこ とができますことをご了承ください。 何らかの理由でネジを上側からも取り付け ることができない場合は、スタッドを使用する必要があります。 真空チェンバー ナット ウォッシャ ダブルエンドスタッド M8 ウォッシャ ナット VacIon ポンプ 図 29 スタッドの固定 Agilent VacIon Plus 800 User Manual...

  • Seite 173: Vacion Plus ポンプコントローラー

    VacIon Plus ポンプコントローラー 以下のコントローラーシリーズは、VacIon Plus800ポンプへ供給するために使用 できます： 4UHV コントローラー  IPC-Mini  各々のポンプの適切なコントローラー（極性と出力）を選択するには、Agilentの 真空カタログを参照してください。 コントロールユニット接続 コントロールユニットをイオンポンプに接続する高電圧ケーブルの高電圧 警告 は、重大な損傷または死亡の原因となる可能性があります。ケーブルの高 電圧コネクタをポンプの高電圧フィードスルーに接続する前、または取り 外す前に、主電源がコントロールユニットから取り外されていることを確 認してください。 怪我を防ぐために、ポンプをシステムに取り付け、すべてのインレットフ 警告 ランジを適切に接続される、またはブランクオフする前に、ポンプに高電 圧を接続しないでください。 ポンプが接地された真空システムにしっかり と接続されていることを確認してください。 ケーブルの高電圧コネクターをコントロールユニットから取り外す前に、 警告 主電源がコントロールユニットから取り外されていることを確認してくだ さい。コンデンサが完全に放電させるため、コントロールユニットから主 電源を抜いてから少なくとも 10 秒以上待ってください。 同軸高電圧ケーブルをコントローラーから外すには、安全ロックスリーブをコントロールユニッ トからスライドさせ（スリーブの移動は微少です）、同時にケーブルコネクタのオス側を引っ張 って、コントロールユニットのソケットから取り外します。 Agilent VacIon Plus 800 User Manual...

  • Seite 174: Vacion Plus 800 のセットアップと操作

    取扱説明書 VacIon Plus 800 のセットアップと操作 VacIon Plus 800ポンプを正しく使用するためのすべての手順は、このマニュアル および関連するポンプコントロールユニットのマニュアルに記載されています。 ポンプを使用する前に、これらのマニュアルを注意深くお読みください。 ポンプをオンにする前の予備動作 最速での始動とポンプの寿命を維持するために、Diodeバージョンでは1E-5 Torr （mbar）以下の圧力（StarCellバージョンでは1E-4 Torr）まで大まかにポンプダ ウンすることが推奨されます。 通常、この圧力レベルは、好ましくはオイルフリ ーの主要ポンプによってサポートされた、ターボ分子ポンプによって容易に到達 することができます。 イオンポンプは、原則として推奨される圧力よりも高い圧力でも始動できます が、この長時間の使用はポンプの寿命に影響を与える可能性があります。 以前は、イオンポンプを高圧で始動する必要があったのは、イオンポンプが主要 ポンプに直接接続されていたためでした。 ターボ分子ポンプの開発により、これ は現在必要ありません。 イオンポンプの物理的動作原理に関係する吸湿性堆積物（空気への暴露およびチ タンカソードへの水素の吸収による自然な結果としての）現象により、始動時間 は経過年数とともに増加する可能性があります。 実際、始動時に行われるポンプ 加熱により、水蒸気と以前にポンプで汲み上げられた水素が放出されます。 した がって、始動時間が長くなることがあります。 Agilent VacIon Plus 800 User Manual...

