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Agilent MS40-S Bedienungsanleitung
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Agilent MS40-S Bedienungsanleitung

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MS40-S
User Manual

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Verwandte Anleitungen für Agilent MS40-S

Inhaltszusammenfassung für Agilent MS40-S

  • Seite 1 MS40-S User Manual...
  • Seite 2 A WARNING notice denotes a hazard. Should Agilent and the user have a It calls attention to an operating Agilent Technologies Italia S.p.A. separate written agreement with procedure, practice, or the like that, if...

  • Seite 3: Inhaltsverzeichnis

    Linee guida di sicurezza per pompe rotative a palette Trasporto & Immagazzinamento Descrizione del prodotto Installazione Preparazione per l’installazione Installazione Apertura Fissaggio della MS40-S Collegamento delle flange di aspirazione e delle connessioni di scarico 29 Avvio e funzionamento della MS40-S Arresto della MS40-S MS40-S User Manual...
  • Seite 4 Korrekte Verwendung Unsachgemäße Anwendung Warnungen Vorsichtshinweise Persönliche Schutzausrüstung Sicherheitsrichtlinien für Flügelzellenpumpen Transport & Lagerung Beschreibung des Produkts Installation Vorbereitung der Installation Installation Öffnung Befestigung der MS40-S Anschluss der Saugflansche und der Ablaufverbindungen Start und Betrieb der MS40-S MS40-S User Manual...
  • Seite 5 Équipements de protection individuelle Consignes de sécurité concernant les pompes rotatives à palettes Transport et stockage Description de l'appareil Installation Préparation de l’installation Installation Ouverture Fixation de la MS40-S Raccordement des brides d’aspiration et des raccords d’évacuation MS40-S User Manual...
  • Seite 6 Contents Démarrage et fonctionnement de la MS40-S Arrêt de la MS40-S Maintenance Nettoyage Élimination Service Instrucciones de uso Acerca de este manual Validez Definiciones y terminología Definición de Precaución, Advertencia y Nota Símbolos de advertencia Seguridad Uso correcto Uso incorrecto Notas de advertencia Notas de precaución...
  • Seite 7 Contents Observe las conexiones de admisión y descarga Encendido y funcionamiento de la bomba MS40-S Detención de la bomba MS40-S Mantenimiento Limpieza Eliminación Servicio 使用说明 关于本手册 有效性 定义与术语 小心、警告和注意的定义 警告符号 安全 正确使用 不当使用 警告注释 小心注释 防护设备 旋转叶片泵安全指导原则 运输与存放 产品说明 安装...
  • Seite 8 Contents 设置 MS40-S 安装 入口和排出管路 启动和运行 MS40-S MS40-S 的关机 维护 清洁 处置 服务 取扱説明書 この説明書について 有効期限 定義と用語 注意、警告および注記の定義 警告記号 安全性 適切な取扱い 不適切な取扱い 警告メモ 注意メモ 防具 回転翼ポンプの安全ガイドライン。 搬送と保管 製品説明 MS40-S User Manual...
  • Seite 9 Instructions for Use About this manual Validity Definitions and terminology Definition of Caution, Warning and Note Warning Symbols Safety Proper use Improper use Warning notes Caution notes Protective equipment Safety guideline for rotary vane pumps Transport & Storage MS40-S User Manual...
  • Seite 10 Contents Product description Installation Preparation for installation Installation Set-up MS40-S mounting Connections to the inlet and exhaust connections Starting and running the MS40-S Stop of MS40-S Maintenance Cleaning Disposal Service Technical Information Description of the MS40-S Vacuum Seals Anti-Suckback Device...
  • Seite 11 Controller Operations Interconnections J1 – Serial port Operational Limits Status LED Electronic Self-Test Rotor Lock Test Technical Specifications Error messages RS 232/RS 485 Communication Description Communication format Communication protocol Example Window Meanings Error codes Accessories and Spare Parts MS40-S User Manual...
  • Seite 12 Istruzioni per l’uso MS40-S User Manual...

  • Seite 13: Istruzioni Per L'uso

    Trasporto & Immagazzinamento Descrizione del prodotto Installazione Preparazione per l’installazione Installazione Apertura Fissaggio della MS40-S Collegamento delle flange di aspirazione e delle connessioni di scarico 29 Avvio e funzionamento della MS40-S Arresto della MS40-S Manutenzione Pulizia Smaltimento MS40-S User Manual...

  • Seite 14: Informazioni Su Questo Manuale

    Servizio Post Vendita Informazioni su questo manuale Validità Questo manuale elenca le istruzioni per gli utenti della MS40-S, con particolare riferimento alle nozioni relative a sicurezza, funzionamento e manutenzione di primo livello, limitatamente alle operazioni di manutenzione di cui l’utente è...

  • Seite 15: Definizioni E Terminologia

    I messaggi di attenzione sono visualizzati prima di procedure che, se non ATTENZIONE osservate, potrebbero causare danni all’apparecchiatura. Le note contengono informazioni importanti e forniscono maggiori dettagli su NOTA passaggi specifici. MS40-S User Manual...

  • Seite 16: Simboli Di Avvertenza

    Simboli di avvertenza Di seguito si riporta un elenco di simboli che vengono visualizzati insieme agli avvisi della MS40-S. Viene mostrato anche il pericolo che descrivono. Un simbolo triangolare indica un’avvertenza. I significati dei simboli che possono apparire accanto alle avvertenze nella documentazione sono i seguenti:...
  • Seite 17 I seguenti simboli appaiono sullo strumento per vostra informazione. Accensione Spegnimento Bottiglia olio Peso Data di produzione Presenza di tensioni pericolose Presenza di superfici surriscaldate Pericolo generico Certificazione CE Certificazione CSA Certificazione RoHS Cina Rifiuti di Apparecchiature Elettriche ed Elettroniche MS40-S User Manual...

  • Seite 18: Sicurezza

    Gli accessori e le attrezzature utilizzati con il prodotto devono essere forniti o approvati da Agilent Technologies.

  • Seite 19: Uso Improprio

    Istruzioni per l’uso Uso improprio Agilent Technologies declina ogni responsabilità derivante dall’uso improprio della MS40-S. L’uso improprio comporterà la perdita di tutti i reclami per responsabilità e garanzie. Il personale responsabile del funzionamento e della manutenzione della pompa deve essere ben addestrato e conoscere le norme antinfortunistiche. Le precauzioni...

  • Seite 20: Note Di Avvertenza

    Verificare che il materiale isolante dei cavi e che i conduttori delle apparecchiature di prova non presentino segni di danneggiamento. Non sostituire l'olio immediatamente dopo l'arresto della macchina poiché l'olio  potrebbe essere ancora ad alta temperatura. MS40-S User Manual...

  • Seite 21: Note Di Attenzione

    Inoltre, deve soddisfare i requisiti di sicurezza della legislazione in vigore nel paese in cui viene utilizzata la macchina. In generale, l'operatore deve indossare scarpe antinfortunistiche durante la manipolazione della MS40-S e durante l'installazione. MS40-S User Manual...
  • Seite 22 • Trasportare pompe per vuoto di piccole e medie dimensioni a due mani. • Qualsiasi attrezzatura più pesante di 20 kg deve essere trasportata utilizzando un dispositivo di sollevamento adatto. • Indossare scarpe antinfortunistiche con puntale in acciaio secondo la direttiva EN 347. MS40-S User Manual...

  • Seite 23: Linee Guida Di Sicurezza Per Pompe Rotative A Palette

    è necessario lasciarla prima raffreddare poiché la temperatura della superficie esterna può superare i 60 °C. Per evitare danni alle apparecchiature e per prevenire lesioni al personale AVVERTENZA operativo, è necessario seguire scrupolosamente le istruzioni di installazione fornite nel presente manuale! MS40-S User Manual...

  • Seite 24: Trasporto & Immagazzinamento

    Le MS40-S sono delle pompe rotative monostadio a palette, a tenuta in bagno d'olio controllate da un’unità elettronica.

  • Seite 25: Installazione

    Si consiglia comunque di mantenerla chiusa fino al momento dell'installazione sul sistema onde evitare eventuale inquinamento da polvere. La pompa è fornita con alcuni accessori standard: NOTA • 1 connettore "SUB-D" a 9 contatti per RS232 (maschio) • Cavo di alimentazione rete. MS40-S User Manual...

  • Seite 26: Installazione

    Istruzioni per l’uso Figura 1 Imballaggio MS40-S Installazione Non installare e/o utilizzare la pompa in ambienti esposti ad agenti atmosferici (pioggia, gelo, neve), polveri, gas aggressivi, in ambienti esplosivi o con elevato rischio di incendio. Durante il funzionamento è necessario che siano rispettate le seguenti condizioni ambientali: temperatura: da +12 °C a +40 °C...
  • Seite 27 (vedere la figura seguente). La pompa non deve essere usata come compressore. L'inosservanza di queste precauzioni può causare danni alla macchina ed all'operatore. Flangia di aspirazione Connessione di scarico Figura 2 Flange e connessioni MS40-S User Manual...

  • Seite 28: Apertura

    In caso di avvio accidentale, l'aria all'interno della pompa potrebbe espellere violentemente i cappucci protettivi e danneggiare l'operatore. Fissaggio della MS40-S Il posizionamento della pompa deve essere eseguito come segue: Pompa appoggiata a terra. Non ci sono istruzioni speciali per questo tipo di ...

  • Seite 29: Collegamento Delle Flange Di Aspirazione E Delle Connessioni Di Scarico

    Per garantirsi una tenuta affidabile, utilizzare una guarnizione OR in NBR o FKM. NOTA Il condotto di ingresso è dotato di un filtro a setaccio che impedisce alle parti solide di entrare e danneggiare la pompa. MS40-S User Manual...
  • Seite 30 Non bloccare mai la linea di scarico della pompa. Ciò provocherebbe una ATTENZIONE sovrapressione nell'involucro con il rischio di rompere il serbatoio dell'olio. MS40-S User Manual...

  • Seite 31: Avvio E Funzionamento Della Ms40-S

    Istruzioni per l’uso Avvio e funzionamento della MS40-S Attivando l'interruttore di alimentazione, dopo una breve fase di autotest, la pompa si avvia automaticamente. Per arrestarla è necessario spegnere l'interruttore. In alternativa è possibile gestire l'avviamento e l'arresto della pompa da remoto mediante comunicazione seriale previa impostazione in modalità...

  • Seite 32: Arresto Della Ms40-S

    Istruzioni per l’uso Arresto della MS40-S Non esistono procedure speciali per lo spegnimento della pompa; per spegnere la pompa, agire sull'interruttore di rete. Scollegare il cavo di alimentazione dalla rete elettrica soltanto a interruttore spento. Manutenzione Il personale addetto alla condotta ed alla manutenzione della pompa deve essere ben addestrato e deve avere un'approfondita conoscenza delle norme antinfortunistiche.
  • Seite 33 "Request for return" allegata al presente manuale di istruzioni. Copia della stessa deve essere inserita nell'imballo della pompa prima della spedizione. Qualora una pompa dovesse essere rottamata, procedere alla sua eliminazione nel rispetto delle normative nazionali specifiche. MS40-S User Manual...
  • Seite 34 (polvere, abrasivi, solventi, acqua, sostanze chimicamente aggressive). Utilizzare solo l'olio AVF Platinum. L'utilizzo di oli diversi da quello previsto altera le prestazioni della pompa, potrebbe danneggiare la stessa ed in ogni caso invalidare la garanzia. MS40-S User Manual...

  • Seite 35: Pulizia

    Toll-Free: 00 800 234 234 00 Le procedure da adottare per il cambio dell'olio e la sostituzione della cartuccia del filtro della MS40-S sono descritte nel capitolo “Technical Information”. Pulizia Non usare alcool per la pulizia dei componenti in plastica o gomma della ATTENZIONE pompa.

