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Agilent IDP-35 Betriebsanleitung

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IDP-35 & IDP-45 Dry Scroll Pump
Agilent
User Manual

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Verwandte Anleitungen für Agilent IDP-35

Inhaltszusammenfassung für Agilent IDP-35

  • Seite 1 IDP-35 & IDP-45 Dry Scroll Pump Agilent User Manual...
  • Seite 2 (Technical Data) and 12.212 (Computer Software) and, for the Department of Defense, DFARS 252.227-7015 (Technical Data - Commercial Items) and DFARS 227.7202-3 (Rights in Commercial Computer Software or Computer Software Documentation). Agilent IDP-35 & IDP-45 Dry Scroll Pump User Manual...
  • Seite 3 Agilent Personale qualificato Equipaggiamento protettivo Descrizione del prodotto Trasporto e immagazzinaggio Disimballaggio e ispezione Preparazione per l'installazione Procedura di avvio Procedura di spegnimento Smaltimento Condizioni ambientali, conformità e requisiti strutturali Agilent IDP-35 & IDP-45 Dry Scroll Pump User Manual...
  • Seite 4 Definition von Vorsicht, Warnung und Hinweis Warnsymbole Sicherheit EMV-Warnungen Ordnungsgemäße Nutzung Vernünftigerweise vorhersehbarer Missbrauch Sicherheitsrichtlinien für trockene Scrollpumpen Qualifiziertes Personal Schutzausrüstung Produktbeschreibung Transport und Lagerung Auspacken und Inspektion Vorbereitung zum Einbau Inbetriebnahme Abschaltverfahren Entsorgung Agilent IDP-35 & IDP-45 Dry Scroll Pump User Manual...
  • Seite 5 Directive de sécurité pour les pompes à vide sèches Personnel qualifié Équipements de protection Description du produit Transport et entreposage Déballage et inspection Préparation pour l’installation Procédure de démarrage Procédure d’arrêt Agilent IDP-35 & IDP-45 Dry Scroll Pump User Manual...
  • Seite 6 Uso incorrecto razonablemente previsible Directrices de seguridad para bombas de vacío de desplazamiento en seco Personal cualificado Equipo de protección Descripción del producto Transporte y almacenamiento Desembalaje e Inspección Preparación para la instalación Agilent IDP-35 & IDP-45 Dry Scroll Pump User Manual...
  • Seite 7 Compatibilidad electromagnética EN55011/CISPR11 Declaración EMC Clase A de Corea del Sur CIEM/NMB-001 Servicio 使用说明 關於本手冊 相關證明文件 定義與術語 小心、警告和注意的定義 警告符號 安全 EMC 警告 美國聯邦通訊委員會 正確使用 合理而可預見的濫用 乾式渦旋幫浦安全指南 合資格人員 防護裝備 Agilent IDP-35 & IDP-45 Dry Scroll Pump User Manual...
  • Seite 8 Contents 產品描述 運輸及儲存 開箱檢驗 安裝準備 啟動程式 關機程式 處置 環境條件、合規性和公用設施要求 電磁兼容 EN55011/CISPR11 韓國 A 類 EMC 聲明 ICES/NMB-001 服務 取扱説明書 この説明書について 関連補足資料 定義と用語 警告・注意・注の定義 警告の記号 Agilent IDP-35 & IDP-45 Dry Scroll Pump User Manual...
  • Seite 9 Contents 安全性 EMC 警告 適切な使用 合理的に予見可能な誤使用 ドライスクロールポンプの安全ガイドライン 有資格者 保護装備 製品説明 輸送と保管 開梱と点検 設置の準備 起動手順 停止手順 処分 環境条件、コンプライアンス、ユーティリティ要件 電磁両立性 EN55011/CISPR11 韓国クラス A EMC 宣言 ICES/NMB-001 サービス Agilent IDP-35 & IDP-45 Dry Scroll Pump User Manual...
  • Seite 10 Product Description Transport & Storage Unpacking and Inspection Preparation for Installation Startup Procedure Shutdown Procedure Disposal Environmental Conditions, Compliance and Utility Requirements Electromagnetic Compatibility South Korean Class A EMC declaration ICES/NMB-001 Service Agilent IDP-35 & IDP-45 Dry Scroll Pump User Manual...
  • Seite 11 Contents Technical Information Description of the IDP-35 and IDP-45 Dry Scroll Pumps Technical Specifications IDP-35 and IDP-45 Dry Scroll Pump Outline Drawing Electrical Connections Mechanical Connections User Interface and Operating Modes User Interface IDP-35 and IDP-45 Operating Modes Standard mode...
  • Seite 12 Contents Service Options Pumping Module Troubleshooting Serial, Analog, and USB Connector & Pin allocation Serial connector Window Description and Protocol Window Description Windows Protocol Agilent IDP-35 & IDP-45 Dry Scroll Pump User Manual...
  • Seite 13 Preparazione per l'installazione Procedura di avvio Procedura di spegnimento Smaltimento Condizioni ambientali, conformità e requisiti strutturali Compatibilità elettromagnetica EN55011/CISPR11 Dichiarazione EMC di Classe A della Corea del Sud ICES/NMB-001 Servizio Post Vendita Agilent IDP-35 & IDP-45 Dry Scroll Pump User Manual...
  • Seite 14 Il presente manuale contiene istruzioni per gli utenti e informazioni tecniche relative alle pompe per vuoto a secco IDP-35 e IDP-45 in conformità alle direttive applicabili. Il presente documento è valido per la versione di prodotto valida al momento della pubblicazione, a condizione che il cliente o terzi non apportino modifiche al prodotto.
  • Seite 15 AVVERTENZA procedura o una pratica specifica che, se non eseguita in modo corretto, potrebbe provocare gravi lesioni personali. Le note contengono informazioni importanti e forniscono maggiori dettagli su NOTA passaggi specifici. Agilent IDP-35 & IDP-45 Dry Scroll Pump User Manual...
  • Seite 16 Simboli di avvertenza Di seguito è riportato un elenco di simboli che sono visualizzati insieme alle avvertenze sulle pompe per vuoto a secco IDP-35 e IDP-45. Viene descritto anche il pericolo correlato. Un simbolo triangolare indica un’avvertenza. I significati dei simboli che possono apparire accanto alle avvertenze nella documentazione o sul prodotto stesso sono riportati qui di seguito.
  • Seite 17 Agilent Technologies declina ogni responsabilità per danni al prodotto o per la sicurezza fisica dell'operatore o di terzi derivanti dall'inosservanza delle norme di sicurezza indicate nella documentazione tecnica.
  • Seite 18 L'utilizzo del presente apparecchio in zone residenziali potrebbe causare interferenze nocive per le comunicazioni radio e, in tal caso, l'utente deve provvedere a correggere l'interferenza a proprie spese. Agilent IDP-35 & IDP-45 Dry Scroll Pump User Manual...
  • Seite 19 Istruzioni per l’uso Utilizzo conforme Le pompe per vuoto IDP-35 e IDP-45 sono destinate esclusivamente all'uso da parte di personale specificatamente qualificato, come indicato nel presente manuale. Tutti gli accessori e i dispositivi utilizzati con il prodotto devono essere forniti o approvati da Agilent Technologies.
  • Seite 20 Istruzioni per l’uso Indicazioni generali sulla sicurezza per pompa per vuoto a secco Agilent Il personale responsabile del funzionamento e della manutenzione della pompa deve essere adeguatamente addestrato e deve conoscere le norme per la prevenzione degli incidenti (fare riferimento alla sezione Personale qualificato). Le...
  • Seite 21 Istruzioni per l’uso Personale qualificato L'utilizzo della pompa per vuoto a secco IDP-35 e IDP-45 è raccomandato solo da parte di personale qualificato. Per persona qualificata si intende: una persona in possesso delle qualifiche appropriate, che abbia fatto  esperienza o che abbia completato una formazione su come lavorare con...
  • Seite 22 è utilizzata la macchina. In generale l'operatore deve indossare scarpe di sicurezza durante lo spostamento, la manipolazione o l'installazione della pompa per vuoto a secco IDP-35 e IDP-45. AVVERTENZA Pericolo per la salute a causa di sostanze pericolose durante la manutenzione o l’installazione.
  • Seite 23 Prima di riparare la pompa o prima di qualsiasi azione di montaggio/smontaggio della pompa nel sistema, attendere l’arresto completo della pompa. • Non operare direttamente all’interno della pompa. • Se necessario, indossare guanti protettivi secondo norma EN 420. Agilent IDP-35 & IDP-45 Dry Scroll Pump User Manual...
  • Seite 24 Istruzioni per l’uso Descrizione del prodotto I prodotti IDP-35 e IDP-45 sono pompe tenuta stagna per vuoto a secco. Questa pompa è adatta al pompaggio di aria o gas inerti da un'area di bassa pressione a un'area di maggiore pressione, che non sia sostanzialmente né inferiore né...
  • Seite 25 Controllare che la pompa non sia danneggiata. In caso di danni imputabili alla spedizione, contattare immediatamente il corriere e l'ufficio vendite Agilent di zona. Il peso totale delle pompe IDP-35 o IDP-45 e dell'imballaggio è di circa 50 AVVERTENZA kg (110 libbre).
  • Seite 26 Per le specifiche fare riferimento alla Tabella 1 nella sezione Informazioni tecniche. Queste pompe non sono progettate o certificate per il funzionamento all'aperto. Le pompe IDP-35 e IDP-45 non devono mai essere utilizzate in ambienti contenenti materiali esplosivi o combustibili. Le pompe IDP-35 e IDP-45 NON sono intrinsecamente sicure e non devono mai essere utilizzate con gas corrosivi, piroforici, particolati o miscele di gas infiammabili e/o combustibili.
  • Seite 27 • La pompa deve essere installata in modo che sia facile l'accesso all'interruttore di alimentazione. • I cavi di alimentazione approvati da Agilent per tutti i collegamenti comuni sono indicati nella sezione Collegamenti elettrici. Se fosse necessario utilizzare un cavo di alimentazione diverso, la corrente nominale del cavo di alimentazione deve essere di almeno 15 A per l'impiego a 200-240V e di almeno 20 A per l'impiego a 100-127V.
  • Seite 28 Non modificare la spina in dotazione. Se non si adatta alla presa, fare installare una presa adatta da un elettricista qualificato. Collegare il prodotto solo a una presa con la stessa configurazione della spina. Non utilizzare un adattatore per questo prodotto. Agilent IDP-35 & IDP-45 Dry Scroll Pump User Manual...
  • Seite 29 Istruzioni per l’uso Procedura di avvio Le pompe per vuoto IDP-35 e IDP-45 hanno due modalità operative di base: 1. Modalità standard (impostazione predefinita di fabbrica) 2. Modalità configurabile: a. Controllo seriale b. Controllo analogico Le seguenti informazioni basilari riguardano il funzionamento in modalità Standard.
  • Seite 30 ON/OFF in posizione "0". Se la pompa è dotata di una valvola di isolamento integrata, questa si chiude rapidamente per eliminare il riflusso di gas dalla pompa ai componenti a monte. Agilent IDP-35 & IDP-45 Dry Scroll Pump User Manual...
  • Seite 31 Figura 1 Logo "WEEE" Per maggiori informazioni consultare: http://www.agilent.com/environment/product/index.shtml Agilent IDP-35 & IDP-45 Dry Scroll Pump User Manual...
  • Seite 32  periferiche non apportare variazioni o modifiche non espressamente approvate da Agilent  Technologies, che potrebbero inficiare l'autorizzazione all'operatore per l'utilizzo dell'apparecchiatura.
  • Seite 33 Dichiarazione EMC di Classe A della Corea del Sud Questa apparecchiatura è di Classe A, è adatta all'uso professionale ed è destinata all'uso in ambienti elettromagnetici esterni alla casa. ICES/NMB-001 Questo dispositivo ISM è conforme alla normativa canadese ICES-001/NMB-001. Agilent IDP-35 & IDP-45 Dry Scroll Pump User Manual...
  • Seite 34 È necessario completare il modulo “Richiesta di reso” per restituire il prodotto ad Agilent per l'assistenza (fornito alla fine di questo manuale). Agilent IDP-35 & IDP-45 Dry Scroll Pump User Manual...