  • Seite 175: 操作の手順

    ルトになります。 電圧がこれらの値で一定のままである場合、ポンプの過熱 を避けるために、電源をオフにして、より低い圧力で再開することが推奨さ れます（「使用」の段落を参照ください）。 コントロールユニットの短絡電 流に近い電流値は、ポンプとシステムに制限のないグロー放電が存在するこ とを示している可能性があります。 粗引き圧力の一時的な上昇は、通常、始 動過程で気付きますイオンポンプが推奨圧力）まで始動されている場合、電 圧はすぐに事前設定値（3、5、または7 kV）に達します。 動作電圧に達する と、電流は減少し始めます。 イオンポンプとシステムをターボ分子ポンプか ら遮断するために、この時点で粗引きバルブを閉じることが推奨されます。 粗引きバルブを閉じた後にイオンポンプ電圧が低下した場合は、粗引きポン プを追加するためバルブを再度開きます。 圧力が低下すると、電圧が再び上昇し、粗引きバルブが閉じる可能性があり ます。 電圧が事前設定された動作値に達した時に、コントロールユニットがその傾 向がある場合は、コントロールユニットを保護状態に設定します。システム は、事前に設定された制限を超える圧力上昇から自動的に保護されます。 こ のような上昇が発生した場合、コントロールユニットは自動的にオフになり ます。 コントロールユニットで使用中のポンプタイプを設定できる場合、コントロ ーラーのディスプレイには、このマニュアルの「技術情報」の段落に示され ている圧力対電流のグラフの通り、電流値の変換によって得られた圧力値が 表示されます。 コントローラにこの素因がない場合は、この図を直接参照し てください。 動作中にイオンポンプが漏洩電流の影響を受け始めた場合、圧 力表示は正しくない可能性があることに注意してください。その場合には、 ディスプレイに表示される電流変換により得られた圧力は、実際の圧力より も高くなります。 Agilent VacIon Plus 800 User Manual...
  • Seite 176 取扱説明書 ポンプを排気するときは、乾燥窒素を使用してください。 これにより、ポン プ壁上の水蒸気の吸収を回避できます。 ポンプの電源を切った後、ポンプを 大気圧にさらす前に、内部の要素が冷却されるのを待つことが推奨されま す。 有毒ガス、可燃性ガス、または放射性ガスをポンプで送るためにポンプを 警告 使用する場合は、各々のガス処理に必要な手順に従ってください。 爆発性 ガスが存在するもとではポンプを使用しないでください。 発熱体が取り付けられているときは、加熱段階と冷却段階でポンプに触れ 警告 ないでください。 高温は重大な損傷を引き起こす可能性があります。 電磁場が装置の誤動作を引き起こす可能性があるため、ポンプの近くに電子機 注意 器を置かないでください。 Agilent VacIon Plus 800 User Manual...

  • Seite 177: Vacion Plus 800 を停止する

    取扱説明書 VacIon Plus 800 を停止する ポンプが運転している時にポンプを停止するには、ポンプを駆動しており、また ポンプに接続されているコントロールユニットを操作する必要があります。 メンテナンス VacIon Plusシリーズポンプはいかなるメンテナンスも必要としません。 ポンプに 行われるすべての作業は、許可された作業員が実行する必要があります。 ポンプにいかなる作業を行う前に、ポンプを高電圧電源から外してくださ 警告 い。 コントロールユニットをイオンポンプに接続する高電圧ケーブルの高電圧 警告 は、重傷または死亡の原因となる可能性があります。ケーブルの高電圧コ ネクターをポンプの高電圧フィードスルーに取り付ける前、または取り外 す前に、主電源がコントロールユニットから外されていることを必ず確認 してください。ケーブルの高電圧コネクタをコントロールユニットから取 り外す前に、主電源がコントロールユニットから取り外されていることを 確認してください。 コントロールユニットより主電源を抜いてから少なくとも 10 秒以上待ち、 コンデンサが完全に放電するようにしてください。 Agilent VacIon Plus 800 User Manual...