  • Seite 36: Smaltimento

    Si invita pertanto l'utente finale a contattare il fornitore del dispositivo, sia esso la casa madre o un rivenditore, per avviare il processo di raccolta e smaltimento, dopo opportuna verifica dei termini e condizioni contrattuali di vendita. Figura 3 Logo "WEEE" Per maggiori informazioni consultare: http://www.agilent.com/environment/product/index.shtml MS40-S User Manual...

  • Seite 37: Servizio Post Vendita

    Nel caso in cui un cliente necessiti di un servizio di sostituzione o riparazione avanzato, si prega di contattare il distributore locale o spedire direttamente a: vpt-customercare@agilent.com vpl-customercare@agilent.com È necessario completare il modulo “Request for Return” per restituire la pompa ad Agilent per l'assistenza (fornito alla fine di questo manuale). MS40-S User Manual...
  • Seite 38 Istruzioni per l’uso MS40-S User Manual...

  • Seite 39: Betriebsanleitung

    Persönliche Schutzausrüstung Sicherheitsrichtlinien für Flügelzellenpumpen Transport & Lagerung Beschreibung des Produkts Installation Vorbereitung der Installation Installation Öffnung Befestigung der MS40-S Anschluss der Saugflansche und der Ablaufverbindungen Start und Betrieb der MS40-S Ausschaltung der MS40-S Wartung Reinigung Entsorgung MS40-S User Manual...

  • Seite 40: Informationen Über Diese Betriebsanleitung

    Service Informationen über diese Betriebsanleitung Gültigkeit Diese Betriebsanleitung enthält die Anweisungen für die Benutzer der MS40-S mit besonderer Bezugnahme auf die Begriffe für Sicherheit, Betrieb und Wartung auf der ersten Ebene, auf die Wartungsarbeiten beschränkt, für die der Benutzer verantwortlich ist.

  • Seite 41: Definitionen Und Terminologie

    Personen zur Folge haben könnte, wenn er nicht korrekt ausgeführt wird. Die Vorsichtshinweise werden vor Verfahren angezeigt, die Schäden am Gerät VORSICHT verursachen könnten, wenn sie nicht beachtet werden. Die Hinweise enthalten wichtige Informationen und liefern weitere Details über HINWEIS spezifische Arbeitsschritte. MS40-S User Manual...

  • Seite 42: Warnsymbole

    Betriebsanleitung Warnsymbole Es folgt eine Liste von Symbolen, die zusammen mit den Hinweismeldungen der MS40-S angezeigt werden. Es wird auch die von diesen beschriebene Gefahr gezeigt. Ein dreieckiges Symbol zeigt einen Warnhinweis an. Die Bedeutungen der Symbole, die neben den Warnhinweisen in der Dokumentation erscheinen können, sind...
  • Seite 43 Warnschild bezieht. Die folgenden Symbole erscheinen für Ihre Information auf dem Gerät. Einschaltung Ausschaltung Ölflasche Gewicht Herstellungsdatum Vorhandensein gefährlicher Spannungen Vorhandensein von überhitzten Oberflächen Allgemeine Gefahr CE-Zertifizierung CSA-Zertifizierung China RoHS-Zertifizierung Abfälle elektrischer und elektronischer Geräte MS40-S User Manual...

  • Seite 44: Sicherheit

    Sicherheitsbedingungen unwirksam machen und Unfälle des Personals, das die Maschine verwendet, verursachen. Agilent Technologies weist jede Verantwortung für Schäden an der Maschine oder für die körperliche Sicherheit des Bedieners oder Dritter aufgrund der Nichtbeachtung der Sicherheitsvorschriften, die in der technischen Dokumentation angegeben werden, zurück.

  • Seite 45: Unsachgemäße Anwendung

    Betriebsanleitung Unsachgemäße Anwendung Agilent Technologies weist jede Verantwortung aufgrund von unsachgemäßer Anwendung der MS40-S zurück. Die unsachgemäße Anwendung führt zum Verlust für das Recht aller Reklamationen hinsichtlich der Verantwortung und der Garantien. Das verantwortliche Personal für den Betrieb und die Wartung der Pumpe muss gut geschult sein und die Unfallschutzvorschriften kennen.

  • Seite 46: Warnungen

    Isoliergriffe haben. Sicherstellen, dass das Isoliermaterial der Kabel und Leiter der Prüfungsgeräte keine Zeichen einer Beschädigung aufweist. Das Öl nicht unmittelbar nach der Ausschaltung der Maschine wechseln, da  das Öl noch eine hohe Temperatur haben könnte. MS40-S User Manual...

  • Seite 47: Vorsichtshinweise

    Wartung ausführen, muss immer dem Typ der auszuführenden Arbeit entsprechen. Außerdem muss es die Sicherheitsanforderungen der gültigen Gesetzgebung im Anwendungsland der Maschine erfüllen. Im Allgemeinen muss der Bediener während der Handhabung der MS40-S und während der Installation Unfallschutzschuhe tragen. MS40-S User Manual...
  • Seite 48 • Kleine und mittelgroße Vakuumpumpen mit zwei Händen transportieren. • Jede Ausstattung, die schwerer als 20 kg ist, muss mit Verwendung einer angemessenen Hebevorrichtung transportiert werden. • Unfallschutzschuhe mit Vorderkappe aus Stahl gemäß der Richtlinie EN 347 tragen. MS40-S User Manual...

  • Seite 49: Sicherheitsrichtlinien Für Flügelzellenpumpen

    Temperatur der Außenfläche 60 °C überschreiten kann. Um Schäden an den Geräten zu vermeiden und um Verletzungen des WARNUNG Bedienpersonals zu verhindern, ist es notwendig, die in dieser Betriebsanleitung ausgehändigten Installationsanweisungen strengstens zu befolgen. MS40-S User Manual...

  • Seite 50: Transport & Lagerung

    Die Raumtemperatur sollte zwischen 12 °C und 40 °C liegen. Wenn die Temperatur nicht in diesem Intervall liegt, den technischen Kundendienst von Agilent für die notwendigen Änderungen konsultieren. Während des Transports und der Lagerung der Pumpen dürfen die folgenden Umgebungsbedingungen nicht überschritten werden:...

  • Seite 51: Installation

    Betriebsanleitung Die MS40-S sind ölbadgeschmierte einstufige Flügelzellenpumpen, die von einer elektronischen Einheit gesteuert werden. Detaillierte Informationen werden im Abschnitt „Technical Information“ gegeben. Installation Vorbereitung der Installation Die Pumpe wird in einer speziellen Schutzverpackung geliefert; etwaige Transportschäden sind der zuständigen örtlichen Verkaufsstelle zu melden.

  • Seite 52: Installation

    Das Öl muss durch die entsprechende Gewindebohrung und NICHT durch die VORSICHT Saugleitung in das Gehäuse gefüllt werden. Es ist wichtig, dass der Ölstand konstant zwischen den MIN- und MAX-Werten auf HINWEIS der Füllstandanzeige auf der Seite der Pumpe angezeigt wird. MS40-S User Manual...
  • Seite 53 Kammer angeschlossen ist und der Ablaufflansch nicht verschlossen ist (siehe nachstehende Abbildung). Die Pumpe darf nicht als Verdichter verwendet werden. Die Nichtbeachtung dieser Vorsichtsmaßnahmen kann Schäden der Maschine und des Bedieners verursachen. Saugflansch Ablaufflansch Abbildung 5 Flansche und Anschlüsse MS40-S User Manual...

  • Seite 54: Öffnung

    Ablaufflanschen zu entfernen. Die im Pumpeninneren enthaltene Luft könnte die Schutzkappen bei unbeabsichtigter Einschaltung herausschleudern und dem Bediener Schaden zufügen. Befestigung der MS40-S Die Positionierung der Pumpe muss wie folgt ausgeführt werden: Auf dem Boden liegende Pumpe. Es gibt keine speziellen Anweisungen für ...

  • Seite 55: Anschluss Der Saugflansche Und Der Ablaufverbindungen

    Verwendung eines O-Zentrierrings und einer Befestigungsklemme am Saugflansch anschließen. Um eine zuverlässige Dichtheit zu garantieren, eine O-Ringdichtung aus NBR oder HINWEIS FKM verwenden. Die Einlaufleitung ist mit einem Siebfilter ausgestattet, der verhindert, dass Festkörper eintreten und die Pumpe beschädigen. MS40-S User Manual...
  • Seite 56 Ein interner Ölnebelabscheider verhindert die Verschmutzung der Atmosphäre im HINWEIS Umkreis durch das in der Ablaufleitung während des Betriebs der Pumpe vorhandene Öl. Niemals die Ablaufleitung der Pumpe blockieren. Das würde zu einem VORSICHT Überdruck im Gehäuse mit dem Risiko, den Öltank zu zerbrechen, führen. MS40-S User Manual...

  • Seite 57: Start Und Betrieb Der Ms40-S

    Betriebsanleitung Start und Betrieb der MS40-S Durch Aktivieren des Stromschalters startet die Pumpe nach einer kurzen Autotestphase automatisch. Um sie auszuschalten, genügt es, den Schalter auszuschalten. Alternativ dazu ist es möglich, die Einschaltung und die Ausschaltung der Pumpe fernliegend durch serielle Kommunikation nach vorhergehender Einstellung in der Modalität SERIAL durch die entsprechende...

  • Seite 58: Ausschaltung Der Ms40-S

    Betriebsanleitung Ausschaltung der MS40-S Es gibt keine speziellen Verfahren für die Ausschaltung der Pumpe; um die Pumpe auszuschalten, den Netzschalter betätigen. Das Stromkabel erst bei ausgeschaltetem Schalter vom Stromnetz abziehen. Wartung Das zuständige Wartungspersonal der Pumpe muss gut geschult sein und eine tiefe Kenntnis der Unfallschutzvorschriften haben.
  • Seite 59 Formular „Request for return“ in der Anlage zur vorliegenden Betriebsanleitung auszufüllen und der lokalen Verkaufsstelle zuzustellen. Eine Kopie des Formulars ist der Pumpenverpackung vor dem Versand beizulegen. Bei etwaiger Verschrottung einer Pumpe ist diese entsprechend der einschlägigen nationalen Vorschriften zu entsorgen. MS40-S User Manual...
  • Seite 60 (Staub, Scheuermittel, Lösungsmittel, Wasser, chemisch aggressive Stoffe). Nur das Öl AVF Platinum verwenden. Die Verwendung von anderen als dem vorgesehenen Öl verändert die Leistungen der Pumpe, könnte diese beschädigen und auf jeden Fall die Garantie ungültig machen. MS40-S User Manual...

  • Seite 61: Reinigung

    10040 Leini, (Torino) – Italy Tel.: +39 011 997 9111 Fax: +39 011 997 9350 Toll-Free: 00 800 234 234 00 Die für den Ölwechsel und den Wechsel der Filterkartusche der MS40-S anzuwendenden Verfahren werden im Kapitel „Technical Information“ beschrieben. Reinigung Keinen Alkohol für die Reinigung der Bestandteile aus Kunststoff oder Gummi...

  • Seite 62: Entsorgung

    Endabnehmer sollte daher den Lieferanten des Geräts - d. h. die Muttergesellschaft oder den Wiederverkäufer - kontaktieren, um den Entsorgungsprozess zu starten, nachdem er die Verkaufsbedingungen geprüft hat. Abbildung 6 Logo „WEEE“ Für weitere Informationen siehe: http://www.agilent.com/environment/product/index.shtml MS40-S User Manual...