  • Seite 35 Sicherheitsrichtlinien für trockene Scrollpumpen Qualifiziertes Personal Schutzausrüstung Produktbeschreibung Transport und Lagerung Auspacken und Inspektion Vorbereitung zum Einbau Inbetriebnahme Abschaltverfahren Entsorgung Umweltbedingungen, Konformität und Versorgungsanforderungen Elektromagnetische Verträglichkeit EN55011/CISPR11 Südkoreanische Klasse A EMV-Erklärung ICES/NMB-001 Service Agilent IDP-35 & IDP-45 Dry Scroll Pump User Manual...
  • Seite 36 Betriebsanleitung Informationen über diese Betriebsanleitung Dieses Handbuch enthält Anleitungen für Benutzer und technische Informationen zu den IDP-35 & IDP-45 trockenen Scrollpumpen in Übereinstimmung mit den geltenden Richtlinien. Dieses Dokument ist für das zum Zeitpunkt der Veröffentlichung hergestellte Produkt gültig, vorausgesetzt, dass keine Änderungen am Produkt durch den Kunden oder Dritte vorgenommen werden.
  • Seite 37 Verfahren oder einen spezifischen Vorgang, der schwere Verletzungen von Personen zur Folge haben könnte, wenn er nicht korrekt ausgeführt wird. Die Hinweise enthalten wichtige Informationen und liefern weitere Details über HINWEIS spezifische Arbeitsschritte. Agilent IDP-35 & IDP-45 Dry Scroll Pump User Manual...
  • Seite 38 Warnsymbole Im Folgenden finden Sie eine Liste von Symbolen, die in Verbindung mit Warnhinweisen auf die IDP-35 und IDP-45 Trockene Scroll-Pumpen erscheinen. Die von ihnen beschriebene Gefahr wird ebenfalls angezeigt. Ein dreieckiges Symbol weist auf eine Warnung hin. Die Bedeutung der Symbole, die neben Warnhinweisen in der Dokumentation oder auf dem Gerät selbst erscheinen können, ist wie folgt.
  • Seite 39 Anleitungen kann die Sicherheit beeinträchtigen und möglicherweise zu Unfällen bei der Bedienung des Produkts führen. Agilent Technologies lehnt jede Verantwortung für Schäden am Produkt oder für die körperliche Unversehrtheit des Bedieners oder Dritter ab, die sich aus der Nichtbeachtung...
  • Seite 40 Störungen des Funkverkehrs verursachen. Der Betrieb dieses Geräts in einer Wohngegend kann ebenfalls schädliche Funkstörungen verursachen; in diesem Fall ist der Benutzer verpflichtet, die Störungen auf eigene Kosten zu beheben. Agilent IDP-35 & IDP-45 Dry Scroll Pump User Manual...
  • Seite 41 Betriebsanleitung Ordnungsgemäße Nutzung Die IDP-35 und IDP-45 Trockene Scroll-Pumpen sind ausschließlich für die Nutzung durch qualifizierte Personen als Vakuumpumpen gemäß diesem Handbuch vorgesehen. Alle Zubehörteile und Geräte, die zusammen mit dem Produkt verwendet werden, müssen von Agilent Technologies geliefert oder genehmigt werden. Agilent Technologies übernimmt keine Garantie oder Verantwortung für Anwendungen, die...
  • Seite 42 Um Schäden am Gerät und Verletzungen des Bedienpersonals zu vermeiden, sind die Installationsanweisungen in diesem Handbuch genau zu befolgen. WARNUNG Die Pumpe darf nicht mit brennbaren Materialien umgehen. Es ist verboten, die Pumpe in einer explosiven Umgebung zu installieren. Agilent IDP-35 & IDP-45 Dry Scroll Pump User Manual...
  • Seite 43 Betriebsanleitung Qualifiziertes Personal Die IDP-35- und IDP-45- Trockene Scroll-Pumpen sollten nur von qualifiziertem Personal verwendet werden. Eine qualifizierte Person ist: Eine Person, die über die entsprechenden Qualifikationen verfügt und  Erfahrung im Umgang mit Agilent Trockenvakuumpumpen hat oder eine entsprechende Schulung absolviert hat.
  • Seite 44 Tragen Sie kleine und mittlere Vakuumpumpen mit zwei Händen. • Alle Geräte, die schwerer als 20 kg sind, sollten mit einer geeigneten Hebevorrichtung transportiert werden. • Sicherheitsschuhe mit Stahlkappe gemäß Richtlinie EN 347 tragen. Agilent IDP-35 & IDP-45 Dry Scroll Pump User Manual...
  • Seite 45 Warten Sie vor der Wartung der Pumpe oder vor dem Ein- und Ausbau der Pumpe vom System bis zum vollständigen Stillstand der Pumpe. • Nicht direkt im Hochvakuumflansch betreiben. • Gegebenenfalls Schutzhandschuhe nach EN 420 tragen. Agilent IDP-35 & IDP-45 Dry Scroll Pump User Manual...
  • Seite 46 Betriebsanleitung Produktbeschreibung Die IDP-35 und IDP-45 sind hermetische Trockene Scroll-Pumpen. Diese Pumpe eignet sich zum Fördern von Luft oder Inertgasen aus einem Bereich mit niedrigem Druck in einen Bereich mit höherem Druck, der nicht wesentlich unter oder über dem atmosphärischen Druck liegt. Diese Pumpe ist nicht zum Fördern von korrosiven, pyrophoren, partikelbildenden Gasen oder Gasgemischen im entflammbaren und/oder brennbaren Bereich vorgesehen.
  • Seite 47 Pumpe und Verpackung beträgt ca. 72 kg (160 lbs). Richten Sie den Transportbehälter so aus, dass This End Up oben liegt. Öffnen Sie den Karton und heben Sie die IDP-35 oder IDP-45 mit einem Hebezug, der an der Ringschraube der Pumpe eingehängt wird, vorsichtig aus dem Karton.
  • Seite 48 Tabelle 1 im Abschnitt „Technical Information“. Diese Pumpen sind nicht für den Betrieb im Freien ausgelegt oder zertifiziert. Die Pumpen IDP-35 und IDP-45 dürfen nicht in Umgebungen eingesetzt werden, die explosive oder brennbare Materialien enthalten. Die IDP-35- und IDP-45-Pumpen sind NICHT eigensicher und dürfen niemals mit korrosiven, pyrophoren, partikelbildenden...
  • Seite 49 • Die Pumpe muss so installiert werden, dass der Netzschalter leicht zugänglich ist. • Die von Agilent zugelassenen Stromkabel für alle gängigen Anschlüsse sind im Abschnitt „Elektrische Anschlüsse“ angegeben. Wenn ein anderes Stromkabel verwendet werden muss, muss die Stromstärke des Stromkabels mindestens 15 A für 200-240 V und mindestens 20 A für 100-127 V betragen.
  • Seite 50 Steckdose von einem qualifizierten Elektriker installieren. Schließen Sie das Gerät nur an eine Steckdose an, die die gleiche Konfiguration wie der Stecker hat. Verwenden Sie keinen Adapter mit diesem Produkt. Agilent IDP-35 & IDP-45 Dry Scroll Pump User Manual...
  • Seite 51 Betriebsanleitung Inbetriebnahme Die Vakuumpumpen IDP-35 und IDP-45 haben zwei grundlegende Betriebsarten: 1. Standardmodus (werkseitige Standardeinstellung) 2. Konfigurierbarer Modus: a. Serielle Steuerung b. Analoge Steuerung Die folgenden grundlegenden Informationen beziehen sich auf den Betrieb im Standardmodus. Einzelheiten zu weiteren Betriebsarten finden Sie im Abschnitt Technische Informationen.
  • Seite 52 Schalter auf die Position "0". Wenn die Pumpe mit einem integrierten Absperrventil ausgestattet ist, schließt sich dieses schnell, um einen Rückfluss von Gas aus der Pumpe zu den vorgeschalteten Komponenten zu verhindern. Agilent IDP-35 & IDP-45 Dry Scroll Pump User Manual...
  • Seite 53 Endabnehmer sollte daher den Lieferanten des Geräts - d. h. die Muttergesellschaft oder den Wiederverkäufer - kontaktieren, um den Entsorgungsprozess zu starten, nachdem er die Verkaufsbedingungen geprüft hat. Abbildung 2 Logo „WEEE“ Für weitere Informationen siehe: http://www.agilent.com/environment/product/index.shtml Agilent IDP-35 & IDP-45 Dry Scroll Pump User Manual...
  • Seite 54 Sicherstellen, dass geeignete Kabel für den Anschluss des Gerätes an  Zusatzgeräte verwendet werden. Änderungen oder Umbauten, die nicht ausdrücklich von Agilent Technologies  genehmigt wurden, können dazu führen, dass der Benutzer die Berechtigung zum Betrieb des Geräts verliert. Agilent IDP-35 & IDP-45 Dry Scroll Pump User Manual...
  • Seite 55 Südkoreanische Klasse A EMV-Erklärung Dieses Gerät entspricht der Klasse A und ist für den professionellen Einsatz und die Verwendung in elektromagnetischen Umgebungen außerhalb des Wohnbereichs geeignet. ICES/NMB-001 Dieses ISM-Gerät entspricht den kanadischen Bestimmungen ICES-001/NMB-001. Agilent IDP-35 & IDP-45 Dry Scroll Pump User Manual...
  • Seite 56 Sie sich bitte an den örtlichen Händler oder direkt an die Email-Adresse: vpt-customercare@agilent.com vpl-customercare@agilent.com Das Ausfüllen des "Request for Return" formulars ist erforderlich, um das Produkt zur Wartung an Agilent zurückzusenden (am Ende dieses Handbuchs angegeben). Agilent IDP-35 & IDP-45 Dry Scroll Pump User Manual...
  • Seite 57 Transport et entreposage Déballage et inspection Préparation pour l’installation Procédure de démarrage Procédure d’arrêt Élimination Conditions environnementales, conformité et applications pratiques Compatibilité électromagnétique EN55011/CISPR11 Déclaration CEM Classe A Corée du Sud ICES/NMB-001 Service Agilent IDP-35 & IDP-45 Dry Scroll Pump User Manual...
  • Seite 58 Ce manuel contient des informations utiles pour que l’ensemble du personnel NOTE puisse utiliser les pompes à vide sèches IDP-35 et IDP-45 en toute sécurité et pour garantir leurs performances tout au long de leur durée de vie. Veuillez conserver ce manuel et tous les documents connexes dans un lieu accessible connu de tous les opérateurs et du personnel de maintenance.
  • Seite 59 Les remarques contiennent des informations importantes et fournissent des NOTE précisions sur certains passages particuliers. Agilent IDP-35 & IDP-45 Dry Scroll Pump User Manual...
  • Seite 60 Symboles d'avertissement Une liste des symboles associés aux avertissements relatifs aux pompes à vide sèches IDP-35 et IDP-45 est reportée ci-dessous. Le danger qu’ils décrivent est également illustré. Le symbole triangulaire indique un avertissement. Les significations des symboles qui peuvent apparaître à côté des avertissements dans la documentation ou sur l’appareil lui-même sont les suivantes.
  • Seite 61 à des accidents. Agilent Technologies décline toute responsabilité pour les dommages causés au produit ou pour la sécurité physique de l’opérateur ou des tiers résultant du non- respect des règles de sécurité...
  • Seite 62 L'utilisation de ce matériel en zone résidentielle peut également générer des interférences nuisibles au niveau des communications radio, auquel cas l'utilisateur devra corriger les interférences à ses propres frais. Agilent IDP-35 & IDP-45 Dry Scroll Pump User Manual...
  • Seite 63 Mode d’emploi Utilisation appropriée Les pompes à vide sèches IDP-35 et IDP-45 sont conçues pour être utilisées en tant que pompes à vide exclusivement par des personnes qualifiées conformément à ce manuel. Tout accessoire et équipement utilisé avec le produit doit être fourni ou agréé par Agilent Technologies.
  • Seite 64 être respectées à la lettre ! AVERTISSEMENT La pompe ne doit pas être utilisée avec des matières inflammables. Il est interdit d’installer la pompe dans un environnement explosif. Agilent IDP-35 & IDP-45 Dry Scroll Pump User Manual...
