Inhaltsverzeichnis
Werbung
Quicklinks
TPS-compact
969-8217
969-8219
969-8221
969-8223
969-8225
969-8227
969-8229
969-8231
87-901-010-01
APRIL 2008
Models:
969-8218
969-8220
969-8222
969-8224
969-8226
969-8228
969-8230
969-8232
NOTICE: This document contains references to Varian.
Please note that Varian, Inc. is now part of Agilent
Technologies. For more information, go to
www.agilent.com/chem.
(I)
MANUALE DI ISTRUZIONI
(D)
BEDIENUNGSHANDBUCH
(F)
NOTICE DE MODE D'EMPLOI
(E)
MANUAL DE INSTRUCCIONES
(P)
MANUAL DE INSTRUÇÕES
(NL) BEDRIJFSHANDLEIDING
(DK) INSTRUKSTIONSBOG
(S)
BRUKSANVISNING
(N)
INSTRUKSJON MANUAL
(FIN) OHJEKÄSIKIRJA
(GR)
ODHGIES CRHSEWS
(H)
FELHASZNÁLÓI KÉZIKÖNYV
(PL) PODRECZNIK INSTRUKCJI
(CZ) NÁVOD K POUŽITÍ
(SK) NÁVOD NA OBSLUHU
(SLO) PRIROČNIK ZA NAVODILA
(GB) INSTRUCTION MANUAL
Werbung
Inhaltsverzeichnis
Verwandte Anleitungen für Agilent Varian TPS-compact serie
Inhaltszusammenfassung für Agilent Varian TPS-compact serie
- Seite 1 NOTICE: This document contains references to Varian. Please note that Varian, Inc. is now part of Agilent Technologies. For more information, go to www.agilent.com/chem. MANUALE DI ISTRUZIONI BEDIENUNGSHANDBUCH TPS-compact NOTICE DE MODE D’EMPLOI MANUAL DE INSTRUCCIONES MANUAL DE INSTRUÇÕES Models:...
- Seite 2 TPS-compact...
-
Seite 5: Inhaltsverzeichnis
ISTRUZIONI PER L’USO ...........................1 GEBRAUCHSANLEITUNG ..........................4 MODE D’EMPLOI ...............................8 INSTRUCCIONES DE USO ..........................11 INSTRUÇÕES PARA O USO...........................15 GEBRUIKSAANWIJZINGEN..........................18 BRUGSANVISNING ............................22 BRUKSANVISNING............................25 BRUKERVEILEDNING .............................28 KÄYTTÖOHJEET .............................31 PDHGIES CRHSEWS ............................34 HASZNÁLATI UTASÍTÁS ..........................37 INSTRUKCJA UZYTKOWANIA........................40 PŘÍRUČKA K POUŽITÍ.............................44 NÁVOD K POUŽITIU............................47 NAVODILA ZA UPORABO..........................50 INSTRUCTIONS FOR USE..........................53 TECHNICAL INFORMATION ...........................56 DESCRIPTION OF THE TPS-COMPACT ...................56... -
Seite 6: Indicazioni Di Sicurezza
ISTRUZIONI PER L'USO Indicazioni di Sicurezza Pompe Turbomolecolari Le pompe Turbomolecolari descritte nel seguente Manuale di Istruzioni hanno una elevata quantità di energia cinetica dovuta alla alta velocità di rotazione in unione alla massa specifica dei loro rotori. Nel caso di un guasto del sistema, ad esempio per un contatto tra rotore e statore o per una rottura del rotore, l'energia di rotazione potrebbe essere rilasciata. -
Seite 7: Informazioni Generali
ISTRUZIONI PER L'USO disperdere l'imballo nell'ambiente. materiale è INFORMAZIONI GENERALI completamente riciclabile e risponde alla direttiva CEE 85/399 Questa apparecchiatura è destinata ad uso professionale. per la tutela dell'ambiente. L'utilizzatore deve leggere attentamente il presente manuale di istruzioni ed ogni altra informazione addizionale fornita dalla Varian prima dell'utilizzo dell'apparecchiatura. -
Seite 8: Arresto Di Emergenza
ISTRUZIONI PER L'USO il numero di morsetti necessari e con quale coppia di serraggio Il LED blu “STATUS” posto sul pannello posteriore della base stringerli. del TPS-compact indica, con la frequenza del suo lampeggio, le condizioni operative del sistema: − COPPIA DI acceso fisso: la pompa è... -
Seite 9: Sicherheitshinweise
GEBRAUCHSANLEITUNG Sicherheitshinweise für Turbomolekularpumpen Die in der folgenden Gebrauchsanweisung beschriebenen Turbomolekularpumpen verfügen aufgrund der hohen Rotationsgeschwindigkeit in Verbindung mit dem spezifischen Gewicht ihrer Rotoren über eine große Menge kinetischer Energie. Im Falle eines Systemdefekts, z.B. durch einen Kontakt zwischen Rotor und Stator oder durch einen Rotorbruch, könnte diese Rotationsenergie freigesetzt werden. -
Seite 10: Allgemeine Informationen