  • Seite 63: Service

    Sie sich bitte an den örtlichen Händler oder direkt and die Email-Adresse vpt-customercare@agilent.com vpl-customercare@agilent.com Das Ausfüllen des "Request for Return" formulars ist erforderlich, um die Pumpe zur Wartung an Agilent zurückzusenden (am Ende dieses Handbuchs angegeben). MS40-S User Manual...
  • Seite 64 Betriebsanleitung MS40-S User Manual...

  • Seite 65: Manuel D'utilisation

    Transport et stockage Description de l'appareil Installation Préparation de l’installation Installation Ouverture Fixation de la MS40-S Raccordement des brides d’aspiration et des raccords d’évacuation Démarrage et fonctionnement de la MS40-S Arrêt de la MS40-S Maintenance Nettoyage Élimination MS40-S User Manual...

  • Seite 66: Informations Concernant Ce Manuel

    Informations concernant ce manuel Validité Le présent manuel contient les instructions destinées aux utilisateurs de la MS40-S, notamment celles relatives à la sécurité, au fonctionnement et à la maintenance de premier niveau, dans la limite des activités de maintenance incombant à...

  • Seite 67: Définitions Et Terminologie

    Les messages d’attention sont affichés au début de procédures qui, si elles ne ATTENTION sont pas respectées, peuvent entraîner des dommages aux équipements. Les remarques contiennent des informations importantes et fournissent des NOTE précisions sur certains passages particuliers. MS40-S User Manual...

  • Seite 68: Symboles D'avertissement

    Symboles d'avertissement Les symboles accompagnant les messages d’avertissement et d’attention de la MS40-S sont représentés ci-dessous, ainsi que le danger qu’ils signalent. Un symbole triangulaire indique un avertissement. La signification des symboles figurant à côté des avertissements dans le document est explicitée ci-après : Présence de tension...
  • Seite 69 Les symboles suivants sont apposés sur l’instrument pour votre information. Marche Arrêt Bouteille d’huile Poids Données de production Présence de tension dangereuse Présence de surfaces chaudes Danger générique Certification CE Certification CSA Certification RoHS Chine Déchets d’équipements électriques et électroniques MS40-S User Manual...

  • Seite 70: Sécurité

    à des risques d’accident. Agilent Technologies décline toute responsabilité en cas de dommage à la pompe ou de blessure des opérateurs ou de tiers dérivant d’un non-respect des normes, règles et consignes de sécurité...

  • Seite 71: Utilisation Non Prévue

    Manuel d’utilisation Utilisation non prévue Agilent Technologies décline toute responsabilité dérivant d’une utilisation non prévue de la MS40-S. Toute utilisation non prévue entraîne la déchéance des droits d'action en responsabilité et de garantie. Le personnel responsable du fonctionnement et de la maintenance de la pompe doit être correctement formé...

  • Seite 72: Messages D'avertissement

    Vérifiez que le matériau isolant des câbles et que les conducteurs des équipements d’essai ne présentent aucun signe de détérioration. Ne vidangez pas l’huile immédiatement après l'arrêt de la pompe car l’huile peut  être encore très chaude. MS40-S User Manual...

  • Seite 73: Messages D'attention

    à effectuer. De plus, ils doivent satisfaire aux exigences de sécurité de la réglementation en vigueur dans le pays d’utilisation de l'appareil. En règle générale, l’opérateur doit porter des chaussures de sécurité pendant la manipulation de la MS40-S et pendant son installation. MS40-S User Manual...
  • Seite 74 • Transportez les pompes à vide de petite et moyenne dimension avec les deux mains. • Tout objet de plus de 20 kg doit être transporté à l’aide d’un moyen de levage adapté. • Portez des chaussures de sécurité à pointes en acier conformes à la directive EN 347. MS40-S User Manual...

  • Seite 75: Consignes De Sécurité Concernant Les Pompes Rotatives À Palettes

    60 °C. Pour éviter d’endommager les équipements et prévenir les risques de AVERTISSEMENT blessure des opérateurs, respectez rigoureusement les instructions d’installation fournies dans le présent manuel. MS40-S User Manual...

  • Seite 76: Transport Et Stockage

    à la réglementation nationale en vigueur. Les MS40-S sont des pompes rotatives à palettes à un étage, avec étanchéité à bain d’huile, contrôlées par une unité électronique. MS40-S User Manual...

  • Seite 77: Installation

    La pompe est dotée d’accessoires de série : NOTE • Un connecteur 9 broches « SUB-D » pour RS232 (mâle) • Câble d'alimentation électrique. MS40-S User Manual...

  • Seite 78: Installation

    Manuel d’utilisation Figure 7 Emballage MS40-S Installation N’installez pas et n’utilisez pas la pompe dans un endroit exposé aux agents atmosphériques (pluie, gel, neige), à des poussières, des gaz agressifs, et dans un milieu explosif ou présentant un risque d’incendie important.
  • Seite 79 à évacuer et que le raccord d’évacuation n’est pas bouché (voir figure ci-dessous). La pompe ne doit pas être utilisée comme compresseur. Le non-respect de ces consignes peut causer des dommages à la pompe et à l’opérateur. Bride d’aspiration Raccord d’évacuation Figure 8 Brides et raccords MS40-S User Manual...

  • Seite 80: Ouverture

    à l’intérieur de la pompe peut expulser violemment les bouchons de protection et blesser l’opérateur. Fixation de la MS40-S L’installation de la pompe doit être effectuée comme suit : Pompe posée au sol. Il n’y a pas de consigne spéciale concernant ce type ...

  • Seite 81: Raccordement Des Brides D'aspiration Et Des Raccords D'évacuation

    à la bride d’aspiration avec un anneau de centrage à joint torique et un collier de serrage. Pour garantir une bonne étanchéité, utilisez un joint torique en NBR ou FKM. NOTE Le conduit d’entrée est doté d’un filtre qui empêche les résidus solides de pénétrer et d’endommager la pompe. MS40-S User Manual...
  • Seite 82 Ne bouchez jamais le circuit d’évacuation de la pompe. En cas d’obstruction de ATTENTION l’évacuation, une surpression se crée à l’intérieur du corps risquant de briser le réservoir d’huile. MS40-S User Manual...

  • Seite 83: Démarrage Et Fonctionnement De La Ms40-S

    Manuel d’utilisation Démarrage et fonctionnement de la MS40-S Actionnez l’interrupteur de mise en marche, après une courte étape d’autotest, la pompe démarre. Pour arrêter la pompe, placez l’interrupteur en position arrêt. Il est également possible de démarrer et arrêter la pompe à distance via une communication série après avoir sélectionné...

  • Seite 84: Arrêt De La Ms40-S

    Manuel d’utilisation Arrêt de la MS40-S Il n’existe pas de procédure particulière pour arrêter la pompe. Pour arrêter la pompe, utilisez l’interrupteur Marche/Arrêt. Débranchez le câble d'alimentation électrique uniquement après avoir placé l’interrupteur sur Arrêt. Maintenance Le personnel chargé de l’utilisation et de la maintenance de la pompe doit être correctement formé...
  • Seite 85 «Request for return» joint au présent manuel d’utilisation. Une copie du bordereau doit être jointe dans l'emballage de la pompe avant l’expédition. Si la pompe doit être éliminée, procédez à son élimination dans le respect de la réglementation en vigueur. MS40-S User Manual...
  • Seite 86 Utilisez uniquement de l’huile AVF Platinum. L’utilisation d’une huile différente de celle prévue altère les prestations de la pompe et risque de l’endommager, et entraîne dans tous les cas la déchéance de la garantie. MS40-S User Manual...

  • Seite 87: Nettoyage

    Toll-Free : 00 800 234 234 00 Les procédures à suivre pour vidanger l’huile et remplacer la cartouche du filtre de la MS40-S sont décrites au chapitre «Technical Information». Nettoyage N’utilisez pas d’alcool pour le nettoyage des composants en plastique ou en ATTENTION caoutchouc de la pompe.

  • Seite 88: Élimination

    Figure 9 Logo « DEEE » Pour plus de précisions, veuillez consulter : http://www.agilent.com/environment/product/index.shtml MS40-S User Manual...

  • Seite 89: Service

    Si, vous, le client avez besoin d’un service d’échange ou de réparation avancé, veuillez contacter le distributeur local ou directement par courrier à: vpt-customercare@agilent.com vpl-customercare@agilent.com Vous devez remplir le formulaire de “Request for Return” pour retourner votre pompe à Agilent pour l’entretien (fourni à la fin du présent manuel). MS40-S User Manual...
  • Seite 90 Manuel d’utilisation MS40-S User Manual...

  • Seite 91: Instrucciones De Uso

    Descripción del producto Instalación Preparación para la instalación Instalación Preparación Montaje de la bomba MS40-S Observe las conexiones de admisión y descarga Encendido y funcionamiento de la bomba MS40-S Detención de la bomba MS40-S Mantenimiento Limpieza Eliminación MS40-S User Manual...

  • Seite 92: Acerca De Este Manual

    Acerca de este manual Validez Este manual enumera las instrucciones para los usuarios de la bomba MS40-S, con particular referencia a la información relacionada con la seguridad, la operación y el mantenimiento de primer nivel que está limitado a las operaciones de mantenimiento que son responsabilidad del usuario.

  • Seite 93: Definiciones Y Terminología

    Los mensajes de precaución se muestran antes de los procedimientos que, si PRECAUCIÓN no se respetan, pueden causar daños al equipo. Las notas están previstas para llamar la atención sobre información importante y NOTA proporcionar más detalles en relación con pasos específicos. MS40-S User Manual...

  • Seite 94: Símbolos De Advertencia

    Símbolos de advertencia La siguiente es una lista de los símbolos que aparecen en conjunto con las advertencias en la bomba MS40-S. También se muestra el peligro que describen. Un símbolo triangular indica una advertencia. Los significados de los símbolos que pueden aparecer junto a las advertencias en la documentación son los siguientes:...
  • Seite 95 Los siguientes símbolos aparecen en el equipo para su información. Encendido Apagado Envase de aceite Peso Fecha de producción Presencia de tensiones peligrosas Presencia de superficies calientes Riesgo genérico Certificación CE Certificación CSA Certificación China RoHS Residuos de aparatos eléctricos y electrónicos MS40-S User Manual...

  • Seite 96: Seguridad

    Agilent Technologies declina toda responsabilidad por los daños producidos al equipo o por la seguridad física del operador o de terceros que se deriven del incumplimiento de las normas de seguridad indicadas en la documentación...

  • Seite 97: Uso Incorrecto

    Instrucciones de uso Uso incorrecto Agilent Technologies declina toda responsabilidad que se derive del uso incorrecto de la bomba MS40-S. El uso incorrecto causará la pérdida de todas las reclamaciones por responsabilidad y garantías. El personal responsable del mantenimiento y de la operación de la bomba debe estar correctamente capacitado y debe conocer las normas de prevención de...

  • Seite 98: Notas De Advertencia

    Verifique que el material aislante de los cables y los conductores de los equipos de pruebas no presenten signos de daños. No reemplace el aceite inmediatamente después de detener el equipo, ya que el  aceite todavía puede estar a alta temperatura. MS40-S User Manual...

  • Seite 99: Notas De Precaución

    Además, debe cumplir con los requisitos de seguridad de la legislación vigente en el país en donde se utiliza el equipo. En general, el operador debe usar zapatos antiaccidentes durante la instalación y manipulación de la bomba MS40-S. MS40-S User Manual...
  • Seite 100 • Traslade las bombas de vacío de tamaño pequeño y mediano con las dos manos. • Todo equipo de más de 20 kilos de peso debe ser transportado con un dispositivo de elevación adecuado. • Use zapatos de seguridad con puntera de acero que cumplan con la Directiva EN 347. MS40-S User Manual...

  • Seite 101: Pautas De Seguridad Para Bombas Rotativas De Paletas

    60 °C. Para evitar daños al equipo y prevenir lesiones al personal operativo, se ADVERTENCIA deben cumplir estrictamente las instrucciones de instalación indicadas en este manual. MS40-S User Manual...