  • Seite 65 Mode d’emploi Personnel qualifié Les pompes à vide sèches IDP-35 et IDP-45 ne doivent être utilisées que par du personnel qualifié. Une personne qualifiée est : Un individu qui dispose des qualifications appropriées et de l’expérience  nécessaire, ou a suivi une formation sur l’utilisation de pompes à vide sèches Agilent.
  • Seite 66 En règle générale, l’opérateur doit porter des chaussures de sécurité pendant la manutention, la manipulation ou l’installation des pompes à vide sèches IDP-35 et IDP-45. AVERTISSEMENT Danger pour la santé...
  • Seite 67 • N’intervenez pas directement à l’intérieur de la pompe. • Si nécessaire, portez des gants de protection conformes à la directive EN 420. Agilent IDP-35 & IDP-45 Dry Scroll Pump User Manual...
  • Seite 68 Mode d’emploi Description du produit Les modèles IDP-35 et IDP-45 sont des pompes à vide sèches hermétiques. Elles sont adaptées au pompage de l’air ou de gaz inertes depuis une zone basse pression vers une zone dont la pression est supérieure qui ne se trouve pas sensiblement au-dessus ou en dessous de la pression atmosphérique.
  • Seite 69 Inspectez la pompe pour vérifier qu’elle n’est pas endommagée. Si des dommages dus au transport sont décelés, contactez immédiatement le transporteur de marchandises et votre distributeur local Agilent. Les pompes IDP-35 et IDP-45 sans leur emballage pèsent environ AVERTISSEMENT 50 kg (110 livres).
  • Seite 70 Mode d’emploi Préparation pour l’installation Les pompes IDP-35 et IDP-45 sont conçues et certifiées pour être utilisées en intérieur (catégorie d’installation II) dans des environnements relativement propres et secs (degré de pollution 2). Voir le Tableau 1 dans la section « Technical Information »...
  • Seite 71 • La pompe doit être installée de manière à faciliter l’accès à l’interrupteur d’alimentation. • Les câbles électriques agréés par Agilent pour effectuer tous les branchements sont indiqués dans la section « Branchements électriques ». S’il est nécessaire d’utiliser un câble électrique différent, sa valeur nominale de courant doit être au moins de 15 A pour un service de...
  • Seite 72 Ne modifiez pas la fiche fournie. Si elle ne s’adapte pas à la prise, faites installer une prise correcte par un électricien qualifié. Branchez le produit uniquement sur une prise dont la configuration est identique à la fiche. N’utilisez pas d’adaptateur avec ce produit. Agilent IDP-35 & IDP-45 Dry Scroll Pump User Manual...
  • Seite 73 Mode d’emploi Procédure de démarrage Les pompes à vide IDP-35 et IDP-45 disposent de deux modes de fonctionnement de base : 1. Mode standard (réglage d’usine par défaut) 2. Mode configurable : a. Commande série b. Commande analogique Les informations de base suivantes portent sur le mode de fonctionnement standard.
  • Seite 74 ON/OFF sur "0". Si la pompe est équipée d’une vanne d’isolement intégrée, elle se fermera rapidement pour éviter le reflux de gaz depuis la pompe vers les composants en amont. Agilent IDP-35 & IDP-45 Dry Scroll Pump User Manual...
  • Seite 75 Figure 3 Logo « DEEE » Pour plus de précisions, veuillez consulter : http://www.agilent.com/environment/product/index.shtml Agilent IDP-35 & IDP-45 Dry Scroll Pump User Manual...
  • Seite 76 Vérifier que les câbles appropriés sont utilisés pour raccorder l’appareil à  l’équipement périphérique. Tout changement ou modification n’ayant pas été expressément approuvé par  Agilent Technologies risque d’annuler l'autorisation de l'utilisateur à exploiter l'équipement. Agilent IDP-35 & IDP-45 Dry Scroll Pump User Manual...
  • Seite 77 Cet équipement de la Classe A est adapté à un usage professionnel et est conçu pour être utilisé dans des environnements électromagnétiques hors domiciles. ICES/NMB-001 Ce dispositif ISM est conforme à la norme canadienne ICES-001/NMB-001. Agilent IDP-35 & IDP-45 Dry Scroll Pump User Manual...
  • Seite 78 écrire directement à : vpt-customercare@agilent.com vpl-customercare@agilent.com Vous devez remplir le formulaire de “Request for Return” pour retourner le produit à Agilent pour l’entretien (fourni à la fin du présent manuel). Agilent IDP-35 & IDP-45 Dry Scroll Pump User Manual...
  • Seite 79 Procedimiento de puesta en marcha Procedimiento de parada Eliminación Condiciones medioambientales, conformidad y requisitos de los servicios públicos Compatibilidad electromagnética EN55011/CISPR11 Declaración EMC Clase A de Corea del Sur CIEM/NMB-001 Servicio Agilent IDP-35 & IDP-45 Dry Scroll Pump User Manual...
  • Seite 80 Acerca del manual Este manual contiene instrucciones para los usuarios e información técnica relacionada con las bombas de vacío de desplazamiento en seco IDP-35 & IDP-45 de acuerdo con las directivas aplicables. Este documento es válido para el producto fabricado en el momento de esta publicación, siempre que no se realicen cambios en el producto por parte del cliente...
  • Seite 81 Las notas están previstas para llamar la atención sobre información importante y NOTA proporcionar más detalles en relación con paos específicos. Agilent IDP-35 & IDP-45 Dry Scroll Pump User Manual...
  • Seite 82 La siguiente es una lista de símbolos que aparecen junto con las advertencias en las bombas de vacío de desplazamiento en seco l IDP-35 & IDP-45. También se muestra el peligro que describen. Un símbolo triangular indica una advertencia. Los significados de los símbolos que pueden aparecer junto a las advertencias en la...
  • Seite 83 Agilent Technologies declina toda responsabilidad por daños al producto o a la seguridad física del operador o de terceros derivados de la inobservancia de las normas de seguridad indicadas en la documentación técnica.
  • Seite 84 El funcionamiento de este equipo en una zona residencial también puede causar interferencias perjudiciales en las comunicaciones de radio, en cuyo caso el usuario deberá corregir la interferencia por su cuenta. Agilent IDP-35 & IDP-45 Dry Scroll Pump User Manual...
  • Seite 85 Instrucciones de uso Uso adecuado Las bombas de vacío de desplazamiento en seco IDP-35 e IDP-45 están destinadas exclusivamente al uso por parte de personas cualificadas como bombas de vacío de acuerdo con este manual. Cualquier accesorio y equipo utilizado con el producto debe ser suministrado o aprobado por Agilent Technologies.
  • Seite 86 Para evitar daños al equipo y lesiones al personal de servicio, deben seguirse estrictamente las instrucciones de instalación que figuran en este manual! ADVERTENCIA La bomba no debe manejar materiales inflamables. Está prohibido instalar la bomba en un entorno explosivo. Agilent IDP-35 & IDP-45 Dry Scroll Pump User Manual...
  • Seite 87 Instrucciones de uso Personal cualificado Se recomienda que bombas de vacío de desplazamiento en seco IDP-35 e IDP-45 sean utilizadas únicamente por personal cualificado. Una persona cualificada es: Un individuo que posee las cualificaciones adecuadas y tiene experiencia, o ...
  • Seite 88 En general, el operario debe llevar calzado de seguridad mientras mueva, manipule o instale las bombas de vacío de desplazamiento en seco IDP-35 & IDP-45. ADVERTENCIA Peligro para la salud debido a la presencia de sustancias peligrosas durante el mantenimiento o la instalación.
  • Seite 89 • No trabaje directamente dentro de la brida de alto vacío. • Si es necesario, use guantes de protección que cumplan con la norma EN 420. Agilent IDP-35 & IDP-45 Dry Scroll Pump User Manual...
  • Seite 90 Instrucciones de uso Descripción del producto Las bombas IDP-35 e IDP-45 son bombas de vacío de desplazamiento en seco herméticas. Esta bomba es adecuada para bombear aire o gases inertes desde una zona de baja presión a una zona de mayor presión que no esté sustancialmente por debajo o por encima de la presión atmosférica.
  • Seite 91 72 kg (160 lbs). Oriente el contenedor de transporte con este extremo hacia arriba. Abra la caja y levante con cuidado la IDP-35 o IDP-45 de la caja utilizando un polipasto que se enganche al cáncamo de la bomba. El polipasto debe tener una capacidad de peso de 100 kg.
  • Seite 92 Consulte las especificaciones en la Tabla 1 de la sección Información técnica. Estas bombas no están diseñadas ni certificadas para funcionar en exteriores. Las bombas IDP-35 e IDP-45 no deben utilizarse nunca en ambientes que contengan materiales explosivos o combustibles. Las bombas IDP-35 e IDP-45 NO son intrínsecamente seguras y nunca deben utilizarse con gases corrosivos, pirofóricos,...
  • Seite 93 • La bomba debe instalarse con fácil acceso al interruptor de alimentación. • En la sección Conexiones eléctricas se indican los cables de alimentación aprobados por Agilent para todas las conexiones comunes. Si es necesario utilizar un cable de alimentación diferente, la corriente nominal del cable de alimentación debe ser de al menos 15A para un servicio de 200-240V y de...
  • Seite 94 Conecte el producto únicamente a una toma de corriente que tenga la misma configuración que el enchufe. No utilice adaptadores con este producto. Agilent IDP-35 & IDP-45 Dry Scroll Pump User Manual...
  • Seite 95 Instrucciones de uso Procedimiento de puesta en marcha Las bombas de vacío IDP-35 e IDP-45 tienen dos modos de funcionamiento básicos: 1. Modo Estándar (ajuste de fábrica por defecto) 2. Modo Configurable: a. Control serie b. Control analógico La siguiente información básica cubre el funcionamiento en modo Estándar. Para más detalles sobre otros modos de funcionamiento, consulte la sección “Technical...
  • Seite 96 ON/OFF a la posición «0». Si la bomba está equipada con una válvula de aislamiento integrada, se cerrará rápidamente para eliminar el reflujo de gas de la bomba a los componentes aguas arriba. Agilent IDP-35 & IDP-45 Dry Scroll Pump User Manual...
  • Seite 97 Casa Matriz o con un revendedor, para iniciar el proceso de recolección y eliminación después de verificar las condiciones contractuales de venta. Figura 4 Logotipo “WEEE” Para más información, consulte: http://www.agilent.com/environment/product/index.shtml Agilent IDP-35 & IDP-45 Dry Scroll Pump User Manual...
  • Seite 98 Asegúrese de utilizar los cables apropiados para conectar el dispositivo al  equipo periférico. Los cambios o modificaciones no aprobados expresamente por Agilent  Technologies podrían anular la autorización del usuario para operar el equipo. Agilent IDP-35 & IDP-45 Dry Scroll Pump User Manual...
  • Seite 99 Este equipo es Clase A apto para uso profesional y ha sido diseñado para su uso en entornos electromagnéticos fuera del hogar. CIEM/NMB-001 Este dispositivo ISM cumple con la norma ICES-001/NMB-001 de Canadá. Agilent IDP-35 & IDP-45 Dry Scroll Pump User Manual...
  • Seite 100 Es obligatorio completar la “Request for Return” para devolver el producto a Agilent para mantenimiento (proporcionada al final del presente manual). Agilent IDP-35 & IDP-45 Dry Scroll Pump User Manual...
  • Seite 101 關於本手冊 相關證明文件 定義與術語 小心、警告和注意的定義 警告符號 安全 EMC 警告 美國聯邦通訊委員會 正確使用 合理而可預見的濫用 乾式渦旋幫浦安全指南 合資格人員 防護裝備 產品描述 運輸及儲存 開箱檢驗 安裝準備 啟動程式 關機程式 處置 環境條件、合規性和公用設施要求 電磁兼容 EN55011/CISPR11 韓國 A 類 EMC 聲明 ICES/NMB-001 服務 Agilent IDP-35 & IDP-45 Dry Scroll Pump User Manual...
