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Tabelle 3: Informationen zur Installation
Produkt:
PG550
PG550-MAN
PG2400 (VMM4)
PG2400 (VMM8)
PG2400-MAN
PG11000
PG11000-MAN
1. VORBEREITUNG DES STANDORTS
• Bei der Arbeit mit Komponenten, die Kontakt mit Betriebs-oder Spülgasen
haben (z.B. Dichtungsanschlüsse) sind stets neue, saubere Latexhandschuhe
zu tragen, um Kontamination durch Fingerabdrücke vorzubeugen.
• Prüfen Sie vor dem Zusammenbau alle Dichtungsflächen der
Dichtungsanschlüsse auf Schmutz, Kratzer, Beulen, Lochfraß oder Korrosion.
Vor Montage sind alle betroffenen Anschlüsse zu reinigen oder zu ersetzen.
• Führen Sie eine Helium-Dichtheitsprüfung aller betroffenen Betriebsgasan-
schlüsse durch, um zu gewährleisten, dass das System vor der Installation
der Reinigungsanlage keine Lecks aufweist. Sie können für diesen Test statt
dem Reiniger ein Zwischenstück mit entsprechenden Endanschlüssen
verwenden. Wenn der Dichtheitstest nicht bestanden wurde, suchen Sie nach
dem Leck, reparieren es und wiederholen den Test. Die Verfahren zur
Dichtheitsprüfung finden Sie in SEMI F1, ASTM E 498 bzw. ASTM E 499.
• Vor Installation der Reinigungsanlage, alle Schläuche, Anschlüsse und
Komponenten in der Installationszone mit inertem Gas (Stickstoff oder Argon)
ausspülen.
Mindestflussrat
e des Spülgases:
2 slpm (4,2 scfh)
2 slpm (4,2 scfh)
5 slpm (10,6 scfh)
10 slpm (21,2 scfh)
10 slpm (21,2 scfh)
10 slpm (21,2 scfh)
10 slpm (21,2 scfh)
Erforderliche Werkzeuge für die
Installation:
0,625" and 0,75" Gabelschlüssel
0,625" and 0,75" Gabelschlüssel
Zwei 0,75" Gabelschlüssel
0,9375" and 1,0625" Gabelschlüssel
0,9375" and 1,0625" Gabelschlüssel
0,9375" and 1,0625" Gabelschlüssel
0,9375" and 1,0625" Gabelschlüssel
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