GEBRAUCHSANLEITUNG Modell TPS-compact ist vorsichtig auszupacken, wobei es vor dem ALLGEMEINE INFORMATIONEN Herunterfallen und vor Stößen und Vibrationen zu schützen ist. Dieser Apparat ist für den fachmännischen Gebrauch bestimmt. Das Verpackungsmaterial ist vorschriftsgemäß zu entsorgen. Vor dem Gebrauch hat der Benutzer dieses Handbuch sowie alle Es ist vollständig recyclebar und entspricht der Richtlinie weiteren mitgelieferten Zusatzdokumentationen genau zu lesen. -
Seite 11: Wartung
GEBRAUCHSANLEITUNG mer anzuschließen. In der nachstehenden Tabelle sind die An- Einschaltung und Gebrauch von Modell TPS- zahl der Klemmschellen und das Anzugsmoment für die Schel- compact lenarten angegeben. Zur Einschaltung des TPS-compact ist der Netzstecker anzu- schließen und der externe Schalter auf die Schaltstellung ON zu FLANSCH KLEMMSCHELLE ANZ. -
Seite 12: Entsorgung
GEBRAUCHSANLEITUNG ENTSORGUNG Bedeutung des "WEEE" Logos auf den Etiketten Das folgende Symbol ist in Übereinstimmung mit der EU- Richtlinie WEEE (Waste Electrical and Electronic Equipment) angebracht. Dieses Symbol (nur in den EU-Ländern gültig) zeigt an, dass das betreffende Produkt nicht zusammen mit Haushaltsmüll entsorgt werden darf sondern einem speziellen Sammelsystem zugeführt werden muss. -
Seite 13: Normes De Sécurité
MODE D’EMPLOI Normes de sécurité pour Pompe Turbomoléculaires Les pompes Turbomoléculaires décrites dans le Manuel d'Instructions suivant ont une énergie cinétique élevée due à la grande vitesse de rotation associée à la masse spécifique de leurs rotors. En cas de panne du système, par exemple à cause d'un contact entre rotor et stator ou d'une rupture du rotor, l'énergie de rotation pourrait être libérée. -
Seite 14: Indications Générales
MODE D’EMPLOI Ne pas abandonner l'emballage dans la nature. Le matériel est INDICATIONS GÉNÉRALES entièrement recyclable et conforme à la directive CEE 85/399 Cet appareillage a été conçu en vue d'une utilisation en matière de protection de l'environnement. professionnelle. Avant toute utilisation de l'appareil, il est conseillé... - Seite 15 MODE D’EMPLOI clignote lentement (période d'environ 400 ms): le système est en état de rampe, de freinage, de stop ou d’attente COUPLE DE BRIDE TYPE DE COLLIER interlock. SERRAGE clignote rapidement (période d'environ 200 ms): condition ISO 63 Collier double à filet M10 22 Nm d'erreur.
-
Seite 16: Indicaciones De Seguridad
INSTRUCCIONES DE USO Indicaciones de Seguridad para Bombas Turbomoleculares Las bombas Turbomoleculares descritas en el siguiente manual de instrucciones tienen una elevada cantidad de energía cinética debido a la alta velocidad de rotación en combinación a la masa específica de sus rotores. En el caso de un daño del sistema, por ejemplo por un contacto entre el rotor y el estator o por una rotura del rotor, la energía de rotación podría ser liberada. -
Seite 17: Información General
INSTRUCCIONES DE USO Durante la operación de desembalaje, tener cuidado de que no se INFORMACIÓN GENERAL caiga el TPS-compact y de no someterlo a golpes o vibraciones. Este equipo es para uso profesional. El usuario ha de leer No abandonar el embalaje en el medio ambiente. El material es atentamente el presente manual de instrucciones y cualquier completamente reciclable y cumple con lo dispuesto por la otra información suplementaria facilitada por Varian antes de... - Seite 18 INSTRUCCIONES DE USO tabla siguiente describe, por cada tipo de mordaza, el número de Encendido y Uso del TPS-compact mordazas necesarias y con qué par de apriete apretarlas. Para encender el TPS-compact basta conectar la tensión de alimentación y disponer el interruptor externo en posición ON. TIPO DE MORDAZA PAR DE APRIETE BRIDA...
- Seite 19 INSTRUCCIONES DE USO ELIMINACIÓN Significado del logotipo "WEEE" presente en las etiquetas. El símbolo que se indica a continuación, es aplicado en observancia de la directiva CE denominada "WEEE". Este símbolo (válido sólo para los países miembros de la Comunidad Europea) indica que el producto sobre el cual ha sido aplicado, NO debe ser eliminado junto con los residuos comunes sean éstos domésticos o industriales, y que, por el contrario, deberá...