  • Seite 102 本手冊包含根據適用指令與 IDP-35 和 IDP-45 乾式渦旋泵相關的使用者說明和技術 資訊。 本文件適用於發佈時生產的產品，前提是客戶或第三方未對產品進行更改。如果存 在任何衝突訊息，則應將產品附帶的文件視為有效文件。 本手冊包含重要訊息，以便所有使用 IDP -35 和 IDP-45 乾式渦旋泵的人員都可 注意 以操作 它們安全並保證其在整個使用壽命期間的性能。 將本手冊以及所有相關出版物放在所有操作員/維護人員都知道的地方。 相關證明文件 符合性聲明 X3835-90012 快速參考卡 X3835-90011 A-PLUS 軟體技術概述 5994-7967EN IDP-35、IDP-45 預防性維護與 D0115007 韌體更新手冊 IDP-35、IDP-45 基本維修保養手冊 D0115008 Agilent IDP-35 & IDP-45 Dry Scroll Pump User Manual...
  • Seite 103 使用说明 定義與術語 小心、警告和注意的定義 本手冊的一些重要參考內容以背景色突出顯示。 程序開始前，提示小心訊息，如果不遵守製程指示，可能導致設備損壞。 小心 警告 警告訊息提醒操作員注意特定流程或做法，如果執行錯誤，可能導致人員重傷。 注意旨在引起注意重要信息，提供具體步驟的更多詳細信息。 注意 Agilent IDP-35 & IDP-45 Dry Scroll Pump User Manual...
  • Seite 104 使用说明 警告符號 以下是 IDP-35 和 IDP-45 乾燥渦旋泵上與警告一起出現的符號清單。 也顯示了這些 符號所指的危險。三角形符號表示警告。在文件或儀器警告旁邊可能出現的符號意 義如下。以下符號可用作附在儀器上的警告標籤。當您看到此符號時，請參閱相關 操作或維修手冊，以了解該警告標籤所指的正確操作流程。 CE認證 CSA認證 RoHS中國認證 廢棄電氣和電子設備 RCM認證 生產現場 表示危險電壓 一般危險 保護接地端子 交流電 (交流) 電源開關 電源關閉 Agilent IDP-35 & IDP-45 Dry Scroll Pump User Manual...
  • Seite 105 使用说明 自動重啟 風扇葉片危險 維修前拔掉插頭 強磁場 可能對心律調節器配戴者和其他醫療植入物有害 手壓捏點 安全 本節包含低電壓指令 2014/35/EU 規定的信息，這些信息對於遵守一般安全法規和 與產品特定用途相關的安全法規至關重要。 不遵守這些說明和本手冊中包含的其他說明可能會影響安全，並可能導致產品操作 人員發生事故。 對於因不遵守技術文件中規定的安全規則而導致的產品損壞或操作員或第三方的人 身安全，Agilent Technologies不承擔任何責任。 Agilent IDP-35 & IDP-45 Dry Scroll Pump User Manual...
  • Seite 106 使用说明 EMC 警告 EN 55011 A 級警告 這是A級產品。在家庭環境中，本產品可能會造成無線電幹擾，在這種情況下，使 用者可能需要採取適當的措施。 美國聯邦通訊委員會 本設備符合 FCC 規則第 15 部分的規定。操作須符合以下兩個條件：(1) 該設備不會 造成有害幹擾，和(2)該設備必須接受收到的任何干擾，包括可能導致不良操作的干 擾。 該設備經過測試，符合 FCC 規則第 15 部分對 A 類數位設備的限制。這些限制旨在 注意 提供合理的保護，防止設備在商業環境中運作時產生有害幹擾。該設備產生、使用 並可能輻射射頻能量，如果不按照說明手冊安裝和使用，可能會對無線電通訊造成 有害幹擾。在住宅區操作設備也可能造成有害的無線電通訊幹擾，在這種情況下， 使用者將需要自費糾正幹擾。 Agilent IDP-35 & IDP-45 Dry Scroll Pump User Manual...
  • Seite 107 安捷倫科技公司不承擔因 IDP-35 和 IDP-45 乾式渦旋泵的不當使用和可預見的誤用 而產生的所有責任。不當使用將導致所有責任索賠和保證被沒收。 不當使用可能包括但不限於： 將幫浦連接到錯誤的電源電壓  接地連接不當或缺失  爆炸性介質的泵送  腐蝕性介質的泵送  在高於建議入口壓力的情況下連續運行  氣鎮入口超壓運行  泵送危險氣體時，操作氣鎮與大氣相通  環境溫度過高時運行  在低於規格的環境溫度下運行  泵浦儲存和運輸不當造成的損壞  在不斷開主電源的情況下進行維護或拆卸整流罩  在沒有整流罩或整流罩損壞的情況下運行  熱跳脫後自動重啟帶來的安全風險  使用非工廠包裝運送退回的產品。  Agilent IDP-35 & IDP-45 Dry Scroll Pump User Manual...
  • Seite 108 使用说明 乾式渦旋幫浦安全指南 負責泵浦操作和維護的人員必須接受適當的培訓，並且必須了解事故預防規則（請 參閱合格人員部分）。在泵浦的操作和維護過程中，必須始終遵守本手冊中包含的 事故預防預防措施，以避免操作人員受傷以及泵浦或其他設備損壞。這些預防措施 以「警告」和「注意」註釋的形式貫穿整本使用手冊。 警告 為避免設備損壞和操作人員受傷，請嚴格遵守本手冊中的安裝說明！ 警告 泵不得處理易燃材料。 禁止將幫浦安裝在爆炸性環境中。 Agilent IDP-35 & IDP-45 Dry Scroll Pump User Manual...
  • Seite 109 使用说明 合資格人員 建議僅由合資格人員使用 IDP-35 和 IDP-45 乾式渦旋泵。一位合資格人員是： 具有適當資格並具有使用安捷倫乾真空幫浦的經驗或已完成相關訓練的人  員。 遵循必要的安全措施並在適當的條件下操作泵浦以免造成傷害或損壞的人  員。 熟悉並有資格遵守任何適用的國家和地方安全和監管標準及附則的個人。  除本使用手冊中列出的標準維護之外的任何對本產品的維修都必須由 Agilent 授權 注意 人員專門進行。任何調整、改造或維護作業必須由了解風險的專業技術人員進行。 Agilent IDP-35 & IDP-45 Dry Scroll Pump User Manual...
  • Seite 110 使用说明 防護裝備 操作或維護幫浦的操作員的防護設備必須始終適合所執行的操作類型。使用的防護 設備必須符合機器使用國現行法律的安全要求。 一般來說，操作員在移動、搬運或安裝IDP-35 和 IDP-45 幹渦旋泵時必須穿著安全 鞋。 警告 維護或安裝時危險物質會導致健康危險。 • 根據製程特性，真空幫浦、組件或工作流體可能有毒、反應性或原料污染。 • 維護維修或重新安裝時，請配戴適當的防護設備。 警告 物體造成損壞的風險 手動運送真空幫浦時，有重物緩慢且不易發生的危險。 • 手工搬運中小型真空幫浦。 • 若設備重量超過 20 公斤，應使用適當的起吊設備運送。 • 穿著符合指令 EN 347，並搭配鐵鞋頭的安全鞋。 Agilent IDP-35 & IDP-45 Dry Scroll Pump User Manual...
  • Seite 111 使用说明 小心 鋒利邊緣導致風險受損 • 在維修幫浦之前，或在幫浦從系統執行任何安裝/操作之前，等待幫浦完全停止。 • 不要直接在高空法蘭內操作。 • 如有必要，請依照 EN 420 戴上防護手套。 Agilent IDP-35 & IDP-45 Dry Scroll Pump User Manual...
  • Seite 112 使用说明 產品描述 IDP-35 和 IDP-45 是密封乾式渦旋幫浦。該泵適用於將空氣或惰性氣體從低壓區域 泵送到不顯著低於或高於大氣壓力的高壓區域。此泵浦不適用於泵送腐蝕性、自燃 性、形成顆粒的氣體或易燃和/或可燃範圍內的氣體混合物，也不適用於用作壓縮機 以實現顯著高於大氣壓力的排放壓力。 本手冊及相關文件包含保證操作人員使用設備時的安全所需的資訊。「技術資訊」 部分提供了詳細資訊。 運輸及儲存 泵浦的運輸和儲存時，不得超過下列環境要求： 溫度： -20°C 至 +60°C（-4°F 至 140°F）  相對濕度：0 至 95%（非冷凝）  應該認識到，在真空幫浦的運輸和儲存過程中，無論幫浦的密封性如何，周圍環境 注意 中的水蒸氣都會滲透到真空幫浦內部。為了實現泵浦的全部額定真空性能，必須使 用技術資訊部分中所述的氣鎮功能來去除水蒸氣。 Agilent IDP-35 & IDP-45 Dry Scroll Pump User Manual...
  • Seite 113 該幫浦採用特殊的保護包裝提供。如果出現損壞跡象（可能是在運送過程中發生）， 請聯絡您當地的銷售辦事處。泵浦和包裝的總重量約為 72 公斤（160磅）。 調整運輸容器的方向，使「此端朝上」位於頂端。 打開包裝箱，然後使用掛在幫浦吊環螺栓上的吊車小心地將 IDP-35 或 IDP-45 從包裝箱中取出。提昇機的承重能力應為 100 公斤。 保存好紙箱和所有包裝材料。 檢查泵是否損壞。如果有運輸損壞，請立即聯絡貨運公司和當地的安 捷倫銷售辦事處。 IDP-35 和 IDP-45 幫浦（不含包裝）重量約為 50 公斤（110 磅）。 警告 為避免受傷，移動幫浦時請使用起重輔助設備和正確的起重技術。 要沿著平坦表面（如工作台或地板）移動泵，請抬起整流罩的後手柄，以使泵 在前輪上自由滾動。使用正確的提昇技術。 警告 在安捷倫認可的服務中心進行維修時，需要使用紙箱和所有包裝材料。保存此 包裝將方便任何服務請求。 警告 打開幫浦包裝時，請務必不要將其跌落並避免任何突然的撞擊或震動。 Agilent IDP-35 & IDP-45 Dry Scroll Pump User Manual...
  • Seite 114 使用 IEC 60320 C19 型電源線將幫浦連接到電源 正常暴露在環境中不會損壞幫浦。 注意 儘管如此，建議在泵浦安裝到系統中之前保持泵浦入口關閉，以盡量減少泵浦內水 蒸氣的積聚。 操作期間必須遵守以下環境條件： 小心 • 溫度：+5°C 至 +40°C（41°F 至 104°F） • 相對濕度：5% 至 95%（非冷凝） 使用適當的 IEC 60320 C19 型電源線將幫浦連接到電源 額定電流和電壓（見表 2 ）。 安裝真空幫浦時，建議將幫浦放置在使用者易於觸及電源開關和電源線連接的位 小心 置，以便在需要時快速斷開電源幫浦。 此泵浦不應放置在傾斜的表面上。 小心 Agilent IDP-35 & IDP-45 Dry Scroll Pump User Manual...
  • Seite 115 使用说明 警告 請勿拆除或改裝幫浦上的任何安全或絕緣設備。 這樣做可能會造成嚴重的安全隱患，也可能導致保固失效。 • 此幫浦只能抽吸和排出空氣和惰性氣體。此泵浦不適用於泵送腐蝕性、自燃性、 形成顆粒的氣體或易燃和/或可燃範圍內的氣體混合物。 警告 • 安裝在不會暴露於雨水、蒸氣或過度潮濕的區域。它們可能導致觸電、短路和嚴 重的人身傷害。 • 在檢查、重新配置或維修幫浦之前，請確保電源已中斷。 • 每當泵送任何不能排放到大氣中或與空氣混合的氣體時，必須密封氣鎮。 • 對於需要降低幫浦產生的噪音水平的應用，可以選擇排氣消音器。 • 為防止身體受傷，請避免將人體的任何部位暴露在真空中。 • 幫浦的安裝位置必須能夠方便地觸及電源開關。 • 安捷倫認可的用於所有常見連接的電源線均在電氣連接部分中標明。如果需要使 用不同的電源線，則電源線的額定電流必須至少為 15A（對於 200-240V 服務） 和至少 20A（對於 100-127V 服務）。 Agilent IDP-35 & IDP-45 Dry Scroll Pump User Manual...