  • Seite 178: クリーニング

    取扱説明書 VacIon Plusポンプはメンテナンスが不要です。 ポンプの寿命が切れたり、早期に 故障した場合は、最寄りのAgilent 営業/サービスオフィスへ修理を依頼してくだ さい。 VacIon Plus 800ポンプは、交換可能な高電圧フィードスルーとポンプエレメント で設計されています。 修理のためにポンプを製作社へ返送する前には、この取扱説明書に添付されて 注記 いる「Request for Return」シートに記入し、最寄りの営業所へ送付する必要が あります。郵送する前にシートのコピーをポンプの梱包パッケージへ同封して ください ポンプを廃棄する場合は、指定の国内基準に従って廃棄する必要があります。 クリーニング VacIon Plus 800の外面を掃除するには、中性洗剤のみ使用できます。 Agilent VacIon Plus 800 User Manual...
  • Seite 179 取扱説明書 処分 ラベルに記載の "WEEE" ロゴの意味。 下記の記号は、EC WEEE (電気電子機器廃棄物) 指令にしたがって適用されま す。 この記号 (EC 諸国内のみで有効) は、この記号が適用される製品は、通常の家 庭ゴミとあわせて処分してはいけないこと、また個別廃棄物回収システムに送付 しなければならないことを表します。そのため、エンドユーザーは、親会社か小 売業者かに関係なく、当該機器のサプライヤに連絡の上、契約上の販売条件の確 認後、回収および処分プロセスを開始することが求められます。 図 30 ロゴ "WEEE" 詳細は、下記サイトを参照してください。 http://www.agilent.com/environment/product/index.shtml Agilent VacIon Plus 800 User Manual...

  • Seite 180: サービス

    取扱説明書 サービス お客様が最新交換サービスまたは修理サービスが必要な場合は、現地代理店もし くは下記まで直接ご連絡ください： vpt-customercare@agilent.com vpl-customercare@agilent.com “Request for Return”の申請の完了には、サービス提供のためにお客様のポンプを Agilentへ返送する必要があります。(このマニュアルの最後に提供されていま す）。 Agilent VacIon Plus 800 User Manual...

  • Seite 181: Instructions For Use

    Set-up VacIon Plus 800 mounting Inlet flange connection VacIon Plus Pump Controllers Control Unit Connection Start-up and operation of the VacIon Plus 800 Preliminary actions before to switch on the pump Operating Procedure Stopping the VacIon Plus 800 Maintenance Cleaning...

  • Seite 182: About This Manual

    About this manual Validity This manual lists the instructions for the users of the VacIon Plus 800, with particular reference to the notions relating to safety, operation and first level maintenance, limited to maintenance operations for which the user is responsible.

  • Seite 183: Definitions And Terminology

    Caution messages are displayed before procedures which, if not observed, could CAUTION cause damage to the equipment. Notes are intended to call attention to important information and provide more NOTE detail regarding specific steps. Agilent VacIon Plus 800 User Manual...

  • Seite 184: Warning Symbols

    Warning Symbols The following is a list of symbols that appear in conjunction with warnings on the VacIon Plus 800. The hazard they describe is also shown. A triangular symbol indicates a warning. The meanings of the symbols that may...
  • Seite 185 Power ON Power OFF Access denied to active pacemaker’s holders Magnetic field hazard Weight Production date Dangerous voltages Hot surfaces Generic hazard CE certification CSA certification RoHS China certification Waste Electrical and Electronic Equipment Agilent VacIon Plus 800 User Manual...

  • Seite 186: Safety

    Agilent Technologies declines all responsibility for damage to the machine or for the physical safety of the operator or third parties deriving from the non-observance of the safety rules indicated in the technical documentation.

  • Seite 187: Improper Use

    Instructions for Use Improper use Agilent Technologies declines all responsibility, deriving from the improper use of the VacIon Plus 800. Improper use will cause all claims for liability and warranties to be forfeited. Improper use is defined as: installation of the pump with unspecified mounting material ...

  • Seite 188: Protective Equipment

    In general, the operator must wear accident-prevention shoes while handling the VacIon Plus 800 and during installation. Danger to health by hazardous substances during maintenance or WARNING installation.

  • Seite 189: Safety Guideline For Ion Pumps

    To avoid damage to equipment and to prevent injuries to operating WARNING personnel the installation instructions as given in this manual should be strictly followed! Agilent VacIon Plus 800 User Manual...

  • Seite 190: Transport & Storage

    Instructions for Use Transport & Storage In order to guarantee the maximum level of performance and reliability of Agilent Ion Pumps, the following guidelines must be followed to avoid condensation: when shipping, moving and storing pumps, the following environmental ...