-
Seite 20: Indicações De Segurança
INSTRUÇÕES PARA O USO Indicações de Segurança para Bombas Turbomoleculares As bombas turbomoleculares descritas no seguinte Manual de Instruções têm uma alta quantidade de energia cinética devida à alta velocidade de rotação unida à massa específica de seus rotores. Em caso de avaria do sistema, causada por exemplo por um contacto entre o rotor e o estator ou uma ruptura do rotor, a energia de rotação pode ser liberada. - Seite 21 INSTRUÇÕES PARA O USO Não depositar a embalagem no meio ambiente. O material é INFORMAÇÕES GERAIS completamente reciclável e em conformidade com a norma Esta aparelhagem destina-se a uso profissional. O utilizador deve CEE 85/399 para a protecção do meio ambiente. ler atentamente o presente manual de instruções e todas as informações adicionais fornecidas pela Varian antes de utilizar a aparelhagem.
- Seite 22 INSTRUÇÕES PARA O USO A luz piloto azul “STATUS”, posicionada no painel traseiro da base do TPS-compact, indica, através da frequência de TORQUE DE FLANGE TIPO DE GRAMPO intermitência, as condições operacionais do sistema: APERTO acesa fixa: a bomba funciona normalmente; Grampo duplo intermitência lenta (período de aprox.
-
Seite 23: Veiligheidsinstructies
GEBRUIKSAANWIJZINGEN Veiligheidsinstructies voor Turbomoleculaire pompen De turbomoleculaire pompen die in deze handleiding worden besproken hebben een grote hoeveelheid kinetische energie door de hoge rotatiesnelheid samen met de specifieke massa van hun rotoren. In geval van een defect van het systeem, bijvoorbeeld door een contact tussen de rotor en de stator of doordat de rotor breekt, kan de rotatie-energie vrijkomen. -
Seite 24: Algemene Informatie
GEBRUIKSAANWIJZINGEN Laat verpakking niet ergens buiten achter. ALGEMENE INFORMATIE verpakkingsmateriaal is volledig recyclebaar en voldoet aan de Deze apparatuur is bestemd voor beroepsmatig gebruik. De EEG milieurichtlijn 85/399. gebruiker wordt verzocht aandachtig deze handleiding en alle overige door Varian verstrekte informatie door te lezen alvorens het ATTENTIE! apparaat in gebruik te nemen. - Seite 25 GEBRUIKSAANWIJZINGEN AANHAAL- FLENS KLEMTYPE Inschakeling en gebruik van de TPS-compact KOPPEL Dubbele klem met ISO 63 22 Nm Om de TPS-compact in te schakelen is het voldoende om M10 schroefdraad voedingsspanning te verschaffen en de externe schakelaar in de Dubbele klem met stand ON te zetten.
-
Seite 26: Afvalverwerking
GEBRUIKSAANWIJZINGEN AFVALVERWERKING Betekenis van het logo "WEEE" op de etiketten. onderstaande symbool wordt aangebracht overeenstemming met de EG-richtlijn "WEEE". Dit symbool (alleen geldig voor de landen van de Europese Gemeenschap) geeft aan dat het product waarop het is aangebracht, NIET mag worden afgevoerd samen met mormaal huisvuil of industrieel afval, maar gescheiden moet worden ingezameld. -
Seite 27: Sikkerhedsanvisninger
BRUGSANVISNING Sikkerhedsanvisninger Molekylære turbopumper De molekylære turbopumper, der er beskrevet i nærværende brugsanvisning, har en stor kinetisk energi, der skyldes den høje omdrejningshastighed kombineret med deres rotorers specifikke vægt. Hvis der er en fejl i systemet, for eksempel på grund af en kontakt mellem rotor og stator, eller fordi rotoren går i stykker, kan omdrejningsenergien spredes. -
Seite 28: Generel Information
BRUGSANVISNING GENEREL INFORMATION VIGTIGT! Dette udstyr er beregnet til professionel anvendelse. Brugeren bør læse denne brugsanvisning anden yderligere Komponenter, der skal udsættes for vakuum, må ikke berøres information fra Varian, før udstyret anvendes. Varian tager ikke med bare hænder, idet der er risiko for afgasning. Anvend altid ansvar for skader helt eller delvis som følge af tilsidesættelse af handsker eller anden lignende beskyttelse. - Seite 29 BRUGSANVISNING Den blu "STATUS" LED, der er anbragt på bagpanelet på TPS- compact’s fundament, angiver systemets funktion ved blink: FLANGE KLEMMETYPE ANT. DREJNINGS- konstant tændt: pumpen er i normal rotation MOMENT langsomme blink: (periode på ca. 400 ms); systemet er i Dobbelt klemme med stilling for acceleration, bremsning, stop eller “Waiting for ISO 63...