  • Seite 116 使用说明 接地說明 本產品應接地。如果發生電氣短路，接地可以為電流提供逃逸路徑，從而降低 警告 電擊風險。此幫浦配備有電源線，電源線帶有接地線和適當的接地插頭。插頭 必須插入根據所有當地法規和條例正確安裝並接地的插座。 電源線連接器必須正確插入幫浦的電源模組，以防止連接故障或間歇性連接。 儘管該泵可以泵送大氣中常見的微量顆粒，但它並非設計用於處理固體、化學品、 小心 粉末、溶劑、冷凝物、液體或其他顆粒。它們會損壞設備、 降低其性能或縮短其使用壽命。 建議系統周圍至少留出 20 公分的自由空間，以達到適當的空氣流通。 幫浦的外表面只能用溫和的清潔劑清潔。 小心 乾式渦旋泵不含用於清除積聚灰塵和碎屑的液體。定期在大氣中運轉泵一兩分鐘以 將其沖洗掉。 如果您不完全理解接地說明，或者您對產品是否正確接地有疑問，請諮詢合格的 警告 電工或維修人員。請勿改裝所提供的插頭。如果與插座不匹配，請由合格的電工 安裝合適的插座。 僅將產品連接至與插頭配置相同的插座。請勿將轉接器與本產品一起使用。 Agilent IDP-35 & IDP-45 Dry Scroll Pump User Manual...
  • Seite 117 當幫浦處於標準模式且電源開關在 ON (I) 位置時，使用者可以讀取串列數據，但無 注意 法透過串列埠控制幫浦。僅可使用 ON/OFF 電源開關來啟動和停止幫浦。 以下程序說明如何在出廠時以標準操作模式啟動幫浦。 將幫浦安裝在預定位置，並進行適當的機械和真空連接，或用盲板法蘭蓋住入 口。 確保排氣管接頭未被阻塞或阻塞。若使用排氣軟管或消音器，排氣限制不得導 致背壓限制高於1.5 psig 。 確保 ON/OFF 開關處於“0”位置。 連接適當的電源線並將其插入主電源。 將主 ON/OFF 開關按至“I”位置。 預設出廠設定為 60Hz。若要變更此設置，請使用向上/向下按鈕設定速度。 速度將在啟動過程中暫時顯示，直到泵浦達到選定值。然後泵浦將顯示泵浦的 累計運轉時間。 如果幫浦配備了可選的入口閥，則該閥將在幫浦達到最低速度後自動打開。 綠色 LED 將在運行過程中閃爍。當幫浦達到選定的速度時，LED 保持綠色常 亮。 Agilent IDP-35 & IDP-45 Dry Scroll Pump User Manual...
  • Seite 118 使用说明 10. 如果紅色 LED 亮起或綠色 LED 持續閃爍，則表示泵浦尚未達到選定的速度。 請參閱「技術資訊」部分的故障排除段落。 11. 幫浦可能需要幾個小時才能達到極限壓力。如果泵浦未達到預期的極限壓力， 可能是由於泵浦內積聚了水蒸氣。若要除去水蒸氣，請打開氣鎮，讓幫浦在氣 鎮打開的情況下運轉幾個小時或過夜。 警告 如果使用有潛在危險的材料或不應與空氣混合的材料，請勿使用氣鎮。 重整模式：如果幫浦已存放了很長一段時間，當電源開關轉到「1」時，幫浦的控制 注意 器將自動將幫浦置於重整模式 30 分鐘，然後再允許幫浦啟動，以保護幫浦 VFD 內 的電解電容器免受損壞。在此過程中顯示幕將顯示 CAP01。 關機程式 若要在任何操作模式下手動關閉泵，請將主 ON/OFF 開關轉到“0”位置。如果泵 浦配備了整合式隔離閥，它將快速關閉，以消除氣體從泵浦回流到上游組件。 Agilent IDP-35 & IDP-45 Dry Scroll Pump User Manual...
  • Seite 119 使用说明 處置 標籤中的「WEEE」確實意義重大。 根據EC WEEE（廢電子電氣設備）指令應用以下符號。 此符號（僅在歐盟國家有效）表示所適用的產品不能與家庭或工業或一起丟棄，必 須送至專門的物資回收系統。銷售合約條款後啟動回收和支付流程。 圖 5 “WEEE” 標誌 有關更多信息，請參考： http://www.agilent.com/environment/product/index.shtml Agilent IDP-35 & IDP-45 Dry Scroll Pump User Manual...
  • Seite 120 注意 便操作電源開關。如果需要將幫浦放置在長凳或架子上，則其額定值必須能夠支撐 幫浦和任何其他相關設備的重量。 電磁兼容 EN55011/CISPR11 第1組 ISM設備：第1組包含所有 ISM設備，其中包含擷取產生和/或使用設備本身內 部功能所必需的連接連接RF狀態。 A類設備 適用於除住宅和直接連接到為民用建築供電的低壓供電網路的場所以外的 所有場所的設備。 本設備符合 CISPR11第 1 因此，由於幹擾和輻射干擾，在其他環境中確保電磁相容 性可能存在潛在障礙。 操作需滿足以下兩個條件： 該設備不會造成危害。  該設備能夠接受任何收到的干擾，其中包括可能導致意外操作的干擾。  如果該設備確實對無線電或電視接收造成乾擾（可以透過關閉和開啟設備來確 定） ，使用者建議嘗試以下一種或多種措施： 確保使用合適的電纜將設備連接到外圍設備。  確保Agilent Technologies明確批准的變更或修改可能會使使用者操作該設備  的授權無效。 Agilent IDP-35 & IDP-45 Dry Scroll Pump User Manual...
  • Seite 121 使用说明 韓國 A 類 EMC 聲明 本設備適合專業用途 A類設備，適用於家庭以外的電磁環境。 ICES/NMB-001 此 ISM 設備符合加拿大ICES-001/NMB-001標準。 Agilent IDP-35 & IDP-45 Dry Scroll Pump User Manual...
  • Seite 122 使用说明 服務 客戶如需要升級的更換或維修服務，請聯絡當地經銷商，或直接發送電子郵件至： vpt-customercare@agilent.com vpl-customercare@agilent.com 需要填寫「要求退貨」表格才能將幫浦恢復到Agilent維修部門（在本手冊末尾會提 供）。 Agilent IDP-35 & IDP-45 Dry Scroll Pump User Manual...
  • Seite 123 取扱説明書 取扱説明書 この説明書について 関連補足資料 定義と用語 警告・注意・注の定義 警告の記号 安全性 EMC 警告 適切な使用 合理的に予見可能な誤使用 ドライスクロールポンプの安全ガイドライン 有資格者 保護装備 製品説明 輸送と保管 開梱と点検 設置の準備 起動手順 停止手順 処分 環境条件、コンプライアンス、ユーティリティ要件 電磁両立性 EN55011/CISPR11 韓国クラス A EMC 宣言 ICES/NMB-001 サービス Agilent IDP-35 & IDP-45 Dry Scroll Pump User Manual...
  • Seite 124 この資料は、この発行時点でお客様または第三者によって製品に変更が加えられ ていない限り、製造された製品に対して有効です。矛盾する情報がある場合は、 製品と共に同封されている資料を有効な資料とみなしてください。 この取扱説明書には、IDP-35 および IDP-45 ドライスクロールポンプを使用 注 するすべての人が安全に操作し、その製品寿命全体にわたりその性能を保証 するための重要な情報が含まれています。 この取扱説明書は、関連する出版物とともに、すべての操作者/メンテナンス 担当者がアクセスできる場所に保管してください。 関連補足資料 X3835-90012 適合宣言 X3835-90011 クイックリファレンスカード 5994-7967EN A-PLUS ラス ソフトウェア技術概要 D0115007 IDP-35, IDP-45 予防メンテナンスと ファームウェア 更新マニュアル D0115008 IDP-35, IDP-45 基本的な修理およびメンテナンスマニュアル Agilent IDP-35 & IDP-45 Dry Scroll Pump User Manual...
  • Seite 125 取扱説明書 定義と用語 警告・注意・注の定義 このマニュアルのいくつかの重要な参照部は、対比色でハイライトされ枠で囲っ てあります。 注意」のメッセージは、もし監視されていない場合に装置に損害が生じる可能性 注意 を示しています。 警告」のメッセージは、もし正しく操作されない場合に、重大な人身障害に 警告 つながる可能性がある特定の操作や実行への操作者の注意の必要性を示して います。 「注」は、重要な情報への注意喚起と特定の工程に関してのより詳細な情報を提 注 供しています。 Agilent IDP-35 & IDP-45 Dry Scroll Pump User Manual...
  • Seite 126 取扱説明書 警告の記号 以下は、IDP-35およびIDP-45ドライスクロールポンプの警告とともに表示される 記号のリストです。 危険性の説明も記載されています。三角の記号は警告を示しています。取扱説明 書内、または装置上の警告記号と供に示される記号の意味は下記の通りです。下 記の記号は、装置に貼り付けられた警告ラベル上に使用されることがあります。 もしこの記号を目視した場合、その警告ラベルに関する正しい工程のために、関 連する操作またはサービスマニュアルを参照してください。. CE 認証 CSA 認証 中国RoHS 指令認証 廃電気・電子製品に関するEU WEEE指令 RCM 認証 製造所 危険な電圧 包括的な危険 保護接地端子 交流電流 (AC) 電源オン 電源オフ Agilent IDP-35 & IDP-45 Dry Scroll Pump User Manual...
  • Seite 127 取扱説明書 自動再起動 ファンブレードの危険性 点検前にプラグを抜く 強い磁場 ペースメーカーやその他の医療用インプラントの装 着者に有害となる可能性があります 手の圧迫や挟み込む位置 安全性 このセクションには、低電圧指令2014/35/EUに規定されている、一般的な安全規 制の遵守と製品の特定の使用に関連する安全規制の遵守に不可欠な情報が含まれ ています。 これらの指示、およびこの取扱説明書に記載されているその他の指示に従わない 場合、安全性に影響を及ぼし、製品の操作者に事故を引き起こす可能性がありま す。 Agilent Technologiesは、技術文書に記載されている安全規則を遵守しなかったこ とに起因した製品の損傷、もしくは操作者または第三者の身体的安全について一 切の責任を負いません。 Agilent IDP-35 & IDP-45 Dry Scroll Pump User Manual...
  • Seite 128 取扱説明書 EMC 警告 EN 55011 クラス A 警告 これはクラスAの製品です。この製品は、家庭環境では無線干渉を引き起こす可 能性があり、その場合、ユーザーは適切な対策を講じる必要があります。 この機器は、FCC規則の第15部に準拠しています。操作は以下の2つの条件に従 うものとします： (1) この機器は有害な干渉を引き起こしてはなりません。(2) こ の機器は、望ましくない動作を引き起こす可能性のある干渉を含む、受信したあ らゆる干渉を受け入れる必要があります。 この機器は、FCC 規則の第 15 部に従ってテストされ、クラス A デジタル機器の 注 制限に準拠していることが確認されています。これらの制限は、機器が商業環境 で操作されるときに、有害な干渉から適切に保護するように設計されています。 この機器は、無線周波数エネルギーを生成、使用、および放射する可能性があ り、取扱説明書に従って設置および使用しない場合、無線通信に有害な干渉を引 き起こす可能性があります。住宅地でこの機器を操作すると、有害な無線通信干 渉が発生する可能性があり、その場合使用者は自己負担でそのような干渉を修正 する必要があります。 Agilent IDP-35 & IDP-45 Dry Scroll Pump User Manual...
  • Seite 129 使用および予見される誤使用に起因するすべての責任を負わないものとします。 不適切な使用は、すべての責任および保証の請求権が喪失するものとします。 不適切な使用は以下が含まれますが、これらに限定されるものではありません： ポンプを誤った電圧電源に接続する  接地接続が不適切または欠落している  爆発性媒体のポンピング  腐食性媒体のポンピング  推奨される注入口圧力を超えて継続的に運転する  ガスバラスト注入口で過圧状態で運転する  危険なガスをポンプで送るときにガスバラストを大気に開放して運転する  周囲温度が高すぎる状態で運転する  周囲温度が仕様より低い状態で運転する  ポンプの不適切な保管および輸送による損傷  主電源を切らずにメンテナンスやカウリングの取り外しを行う  カウリングなしで、またはカウリングが損傷した状態で運転する  サーマルトリップ後の自動再起動による安全上のリスク  返品の製品を工場出荷時の梱包以外で郵送する。  Agilent IDP-35 & IDP-45 Dry Scroll Pump User Manual...