  • Seite 102: Transporte Y Mantenimiento

    Las MS40-S son bombas rotativas de paletas de una sola etapa con baño de aceite y controlada por una unidad electrónica. MS40-S User Manual...

  • Seite 103: Instalación

    La bomba se proporciona con algunos accesorios estándares: NOTA • 1 conector “SUB-D” de 9 clavijas para RS232 (macho) • cable de alimentación principal. MS40-S User Manual...

  • Seite 104: Instalación

    Instrucciones de uso Figura 10 Embalaje de la bomba MS40-S Instalación No instale ni use la bomba en ambientes expuestos a agentes atmosféricos (lluvia, nieve, hielo), polvo, gases agresivos o en ambientes explosivos o con un alto riesgo de incendio.
  • Seite 105 (ver la siguiente figura). No se debe utilizar la bomba como compresor. No cumplir estas precauciones puede ser peligroso para el equipo y para el operador. Brida de admisión Conexión de descarga Figura 11 Bridas y conexión MS40-S User Manual...

  • Seite 106: Preparación

    Montaje de la bomba MS40-S La colocación de la bomba en posición debe hacerse de la siguiente manera: Bomba apoyada en el piso. No hay instrucciones especiales para este tipo de ...

  • Seite 107: Observe Las Conexiones De Admisión Y Descarga

    Para asegurar un sellado confiable, use una junta tórica de NBR o FKM. NOTA El tubo de admisión está equipado con un filtro tamizador que evita que los sólidos ingresen a la bomba y la dañen. MS40-S User Manual...
  • Seite 108 No obstruya nunca la línea de descarga de la bomba. Esto puede causar un PRECAUCIÓN exceso de presión en la carcasa con el riesgo de romper el tanque de aceite. MS40-S User Manual...

  • Seite 109: Encendido Y Funcionamiento De La Bomba Ms40-S

    Instrucciones de uso Encendido y funcionamiento de la bomba MS40-S Al activar el interruptor de encendido, después de una breve fase de autoevaluación, la bomba arranca automáticamente. Para detenerla, se debe desconectar el interruptor. Como alternativa, el encendido y apagado de la bomba se pueden manejar de manera remota mediante una comunicación en serie...

  • Seite 110: Detención De La Bomba Ms40-S

    Instrucciones de uso Detención de la bomba MS40-S No hay procedimientos especiales para apagar la bomba; para hacerlo, desconecte el interruptor de alimentación principal. Desconecte el cable de alimentación de la red eléctrica solamente con el interruptor principal. Mantenimiento El personal responsable del mantenimiento y de la operación de la bomba debe estar correctamente capacitado y debe conocer las normas de prevención de...
  • Seite 111 Se debe colocar una copia de la hoja en el embalaje de la bomba antes de enviarla. Cuando se deba desechar la bomba, proceda a eliminarla de acuerdo con las normas nacionales específicas. MS40-S User Manual...
  • Seite 112 útil de la bomba (polvo, abrasivos, solventes, agua, sustancias químicamente agresivas). Use aceite AVF Platinum solamente. El uso de aceites distintos al recomendado altera el rendimiento de la bomba, podría dañarla e invalida la garantía. MS40-S User Manual...

  • Seite 113: Limpieza

    10040 Leini, (Torino) – Italia Tel.: +39 011 997 9111 Fax: +39 011 997 9350 Sin cargo: 00 800 234 234 00 Los procedimientos correctos para el cambio de aceite y filtro de la bomba MS40-S se describen en la sección “Technical Information”. Limpieza No limpie con alcohol los componentes de goma o plástico de la bomba.

  • Seite 114: Eliminación

    Se invita al usuario final a comunicarse con el proveedor del dispositivo, ya sea directamente con la Casa Matriz o con un revendedor, para iniciar el proceso de recolección y eliminación después de verificar las condiciones contractuales de venta. Figura 12 Logotipo “WEEE” Para más información, consulte: http://www.agilent.com/environment/product/index.shtml MS40-S User Manual...

  • Seite 115: Servicio

    Si un cliente necesita un servicio de intercambio avanzado o reparación, contacte con un distribuidor local o contacte por correo a: vpt-customercare@agilent.com vpl-customercare@agilent.com Es obligatorio completar la “Request for Return” para devolver su bomba a Agilent para mantenimiento (proporcionada al final del presente manual). MS40-S User Manual...
  • Seite 116 Instrucciones de uso MS40-S User Manual...

  • Seite 117: 使用说明

    使用说明 使用说明 关于本手册 有效性 定义与术语 小心、警告和注意的定义 警告符号 安全 正确使用 不当使用 警告注释 小心注释 防护设备 旋转叶片泵安全指导原则 运输与存放 产品说明 安装 安装准备工作 安装 设置 MS40-S 安装 入口和排出管路 启动和运行 MS40-S MS40-S 的关机 维护 清洁 MS40-S User Manual...

  • Seite 118: 关于本手册

    使用说明 处置 服务 关于本手册 有效性 本手册列出 MS40-S 用户说明，特别注意与安全、操作和一级维护有关的注意事 项，受用户负责的维护操作限制。 维护操作在特定章节中说明，对于更高等级的维护设有具体规定（接受过维护操作 专门培训的人员），用户不得执行此类操作。 要正确安装和启动/停止，请参考“Technical Information”章节。 有关更详细的技术使用，请参考“Technical Information”章节。 本手册包含有用信息，确保所有使用 MS40-S 的人员可以安全操作，在设备整个寿命期内发挥完美效率。 注意 将本手册和所有相关出版物放置在所有操作员、维护人员方便访问的位置。 MS40-S User Manual...

  • Seite 119: 定义与术语

    使用说明 定义与术语 小心、警告和注意的定义 本手册的一些重要参考内容用背景色突出显示。 警告消息提醒操作员注意特定过程或做法，如果执行错误，可能导致人员重 警告 伤。 程序开始前，提示小心消息，如果不遵守过程指示，可能导致设备损坏。 小心 注意旨在让人注意重要信息，提供具体步骤的更多详细信息。 注意 MS40-S User Manual...

  • Seite 120: 警告符号

    使用说明 警告符号 下面是 MS40-S警告与符号标志，及对应的危险描述。 三角形标志表示警告。本文档中，警告对应的符号标志含义如下： 危险电压 高温表面 普通危险 存在危险物质 挤压危险 割伤危险 佩戴防护手套 佩戴个人防护装备 穿防事故鞋 欧洲合规性声明 电源开启 电源关闭 废电子电气设备 MS40-S User Manual...
  • Seite 121 使用说明 仪器上的警告标签可能会有以下标志。如果看到该符号标志，请参考相关操作或维 护手册，了解该警告标志所指示的正确操作。 仪器上会有以下符号标志，供您参考。 电源开启 电源关闭 油瓶 重量 生产日期 危险电压 高温表面 普通危险 CE 认证 CSA 认证 中国 RoHS 认证 废电子电气设备 MS40-S User Manual...

  • Seite 122: 正确使用

    使用说明 安全 本节包含机械指令 2006/42/EC 规定的信息，这些信息对于遵守常规安全法规以及 机器特定用途相关安全法规至关重要。 不遵守这些说明或本手册的其他说明，将导致设计阶段设想的安全条件无效，操作 员可能发生事故。 对于不遵守技术文档中的安全规定而导致的机器损坏或者操作员或第三方人身伤 害，Agilent Technologies 不承担任何责任。 正确使用 本手册包含机器安全工作需要遵守的重要警告和安全说明。 本手册所述产品仅用于本手册指定的应用领域。手册还规定了产品应用和操作基本 要求相关的说明，以及可确保正常运行的安全措施。对于将产品用于非本手册介绍 的用途或者产品使用过程中不遵守基本要求和安全措施，Agilent Technologies 不承 担任何责任。 必须由能够采取必要安全措施，不会导致损坏或受伤的具备资质人员使用产品。产 品的配套配件和设备必须由 Agilent Technologies 提供或授权使用。 必须由了解相关风险的专业技术人员执行任何调整或维护操作。 必须由 Agilent 授权人员执行产品维修。 MS40-S User Manual...

  • Seite 123: 不当使用

    使用说明 不当使用 对于 MS40-S 的不当使用，Agilent Technologies 不承担任何责任。 不当使用将导致所有责任和质保失效。 负责泵操作和维护的人员必须接受过充分培训，了解事故预防规定。操作和维护泵 时必须始终遵守事故预防规定，以避免给操作员和泵造成损失。通过“警告”和 “小心”注释提供防范措施。 如果不遵守和/或正确实施操作过程、技术信息和注意事项，可导致操作员人 警告 身伤害。 使用固定弹簧将主线缆固定在 IEC320 插座中。 注意 如果不遵守和/或正确实施操作过程、技术信息和注意事项，可导致泵损坏。 小心 MS40-S User Manual...

  • Seite 124: 警告注释

    警告注释 接触高电压可导致死亡。始终要特别小心，遵守现行事故预防法规。  进行维护工作前，务必断开电源与泵之间的连接线。在电源断路开关上放置一  个特别警告标志：机器正在维护 - 请勿开启电源。 执行维护时，如果泵已经过长时间运行，待充分冷却后再开始，因为表面温度  可能超过 60 ℃。 如果不为泵提供接地连接可能导致操作员重伤。始终确保有接地连接，并且符  合标准。 清洁泵及其组件时，避免使用易燃或有毒溶剂。建议使用肥皂水溶液和超声波  清洗机，在低于 100 ℃ 的温度下干燥所有已清洁的部件，去除表面水分。 如果发生火灾，不要对泵喷水。切断电源，使用 CO 灭火器灭火。  小心检查法兰，确保对接表面无粉尘、油污或缺陷，然后再进行所需连接。  维修后工作务必确保所有接头和连接件正确锁紧，然后才能再次启动泵。  不得佩戴任何可能卷入机械装置和/或可以导电的饰品（项链、手镯等）。  确保将使用的工具完好无任何破损，必要时应配备绝缘握把。检查线缆绝缘材  料和测试设备的导线没有任何损坏迹象。 机器停机后，不要马上就更换油，因为此时油温非常高。  MS40-S User Manual...

  • Seite 125: 小心注释

    使用说明 小心注释 停机后恢复泵使用前，仔细检查是否有任何损坏迹象。  只能使用完好无损、作业专用工具；使用不合适或无效的工具可导致严重损  坏。 始终检查润滑油，确保其在整个泵内合理分布；润滑不充分可导致泵严重损  坏。 拆下的零部件，可以做一些标记，这样，再次组装时可以按正确的顺序操作。  检查加工轴、泵内的底座或机器精磨表面没有划痕或凹槽。可以用极细砂纸略  微打磨，去除小划痕和磨损。 组合前，始终在内部件和对接表面涂抹少量油。重新组装部件前，用原厂备件  更换所有密封。 防护设备 泵系统操作或维护人员的防护设备必须适合执行的操作类型。此外，还必须符合机 器使用所在国家的现行法规要求。 通常，操作员在操作和安装 MS40-S 时必须穿防事故鞋。 MS40-S User Manual...
  • Seite 126 使用说明 维护或安装时危险物质导致的健康危险。 警告 • 根据流程特性，真空泵、组件或工作流体可能被有毒、反应性或放射性物质污 染。 • 维护维修或重新安装时，穿戴合适防护设备。 掉落物体导致受伤的风险 警告 手动运输真空泵时，存在重物滑动和掉落的危险。 • 双手搬运中小型真空泵。 • 如果设备重量超过 20 kg，应使用合适的起吊设备运输。 • 穿着符合指令 EN 347，并带有铁鞋头的安全鞋。 MS40-S User Manual...