-
Seite 30: Säkerhetsanvisningar
BRUKSANVISNING Säkerhetsanvisningar för Molekylära turbopumpar De molekylära turbopumparna som beskrivs i bruksanvisningen har en hög kinetisk energi beroende på den höga rotationshastigheten och rotorernas specifika massa. I det fall fel skulle uppstå i systemet, t ex på grund av kontakt mellan rotor och stator eller om rotorn skulle skadas, kan det hända att rotationsenergin frigörs. -
Seite 31: Allmän Information
BRUKSANVISNING ALLMÄN INFORMATION Utrustningen är avsedd för yrkesmässig användning. VIKTIGT! Användaren bör läsa denna bruksanvisning, samt övrig Komponenter som ska utsättas för vakuum får inte hanteras dokumentation från Varian före användning av utrustningen. med bara händer p g a kontamineringsrisken. Använd alltid Varian tar inget ansvar för skador som helt eller delvis beror på... - Seite 32 BRUKSANVISNING Den blå lysdioden ”STATUS” på underdelens bakpanel på TPS-compact anger, genom frekvensen av dess blinkningar, hur systemet fungerar: ÅTDRAGNINGS FLÄNS TYP AV KLAMMER ANT. fast sken: pumpen roterar normalt; -MOMENT långsamt blinkande (ungefär var 400 ms): systemet är i Dubbel klammer, ISO 63 22 Nm...
-
Seite 33: Brukerveiledning
BRUKERVEILEDNING Sikkerhetsanvisninger Turbomolekylære Pumper Turbomolekylærpumpene som er beskrevet i den følgende Bruksanvisningen har et høyt kinetisk energinivå som skyldes den høye roteringshastigheten i tillegg til den spesifikke massen til pumpenes rotor. I tilfelle feil ved systemet, for eksempel på grunn av en kontakt mellom rotor og stator eller brudd på... -
Seite 34: Generell Informasjon
BRUKERVEILEDNING GENERELL INFORMASJON Dette utstyret er beregnet til bruk av profesjonelle brukere. FORSIKTIG! Brukeren bør lese denne brukerveiledningen og all annen For å unngå avgassingsproblemer, må ingen del som skal informasjon fra Varian før utstyret tas i bruk. Varian kan ikke utsettes for vakuum håndteres med bare hendene. - Seite 35 BRUKERVEILEDNING den lyser fast: pumpen roterer normalt den blinker langsomt (ca. hver 400 ms): systemet er i FLENS TYPE KLEMME ANT. STRAMME-MOMENT stilling for akselerasjon, bremsing, stopp eller “Waiting for Dobbel klemme, interlock” ISO 63 22 Nm gjenge M10 den blinker hurtig (ca. hver 200 ms): feiltilstand. Dobbel klemme, ISO 100 K 22 Nm...
-
Seite 36: Käyttöohjeet
KÄYTTÖOHJEET Turbomolekyylipumppujen Turvaohjeet Tässä käyttöohjeessa kuvatuissa turbomolekyylipumpuissa on korkea määrä kineettistä energiaa, joka aiheutuu korkeasta pyörimisnopeudesta yhdistettynä pumppujen roottorien massaan. Järjestelmän vikatilassa, esimerkiksi roottorin ja staattorin koskettaessa toisiaan tai roottorin rikkoutuessa, pyörimisenergia saattaa vapautua. VAARA! Tässä käyttöohjeessa kuvattuja asennusohjeita on noudatettava tarkasti laitteiston vaurioitumisen ja käyttäjien vahingoittumisen välttämiseksi! 31/74 87-901-010-01... -
Seite 37: Yleisiä Tietoja
KÄYTTÖOHJEET Pakkausta ei tule jättää ympäristöön. Pakkausmateriaali YLEISIÄ TIETOJA voidaan kierrättää kokonaisuudessaan ja se vastaa EY- Tämä laite on tarkoitettu ammattimaiseen käyttöön. Ennen direktiiviä 85/399 ympäristön suojelusta. laitteen käyttöönottoa tulee käyttäjän lukea huolellisesti ohjekirja ja muut Varianin toimittamat lisätiedot. Varian ei ota vastuuta seurauksista, jotka johtuvat laitteen käyttöohjeiden HUOMIO! täydellisestä... - Seite 38 KÄYTTÖOHJEET TPS-compact perustan takapaneeliin sijoitettu sininen ”STATUS” led ilmoittaa vilkkumistiheydellään järjestelmän KIRISTYS- LAIPPA KIINNIKE MÄÄRÄ toimintaolosuhteet: MOMENTTI palaa jatkuvasti: pumppu pyörii normaalisti; Kaksoiskiinnike, ISO 63 22 Nm vilkkuu hitaasti (noin 400 ms:n jakso): systeemi on kierteitys M10 kiihdytys-, jarrutus-, pysäytys- tai “Waiting for interlock”- Kaksoiskiinnike, ISO 100 K 22 Nm...
