Verwandte Anleitungen für Pall Gaskleen PG550 REINIGER
Inhaltszusammenfassung für Pall Gaskleen PG550 REINIGER
- Seite 1 PALL GASKLEEN ® MASSENGASREINIGUN GSANLAGEN Mit AresKleen Reinigungsmaterial PG550 PG550-MAN PG2400 PG2400-MAN PG11000 PG11000-MAN ANLEITUNG ZUR INSTALLATION/ ERSATZTEILAUSTAUSCH Version F: März 2014...
- Seite 2 Unterbrechung des Betriebsverfahrens ausgetauscht werden. Bitte lesen Sie sich die Anleitung sorgfältig durch. Sollten Sie Fragen haben, so sollten diese vor der Installation eines Reinigungssystems geklärt werden. Kontaktieren Sie den technischen Support von Pall Corporation SLS Global. Pall Gaskleen ®...
- Seite 3 Tabelle: Hardware Produkt: Endanschlüsse Abmessungen: Design Flussrate Gehäuse und maxim Reinigers: maximale Zulässiger Betriebs-Druck (MAWP): PG550 Durchm. = 0,25” Fest 75 slpm (2,65 scfm) 3,00” (76 mm) Dichtung mit 500 psig (3,45 MPa) Länge = Außengewinde* 7,94” (202 mm) PG550-MAN** Durchm.
- Seite 4 Pall Gaskleen ® Massenreinigungssyseme verbessern und erhalten die Reinheit bestimmter Betriebsgase bzw. Gasgemische, die bei der Herstellung von Halbleitern und anderen reinheitsabhängigen Anwen- dungen verwendet werden. Entnehmen Sie die Leistungsangaben den Datenblättern der Reiniger. WICHTIG: Wird diese Anlage mit Gasen verwendet, für die sie nicht vorgese- hen ist, können gefährliche Bedingungen entstehen.
- Seite 5 CDAP: Luft (CDA) HBRP: Bromwasserstoff (HBr) * Kontaktieren Sie die Pall Corporation SLS für technische Hilfe. ACHTUNG: Reinigungsanlagen werden unter 5 – 15 psig Argondruck versendet. Tragen Sie beim Entfernen der Schutzkappen stets eine Schutzbrille. WARNHINWEISE: • Hohe Konzentrationen von Luft oder Wasser mit dem Reinigungsmaterial kann zu folgenden Reaktionen führen:...
- Seite 6 • Lassen Sie keine gefährlichen Gase in das Reinigungssystem oder die dazugehörigen Rohre gelangen, bis ein Dichtheitstest bestätigt, dass es betriebsbereit ist (siehe Schritt 12 in dieser Installationsanweisung). Die Pall Corporation übernimmt keine Haftung für Schäden oder Verletzungen aufgrund unsachgemäßer Installation oder falschen Betriebs der Gaskleen ®...
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Seite 7: Installationsverfahren
Abbildung 1: Fluss-Schema Das o.g. Schema zeigt einen Vorschlag zur Rohranbringung für den Pall Gaskleen ® Massengasreiniger oder Pall Gaskleen ® Massengasreiniger mit Bypass-Verteiler. Die Modelle PG550 und PG2400 werden ohne Absperrventile geliefert. Das Modell PG11000 wird mit Absperrventilen auf einer Schalttafel montiert geliefert. -
Seite 8: Hinweise Für Installation Und Sicherheit
Unternehmen verwendet werden, sollten dem betroffenen Personal zur Bezugnahme zur Verfügung stehen. Diese Datenblätter können Sie bei den Gaslieferanten und der Pall Corporation beziehen. • Bei möglichem Überdruck muss ein Gasdruckregler vorgeschaltet und eine Druckentlastungseinrichtung installiert werden (d.h. Druckstoß über MAWP der Anlage hinaus). -
Seite 9: Vorbereitung Des Standorts
Tabelle 3: Informationen zur Installation Produkt: Mindestflussrat Erforderliche Werkzeuge für die e des Spülgases: Installation: PG550 2 slpm (4,2 scfh) 0,625" and 0,75" Gabelschlüssel PG550-MAN 2 slpm (4,2 scfh) 0,625" and 0,75" Gabelschlüssel PG2400 (VMM4) 5 slpm (10,6 scfh) Zwei 0,75" Gabelschlüssel PG2400 (VMM8) 10 slpm (21,2 scfh) 0,9375"... -
Seite 10: Installation Der Reinigungsanlage
Die meisten Reinigungsanlagen sind nicht für die Installation im Freien vorgesehen, Massenreiniger werden jedoch oft im Freien montiert. Kontaktieren Sie den technischen Support von Pall Corporation SLS. • Damit die Betriebsgasleitung direkt gespült werden kann, empfehlen wir, dass der Nutzer ein Bypassventil mit den entsprechenden Rohren anbringt. - Seite 11 7. Öffnen Sie beim PG11000 das Einlassventil langsam. Lassen Sie die Reini- gungsanlage mit aufwärts fließendem Gasdruck ins Gleichgewicht kommen, indem Sie das Spülgas in die Einheit einleiten (Pall empfiehlt, den Spülgas- druck zwischen 30-60 PSIg, 0,21 - 0,41 MPa einzustellen). MAWP darf für...