  • Seite 127: 旋转叶片泵安全指导原则

    使用说明 小心 锋利边缘导致受伤的风险 • 维护泵或者对系统执行泵安装/拆卸操作前，等待泵完全停止。 • 不要直接在高真空法兰内操作。 • 如果需要，穿戴符合 EN 420 的防护手套。 旋转叶片泵安全指导原则 油润滑旋转叶片泵工作时可产生高温。因此建议等待泵充分冷却，然后执行维护。 如果不按照制造商的指定方式操作设备，设备所提供的安全保护功能就不会起  到应有的安全保护作用。 始终通过提供的有环螺栓搬运泵。  固定泵时必须格外小心，避免意外掉落。  如果需要在运行后搬运泵，必须先等待其冷却，因为外部温度可能超过 警告 60 ℃。 为避免损坏设备和操作人员受伤，应严格遵守本手册的安装说明！ 警告 MS40-S User Manual...

  • Seite 128: 运输与存放

    使用说明 运输与存放 泵用纸板箱包装，运送到客户。 包括泵在内的包装总重量约 35 kg。 必须使用合适的起吊设备，小心搬运包装箱。 移动包装箱时，确保牢固固定至起吊设备，并且设备足以支撑重量。 小心 泵的工作环境是传统工业环境。最好避免在腐蚀性蒸气或过高热量的地方工作。 室内温度最好应在 12 ℃ 到 40 ℃ 之间。如果温度不在此范围内，请咨询 Agilent 技 术服务，进行更换。 运输和存放泵时，不得超过以下环境要求： 温度：-20 ℃ 至 +70 ℃  相对湿度：0 ~ 95 %（无冷凝）  产品说明 本设备供专业人员使用。操作设备前，用户应阅读本说明手册，以及 Agilent 提供 的任何其他信息。对于不遵守或部分不遵守说明、未经培训人员的不当使用、未经 授权干扰设备，或者违反特定当地标准的操作导致的任何后果，Agilent 不承担任何 责任。...

  • Seite 129: 安装准备工作

    使用说明 安装 安装准备工作 泵在运输过程中采用专用防护包装。如果包装出现运输过程中导致的损坏迹象，请 联系当地销售办事处。 不带包装的泵总重量约 35 Kg。 打开泵包装时，务必不要掉落，避免任何突然撞击或冲击振动。 不要以未经授权的方式处置包装材料。材料完全可再生，符合 EEC 指令 94/62。 正常环境暴露不会损坏泵，但仍然建议安装到系统之前，保持密闭，从而避免粉 注意 尘导致的任何污染。 泵配备一些标准配件： 注意 • 1 p 针“SUB-D”连接器 RS232（公头） • 电源线。 MS40-S User Manual...
  • Seite 130 使用说明 图 13 MS40-S 包装 安装 不得在存在空气传播物质（雨、雪、冰）、粉尘、腐蚀性气体的环境，或者爆炸性 环境或高火灾风险环境中安装或使用泵。 工作时，必须满足以下环境条件： 温度：+12 ℃ 至 +40 ℃  相对湿度：0 ~ 95 %（无冷凝）  泵启动前，装满润滑油，因为运输时泵内油箱空置。 小心 必须通过专用螺纹插孔将油注入外壳，不得通过吸入管路。 小心 务必确保油液位保持在泵侧液位计指示的 MIN 和 MAX 范围之间。 注意 MS40-S User Manual...
  • Seite 131 使用说明 必须在泵周围留足空气循环的空间；不允许将泵安装在空气不循环的密闭空间 小心 内。当泵超过 40 ℃ 的环境温度时，内部安全系统可能显示错误。 保留管路入口和出口的保护盖，正确连接仪器和排出管路后再开启泵。 警告 安装时，尤其注意吸入法兰连接真空腔，排出管路未闭合（参见下图）。不 警告 得将泵用作压缩机。 不遵守这些注意事项将对机器和操作员造成危险。 入口法兰 出口管路 图 14 法兰和管路 MS40-S User Manual...

  • Seite 132: Ms40-S 安装

    使用说明 检查电源电压和频率是否符合铭牌上指示的范围。 小心 将泵连接到电源。 安装泵时必须方便切断线路电压。 警告 必须对泵使用随泵提供的电源线（也可作为配件提供）。 设置 启动泵前，检查油位。 进行任何操作前，取下吸入和排出管路的保护盖。如果意外启动，泵内空气 警告 可能会迫使保护盖喷出来，给操作员造成危险。 MS40-S 安装 应如下所述安装泵： 将泵放在地上。此类安装没有特别说明，唯一例外是地面应尽可能平坦，适合  承受泵（最好在混凝土地面上）及任何安装配件的重量。注意，泵在底板上稳 定，应无需通过螺栓和螺丝固定至地面；使用橡胶支撑脚还可极大减少泵振 动。 MS40-S User Manual...

  • Seite 133: 入口和排出管路

    使用说明 泵离开地面。在此情况下，用户必须设计出一个合适的支撑结构，记住以下要  点： 支撑泵的平面应处于完全水平位置；  结构坚固；  应采取相应安全措施。  还应注意，将橡胶支撑脚更换为特殊防振支撑脚后，应使用螺丝固定至泵底座和支 撑平面，将泵与支撑结构连接在一起。 将泵取出包装箱后，建议进行以下检查： 确保泵在运输途中未发生任何损坏。 检查没有裸露或松动的部件。 入口和排出管路 取下两个口的保护盖。使用带 OR 的对中环和夹法兰，将待排空系统连接到入口法 兰。 要确保可靠密封，请使用 NBR 或 FKM 材料的 OR 垫圈。 注意 入口管道配备过滤筛，防止固体进入并损坏泵。 MS40-S User Manual...
  • Seite 134 使用说明 如果泵出的气体含有粉尘，建议在入口法兰前插入滤尘网。 注意 如果泵出的气体含有大量蒸气，建议在入口法兰前安装冷凝液分离器。 注意 要充分发挥泵的性能，请仅使用直径不小于入口法兰直径的直短管道。 如果使用刚性管道，最好使用柔性接头以避免对泵管路造成不应有的力。 注意 应将排气口连接到专用管道，将废气排出到外界。 内部油雾消除装置可避免泵运行时排出管道内的油污染周围大气。 注意 不得堵塞泵排出管路，否则可导致外壳压力过大，存在油箱破裂的风险。 小心 MS40-S User Manual...

  • Seite 135: 启动和运行 Ms40-S

    使用说明 启动和运行 MS40-S 启动电源开关，短暂自检后，泵将自动启动。要停止，必须关闭开关。或者，在串 行模式下设置后，可以通过 RS232/485 串行通信提供合适命令，远程管理泵的启动 和停止。 泵设计用于惰性和非腐蚀性流体。严禁用于潜在爆炸性或易燃物质。 警告 如果用低温油启动泵，最初将听到超过正常水平的噪声；此噪声仅持续数分钟， 注意 直到油达到工作温度。 风扇仅在特定温度下启动。 注意 泵在交付前已在工厂完成一次运行循环，没有关于正常运行的特别说明。 对于短暂间隔时间的反复工作循环，最好不要让泵关机。 注意 MS40-S User Manual...

  • Seite 136: Ms40-S 的关机

    使用说明 MS40-S 的关机 泵的关机操作没有特别的流程；要关闭泵，操作电源开关即可。只有当电源开关关 闭后，才能断开电源线。 维护 负责泵操作和维护的人员必须接受过充分培训，了解事故预防规定。 接触高电压可导致死亡。始终特别小心，遵守现行事故预防法规。 警告 机器通电后，小心移动部件和高电压。 警告 如果长时间运行后对泵执行维护，请等待其冷却，因为外表面温度超过 警告 60 ℃。 MS40-S User Manual...
  • Seite 137 使用说明 开始维护工作前，始终断开泵电源。在电源切断开关上放置一个特别警告标 警告 志：机器正在维护 - 请勿开启电源。完成后，取下安全警告。 停止机器后不可马上更换油，因为此时油温非常高。 警告 将泵送回制造商进行维修前，必须填写泵说明手册附带的“Request for return”表 注意 并送至当地销售办事处。发货前，必须将该表的复印件放在泵包装内。 如果要报废泵，则必须按照特定国家标准进行处理。 MS40-S User Manual...
  • Seite 138 使用说明 计划维护：维持正常工作状态。  表 5 检查油位 每日（每次启动前） 8.000 小时（轻度使用） 换油 6 个月 防回吸阀检查 6 个月 风扇盖清洁 非计划维护：恢复正常工作状态。  如果排出口存在油污，更换出口过滤网，或者每年更换一次。 维修频率取决于流程和是否存在缩短泵使用寿命的物质（粉尘、研磨性物质、溶 注意 剂、水、化学腐蚀性物质）。 必须使用 AVF Platinum 油。使用其他油可改变泵的性能，可能导致泵损坏，在任何 情况下，都将使保修失效。 MS40-S User Manual...
  • Seite 139 Agilent Technologies Italia S.p.A. Vacuum Products Division Via F.lli Varian 54 10040 Leini, (Torino) – Italy 电话：+39 011 997 9111 传真：+39 011 997 9350 免费电话： 00 800 234 234 00 “Technical Information”章节介绍 MS40-S 换油和滤筒更换的正确过程。 清洁 不得用酒精清洁泵的塑料或橡胶组件。 小心 建议使用肥皂水溶液和超声波清洗机，在低于 100 ℃ 的温度下干燥所有已清洁的部 件，去除表面水分。...
  • Seite 140 使用说明 处置 标签中的“WEEE”徽标含义。 按照 EC WEEE（废电子电气设备）指令应用以下符号。 此符号（仅在欧盟国家有效）表示所适用产品不得与家庭或工业垃圾一起处置，必 须送至专门废弃物回收系统。因此，欢迎最终用户联系设备供应商（无论是母公司 还是零售商），在检查销售合同条款后启动回收和处置流程。 图 15 “WEEE”徽标 有关更多信息，请参考： http://www.agilent.com/environment/product/index.shtml MS40-S User Manual...
  • Seite 141 使用说明 服务 如果客户需要高级替换或维修服务，请联系当地经销商或直接发送邮件至 vpt-customercare@agilent.com vpl-customercare@agilent.com 需要填写退货申请表才能将泵退回到安捷伦维修部门（在本手册末尾会提供）。 MS40-S User Manual...
  • Seite 142 使用说明 MS40-S User Manual...

  • Seite 143: 取扱説明書

    取扱説明書 取扱説明書 この説明書について 有効期限 定義と用語 注意、警告および注記の定義 警告記号 安全性 適切な取扱い 不適切な取扱い 警告メモ 注意メモ 防具 回転翼ポンプの安全ガイドライン。 搬送と保管 製品説明 設置 設置準備 設置 セットアップ MS40-S 取付 吸入・排出接続部への接続。 MS40-S の起動と稼働 MS40-S の停止 メンテナンス 清掃 MS40-S User Manual...

  • Seite 144: この説明書について

    取扱説明書 処分 サービス この説明書について 有効期限 本説明書には、特に安全、操作手順およびユーザーに必要なメンテナンス手順の みの簡易メンテナンスに関連する考え方を参考に、MS40-S の使用方法をユーザ ーに説明します。 高度なメンテナンス（メンテナンス手順の個別訓練を受けた人員）に関連した各 条項とあわせて、各セクションで説明するメンテナンス手順は、ユーザーは行わ ないでください。 正しい取付および始動/停止については、「Technical Information」セクション を参照してください。 技術的な使用方法に関する詳細は、「Technical Information」セクションを参 照してください。 本説明書には、 MS40-S を使用する人員がすべて安全に使用でき、また機器使用寿命中に効 注記 率よく使用できるのに、役立つ情報が記載されています。 本説明書は、関連するすべての刊行物とあわえて、オペレータ/メンテナン ス要員に分かりやすい、取り扱いしやすい場所に保管してください。 MS40-S User Manual...