-
Seite 39: Pdhgies Crhsews
ODHGIES CRHSHS Οδηγίες για Ασφάλεια για Μοριακές Αντλίες Στροβίλου Οι µοριακές αντλίες στροβίλου, όπως περιγράφονται στο ακόλουθο εγχειρίδιο λειτουργίας περιέχουν ένα µεγάλο ποσό κινητικής ενέργειας, λόγω της υψηλής ταχύτητας περιστροφής σε συνδυασµό µε το ειδικό βάρος για τους ρότορες που περιέχουν. Σε... - Seite 40 ODHGIES CRHSHS GENIKES PLHROFORIES Autˇ h suskeuˇ proor∂zetai gia epaggelmatikˇ crˇsh. O crˇsthj qa pr◊pei na diab£sei prosektik£ tij odhg∂ej tou parèntoj PROSOCH egceir∂diou kai opoiadˇpote £llh prèsqeth plhrofor∂a pou d∂nei h Gia na apofÚgete problˇmata apagwgˇj aer∂ou, mhn agg∂zete me Varian, prin apè...
- Seite 41 ODHGIES CRHSHS Για µία λεπτοµερή περιγραφή του πίνακα ελέγχου του TPS-compact H tourmpoantl∂a me fl£ntza eisèdou ConFlat pr◊pei na sterewqe∂ sto q£lamo kenoÚ m◊sw twn kat£llhlwn mhcanikèn exarthm£twn βλέπε την προσθήκη "Technical Information". Varian. Gia perissèterej leptom◊reiej bl◊pe to par£rthma "Tecnik◊j Plhrofor∂ej".
-
Seite 42: Biztonsági Útmutató
HASZNÁLATI UTASÍTÁS Biztonsági útmutató Turbómolekuláris szivattyúkhoz A turbómolekuláris szivattyúk – ahogy a következő gépkönyvben le van írva – nagy mozgási energiával rendelkeznek a nagy forgási sebességük és a rotorok fajlagos tömege miatt. A rendszer hibás működése – például a rotor/állórész érintkezési hibája vagy akár a forgórész széttörése –... - Seite 43 HASZNÁLATI UTASÍTÁS Ne ártalmatlanítsa a csomagoló anyagokat nem megengedett ÁLTALÁNOS INFORMÁCIÓ módon. Az anyag teljesen újrafeldolgozható, és megfelel az A berendezést professzionális felhasználók számára tervezték. EEC 85/399-es direktívának. A felhasználónak a berendezés működtetése előtt el kell olvasnia ezt a gépkönyvet és a Varian által biztosított bármely információt.
- Seite 44 HASZNÁLATI UTASÍTÁS • lassan villog (kb. periódus): rendszer RÖGZÍTŐ RÖGZÍTŐ KARIMA emelkedőben, fékezésben, állás vagy „kapcsolatra vár” ESZKÖZ NYOMATÉK állapotban van; ISO 63 M10 kapcsok 22 Nm • gyorsan villog (kb. 200 ms periódus): hibafeltétel. ISO 100 K M10 kapcsok 22 Nm ISO 160 K M10 kapcsok...
-
Seite 45: Instrukcja Uzytkowania
INSTRUKCJA UZYTKOWANIA Wskazówki dotyczące bezpieczeństwa Pomp Turbomolekularnych Pompy Turbomolekularne opisane w niniejszej Instrukcji Obsługi posiadają wysoką energię kinetyczną spowodowaną bardzo wysoką prędkością obrotów razem z masą właściwą wirników. W przypadku uszkodzenia systemu, na przykład z powodu kontaktu między wirnikiem a stojanem lub z powodu pęknięcia wirnika, energia obrotowa może być... - Seite 46 INSTRUKCJA UZYTKOWANIA Podczas operacji rozpakowywania, należy zwrócić szczególną OGÓLNE INFORMACJE uwagę aby nie spowodować upadku systemu TPS-compact ani Ta aparatura jest przeznaczona do użytku zawodowego. nie poddawać go uderzeniom lub wibracjom. Użytkownik musi przeczytać bardzo uważnie niniejszą instrukcję Nie porzucać opakowania w środowisku. Materiał ten nadaje każdą...