  • Seite 191: Vacion Plus 800 Installation

    Avoid sudden impacts to the VacIon Plus 800 that would be caused by dropping it. Be aware to maintain the packaging box in order to reuse it in case of storage for a long period of time or in case of shipping.
  • Seite 192 The pump operation is optimized using one of the special Agilent controllers only. The safety specifications agreement using the pump is guaranteed using the CAUTION Agilent controller only.

  • Seite 193: Inspection Procedure

    The pump is not harmed by such exposure, although it is good practice to keep it under vacuum when not in use, in order to avoid the dust contamination and the accumulation of water vapor from the environment. Agilent VacIon Plus 800 User Manual...

  • Seite 194: Vacuum Evaluation

    If this occurs, turn the power OFF immediately. If the vacuum integrity has been lost, the pump should be leak-checked with a mass spectrometer leak detector before installation on the system. Agilent VacIon Plus 800 User Manual...

  • Seite 195: Short Circuits

    High voltage cable. Primary backing pump (e.g. a scroll pump). High vacuum gauge (e.g. Agilent UHV24 or UHV24P). Vacuum chamber. A metallic valve to seal off the ion pump from the rest of the system may also be installed if required.

  • Seite 196: Set-Up

    Instructions for Use Figure 31 Typical installation Set-up Unscrew the main flange bolts and lift the blank flange. Remove the copper gasket plate, that must not be reused, without damaging the flange. Figure 32 Agilent VacIon Plus 800 User Manual...

  • Seite 197: Vacion Plus 800 Mounting

    It is recommended the always use four attachment points. The VacIon Plus 800 pump can be installed in any position, if conveniently supported. For convenience it is normally mounted in a vertical position with the inlet flange at the top, using as a support the brackets under the pump. For...

  • Seite 198: Inlet Flange Connection

    Some particles of copper oxide may adhere to the outer edge of the flange gasket. Be careful not to allow them or any other foreign materials to fall into the pump. Agilent VacIon Plus 800 User Manual...
  • Seite 199 Attach the nuts and tighten each one to 6 – 11 Nm (4.5 - 8 ft.-lbs) of torque. After tightening a nut, always tighten the opposite nut with respect to the center of the flange. This will partially close the gap between the flange faces. Agilent VacIon Plus 800 User Manual...
  • Seite 200 Note that it is possible to install the screws also from the lower side, even if in some positions this may be uncomfortable. If for any reason screws cannot be installed neither from the upper side, studs must be used. Figure 34 Stud mounting Agilent VacIon Plus 800 User Manual...

  • Seite 201: Vacion Plus Pump Controllers

    Instructions for Use VacIon Plus Pump Controllers The following controller series are available to supply the VacIon Plus 800 pumps: 4UHV Controller  IPCMini  Please refer to the Agilent Vacuum Catalogue to choose the correct controller (polarity and power) for each pump.

  • Seite 202: Start-Up And Operation Of The Vacion Plus 800

    Instructions for Use Start-up and operation of the VacIon Plus 800 All the instructions for the correct use of the VacIon Plus 800 pumps are contained in this manual and in the relevant pump control unit manual. Read these manuals carefully before using the pump.

  • Seite 203: Operating Procedure

    In this case the pressure obtained by the current conversion shown on the display will be higher than the real one. Agilent VacIon Plus 800 User Manual...
  • Seite 204 When the heating element is installed, do not touch the pump during the WARNING heating and cooling phases. The high temperature may cause a serious damage. Do not put any electronic device near the pump since the magnetic field may CAUTION cause a device malfunction. Agilent VacIon Plus 800 User Manual...

  • Seite 205: Stopping The Vacion Plus 800

    Before removing the high voltage connector of the cable from the control unit, be sure the main power is removed from the control unit. Wait at least 10 seconds after removing the main power from the control unit, to allow capacitors to discharge completely. Agilent VacIon Plus 800 User Manual...

  • Seite 206: Cleaning

    If a pump is to be scrapped, it must be disposed of in accordance with the specific national standards. Cleaning The exterior surface of the VacIon Plus 800 may be cleaned with mild detergent only. Agilent VacIon Plus 800 User Manual...

