セットアップ - Agilent VacIon Plus 800 Bedienungsanleitung

取扱説明書
高電圧ケーブル
図 26
セットアップ
主要なフランジボルトを緩め、ブランクフランジを持ち上げます。 フランジを損
傷することなく、再利用してはならない銅製ガスケットプレートを取り外します。
図 27
168
VacIon ポンプ
標準的な設備
標準
真空チェンバー
バルブ
高電圧ケーブル
Agilent VacIon Plus 800 User Manual
熱電対真空計
ターボ分子ポンプ
主要（スクロール）ポ
プ
イオンポンプコントローラー