- Seite 47 INSTRUKCJA UZYTKOWANIA W niniejszej tabeli przedstawione zostały, dla każdego typu Włączenie i obsługa systemu TPS-compact zacisku, ilość potrzebnych zacisków i moment dokręcenia ich. Aby włączyć TPS-compact wystarczy dostarczyć napięcie zasilania i ustawić wyłącznik zewnętrzny w pozycji On. MOMENT KOŁNIERZ TYP ZACISKU Wbudowany sterownik tzw.
-
Seite 48: Przetworstwo Odpadow
INSTRUKCJA UZYTKOWANIA PRZETWORSTWO ODPADOW Objasnienie znajdujacego sie na etykiecie znaczenia logo “WEEE”. Uzyty ponizej symbol jest zgodny z wymogiem zarzadzenia “WEEE” Unii Europejskiej. Symbol (prawomocny tylko krajach Unii Europejskiej) oznacza, ze wyrob ktory nim zostal oznaczony NIE moze byc przetworzony jako odpad razem z innymi domowymi lub przemyslowymi natomiast musi byc skladowany miejscu przeznaczonym... -
Seite 49: Příručka K Použití
PŘÍRUČKA K POUŽITÍ Bezpečnostní návod Turbomolekulární vývěvy Turbomolekulární vývěvy, jak jsou popisovány v následujícím návodu, obsahují velké množství kinetické energie díky vysoké otáčivé rychlosti v kombinaci s konkrétním objemem jejich rotorů. V případě systémové nefukčnosti, např. kontaktu rotoru anebo statoru nebo při zhroucení rotoru může dojít k uvolnění... - Seite 50 PŘÍRUČKA K POUŽITÍ VŠEOBECNÉ INFORMACE VAROVÁNÍ Toto zařízení je určeno pro odborníky. Uživatel by si měl před použitím zařízení přečíst tento návod a všechny další Aby se zamezilo problémům s odplyňováním, nepoužívejte informace dodané firmou Varian. Firma Varian neodpovídá za holé...
- Seite 51 PŘÍRUČKA K POUŽITÍ • pomalé blikání (interval cca 400 ms): systém se pozvolna rozbíhá nebo brzdí, nebo stojí, nebo je ve stavu “čekání na PŘÍCHYTNÉ UTAHOVACÍ PŘÍRUBA POČET blokování”; ZAŘÍZENÍ MOMENT • rychlé blikání (interval cca 200 ms): poruchový stav. ISO 63 Spony M10 22 Nm...
-
Seite 52: Návod K Použitiu
NÁVOD K POUŽITIU Bezpečnostný návod Turbomolekulárne vývevy Turbomolekulárne vývevy, ak sú následovne popisované, obsahujú veĺké množstvo kinetickej energie vďaka vysokej otáčavej rýchlosti v kombinácii s konkretným objemom ich rotorov. V prípade systémovej poruchy, napr. pri kontaktu rotora/statora alebo pri zrúcaniu rotora sa može uvolniť... - Seite 53 NÁVOD K POUŽITIU Obalový materiál zlikvidujte predpísaným spôsobom. Materiál VŠEOBECNÉ INFORMÁCIE je 100% recyklovateľný a spĺňa požiadavky smernice EEC Toto zariadenie je určené pre profesionálnych pracovníkov. 85/399. Skôr než začnete zariadenie používať, prečítajte si návod na použitie a všetky ďalšie pokyny spoločnosti Varian. Spoločnosť Varian nenesie žiadnu zodpovednosť...
- Seite 54 NÁVOD K POUŽITIU • pomalé blikanie (interval asi 400 ms): systém je v niektorom UPEVŇOVACÍ UPEVŇOVACÍ z týchto stavov: stúpanie/klesanie, brzdenie, Stop alebo v PRÍRUBA POČET KRÚTIACI MECHANIZMUS režime „Čakanie na spojenie“; MOMENT • rýchle blikanie (interval asi 200 ms): chybový stav ISO 63 Svorky M10 22 Nm...
-
Seite 55: Varnostna Navodila
NAVODILA ZA UPORABO Varnostna navodila Turbomolekularne črpalke Turbomolekularne črpalke, opisane v naslednjih navodilih vsebujejo veliko količino kinetične energije zaradi visoke hitrosti v povezavi s specifičnimi masami rotorjev. V primeru nepravilnega delovanje sistema, na primer pri dotiku rotorja/statorja ali poškodbe rotorja se lahko sprosti rotacijska energija. ... - Seite 56 NAVODILA ZA UPORABO SPLOŠNE INFORMACIJE Oprema je namenjena za profesionalno uporabo. Pred uporabo POZOR! mora uporabnik prebrati navodila za uporabo in vse dodatne Komponent, ki bodo izpostavljene vakuumu se ne dotikajte z informacije, ki mu jih je posredoval Varian. Varian ni odgovoren golimi rokami, saj boste tako preprečili probleme puščanja.