  • Seite 130 取扱説明書 ドライスクロールポンプの安全ガイドライン ポンプの操作とメンテナンスの担当者は、適切な訓練を受け、事故防止の規則を 把握している必要があります (有資格者のセクションを参照)。ポンプの操作とメ ンテナンスを行っている間は、操作者の負傷やポンプやその他の機器の損傷を防ぐ ために、この取扱説明書に記載されている事故防止の注意事項を常に遵守する必要 があります。これらの注意事項は、取扱説明書の全体を通して、警告および注意の 形で記載されています。 警告 機器の損傷や操作者の負傷を防ぐために、この取扱説明書に記載されている 設置手順に厳密に従ってください！ 警告 決してポンプで可燃性物質を扱わないでください。 爆発性のある環境にポンプを設置することは禁止されています。 Agilent IDP-35 & IDP-45 Dry Scroll Pump User Manual...
  • Seite 131 取扱説明書 有資格者 IDP-35およびIDP-45ドライ スクロール ポンプは、資格のある担当者のみが使用す ることが推奨されています。 資格のある担当者とは、以下の者です： 適切な資格を持ち、Agilentドライ真空ポンプの使用経験があるか、トレ  ーニングを修了した者。 怪我や損傷を引き起こさないように、必要な安全対策を遵守し、適切な  条件下でポンプを操作する者。 適用される国および地方自治体の安全規制基準および条例を把握してお  り、それらに従い、適切な資格を有する者。 この取扱説明書に標準メンテナンスとして記載されている以上の本製品に対する 注 修理は、Agilent の認定を受けた権限のある者のみが行う必要があります。いかな る調整、変更、メンテナンス作業も、危険性を熟知している専門の技術者が行う 必要があります。 Agilent IDP-35 & IDP-45 Dry Scroll Pump User Manual...
  • Seite 132 取扱説明書 保護装備 ポンプを操作またはメンテナンスする操作者の保護装備は、実行する操作の種類 に常に適したものでなければなりません。使用する保護装備は、機械を使用する 国で施行されている法律の安全要件に準拠している必要があります。 通常、操作者は、IDP-35およびIDP-45ドライスクロールポンプを移動、取り扱 う、または設置する際には安全靴を着用する必要があります。 警告 メンテナンスまたは取り付け時に、有害物質による健康への危険。 • 過程の異常な点により、真空ポンプ、構成部分、または操作液は、有害物 質、反応性物質、もしくは放射性物質に汚染される場合があります。 • メンテナンスや修理、もしくは再度取り付け時には適切で十分な保護装備を 着用してください。 警告 装置の落下による損傷のリスク。 真空ポンプを手で運搬する場合、荷重が滑り落ちる危険があります。 • 両手で小型・中型の真空ポンプを運んでください。 20 kg 以上のいかなる装置も、適切なリフトの機器を使用して運搬されなけ • ればなりません。 指令 EN 347 にしたがって、爪先が鋼製の安全長靴を着用してください • Agilent IDP-35 & IDP-45 Dry Scroll Pump User Manual...
  • Seite 133 取扱説明書 注意 鋭い縁による損傷のリスク。 • ポンプを修理する前、またはシステムからポンプのいかなる取り付け/取り 外しをする前に、ポンプの完全な静止をお待ちください。 • 高真空フランジ内で直接操作しないでください。 必要に応じて、指令 EN 420 に従った保護手袋を着用してください。 • Agilent IDP-35 & IDP-45 Dry Scroll Pump User Manual...
  • Seite 134 ためのものではなく、大気圧より大幅に高い排出圧力を達成するためのコンプレ ッサーとして使用することも意図されていません。 取扱説明書および関連資料は、機器を使用する際の操作者の安全を保証するため に必要な情報が含まれています。詳細情報は「技術情報」のセクションに記載さ れています。 輸送と保管 ポンプを輸送および保管する際は、以下の環境要件を超えないようにしてくださ い： 温度： -20 °C から +60 °C (-4 °F から 140 °F)  相対湿度： 0 から 95% (結露なし)  真空ポンプの輸送および保管中は、ポンプの密閉度に関係なく、周囲の環境から 注 の水蒸気が真空ポンプ内に浸透することを認識する必要があります。ポンプの定 格真空性能を完全に発揮するには、技術情報のセクションに記載されているガス バラスト機能を使用して、この水蒸気を除去する必要があります。 Agilent IDP-35 & IDP-45 Dry Scroll Pump User Manual...
  • Seite 135 取扱説明書 開梱と点検 ポンプは特別な保護梱包で提供されます。輸送中に生じた可能性のある損傷の形 跡がある場合は、最寄りの営業所にお問い合わせください。ポンプと梱包を合わ せた総重量は約 72kg (160 ポンド) です。 輸送用コンテナをこの端が上になるように配置します。 箱を開け、ポンプのアイボルトにフックを掛けたホイストを使用し て、IDP-35またはIDP-45を慎重に箱から持ち上げます。ホイストの可 搬重量は100kgである必要があります。 段ボールと梱包材はすべて保管してください。 ポンプに損傷がないか点検します。輸送中に損傷があった場合は、 直ちに運送業者と最寄りのAgilent営業所に連絡してください。 IDP-35 および IDP-45 ポンプの重量は、梱包なしで約 50 kg (110 ポンド) で 警告 す。 怪我を避けるために、ポンプを移動させるときは、持ち上げ補助具と適切な 持ち上げ技術を使用してください。 ポンプを平らな面（作業台や床など）に沿って移動させるには、カウリング の後ろのハンドルを持ち上げて、ポンプが前輪で自由に転がるようにしま す。適切な持ち上げ技術を使用してください。 Agilent の認定サービスセンターでサービスを受ける場合、段ボールとすべ 警告 ての梱包材が必要になります。この梱包材を保存しておくと、サービスの依 頼がスムーズになります。 ポンプを開梱する際は、落とさないように注意し、突然の衝撃やショックを 警告 避けてください。...
  • Seite 136 注意 • 温度： +5 °C から +40 °C (41 °F から 104°F) • 相対湿度： 5 から 95% (結露なし) 適切な電流および電圧定格の IEC 60320 C19 スタイルの電源コードを使用してポ ンプを電源に接続してください (表 2 を参照)。 真空ポンプを設置する際は、必要に応じて電源ポンプを素早く切断できるよう 注意 に、使用者が電源スイッチと電源コード接続に簡単にアクセスできるような位置 にポンプを配置することが推奨されます。 Agilent IDP-35 & IDP-45 Dry Scroll Pump User Manual...
  • Seite 137 性および/または可燃性範囲のガス混合物をポンピングするためのものではあ りません。 • 雨、蒸気、過度の湿気にさらされない場所に設置してください。感電、ショ ート、重度の傷害を引き起こす可能性があります。 • ポンプの点検、再構成、または修理を行う前に、必ず電源を切ってくださ い。 • ガスをポンプで汲み上げるときは、大気中に放出したり空気と混合したりで きないように、ガスバラストを密閉する必要があります。 • ポンプから発生する騒音レベルを低減したい場合に、排気サイレンサーオプ ションを利用することができます。 • 身体の損傷を防ぐため、人体のいかなる部分も真空にさらさないでください。 • ポンプは電源スイッチに簡単にアクセスできる場所に設置する必要がありま す。 • すべての一般的な接続に使用できる Agilent 承認の電源コードは、電気接続セ クションに記載されています。別の電源コードを使用する必要がある場合、電 源コードの電流定格は、200～240V サービスの場合は少なくとも 15A、100 ～127V サービスの場合は少なくとも 20A である必要があります。 Agilent IDP-35 & IDP-45 Dry Scroll Pump User Manual...
  • Seite 138 は、適切な接地プラグ付きの接地線が付いた電源コードが装備されていま す。プラグは、すべての地域の法令に従って適切に設置され、接地されたコ ンセントに差し込む必要があります。 電源コードコネクターは、ポンプの電源モジュールに適切に差し込み、接続 不良や断続的な接続を防いでください。 ポンプは大気中に通常存在する微粒子をポンピングできますが、固体、化学物 注意 質、粉末、溶剤、凝縮物、液体、その他の粒子を処理するようには設計されてい ません。これらは機器を損傷したり、性能を低下させたり、耐用年数を短縮した りする可能性があります。 適切な空気循環を可能にするために、システムの周囲に最低 20 cm の空きスペ ースを設けることが推奨されています。 ポンプの外部表面は、中性洗剤のみを使用してきれいにすることができます。 注意 ドライスクロールポンプには、蓄積したほこりやゴミを洗浄するための液体は入 っていません。定期的にポンプを大気圧で 1 ～ 2 分間運転して、洗浄してくださ い。 接地方法が完全に理解できない場合、または製品が適切に接地されているか不 警告 明な場合は、資格のある電気技師または担当者に確認してください。付属のプ ラグを改造しないでください。コンセントに合わない場合は、資格のある電気 技術者に適切なコンセントを取り付けてもらってください。 プラグと同じ形状のコンセントにのみ製品を接続してください。この製品にア ダプターを使用しないでください。 Agilent IDP-35 & IDP-45 Dry Scroll Pump User Manual...
  • Seite 139 ポンプが標準モードで電源スイッチがオン (I) の位置にある場合、シリアル デー 注 タは使用者が読み取ることができますが、シリアルポート経由でポンプをコント ロールすることはできません。ポンプの起動と停止には、ON/OFF 電源スイッチ のみ使用できます。 以下の手順では、工場出荷時の標準動作モードでポンプを起動する方法について 説明します。 1. ポンプを所定の場所に取り付け、適切な機械的接続と真空接続を行うか、ま たはブランクオフフランジで注入口を覆います。 2. 排気口が塞がれていないことを確認してください。排気ホースまたはマフラ ーを使用する場合は、排気口の制限によって1.5 psigを超える背圧制限が発生 しないようにしてください。 3. ON/OFFスイッチがオフの「0」の位置にあることを確認します。 4. 適切な電源コードを接続し、コードを主電源に差し込みます。 5. メインのON/OFFスイッチを「I」の位置に押します。 6. 工場出荷時のデフォルト設定は60Hzです。これを変更するには、UP/DOWN ボタンを使用して速度を設定します。 7. ポンプが選択された値に達するまで、起動中に速度が一時的に表示されま す。その後、ポンプの累積動作時間が表示されます。 8. ポンプにオプションの注入口バルブが装備されている場合は、ポンプが最小 速度に達するとバルブが自動的に開きます。 Agilent IDP-35 & IDP-45 Dry Scroll Pump User Manual...
  • Seite 140 9. 起動中は緑色のLEDが点滅します。ポンプが選択された速度に達すると、LED は緑色に固定されます。 10. 赤色のLEDが点灯するか、または緑色のLEDが点滅したままの場合は、ポンプ が選択された速度に達していません。技術情報セクションのトラブルシュー ティングの段落を参照してください。 11. ポンプが最高圧力に達するまで数時間かかる場合があります。ポンプが期待 される最高圧力に達しない場合は、ポンプ内に水蒸気が蓄積している可能性 があります。水蒸気を除去するには、ガスバラストを開き、ガスバラストを 開いた状態で数時間または一晩ポンプを稼働させます。 警告 潜在的に危険な物質や空気と混合してはならない物質を使用する場合は、ガス バラストを使用しないでください。 改質モード：ポンプが長期間保管されていた場合、ポンプのコントローラは、電 注 源スイッチが「1」に切り替わると、ポンプの起動前に自動的にポンプが 30 分間 改質モードになり、ポンプの VFD 内の電解コンデンサを損傷から保護します。 このプロセス中、ディスプレイには CAP01 が表示されます。 停止手順 どの動作モードでも手動でポンプを停止するには、メインのON/OFFスイッチを 「0」の位置に回します。ポンプに統合遮断弁が装備されている場合は、ポンプ から上流のコンポーネントへのガスの逆流を防止するため、遮断弁が急速に閉じ ます。 Agilent IDP-35 & IDP-45 Dry Scroll Pump User Manual...
  • Seite 141 取扱説明書 処分 ラベルに記載の "WEEE" ロゴの意味。 下記の記号は、EC WEEE (電気電子機器廃棄物) 指令にしたがって適用されま す。 この記号 (EC 諸国内のみで有効) は、この記号が適用される製品は、通常の家 庭ゴミとあわせて処分してはいけないこと、また個別廃棄物回収システムに送付 しなければならないことを表します。そのため、エンドユーザーは、親会社か小 売業者かに関係なく、当該機器のサプライヤに連絡の上、契約上の販売条件の確 認後、回収および処分プロセスを開始することが求められます。 図 6 ロゴ "WEEE" 詳細は、下記サイトを参照してください。 http://www.agilent.com/environment/product/index.shtml Agilent IDP-35 & IDP-45 Dry Scroll Pump User Manual...