  • Seite 145: 定義と用語

    取扱説明書 定義と用語 注意、警告および注記の定義 本説明書の 重要な参照項目のいくつかは、対比しやすい色で協調表示し、枠組 みで囲っています。 警告メッセージは、オペレータに対して、正しい操作をしない場合、重度 警告 の怪我を負う可能性があることを示すため、個別手順または操作方法への 注意を向けるものです。 注意メッセージは、その手順を順守しない場合、機器が破損する原因となる場 注意 合、その手順を実施する前に、表示されます。 注記は、重要事項について注意を呼びかけ、各ステップについて詳細な状況を 注記 伝えることが目的です。 MS40-S User Manual...

  • Seite 146: 警告記号

    取扱説明書 警告記号 下記は、MS40-S に関する警告と関連して表示される記号一覧です。各記号が示 す危険事項もあわせて表示されます。 三角記号は、警告を表します。文書中に警告とあわせて表示される記号の意味 は、次のとおりです。: 危険電圧 表面が熱い 一般的な危険 危険物質がある 圧搾の危険 切断の危険 保護手袋着用 個人防護装置装着 事故防止靴着用 欧州適合宣言 電源オン 電源オフ 電気電子機器廃棄物（WEEE） MS40-S User Manual...
  • Seite 147 取扱説明書 以下の記号は、機器に貼付する警告ラベルに使用する場合があります。この記号 を使用する場合は、警告ラベルが示す正しい手順について、関連する操作または 保守説明書を参照してください。 下記の記号は参照のため、機器に表示されています。 電源オン 電源オフ オイルボトル 重量 生産日 危険電圧 表面が熱い 一般的な危険 CE 認定 CSA 認定 RoHS 中国認定 電気電子機器廃棄物（WEEE） MS40-S User Manual...

  • Seite 148: 安全性

    取扱説明書 安全性 本セクションには、一般的に、および機械の各使用状況に関連して準拠および順 守に必要な機械類指令 2006/42/EC での規定事項が記載されています。 ここでの記載事項および本説明書に記載のその他手順に準拠しない場合、デザイ ンフェーズで規定の安全条件が非効率となり、機械の操作担当者に事故が発生す る原因となる場合があります。 Agilent Technologies では、技術説明書に記載の安全規則に準拠しない結果発 生する、オペレータまたは第3者による機械破損あるいは身体への安全に対して 全責任を免責とします。 適切な取扱い 本説明書には、機器が安全に作動するたえに順守が必要な重要警告事項および安 全事項が記載されています。 本説明書に記載の製品は、手順で説明した用途部分専用です。本説明書では、本 製品の使用および操作に関する必須要件および安定動作上必要な安全対策も示し ています。Agilent Technologies では、本説明書に記載した以外の用途、ある いは必須要件と安全対策を順守しない用途については一切保証しません。また一 切責任を負いかねます。 本製品は、破損または個人の怪我の原因とならない状態で必要な安全対策を講じ ることができる、有資格要員のみが使用してください。本製品で使用するアクセ サリおよび設備はいずれも、Agilent Technologies が提供または承認したもの でなければなりません。 調節またはメンテナンス操作はいずれも、リスクを熟知した専門技術者が実施し なければなりません。 本製品の修理はいずれも、Agilent 公認要員が専属で実施しなければなりませ ん。 MS40-S User Manual...

  • Seite 149: 不適切な取扱い

    取扱説明書 不適切な取扱い Agilent Technologies では、MS40-S を不適切に取り扱ったことに起因する責任 を一切放棄します。 取扱いが不適切な場合、責任ならびに保証請求はすべて、無効とする原因となり ます。 ポンプ操作およびメンテナンス担当要員は十全な訓練を受け、事故防止規則を認 識している必要があります。本セクションで記載する事故防止に関する注意事項 は、オペレータの損傷およびポンプへの破損を避けるため、ポンプの操作および メンテナンス中は常に順守してください。これらの注意事項は、警告および注意 メモの形で表示されます。 操作手順、技術情報および注意事項は、正しく順守および/または実行され 警告 ない場合、オペレータ個人が怪我を負う原因となる場合があります。 リテンションスプリングを使用して、主電源ケーブルを IEC320 ソケットに固 注記 定します。 操作手順、技術情報および注意事項は、正しく順守および/または実行されな 注意 い場合、ポンプが破損する原因となる場合があります。 MS40-S User Manual...

  • Seite 150: 警告メモ

    の温度が 60 °C を超えている場合があるため、十分な時間をかけ温度を下 げてください。 ポンプを保護接地に接続しないと、オペレータが重度の怪我を負う原因とな  る場合があります。接地が接続されているか、規格を準拠しているかを常に 確認してください。 ポンプおよびその構成部品を掃除する場合は、引火性または有毒溶剤の使用  は避けてください。できれば、超音波洗浄機で石鹸水を使用し、残留水分を すべて除去するため、洗浄部品すべてを 100 °C 以下の温度で注意ながら乾 燥させることを推奨します。 火災が発生した場合、ポンプに水をかけないでください。電源をオフにし  て、CO2 消火器を使用してください。 フランジを慎重に点検し、嵌合せ面に埃、オイル、汚れまたは欠損がないか  を確認してから、必要な接続を行ってください。 修理作業が終了したら、接合部と継手が正しくロックされているかを確認し  てから、ポンプを再始動してください。 機構に巻き込まれる可能性がある、および/または伝導体（チェーン、ブレス  レットなど）として作用する可能性があるものは着用しないでください。 使用する工具は完全に作動している状態か、また必要な場合は、絶縁グリッ  プがあるかを確認してください。ケーブルの絶縁物およびテスト設備の伝導 体に破損の兆候がないかをチェックしてください。 オイルがまだ高温状態のままである可能性があるため、機械オイルは、停止  直後に交換しないでください。 MS40-S User Manual...

  • Seite 151: 注意メモ

    取扱説明書 注意メモ ポンプが故障した後で、再起動する場合は、起動前にポンプを点検し、破損  の兆候がないかを丁寧にチェックしてください。 正常に作動し、各作業専用の工具のみを使用してください。使用する工具が  不適切あるいは効果的ではない場合、重度の損傷を負う原因となる場合があ ります。 潤滑油を常時チェックし、ポンプ全体に適切に分配されているかを確認して  ください。潤滑が不十分な場合、ポンプが大きく破損する場合があります。 部品を取り外す場合は、再組立のときに適切な順序で組み立てられるよう  に、何かのマークを付けてください。 ポンプ内部のシート、また機械研磨面の加工済シャフトに引っかき傷や溝が  ないかチェックしてください。多少の引っかき傷や研磨は、非常に微細なエ メリー紙または軽く研磨して、解消することができます。 グループをまとめる前に、内部と嵌合せ面上にオイルを少し広げます。すべ  てのシールを元の予備品と交換してから、コンポーネントをもう一度組み立 てます。 防具 ポンプシステムのメンテナンス操作をしている、または実施しているオペレータ の防具は常に、実施中の操作タイプに十分対応できなければなりません。また、 機械を使用する国の政府官庁による安全要件を順守しなければなりません。 通常、オペレータは MS40-S の取扱い中、および設置作業中、事故防止靴を着用 しなければなりません。 MS40-S User Manual...
  • Seite 152 取扱説明書 メンテナンスまたは設置中の有害物質による健康被害。 警告 • プロセス特長により異なりますが、真空ポンプのコンポーネントまたは作動 液は、毒性、反応性または放射性物質により汚染される場合があります。 • メンテナンスおよび修理中、または再設置中は、十分な防具を着用してくだ さい。 落下物による怪我のリスク。 警告 真空ポンプを手で搬送させる場合は、荷物が下に滑落し危険です。 • 小型および中型の真空ポンプの場合も、両手で運んでください。 • 重量が 20 kg を超える器具は、適切なリフティング装置で搬送してくださ い。 • 指令 EN 347 にしたがって、爪先が鋼製の安全長靴を着用してください。 MS40-S User Manual...

  • Seite 153: 回転翼ポンプの安全ガイドライン

    取扱説明書 注意 鋭利な先端部による怪我のリスク。 • ポンプの保守作業前、またはポンプをシステムに取り付ける、あるいは取り 外す前に、ポンプが完全に停止するまで待ってください。 • 高真空フランジ内部で直接操作しないでください。 • 必要な場合は、EN 420 にしたがって、保護手袋を着用してください。 回転翼ポンプの安全ガイドライン。 オイル潤滑した回転翼ポンプは、作動温度が高温になる可能性があります。その ため、どのようなタイプのメンテナンスでも、作業前に、ポンプの温度が下げる ことを推奨します。 メーカー指定以外の方法で器具を使用する場合、当該器具による保護の効果  がなくなる場合があります。 ポンプは常に、所定のリングボルトを使用して、搬送してください。  ポンプは正位置に設定し、偶発的な不具合が発生しないように、十全の注意  を払ってください。 操作後にポンプを取り扱い必要がある場合、外装面の温度が 60 °C を超 警告 えている場合があるため、先に時間をかけて温度を下げてください。 器具への破損を避け、また作業員の怪我を防止するため、本説明書に記載 警告 の設置方法を厳守してください! MS40-S User Manual...

  • Seite 154: 搬送と保管

    最適な室温は 12 °C ～ 40 °C です。温度がこの範囲に収まらない場合は、必 要な変更について、Agilent 技術サービスまでご連絡ください。 ポンプの搬送および保管時は、下記の環境要件を超えないようにしてください。 温度： -20° ～ +70 °C  相対湿度: 0 ÷ 95 % (結露なし)  製品説明 この機器は、専門家による使用を対象としています。ユーザーは Agilent 提供 の本取扱説明書およびその他追加情報をよく読んでから、本機器を操作してくだ さい。Agilent は、一部であっても、本説明書に準拠しないことにより発生する 事象、訓練を受けていない者による不適切な取扱い、本機器に関する未承認の干 渉あるいは各地域の規格での規定事項に反した行動が原因の事象には一切責任を 負いかねます。 MS40-S は、電子機器制御によるシングルステージ、回転翼ポンプオイル（シー ル付き）です。 詳細は、「Technical Information」セクションに記載されています。 MS40-S User Manual...

  • Seite 155: 設置準備

    取扱説明書 設置 設置準備 ポンプは特別保護パックに入れて提供します。搬送中に発生した可能性がある破 損の兆候が見えた場合は、地域の販売事務所にお問い合わせください。 ポンプの総重量は、パックを除き、 35 Kg です。 ポンプを開封する場合は必ず、落下させないでください。またポンプへの急激な 衝撃あるいは衝撃による振動を避けてください。 梱包材を認定外の方法で廃棄処分しないでください。材料は 100 % 再生可能 で、EEC 指令 94/62 に準拠しています。 通常環境で使用しているかぎり、ポンプが破損することはありません。ただ、 注記 どのような形であれ埃で汚れるのを防止するため、システム内に設置するまで は開封しないで保管することをお勧めします。 ポンプには、標準アクセサリが付属しています。 注記 • 1 p ピン "SUB-D" コネクタ、RS232 用 (オス) • 主電源コード MS40-S User Manual...
  • Seite 156 取扱説明書 図 16 MS40-S パッケージ 設置 ポンプは大気中物質（雨、雪、氷）、埃、侵襲性気体、または爆発雰囲気あるい は火災リスクが高い環境には設置または使用しないでください。 操作中、下記の環境条件を順守してください。 温度: +12 °C ～ +40 °C  相対湿度: 0 ÷ 95 % (結露なし)  ポンプは空の状態で配送されますので、起動前に、潤滑油を充填してくださ 注意 い。 オイルは、特殊ネジ留めプラグホールからケースに注入し、注入に吸入ライン 注意 は使用しないでください。 オイルレベルが、ポンプ側部の水準器が示す最小値と最大値の範囲にあること 注記 が重要です。 MS40-S User Manual...
  • Seite 157 取扱説明書 空気が適切に循環できるように、ポンプ周辺はすべて広い空きスペースを確保 注意 することが義務付けられています。空気循環のない、密閉状態にポンプを挿入 しないでください。内蔵安全システムにより、ポンプは周囲温度 40 °C を超 えた場合は、エラーが発生する可能性があります。 保護キャップは、吸入・排出接続部に取り付けた状態にし、当該部がそれ 警告 ぞれ、機器および排出ラインに適切に接続されるまで、ポンプの電源をオ ンにしないでください。 設置中は、吸引フランジが真空チャンバーに接続され、排出接続部が閉じ 警告 ていないかに最大の注意を払ってください（次図を参照してください）。 ポンプは、コンプレッサとして使用しないでください。 以上の注意事項を順守しない場合、機械とオペレータに危険が及ぶ可能性 があります。 吸入フランジ 排出接続部 図 17 フランジと接続部 MS40-S User Manual...