- Seite 57 NAVODILA ZA UPORABO • Počasno utripanje (perioda približno 400 ms): Sistem je v stanju ramp, breaking, stop ali v stanju »Waiting for NAPRAVA ZA PRIROBNICA NAVOR interloc«; PRITRJEVANJE • Hitro utripanje (perioda približno 200 ms): Napaka. ISO 63 M10 držala 22 Nm ISO 100 K M10 držala...
-
Seite 58: Instructions For Use
INSTRUCTIONS FOR USE Safety Guideline Turbomolecular Pumps Turbomolecular pumps as described in the following operating manual contain a large amount of kinetic energy due to the high rotational speed in combination with the specific mass of their rotors. In case of a malfunction of the system for example rotor/stator contact or even a rotor crash the rotational energy may be released. -
Seite 59: General Information
INSTRUCTIONS FOR USE GENERAL INFORMATION CAUTION This equipment is destined for use by professionals. The user should read this instruction manual and any other additional In order to prevent outgassing problems, do not use bare hands information supplied by Varian before operating the equipment. to handle components which will be exposed to vacuum. -
Seite 60: Emergency Stop
INSTRUCTIONS FOR USE The turbopump with ConFlat inlet flange must be fixed to the See the appendix "Technical Information" for a detailed vacuum chamber by means of the appropriate Varian description of the TPS-compact control panel. hardware. See the appendix "Technical Information" for a TPS-compact Switching off detailed description. -
Seite 61: Technical Information
TECHNICAL INFORMATION rotor discs. These are fabricated in aluminium al- DESCRIPTION OF THE TPS-COMPACT loy. The TPS-compact pumping system consists of a During normal operation, the motor functions with pump with an integrated controller and a forepump a power feed at 54 Vac three-phase at 1330 Hz and is available in sixteen models which differ in (TV81M) or 963 Hz (TV301). -
Seite 62: Scroll Pump Description
TECHNICAL INFORMATION Scroll Pump Description TECHNICAL SPECIFICATION The TPS-compact internal scroll creates vacuum Characteristic TV301 TV81M using a simple dual scroll mechanism in which one Pumping speed (l/s) : 215 l/s : 60 l/s of the nested scrolls orbits about the other, creat- ing moving zones of captured gas. -
Seite 63: Tps-Compact Outline
TECHNICAL INFORMATION TPS-COMPACT OUTLINE The following figure shows the TPS-compact outline. Dimensions are in mm. PRESSURE mBar Torr PRESSURE mBar Torr TPS-compact equipped with TV301 0,0001 0,001 0,01 Inlet Pressure (mbar) Graph of pumping speed vs inlet pressure 58/74 87-901-010-01... - Seite 64 TECHNICAL INFORMATION TPS-compact equipped with TV81M 0,0001 0,001 0,01 Inlet Pressure (mbar) Graph of pumping speed vs inlet pressure TPS-compact TV301/TV81M - 14lt Pump Down 1,E+03 1,E+02 1,E+01 1,E+00 1,E-01 1,E-02 1,E-03 1,E-04 1,E-05 1,E-06 Time [sec] TV301 TV81M Graph of pressure vs time (with a pump down volume of 1 litre) 59/74 87-901-010-01...
-
Seite 65: Inlet Screen Installation
TECHNICAL INFORMATION INLET SCREEN INSTALLATION The following figure shows the overall flange di- mensions with the protection screen fitted on pump with ISO flange and pump with CFF flange (dimensions are in inches [mm]). The inlet screens mod. 969-9300, 969-9309, 969-9302 and 969-9303 prevent the blades of the pump from being damaged by debris greater than ISO 63 / CFF 2.75 / CFF 4.5... -
Seite 66: High Vacuum Flange Connection
TECHNICAL INFORMATION HIGH VACUUM FLANGE CONNECTION For ConFlat flange connections we recommend using Varian hardware. To connect the Turbo pump to the ISO inlet flange, remove the outer ring and position the centering To facilitate assembly and dismantling, apply Fel- ring as shown in the figure. -
Seite 67: Interconnections
TECHNICAL INFORMATION INTERCONNECTIONS P3 – Vent Input power connector The following figure show the input power connec- tor. Bipolar switch Line Vent Connector IEC320 connector This is a dedicated 24 Vdc connector to control the Line Fuses optional vent valve (available on request). The vent valve can be driven by controller auto- matically or by serial line. -
Seite 68: Gauge Connector
TECHNICAL INFORMATION Vent Valve Diagram in “Auto” mode Pressure gauge can be connected/disconnected from the TPS-compact during normal operation. Gauge Connector TPS-compact is equipped with new generation gauge reading card able to drive/read a Varian “EyeSys Mini-IMG” gauge or a Varian Full Range Gauge FRG-700. -
Seite 69: J5 - In-Out
TECHNICAL INFORMATION This connector carries all the input and output sig- nals to remote control the TPS-compact. It is a 15-pins D type connector; the available sig- nals are detailed in the table, the following para- graphs describe the signal characteristics and use. INPUT/ PIN N. - Seite 70 TECHNICAL INFORMATION • amplitude: 24 V max Output: Temperature setting • duty cycle range: from 25% to 75% • corresponding to a pump speed from 1100Hz to 1350Hz (see the following diagram). 1400 1350 1300 1250 1200 Voltage (V) 1150 1100 1050 Output: Pressure setting...