  • Seite 142 グループ 1 ISM 装置：グループ 1 には、装置自体の内部機能に必要な伝導結合無 線周波数エネルギーが意図的に生成および/または使用されるすべての ISM 装置 が含まれます。 クラスAの装置は、家庭用以外のすべての施設、および家庭用の建物に供給する 低電圧電源網に直接接続されている装置の使用に適している装置です。 この機器は、放射線業務用機器としてCISPR11、グループ1、クラスAの要件に適 合しています。したがって、伝導および放射妨害により、他の環境での電磁両立 性を確保することが困難な場合があります。 操作は以下2つの条件に従います： この機器は、有害な干渉を引き起こすことはありません。  この機器は、望ましくない動作を引き起こす可能性のある干渉を含め、受信  したすべての干渉を受け入れる必要があります。 この装置がラジオやテレビの受信に有害な干渉を引き起こす場合には（装置の電 源を切ったり入れたりすることで判断できます）、使用者は以下の対策を1つ以 上試すことを推奨します： 周辺機器との接続には、必ず適切なケーブルを使用してください。  Agilent Technologies によって明示的に承認されていない変更または修正は、  装置を操作する使用者の権限を無効にする可能性があります。 Agilent IDP-35 & IDP-45 Dry Scroll Pump User Manual...
  • Seite 143 取扱説明書 韓国クラス A EMC 宣言 この装置は、業務使用に適したクラス A であり、家庭外の電磁環境での使用を目 的としています。 ICES/NMB-001 この ISM 機器は、カナダの ICES-001/NMB-001に準拠しています。 Agilent IDP-35 & IDP-45 Dry Scroll Pump User Manual...
  • Seite 144 取扱説明書 サービス お客様が最新交換サービスまたは修理サービスが必要な場合は、現地代理店もし くは下記まで直接ご連絡ください： vpt-customercare@agilent.com vpl-customercare@agilent.com “Request for Return”の申請の完了には、サービス提供のためにお客様のポンプを Agilentへ返送する必要があります。(このマニュアルの最後に提供されています）。 Agilent IDP-35 & IDP-45 Dry Scroll Pump User Manual...
  • Seite 145 Product Description Transport & Storage Unpacking and Inspection Preparation for Installation Startup Procedure Shutdown Procedure Disposal Environmental Conditions, Compliance and Utility Requirements Electromagnetic Compatibility South Korean Class A EMC declaration ICES/NMB-001 Service Agilent IDP-35 & IDP-45 Dry Scroll Pump User Manual...
  • Seite 146 This manual contains important information so that all personnel using the NOTE IDP-35 & IDP-45 Dry Scroll pumps can operate them safely and guarantee their performance over its entire life span. Keep this manual, together with all the related publications, in an accessible place known to all operators/maintenance personnel.
  • Seite 147 Warning messages draw the operator's attention to a specific procedure or WARNING practice which, if not performed correctly, could result in serious personal injury. Notes are intended to call attention to important information and provide more NOTE detail regarding specific steps. Agilent IDP-35 & IDP-45 Dry Scroll Pump User Manual...
  • Seite 148 The following is a list of symbols that appear in conjunction with warnings on the IDP-35 & IDP-45 Dry Scroll pumps. The hazard they describe is also shown. A triangular symbol indicates a warning. The meanings of the symbols that may appear alongside warnings in the documentation are as follows.
  • Seite 149 Agilent Technologies declines all responsibility for damage to the product or for the physical safety of the operator or third parties deriving from the non-observance of the safety rules indicated in the technical documentation.
  • Seite 150 Operation of this equipment in a residential area is also likely to cause harmful radio communications interference in which case the user will be required to correct the interference at his own expense. Agilent IDP-35 & IDP-45 Dry Scroll Pump User Manual...
  • Seite 151 Instructions for Use Proper use The IDP-35 and IDP-45 Dry Scroll Pump are exclusively intended use by qualified individuals as vacuum pumps as per this manual. Any accessories and equipment used with the product must be supplied or approved by Agilent Technologies.
  • Seite 152 WARNING The pump must not handle flammable materials. It is forbidden to install the pump in an explosive environment. Agilent IDP-35 & IDP-45 Dry Scroll Pump User Manual...
  • Seite 153 Instructions for Use Qualified Personnel The IDP-35 and IDP-45 Dry Scroll Pump is recommended for used only by qualified personnel. A qualified person is: An individual who has the proper qualifications and has experience, or has  completed training on, working with Agilent Dry Vacuum Pumps.
  • Seite 154 • Carry small and mid-size vacuum pumps with both hands. • Any equipment heavier than 20 kg should be transported using a suitable lifting device. • Wear safety shoes with steel toe cap according to directive EN 347. Agilent IDP-35 & IDP-45 Dry Scroll Pump User Manual...
  • Seite 155 • Do not place hands or fingers directly inside any parts of the pump. • If necessary, wear protective gloves according to EN 420. Agilent IDP-35 & IDP-45 Dry Scroll Pump User Manual...
  • Seite 156 Instructions for Use Product Description The IDP-35 & IDP-45 are hermetic Dry Scroll pumps. This pump is suitable for pumping air or inert gases from an area of low pressure to an area of higher pressure which is not substantially below or above atmospheric pressure. This...
  • Seite 157 Total weight of the pump and packaging together is approximately 72kg (160 lbs). 1. Orient the shipping container with This End Up on top. 2. Open the box and carefully lift the IDP-35 or IDP-45 out of the box using a hoist hooking to the pump eyebolt. Hoist should have a weight capacity of 100 kg.
  • Seite 158 Refer to Table 1 in the Technical Information section for specifications. These pumps are not designed or certified for operation outdoors. The IDP-35 and IDP-45 pumps should never be used in ambient environments that contain explosive or combustible materials. The IDP-35 and IDP-45 pumps are NOT intrinsically safe and should never be used with corrosive, pyrophoric, particulate- forming gases or gas mixtures in their flammable and/or combustible range.
  • Seite 159 • To prevent bodily injury, avoid exposing any part of the human body to vacuum. • The pump must be installed with easy access to the power switch. • Agilent approved power cords for all common connections are indicated at the Electrical Connections section. If it is necessary to use a different power cord, the current rating of the power cord must be at least 15A for 200-240V service and at least 20A for 100-127V service.
  • Seite 160 Connect the product only to an outlet that has the same configuration as the plug. Do not use an adapter with this product. Agilent IDP-35 & IDP-45 Dry Scroll Pump User Manual...
  • Seite 161 Instructions for Use Startup Procedure The IDP-35 and IDP-45 Vacuum Pumps have two basic operating modes: Standard Mode (default factory setting) Configurable Mode: Serial Control Analog control The following basic information covers Standard mode operation. For details on additional operating modes refer to the Technical Information section.
  • Seite 162 To shut down the pump manually in any operating mode turn the main ON/OFF switch to "0" position. If the pump is equipped with an integrated isolation valve, it will rapidly close to eliminate backflow of gas from the pump to upstream components. Agilent IDP-35 & IDP-45 Dry Scroll Pump User Manual...
  • Seite 163 Parent Company or a retailer, to initiate the collection and disposal process after checking the contractual terms and conditions of sale. Figure 7 Logo "WEEE" For more information refer to: http://www.agilent.com/environment/product/index.shtml Agilent IDP-35 & IDP-45 Dry Scroll Pump User Manual...
  • Seite 164 Make sure that appropriate cables are used to connect the device to peripheral  equipment. Changes or modifications not expressly approved by Agilent Technologies  could void the user's authority to operate the equipment. Agilent IDP-35 & IDP-45 Dry Scroll Pump User Manual...
  • Seite 165 South Korean Class A EMC declaration This equipment is Class A suitable for professional use and is for use in electromagnetic environments outside of the home. ICES/NMB-001 This ISM device complies with Canadian ICES-001/NMB-001. Agilent IDP-35 & IDP-45 Dry Scroll Pump User Manual...
  • Seite 166 Completion of the “Request for Return” form is required to return your pump to Agilent for service (provided at the end of this manual). Agilent IDP-35 & IDP-45 Dry Scroll Pump User Manual...
  • Seite 167 Technical Information Technical Information Description of the IDP-35 and IDP-45 Dry Scroll Pumps Technical Specifications IDP-35 and IDP-45 Dry Scroll Pump Outline Drawing Electrical Connections Mechanical Connections User Interface and Operating Modes User Interface IDP-35 and IDP-45 Operating Modes Standard mode...
  • Seite 168 (50 Hz and 60 Hz) and input voltages (100-127 VAC and 200-240 VAC). IDP-35 and IDP-45 pumps use a quick release double-sided scroll design that offers a quick tip seal replacement procedure with simple commercially available tools comparable to single-sided scroll pump designs.
  • Seite 169 100-127VAC 50/60Hz, 19 A Max 100-127VAC 50/60Hz, 19 A Max 200-240 50/60Hz, 13 A Max 200-240 50/60Hz, 13 A Max Motor thermal protection Automatic thermal protection Automatic thermal protection, with automatic restart Agilent IDP-35 & IDP-45 Dry Scroll Pump User Manual...
  • Seite 170 100VAC, but may offer reduced peak pumping speed at maximum load conditions. For operation in Japan at high inlet pressures and high pumping loads, use of 200VAC is recommended. Agilent IDP-35 & IDP-45 Dry Scroll Pump User Manual...
  • Seite 171 Technical Information IDP-35 and IDP-45 Dry Scroll Pump Outline Drawing Figure 8 IDP-35 Outline Drawing Agilent IDP-35 & IDP-45 Dry Scroll Pump User Manual...
  • Seite 172 Technical Information Figure 9 IDP-35 Pump with Optional Integrated Isolation Valve (VPI) Outline Drawing Agilent IDP-35 & IDP-45 Dry Scroll Pump User Manual...
  • Seite 173 Technical Information Figure 10 IDP-45 Outline Drawing Agilent IDP-35 & IDP-45 Dry Scroll Pump User Manual...
  • Seite 174 Technical Information Figure 11 IDP-45 Pump with Optional Integrated Isolation Valve (VPI) Outline Drawing Agilent IDP-35 & IDP-45 Dry Scroll Pump User Manual...
  • Seite 175 12. Lifting Point 13. Front Cowling 14. NW40 Inlet Port 15. NW25 Exhaust Port 16. Front Wheel 17. Gas Ballast 18. Mounting Bolt Holes 19. Rubber Feet Figure 12 Principal Items Agilent IDP-35 & IDP-45 Dry Scroll Pump User Manual...
  • Seite 176 Technical Information Figure 13 Optional Mounting Bolt Holes Agilent IDP-35 & IDP-45 Dry Scroll Pump User Manual...
  • Seite 177 Technical Information Figure 14 IDP-35 Pumping Speed Curves Figure 15 IDP-35 Power Draw Curves Agilent IDP-35 & IDP-45 Dry Scroll Pump User Manual...
  • Seite 178 Technical Information Figure 16 IDP-45 Pumping Speed Curves Figure 17 IDP-45 Power Curves Agilent IDP-35 & IDP-45 Dry Scroll Pump User Manual...
  • Seite 179 Power Cord Several power cord options equipped with an IEC C19 connector are available from your Agilent dealer. Descriptions of the available power cords and their ordering numbers are given in the following table. For applications where equipment damage or a hazardous situation could occur if power is lost to the pump, it is recommended to use a locking power cord to prevent the power cord from accidentally detaching from the pump.
  • Seite 180 Improper installation of the grounding plug can result in a risk of electrical WARNING shock. If power cord plug must be changed for use with a different mains WARNING receptacle, the plug should be replaced by qualified service personnel. Agilent IDP-35 & IDP-45 Dry Scroll Pump User Manual...
  • Seite 181 This operation must be done at least on the controller side. Inrush Currents The IDP-35 and IDP-45 Dry Scroll pump is powered by an inverter that converts single phase line power into 3-phase power that drives an induction motor at a user selectable frequency.