  • Seite 158: セットアップ

    取扱説明書 お使いの電源の主電圧と周波数がデータプレートに記載のレンジに対応してい 注意 るかをチェックしてください。 ポンプを電源装置に接続します。 ポンプは、ライン電圧を干渉しやすいように設置してください。 警告 ポンプは、同ポンプに付属のメインケーブルとあわせて使用してください（アク セサリとしても利用可）。 セットアップ ポンプは、起動する前に、オイルレベルをチェックしてください。 他の操作をする場合は、その前に、吸引・排出接続部の保護キャップを外 警告 してください。偶発的に起動した場合、ポンプ内の空気が暴発して保護キ ャップを押し上げ、オペレータが怪我をする場合があります。 MS40-S 取付 ポンプを正しく設置する手順は以下のとおりです。 ポンプを地面に置く。このタイプの設置については、特に手順はありませ  ん。ただし、床面（最適なのはコンクリート床）はできるかぎり平らで、ポ ンプ重量およびその上に取り付けたアクセサリへの耐用に適している必要が あります。ポンプが基台上で安定していること、床面にボルトとネジで固定 MS40-S User Manual...

  • Seite 159: 吸入・排出接続部への接続

    取扱説明書 する必要がないこと、およびゴム脚部を使用すると、ポンプへの振動および ポンプからの振動が大幅に抑えらえることに留意してください。 地面から離して置く。この場合、ユーザーは、適切な支持構造物を設計し、  次のポイントに注意してください。 ポンプを支える面が完全に水平でなければならないこと。  構造物の強度が十分頑丈であること。  関連する安全上に注意事項を適用すること。  ポンプは、ゴム脚部を、ポンプ台と支持面にネジ留めが必要な特殊振動防止脚部 に交換した後、支持構造物に取り付ける必要がありますので、注意してくださ い。 ポンプ梱包ケースから取り出した後、下記項目をチェックすることをお勧めしま す。 出荷後、ポンプに破損がないかの確認。 覆いがない、または緩んだ部品がないかのチェック。 吸入・排出接続部への接続。 両ポートからの保護キャップの取外し。OR 付きセンタリングリングとクランプ フランジを使用した、吸入フランジから排出するシステムの接続。 高信頼のシーリング保証がある場合は、NBR または FKM に OR ガスケットを使 注記 用します。 吸入ダクトには囲込みフィルターが付き、固体部がポンプに侵入して破損するの を防止します。 MS40-S User Manual...
  • Seite 160 取扱説明書 吸い出す気体に埃が含まれている場合、吸入フランジ前に埃フィルターを差し 注記 込むことをお勧めします。 吸い出す気体に多量の蒸気が含まれている場合、吸入フランジ前に、凝縮セパ 注記 レータを入れることをお勧めします。 ポンプ機能を最大限活用するには、直径が吸入フランジより小さくない、短い、 直線パイプのみを使用します。 硬質パイプを使用する場合は、ポンプの接続部が不当に加圧されないように、 注記 フレキシブルな接合部を使用するのがよいでしょう。 排気ガスは、排出ポートから専用パイプに接続して、外部に取り出してくださ い。 内部オイルミストエリミネーターは、ポンプ作動中の排出ダクトにあるオイル 注記 により、周囲大気内の汚染を防ぎます。 ポンプの排出ラインは絶対塞がないでください。ケースが過剰に加圧される原 注意 因となり、オイルタンクが破損するおそれがあります。 MS40-S User Manual...

  • Seite 161: Ms40-S の起動と稼働

    取扱説明書 MS40-S の起動と稼働 電源スイッチを起動すると、短い自己点検フェーズに続き、ポンプが自動的に始 動します。停止するには、スイッチをオフにしてください。また、ポンプの始動 と停止は、RS232/485 シリアル通信で常時提供される適切なコマンドを使用し て、シリアルモードに設定後、シリアル通信からリモート管理できます。 ポンプは、慣性または非侵蝕性液体で作動するように設計されています。 警告 爆発性または引火性物質の可能性があるものの使用は厳禁です。 ポンプを冷温オイルで起動した場合、初回は通常以上のノイズが発生します 注記 が、この状態が継続するのは。ポンプが作動温度になるまでの数分程度です。 ファンは、一定温度でのみ作動します。 注記 工場での稼働サイクル完了後にお客様に配送されるポンプは、通常作動について は特段手順はありません。 途中短い間隔をあけ、作業サイクルを繰り返す場合、ポンプは停止しないほう 注記 がよいでしょう。 MS40-S User Manual...

  • Seite 162: Ms40-S の停止

    取扱説明書 MS40-S の停止 ポンプをオフにする特別の手順はありません。ポンプをオフにするには、主電源 スイッチを使用します。主電源スイッチをオフにした状態で初めて、電源装置を メインケーブルから外します。 メンテナンス ポンプ操作およびメンテナンス担当要員は十全な訓練を受け、事故防止規則を認 識している必要があります。 高電圧に接触すると、死に至る場合があります。常に特別な注意の上、有 警告 効な事故防止規制を順守してください。 機械に通電したら、可動部と高電圧に注意してください。 警告 長時間稼働した後でポンプのメンテナンスが必要な場合は、外面の温度が 警告 60 °C を超えている場合があるため、そのまま置いて温度を下げてくださ い。 MS40-S User Manual...
  • Seite 163 取扱説明書 メンテナンス作業を開始する場合は、その前に必ず、ポンプを電源装置を 警告 外してください。電源装置ブレーカースイッチ上には、特別警告記号を貼 付してください。機械メンテナンス中 - 電源をオンにしないでください。 終了したら、安全警告を外します。 オイル温度がまだ高い場合があるため、機械の停止直後は、オイル交換を 警告 行わないでください。 ポンプを修理のため製作者に返却する場合は、その前に、本説明書に付属の 注記 「Request for return」 シートに記入し、地域の販売事務所に送付してください。出荷前に、ポンプパ ッケージのシートのコピーを挿入してください。 ポンプをスクラップにする場合は、各国の規定にしたがって処分してください。 MS40-S User Manual...
  • Seite 164 取扱説明書 予約メンテナンス: 公称操作状態の維持。  表 6 オイルレベルチェック 日次 (毎始動前) オイル交換 8.000 時間 (軽度用途) サックバック防止バルブのチェック 6 ヵ月 ファンカバーの清掃 6 ヵ月 予約なしメンテナンス: 公称作動状態の復元。  排出部のオイルミストの場合、または年1回排出フィルター交換。 修理実施回数は、ポンプ寿命を縮めるプロセスと物質の有無によって異なりま 注記 す（埃、研磨物、溶剤、水、化学浸襲性物質）。 AVF プラチナオイルのみ使用。想定以外のオイルを使用すると、ポンプ性能が変 更され、ポンプが破損する可能性があり、いずれも場合も、保証は無効になりま す。 MS40-S User Manual...
  • Seite 165 ポンプが適切に作動しているかを気にする。  ポンプの作動中、異常な点をメモし、適切なところで、必要な措置を講じ  る。 正規の予備品を使用する。発生する問題のすべて、および予備品の注文は、当社 サービス部までお問い合わせください。 Agilent Technologies Italia S.p.A. 真空製品部門 Via F.lli Varian 54 10040 Leini, (Torino) – Italy 電話: +39 011 997 9111 Fax: +39 011 997 9350 フリーコール: 00 800 234 234 00 MS40-S オイル交換およびフィルターカートリッジ交換の正しい手順は、 「Technical Information」セクションに記載してあります。...
  • Seite 166 取扱説明書 処分 ラベルに記載の "WEEE" ロゴの意味。 下記の記号は、EC WEEE (電気電子機器廃棄物) 指令にしたがって適用されま す。 この記号 (EC 諸国内のみで有効) は、この記号が適用される製品は、通常の家 庭ゴミとあわせて処分してはいけないこと、また個別廃棄物回収システムに送付 しなければならないことを表します。そのため、エンドユーザーは、親会社か小 売業者かに関係なく、当該機器のサプライヤに連絡の上、契約上の販売条件の確 認後、回収および処分プロセスを開始することが求められます。 図 18 ロゴ "WEEE" 詳細は、下記サイトを参照してください。 http://www.agilent.com/environment/product/index.shtml MS40-S User Manual...

  • Seite 167: サービス

    取扱説明書 サービス お客様が最新交換サービスまたは修理サービスが必要な場合は、現地代理店もし くは下記まで直接ご連絡ください： vpt-customercare@agilent.com vpl-customercare@agilent.com 返品フォームの申請の完了には、サービス提供のためにお客様のポンプをアジレ ント・テクノロジー株式会社へ返送する必要があります。（ このマニュアルの 最後に提供されています）。 MS40-S User Manual...
  • Seite 168 取扱説明書 MS40-S User Manual...

  • Seite 169: Instructions For Use

    Safety guideline for rotary vane pumps Transport & Storage Product description Installation Preparation for installation Installation Set-up MS40-S mounting Connections to the inlet and exhaust connections Starting and running the MS40-S Stop of MS40-S Maintenance Cleaning Disposal MS40-S User Manual...

  • Seite 170: About This Manual

    Service About this manual Validity This manual lists the instructions for the users of the MS40-S, with particular reference to the notions relating to safety, operation and first level maintenance, limited to maintenance operations for which the user is responsible.

  • Seite 171: Definitions And Terminology

    Caution messages are displayed before procedures which, if not observed, could CAUTION cause damage to the equipment. Notes are intended to call attention to important information and provide more NOTE detail regarding specific steps. MS40-S User Manual...

  • Seite 172: Warning Symbols

    Warning Symbols The following is a list of symbols that appear in conjunction with warnings on the MS40-S. The hazard they describe is also shown. A triangular symbol indicates a warning. The meanings of the symbols that may appear alongside warnings in the documentation are as follows:...
  • Seite 173 The following symbols appear on the instrument for your information. Power ON Power OFF Oil bottle Weight Production date Dangerous voltages Hot surfaces Generic hazard CE certification CSA certification RoHS China certification Waste Electrical and Electronic Equipment MS40-S User Manual...

  • Seite 174: Safety

    Agilent Technologies declines all responsibility for damage to the machine or for the physical safety of the operator or third parties deriving from the non-observance of the safety rules indicated in the technical documentation.

  • Seite 175: Improper Use

    Instructions for Use Improper use Agilent Technologies declines all responsibility, deriving from the improper use of the MS40-S. Improper use will cause all claims for liability and warranties to be forfeited. Personnel responsible for pump operation and maintenance must be well-trained and must be aware of the accident prevention rules.

  • Seite 176: Warning Notes

    Check that the insulating material of the cables and that the conductors of the test equipment do not show any signs of damage. Do not replace the oil immediately after stopping the machine as the oil may  still be at high temperature. MS40-S User Manual...