- Seite 71 TECHNICAL INFORMATION It is possible to delay the set point checking for a programmable delay time. The PROGRAMMABLE SET POINT signal has the following default settings: − reference quantity: frequency − thereshold: 867 Hz − hysteresis: 2% − activation type: high level −...
-
Seite 72: J6 - Serial
TECHNICAL INFORMATION How to connect the outputs of the controller RS 232/RS 485 COMMUNICATION DESCRIPTION The following figure shows a typical logic output Both the RS 232 and the RS 485 interfaces are connection (relay coil) but any other device may be connected e.g. -
Seite 73: Serial Communication Descriptions
TECHNICAL INFORMATION The communication port mating connector is sup- the controller answer with an ANSWER + CRC plied with the RS232 PCB (AMP/Cannon or to the host. equivalent 15-pin “D” type male connector). The MESSAGE is a string with the following format: <STX>+<ADDR>+<WIN>+<COM>+<DATA>+<ETX>+<CRC>... - Seite 74 TECHNICAL INFORMATION The controller can answer with the following response types; RESPONSE RESPONSE RESPONSE TYPE DESCRIPTION LENGTH VALUE Logic 1 byte After a read instruction of a logic window Numeric 6 bytes After a read instruction of a numeric window Alphanumeric 10 bytes After a read instruction of an alphanumeric window...
-
Seite 75: Window Meanings
TECHNICAL INFORMATION Window Meanings Read/ Data Description Admitted Write Type Values Read/ Data Description Admitted Write Type Values Analog out- 0 = frequency put type: 1 = power Start/Stop Start = 1 output volt- (in remote/ Stop = 0 (default = 1) age signal mode the win- proportional... -
Seite 76: Service Options
TECHNICAL INFORMATION Read/ Data Description Admitted Read/ Data Description Admitted Write Type Values Write Type Values Stop speed 0 = disable RS 485 ad- 0 to 31 reading 1 = enable dress (default = 0) Activates / (default = 0) deactivates Serial type 0 = RS 232... -
Seite 77: Cleaning
TECHNICAL INFORMATION Cleaning To remove the worn tip-seals: Disconnect TPS-compact from electrical Exterior power. The exterior surfaces of the TPS-compact may be Unlock the scroll pump support by unscrewing the cleaned with mild detergents only. screws (A) (see the “Tip-Seal replacement - Fig- ure A”) Interior Lift the TPS-compact in order to access the... -
Seite 78: Trouble Shooting Chart
TECHNICAL INFORMATION again after 5000 h of operation. To check the cates that the tip seal or main O-ring are pos- Tip-seal life you have just to read the Win 358. sibly out of place. Disassemble and repair as necessary. ... -
Seite 79: Orderable Parts
TECHNICAL INFORMATION ORDERABLE PARTS TV 81-M TV 81-M TV 81-M TV 81-M TV 301 TV 301 TV 301 TV 301 TPS-compact KF40 CFF 2.75" ISO 63 CFF 4.5" ISO 100 CFF 6" ISO 160 CFF 8" 120 V 969-8217 969-8218 969-8219 969-8220 969-8221... - Seite 80 Request for Return 1. A Return Authorization Number (RA#) WILL NOT be issued until this Request for Return is completely filled out, signed and returned to Varian Customer Service. 2. Return shipments shall be made in compliance with local and international Shipping Regulations (IATA, DOT, UN). 3.
- Seite 81 Request for Return FAILURE REPORT TURBO PUMPS and TURBOCONTROLLERS POSITION PARAMETERS Power: Rotational Speed: Does not start Noise Vertical Current: Inlet Pressure: Does not spin freely Vibrations Horizontal Temp 1: Foreline Pressure: Does not reach full speed Leak Upside-down Mechanical Contact Overtemperature Other: Temp 2:...
- Seite 82 Sales and Service Offices France and Benelux Japan Other Countries Varian s.a. Varian Vacuum Technologies Varian Inc. 7 Avenue des Tropiques Sumitomo Shibaura Building, 8th Floor Vacuum Technologies Z.A. de Courtaboeuf - B.P. 12 4-16-36 Shibaura Via F.lli Varian 54 Les Ulis cedex (Orsay) 91941 Minato-ku, Tokyo 108 10040 Leini, (Torino)