  • Seite 207: Disposal

    Parent Company or a retailer, to initiate the collection and disposal process after checking the contractual terms and conditions of sale. Figure 35 Logo "WEEE" For more information refer to: http://www.agilent.com/environment/product/index.shtml Agilent VacIon Plus 800 User Manual...

  • Seite 208: Service

    Should a customer need an advanced exchange or repair service, please contact local distributor or directly mail to vpt-customercare@agilent.com vpl-customercare@agilent.com Completion of the “Request for Return” form is required to return your pump to Agilent for service (provided at the end of this manual). Agilent VacIon Plus 800 User Manual...

  • Seite 209: Technical Information

    Technical Information Technical Information Description of the VacIon Plus 800 Technical specification Outline Drawing Stray Magnetic Field Pump Operating Procedure Safety Interlock Bakeout Operation Bakeout of VacIon Pump with the Integral Heaters Pump Troubleshooting Exchange of th Pumping Element Exchange of the High Voltage Feedthrough...

  • Seite 210: Description Of The Vacion Plus 800

    Different heater configurations are available. Please contact the local Agilent representative for reference. VacIon Plus 800 pumps are designed to operate in the pressure range from the recommended maximum starting pressure (1E-4 mbar for StarCell) to the ultimate pressure (below 1E-11 mbar). As pointed out in the paragraph “Use”, the ion pump can in principle also be started at higher pressure, but this prolonged practice can affect the pump lifetime.
  • Seite 211 Technical Information The following figure shows the VacIon Plus 800 pump. Figure 36 VacIon Plus 800 pump Agilent VacIon Plus 800 User Manual...

  • Seite 212: Technical Specification

    Technical Information Technical specification The following table details the main technical specifications of the VacIon Plus 800 pumps. Model Specification Starcell 10” StarCell 8” Saturated Pumping Speed* for Nitrogen 650 L/s 530 L/s Unsaturated Pumping Speed* for Nitrogen 910 L/s...
  • Seite 213 Technical Information Figure 37 VIP800 Typical Pumping Speed vs Pressure for Nitrogen and Argon Figure 38 VIP800 Typical Current vs Pressure curve Agilent VacIon Plus 800 User Manual...

  • Seite 214: Outline Drawing

    Technical Information Outline Drawing The following figures show the outline drawing for the VacIon Plus 800 pump: Figure 39 VacIon Plus 800 CFF 8” outline drawing, showing pump overall dimensions (in mm) Agilent VacIon Plus 800 User Manual...
  • Seite 215 Technical Information Figure 40 VacIon Plus 800 CFF 10” outline drawing, showing pump overall dimensions (in mm) Agilent VacIon Plus 800 User Manual...
  • Seite 216 For further explanation on the physics of this phenomenon, please refer to the section “VacIon Plus Pumping Speed” of the ion pump general catalogue. It is worth noticing that to saturate the VacIon Plus 800 pumps, it normally requires an amount of gas of about 23 mbar-liters (in the case of nitrogen).

  • Seite 217: Stray Magnetic Field

    Figures. 42, and 43, where Bx is the magnetic field along X axis, by is along Y axis and Bz is along Z axis: Figure 41 Pump axis identification Agilent VacIon Plus 800 User Manual...
  • Seite 218 Figure 42 Typical stray magnetic field from the center of the flange along X axis (Z = 0 cm) Y direction Position along Y (cm) Figure 43 Typical stray magnetic field from the center of the flange along Y axis (Z = 0 cm) Agilent VacIon Plus 800 User Manual...
  • Seite 219 Figure 44 Typical stray magnetic field from flange along Z axis X direction Position along X (cm) Figure 45 Typical stray magnetic field from the center of the flange along X axis (Z = 10 cm) Agilent VacIon Plus 800 User Manual...
  • Seite 220 Technical Information Y direction Position along Y (cm) Figure 46 Typical stray magnetic field from the center of the flange along Y axis (Z = 10 cm) Agilent VacIon Plus 800 User Manual...