  • Seite 182 (error E0004) may be experienced. It is important that fittings with a small ID not be used to connect pump exhaust to hoses. It is recommended that Agilent part number X3835-68000 for 1.0" hose, or Agilent part number X3835-68001 for 1.25" hose be used.
  • Seite 183 (i.e., a turbomolecular pump) from a sudden venting to atmosphere in the event of an over temperature or excess exhaust pressure which would cause the pump to shut off. Agilent IDP-35 & IDP-45 Dry Scroll Pump User Manual...
  • Seite 184 Technical Information User Interface and Operating Modes User Interface Figure 18 User Interface on the IDP-35 & IDP-45 Models Table 3 Item Function ON/OFF Switch (0 – off, I – on) Power Input (C19 style power plug) Serial Control Analog Control...
  • Seite 185 RPM to limit power, the LED will display a flashing green signal. In the event of no electrical power or severe damage to the inverter drive both LED’s will be off. Agilent IDP-35 & IDP-45 Dry Scroll Pump User Manual...
  • Seite 186 Approximately 0.5 seconds after releasing the button, the new target frequency will be intermittently displayed for about 5 seconds, after which the speed change command will be sent to the pump. Agilent IDP-35 & IDP-45 Dry Scroll Pump User Manual...
  • Seite 187  received by the pump without the proper interlock jumper in place. Refer to section 2.1 in the subsequent portion of this manual titled “IDP-35 and IDP-45 Operating Modes” for more information on the safety interlock. Display will show “Stop” when pump stops and/or receives the Stop command.
  • Seite 188 Technical Information IDP-35 and IDP-45 Operating Modes The IDP-35 and IDP-45 Dry Scroll pumps have two basic operating modes. In all operating modes, Agilent A-PLUS software may be used to read current state information about the pump and drive. It may also be used to issue commands to the pump when the pump is in Configurable Mode and Serial Control phase.
  • Seite 189 If pins 3 and 7 are NOT connected, speed control of the pump is achieved  by the "up/down" buttons on the front panel. General information The correct cable for connection of your laptop to the IDP-35/45 pump  is part number 8121-2109, available from your Agilent dealer or here: 8121-2109 | Agilent (https://www.agilent.com/store/productDetail.jsp?catalogId=8121-2109)
  • Seite 190 For Standard Mode, this is always 40 Hz and the pump must be power cycled to send the start command. Agilent IDP-35 & IDP-45 Dry Scroll Pump User Manual...
  • Seite 191 “Bin00” and “Fr 40”. 4. The “burn-in” mode can be deactivated by pressing the down button for 30 seconds. The pump must be running to start the burn-in routine. NOTE Agilent IDP-35 & IDP-45 Dry Scroll Pump User Manual...
  • Seite 192 With the "burn-in" Mode activated, if there is a power failure, the process will restart upon power return at approximately the same point in the frequency ramp as when it was interrupted. Agilent IDP-35 & IDP-45 Dry Scroll Pump User Manual...
  • Seite 193 Should be used for high water vapor loads, such as frequently pumping out a volume exposed to excessive ambient humidity, or pumping process gas loads with a high water vapor content. Agilent IDP-35 & IDP-45 Dry Scroll Pump User Manual...
  • Seite 194 Agilent IDP-35 & IDP-45 Dry Scroll Pump User Manual...
  • Seite 195 Not activating the gas ballast is the most common reason for unnecessary downtime. Agilent IDP-35 & IDP-45 Dry Scroll Pump User Manual...
  • Seite 196 Hose barb, connection NW25 X3835-68001 NW25 to 1.25" hose barb For 1.25” hose exhaust flange to 1.25" ID hose adapter fitting Serial to USB cable X3835-68002 USB - serial cable Figure 23 Exhaust filter Agilent IDP-35 & IDP-45 Dry Scroll Pump User Manual...
  • Seite 197 Figure 24 Inlet filter Optional Integrated Isolation Valve (VPI) IDP-35 and IDP-45 pumps can be optionally equipped with an Integrated Isolation Valve (Vacuum Pump Isolation, VPI). An Integrated Isolation Valve should be considered for applications when there is a requirement to protect vulnerable...
  • Seite 198 Integrated Isolation Valve will momentarily close and then reopen as a result of the vacuum system pressure dropping faster than the pressure in the lower chamber of the Integrated Isolation Valve which is being evacuated through a small orifice. Agilent IDP-35 & IDP-45 Dry Scroll Pump User Manual...
  • Seite 199 The pump motor slows down and stops while the pump head slowly vents  to exhaust pressure through a small orifice in the lower chamber. Agilent IDP-35 & IDP-45 Dry Scroll Pump User Manual...
  • Seite 200 Optional Integrated Vacuum Gauge IDP-35 and IDP-45 Dry Scroll pumps with an optional Integrated Vacuum Gauge measures vacuum pressure at the inlet of the pump, or just downstream of the optional Integrated Isolation Valve (VPI).
  • Seite 201 Ambient Storage Temperature -20 to +65 °C Analog Output 0-10.23 VDC Electrical Connection FCC 68/RJ45 appliance connector, 8 poles, male Maximum Baking Temperature 80 °C Measurement Range 5*10 to 1500 mbar Agilent IDP-35 & IDP-45 Dry Scroll Pump User Manual...
  • Seite 202 External cleaning The exterior surfaces of the IDP-35 and IDP-45 pumps may be cleaned with a cloth slightly moistened with water. If necessary, alcohol or a mild detergent may be used instead. Do not pour or spray any liquids onto the pump.
  • Seite 203 Verifying Performance Prior to initiating any service requests on IDP-35 and IDP-45 pumps, the first step is to ensure that any loss of vacuum performance is not caused by a buildup of water in the pump. Initiating the gas ballast procedures described in the Technical...
  • Seite 204 Agilent recommends that until experience is gained on the application, the schedule found in the table below can be used as a starting point. Replacing the tip seal on a regular basis will avoid unplanned downtime.
  • Seite 205 Technical Information Firmware Updates As part of Agilent Technologies’ commitment to continuous improvement, it is anticipated that the firmware controlling the inverter drive and pump operation will be updated. The latest revision of the firmware can be obtained and uploaded into the inverter drive by following the firmware upgrade procedures in the Preventive Maintenance and Firmware Update Manual.
  • Seite 206 Safety Cable If damaged X3835-67221 IDP-35, IDP-45 Safety Cable Assy Gas Ballast Knob If damaged X3835-67120 IDP-35, IDP-45 Gas Ballast Kit VFD Module If required X3835-67200 IDP-35, IDP-45 Replacement VFD, Standard Agilent IDP-35 & IDP-45 Dry Scroll Pump User Manual...
  • Seite 207 Technical Information Factory-Only Service Some maintenance tasks and repairs can only be performed by Agilent service personnel. Contact your local Agilent representative for more information. Table 9 Factory Only Service Service Operation Interval Major Maintenance: Every 5 years of continuous operation, or on audible bearing noise. May be required more frequently for aggressive applications.
  • Seite 208 Technical Information Service Options In the event of performance degradation or loss of function of the IDP-35 and IDP- 45 pumps there are several options to facilitate the repair or exchange of the vacuum pump. The pump contains high power magnets and should not be serviced or WARNING disassembled by persons with medical implants.
  • Seite 209 Technical Information Agilent provides exchange pumping modules and full exchange pumps. If an issue is related to the pumping mechanism only (bearing noise, tip seal wear, etc.) the module can be serviced or replaced. Only if there is an issue with the motor or drive electronics is the full pump required to be shipped for service or replaced with an exchange.
  • Seite 210 If more extensive repairs on the motor or drive train are required (bearings, crankshaft, scrolls), Agilent offers factory repair services at the pumping module or full pump level. Factory repair entails sending the module or full pump to Agilent for a complete rebuild and resolution of performance issues. Once complete, the pump will be tested and return shipped to the customer.
  • Seite 211 Technical Information Troubleshooting The IDP-35 & IDP-45 pumps are equipped with advanced fault detection features. In the event of a fault detection there are two methods shown below to diagnose the error. 1. Display Code Information listed in the following table will be shown on the 5-digit LED display.
  • Seite 212 Bit 1: Pump Over Temperature (0x0002)  Bit 0: Motor Over Temperature (0x0001)  WARNING After an over temperature has been corrected, the pump may unexpectedly resume normal operation. Agilent IDP-35 & IDP-45 Dry Scroll Pump User Manual...
  • Seite 213 * The IDP-35 and IDP-45 pumps are equipped with an auto-reset thermal motor protector. This protector will automatically shut down the pump when it detects an overload condition and will automatically restart the pump when the motor has cooled to within an acceptable temperature range.
  • Seite 214 This routine takes approximately 30 minutes. * The IDP-35 and IDP-45 pumps are equipped with an auto-reset thermal motor protector. This protector will automatically shut down the pump when it detects an overload condition and will automatically restart the pump when the motor has cooled to within an acceptable temperature range.
  • Seite 215 WIN 503. To read/change the active communication RS232 or RS485 protocol; this can be selected by WIN503. To read/change RS485 address read/write WIN504. See WINDOW protocol description for further details. Agilent IDP-35 & IDP-45 Dry Scroll Pump User Manual...
  • Seite 216  Parity: None  Stop Bits: 1  Flow Control: None  Service connector Type B female USB connector with serial communication: Reserved for Factory Service. Not intended for customer use. Agilent IDP-35 & IDP-45 Dry Scroll Pump User Manual...
  • Seite 217 It reads the actual value of power supplied by controller to electric motor Always Off Pump status Real time pump status: 0 = Stop 1 = Wait Interlock 2 = Start 3 = Autotuning 5 = Normal 6 = Fail Agilent IDP-35 & IDP-45 Dry Scroll Pump User Manual...
  • Seite 218 Pump life It indicates the total hours of pump life. Always Always Controller P/N It is the Part Number of Controller Always Always Pump P/N It is the Part Number of Pump Agilent IDP-35 & IDP-45 Dry Scroll Pump User Manual...
  • Seite 219 It is the CRC of the actual embedded program MCU FW CRC listing Always Off Secondary It defines the structure of Program Listing MCU FW accepted by embedded Program Listing revision Agilent IDP-35 & IDP-45 Dry Scroll Pump User Manual...
  • Seite 220 12 chars for Read Data/Time RTC in the next format: DDMMYYhhmmss Always Read Data/Time 10 chars for Read Data/Time RTC in the next format: Unix Time Stamp (second start from 01/01/2000) Always Battery voltage Battery voltage Demand Agilent IDP-35 & IDP-45 Dry Scroll Pump User Manual...
  • Seite 221 Technical Information Windows Protocol Refer to Agilent Technical Support for details on programming. Agilent IDP-35 & IDP-45 Dry Scroll Pump User Manual...
  • Seite 222 Please follow these instructions whenever one of our products needs to be returned. Complete the attached Request for Return form and send it to Agilent Technologies (see below), taking particular care to include the completed Health and Safety declaration Section. No work can be started on your unit until we receive a completed copy of this form.
  • Seite 223 Terms and conditions TERMS AND CONDITIONS Please read the terms and conditions below as they apply to all returns and are in addition to the Agilent Technologies Vacuum Product Division – Products and Services Terms of Sale. Unless otherwise pre-negotiated, customer is responsible for the freight charges for the returning product. Return shipments must comply with all applicable Shipping Regulations (IATA, DOT, etc.) and carrier requirements.
  • Seite 224 NOTE: If a product is received at Agilent which is contaminated with a toxic or hazardous material that was not disclosed, the customer will be held responsible for all costs incurred to ensure the safe handling of the product, and is liable for any harm or injury to Agilent employees as well as to any third party occurring as a result of exposure to toxic or hazardous materials present in the product.
  • Seite 225 Agilent Vacuum Products Division/Sales and Service Offices Request for Return Form United States India (Sales) India (Service) Agilent Technologies Agilent Technologies India Pvt. Ltd. Agilent Technologies India Pvt. Ltd. 121 Hartwell Avenue Unit Nos 110- 116, & Part of 101 & 109...
  • Seite 226 ユーザーマニュアル  Instruction for Use  Technical information  This information is subject to change without notice. © Agilent Technologies, Inc. 2024 Agilent Technologies LDA Malaysia *D0115005* Edition A.00 Sdn Bhd Bayan Lepas *D0115005* November 2024 Free Industrial Zone 11900 Bayan Lepas,...

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Idp-45