  • Seite 177: Caution Notes

    Furthermore, it must comply with the safety requirements of the legislation in force in the country in which the machine is used. In general, the operator must wear accident-prevention shoes while handling the MS40-S and during installation. MS40-S User Manual...
  • Seite 178 • Carry small and mid-size vacuum pumps two-handed. • Any equipment heavier than 20 kg should be transported using a suitable lifting device. • Wear safety shoes with steel toe cap according to directive EN 347. MS40-S User Manual...

  • Seite 179: Safety Guideline For Rotary Vane Pumps

    60 °C. To avoid damage to equipment and to prevent injuries to operating WARNING personnel the installation instructions as given in this manual should be strictly followed! MS40-S User Manual...

  • Seite 180: Transport & Storage

    The MS40-S are single-stage, rotary vane pumps oil sealed, controlled by an electronic unit. Detailed information is supplied in the "Technical Information" section.

  • Seite 181: Installation

    The pump is provided with some standard accessories: NOTE • 1 p pins "SUB-D" connector for RS232 (male) • mains supply cord. MS40-S User Manual...

  • Seite 182: Installation

    Instructions for Use Figure 19 MS40-S packaging Installation Do not install or use the pump in an environment exposed to atmospheric agents (rain, snow, ice), dust, aggressive gases, or in explosive environments or those with a high fire risk. During operation, the following environmental conditions must be respected: temperature: from +12 °C to +40 °C...
  • Seite 183 (see the following figure). The pump must not be used as a compressor. Non-observance of these precautions may be dangerous for the machine and the operator. Inlet flange Exhaust connection Figure 20 Flanges and connection MS40-S User Manual...

  • Seite 184: Set-Up

    Pump laid on the ground. There are no special instructions for this type of  installation, except that the floor should be as flat as possible and suited to bear the weight of the pump (it should ideally be a concrete floor) and of any MS40-S User Manual...

  • Seite 185: Connections To The Inlet And Exhaust Connections

    OR and a clamp flange. For guaranteed reliable sealing, use an OR gasket in NBR or FKM. NOTE The inlet duct is equipped with a sieve filter preventing solid parts from entering and damaging the pump. MS40-S User Manual...
  • Seite 186 An internal oil mist eliminator avoids pollution of the surrounding atmosphere by NOTE the oil present in the exhaust duct during pump operation. Never block the pump exhaust line. This would cause overpressure in the casing CAUTION with the risk of breaking the oil tank. MS40-S User Manual...

  • Seite 187: Starting And Running The Ms40-S

    Instructions for Use Starting and running the MS40-S By activating the power switch, after a short self-test phase, the pump starts automatically. To stop it, the switch must be turned off. Alternatively, the start and stop of the pump can be managed remotely via serial communication after setting in SERIAL mode by means of a suitable command to be always provided via RS232/485 serial communication.

  • Seite 188: Stop Of Ms40-S

    Instructions for Use Stop of MS40-S There are no special procedures for switching the pump off; to switch the pump off, act on the mains switch. Disconnect the mains cable from the power supply only with the mains switch off.
  • Seite 189 A copy of the sheet must be inserted in the pump package before shipping. If a pump is to be scrapped, it must be disposed of in accordance with the specific national standards. MS40-S User Manual...
  • Seite 190 (dust, abrasives, solvents, water, chemically aggressive substances). Use only AVF Platinum oil. The use of oils other than the one foreseen alters the pump performance, could damage the pump and in any case invalidate the warranty. MS40-S User Manual...

  • Seite 191: Cleaning

    10040 Leini, (Torino) – Italy Tel.: +39 011 997 9111 Fax: +39 011 997 9350 Toll-Free: 00 800 234 234 00 The correct procedures for MS40-S Oil Change and Filter Cartridge Replacement are described in “Technical Information” section. Cleaning Do not clean with Alcohol the plastic or rubber components of the pump.

  • Seite 192: Disposal

    Parent Company or a retailer, to initiate the collection and disposal process after checking the contractual terms and conditions of sale. Figure 21 Logo "WEEE" For more information refer to: http://www.agilent.com/environment/product/index.shtml MS40-S User Manual...

  • Seite 193: Service

    Should a customer need an advanced exchange or repair service, please contact local distributor or directly mail to vpt-customercare@agilent.com vpl-customercare@agilent.com Completion of the “Request for Return” form is required to return your pump to Agilent for service (provided at the end of this manual). MS40-S User Manual...
  • Seite 194 Instructions for Use MS40-S User Manual...

  • Seite 195: Technical Information

    Technical Information Technical Information Description of the MS40-S Vacuum Seals Anti-Suckback Device Technical specification MS40-S outline Pump operations Mains Connection Oil and Filter Cartridge Replacement Procedures Oil Change Procedure Filter Cartridge Replacement Procedure Lubricants AVF Platinum Oil Description Controller Operations Interconnections J1 –...
  • Seite 196 Technical Information Window Meanings Error codes Accessories and Spare Parts MS40-S User Manual...

  • Seite 197: Description Of The Ms40-S

    Technical Information Description of the MS40-S The MS40-S Single Stage Rotary Vane Pumps are rotary vane pumps oil sealed, driven by an electrical motor. Figure 22 X3705-64000 This vacuum pump is suitable for pumping non corrosive gases. The main features are: all parts in direct contact with the fluid pumped are free of copper alloys;...

  • Seite 198: Anti-Suckback Device

    (oil  and/or air). Thanks to this, when the pump is started again, the pumpdown to vacuum conditions is extremely fast as these contaminants are not present and no degassing is therefore required. MS40-S User Manual...

  • Seite 199: Technical Specification

    Technical Information Technical specification The following table lists the main technical data of the MS40-S Single Stage Rotary Vane Pumps. Table 8 Technical data Technical data UNITS X3705-64000 Pumping speed (at 5 mbar inlet pressure) 1200 Ultimate total pressure mbar...

  • Seite 200: Ms40-S Outline

    The following figures shows the pumps layout and dimensions: Electronic controller Electric motor Inlet flange Air filter Pumping block Exhaust connection Oil level indicator Figure 23 MS40-S Single Stage Rotary Vane Pumps layout Figure 24 MS40-S Single Stage Rotary Vane Pumps dimensions MS40-S User Manual...

  • Seite 201: Mains Connection

    Oil Change Procedure Remove the inlet and outlet pipes before opening the oil drain valve. WARNING Place a tank for waste oil under the oil drain plug. Oil drain valve Fill oil cap Figure 25 Oil Change MS40-S User Manual...

  • Seite 202: Filter Cartridge Replacement Procedure

    Unscrew the cap rotating it anti-clockwise, by hand or socket wrench with size 19 mm. Pull out the cartridge filter. Exhaust Cap Cartridge Filter P/N 9499201 Figure 26 Filter Cartridge Replacement Insert new cartridge filter and double check it is in the right position (inserted in the appropriate hole). MS40-S User Manual...

  • Seite 203: Lubricants

    Tighten the cap rotating clockwise, by hand or socket wrench with size 19 mm. Lubricants It will be readily understood how important adequate lubrication is to high technology pumps like the Agilent vacuum pumps. Correct use of appropriate lubricants makes a significant contribution to achieving best performance and warding off defects.
  • Seite 204 Technical Information The recommended lubricating oil is the Agilent AVF Platinum oil. The AVF Platinum oil is a general-purpose mechanical pump fluid specifically engineered to provide superior performance in high speed direct drive mechanical pumps. AVF Platinum is formulated using premium polyalphaolefin (PAO) synthetic base fluid, coupled with an unparalleled high-performance additive package.

  • Seite 205: Avf Platinum Oil Description

    21 % or pure oxygen, this should cause: Oxidation of the oil and thus the loss of its lubricating properties, with serious  damage to the pump itself; Formation of conditions favorable to explosion in the pump tank.  MS40-S User Manual...

  • Seite 206: Controller Operations

    Technical Information Controller Operations Interconnections The following figure shows the MS40-S electrical interconnections and controls. 2. USB 1. J1 Serial 3. Mains 5. Main switch 4.. Status LED Figure 28 Electrical interconnections and controls RS232/485 Serial communication port connector. USB port connector (for Service only).

  • Seite 207: J1 - Serial Port

    The RS-485 is a 2-wire (gnd optional) half-duplex communication link. NOTE Operational Limits Table 11 Operational limits INPUT VOLTAGE (V) CONTROLLER STATUS 200 – 264 Operative with full performance 180 – 200 Operative with reduced performance < 180 or > 264 Non operative condition MS40-S User Manual...

  • Seite 208: Status Led

    Rotor Lock Test During the power operation, the rotational frequency is checked continuously. If the rotor remains still for more than about 60 sec. the pump status is changed to “Fail”. Rotor Blocked Error. MS40-S User Manual...

  • Seite 209: Technical Specifications

    EN61000-4-5 EN61000-3-2 RF EN61000-4-6 EN61000-3-3 EN61000-4-8 ESD EN61000-4-2 EN61000-4-11 EN61000-4-3 EN61010-1 EN6100-4-4 CSA mark:  EN61010-1, Installation category II, pollution degree 2  Use the Retention Spring to secure the mains cable to the Mains socket. NOTE MS40-S User Manual...

  • Seite 210: Error Messages

    Host = MASTER  Controller = SLAVE  The communication is performed in the following way: the host (MASTER) send a MESSAGE + CRC to the controller (SLAVE); the controller answer with an ANSWER + CRC to the host. MS40-S User Manual...
  • Seite 211 The addressed SLAVE will respond with an ANSWER whose structure depends from the MESSAGE type. When the MESSAGE is a reading command, the SLAVE will respond transmitting a string with the same structure of the MESSAGE. The controller can answer with the following response types: MS40-S User Manual...

  • Seite 212: Example

    Using the RS 485 interface, the message structure remains identical to the one NOTE used for the RS 232 interface, the only difference being that the value assigned to the ADDRESS <ADDR> Example Command: START Source: PC Destination: Pump ADDR WINDOW Source: Pump Destination: PC MS40-S User Manual...
  • Seite 213 Destination: Pump ADDR WINDOW Source: Pump Destination: PC ADDR Command: READ PUMP STATUS Source: PC Destination: Pump (with address = 3) ADDR WINDOW Source: Pump (with address = 3 in stop status) Destination: PC ADDR WINDOW DATA (STATUS) MS40-S User Manual...

  • Seite 214: Window Meanings

    CYCLE NUMBER PUMP LIFE [h] PUMP LIFE IN STAND BY (STOP STATUS) [h] CONTROLLER MODEL NUMBER PUMP MODEL NUMBER PUMP SPECIAL MODEL NUMBER PUMP SERIAL NUMBER CONTROLLER SERIAL NUMBER MAINTENACE TIMER [hours] LAST WORKING HOUR TEMPERATURE AVERAGE [°C] MS40-S User Manual...

  • Seite 215: Error Codes

     2: internal error (internal DC-Bus Undervoltage)  1: motor overcurrent  If more than one error occurs at the same time, the error code displayed will be the sum of the codes of the individual errors. MS40-S User Manual...

  • Seite 216: Accessories And Spare Parts

    Technical Information Accessories and Spare Parts Table 17 Accessories and spare parts DESCRIPTOIN PART NUMBER MS40-S Exhaust filter G1960-80039 MS40-S 1 Quart Oil bottle X3760-64004 Maintenance kit 9499203 Power cable EU 9499396 208Vac US Power cable 9499400 Power cable UK...
  • Seite 222 The manual describes the following: Istruzioni per l’uso  Bedienungshandbuch  Notice de mode d’emploi  Manual de istrucciones  用户手册  ユーザーマニュアル  Instruction for Use  Technical information  www.agilent.com © Agilent Technologies, Inc. 2020 Edition A.00, 07/20 *X3705-90000* X3705-90000...

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