  • Seite 221: Pump Operating Procedure

    (e.g. 7 kV). The applied voltage may be reduced later, when the pressure will be lower, in order to optimize the pumping speed. This operation is done automatically by Agilent controllers when set in “STEP” mode. If the ion pump has been started at too high pressure, typically the voltage will be of some hundred Volts.

  • Seite 222: Safety Interlock

    Safety Interlock The VacIon Plus pump feedthrough in conjunction with the cable P/N 9290705, 0707, 0708 and 0709, when used with the Agilent control units, allows the operation of the “High Voltage Cable Safety Interlock” feature. When the high voltage cable connector is disconnected from the VacIon Plus pump feedthrough, the high voltage is automatically switched off by the control unit.

  • Seite 223: Bakeout Operation

    UHV vacuum pressure. Monitor the pump current on the control unit. Agilent recommends that current during the bakeout should not exceed 25 mA; if this value is exceeded, turn the bakeout off and then on again when low current is restored.
  • Seite 224 It is strongly recommended to degas filaments (e.g. in gauges or residual gas NOTE analyzers) when the system is at high temperature. If they are outgassed at room temperature, this operation will compromise the effectiveness of the bakeout. Agilent VacIon Plus 800 User Manual...

  • Seite 225: Bakeout Of Vacion Pump With The Integral Heaters

    It is worth noticing that the bakeout of the ion pump alone is not sufficient to NOTE achieve the ultimate pressure. The complete vacuum system must be baked according to the indications in the paragraph “Bakeout operation”. Agilent VacIon Plus 800 User Manual...

  • Seite 226: Pump Troubleshooting

    Bake the system walls, thereby achieve desired UHV vapor limits the base pressure. accelerating the desorption process. vacuum pressure. Baking mobilizes the vapours so they can be cracked and pumped by discharge (see the section “BAKEOUT OPERATION”). Agilent VacIon Plus 800 User Manual...
  • Seite 227 This should partly place with regular (argon) is present in the air remove the noble gases inside the ion frequency. composition. pump. Choose the most appropriate pumping element for noble gases (StarCell is recommended). Agilent VacIon Plus 800 User Manual...

  • Seite 228: Exchange Of Th Pumping Element

    Technical Information Exchange of th Pumping Element VacIon Plus 800 pumps are designed to allow the replacement of the pumping elements through the ion pump flange. For ordering information (part numbers and quantities to be ordered for each pump), please refer to the local Agilent Technologies representative.
  • Seite 229 Technical Information Figure 47 Pumping element replacement Agilent VacIon Plus 800 User Manual...

  • Seite 230: Exchange Of The High Voltage Feedthrough

    Check that the feedthrough is not shorted. Put the ion pump and the system under vacuum following the instructions in the paragraph “Operating Procedure”. Figure 48 High voltage feedthrough connection Agilent VacIon Plus 800 User Manual...

  • Seite 231: Leakage Current Check

    If the pump current reading is used as a pressure measurement, it is worth checking the pump leakage current as follows: Turn off the pump control unit. Remove the pump pole piece (magnetic circuit). Contact the local Agilent Technologies representative to get indication about how this operation should be carried out.

  • Seite 232: High-Potting

    15 seconds. This should effectively remove any "whiskers" or sharp edges on the pump cathode. Voltages developed in the high-potter power supply are potentially lethal. WARNING Use caution during operation and ensure the correct grounding. Agilent VacIon Plus 800 User Manual...

  • Seite 233: Accessories And Spare Parts

    9595125 Replacement pumping element StarCell (12 per pump) 9199030 For a complete overview of Agilent extensive vacuum product line and for part numbers not included in the above table please refer to the Agilent Vacuum Catalogue. Agilent VacIon Plus 800 User Manual...
  • Seite 239 The manual describes the following: Istruzioni per l’uso  Bedienungshandbuch  Notice de mode d’emploi  Manual de istrucciones  用户手册  ユーザーマニュアル  Instruction for Use  Technical information  www.agilent.com © Agilent Technologies, Inc. 2020 Edition A.00, 09/20 *X3607-90000* X3607-90000...

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