- Seite 12 lassventil, sobald das Gleichgewicht hergestellt ist (dies kann bis zu 10 Minuten dauern). 8. Entfernen Sie die Schutzkappe vom Ausgangsende der Reinigungsanlage. 9. Wenn am Ausgang der Einheit kein Spülgasfluss erkannt wird, erhöhen Sie den Gasdruck oder die Flussrate, bis Gas gemessen wird (öffnen Sie das Ausgangsventil beim PG11000 etwas mehr, um den Gasfluss einzuleiten).
- Seite 13 11. Öffnen Sie zuerst das Einlassventil am Verteiler und dann das Einlassventil am Reiniger. Lassen Sie die Reinigungsanlage mit aufwärts fließendem Gasdruck ins Gleichgewicht kommen, indem Sie das Spülgas in die Einheit einleiten (Pall empfiehlt, den Spülgasdruck zwischen 30-60 PSIg, 0,21 - 0,41 MPa...
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Seite 14: Dichtheitstest Mit Helium
4. Führen Sie den Heliumlecktest mit Hilfe einer Schnüffelsonde an den Ein- und Auslassdichtanschlüssen des Reinigers durch. 5. Sollten Sie ein Leck feststellen, kontaktieren Sie den technischen Hilfsdienst der Pall Corporation SLS. Nehmen Sie keine Reparaturen am Reiniger oder den Ventilen im Bausatz durch. 6. Schließen Sie das Absperrventil am Reiniger. - Seite 15 Ein- und Auslassdichtungsanschlüssen der Ventile durch. 5. Sollten Sie ein Leck feststellen, kontaktieren Sie den technischen Hilfsdienst der Pall Corporation SLS. Nehmen Sie keine Reparaturen am Reiniger oder den Ventilen im Bausatz durch. 6. Schließen Sie das Bypassventil und öffnen dann die vor- und nachgeschal- teten Absperrventile am Reiniger.
- Seite 16 -werkzeuge zu vermeiden, sollten Abgase, die beim Konditionieren aus dem Reiniger austreten, in einen angemessenen Gaswäscher geleitet werden. Sollten bei der Konditionierung Fragen auftreten, unterbrechen Sie den Betriebsgasfluss umgehend, indem Sie die Ein- und Ausgangsventile am Reiniger schließen und kontaktieren den technischen Hilfsdienst der Pall Corporation SLS.
- Seite 17 Empfehlungen an Pall. • Setzen Sie das zuvor konditionierte Reinigungsmaterial KEINEM Vakuum aus. Wenn das Reinigungsmaterial einem Vakuum ausgesetzt wird, können auf dem Reinigungsmaterial physikalisch adsorbierten, gefährliche Gase freigesetzt werden. Wenn der Reiniger Unterdruck aufweist, kontaktieren Sie den technischen Hilfsdienst von Pall.
- Seite 18 T Minuten = V/((A%/100) F) Wählen Sie entsprechende Gasgruppe nach aktivem Inhaltstoff aus (siehe folgende Seiten). Im Allgemeinen ist der aktive Inhaltstoff das in der Teilenummer des Reinigers angegebene vorgesehene Betriebsgas. Kontaktieren Sie die Pall Corporation SLS für technische Hilfe.
- Seite 19 (77,7 ft (116,5 ft (23,30 ft (105,9 scfh) (10,6 scfh) 11 liters (0,39 ft Hinweis: Kontaktieren Sie den technischen Hilfsdienst der Pall Corporation SLS zum Konditionieren von Gaskleen ® Reinigern, wenn Gase verwendet werden, die nicht nachstehend aufgeführt sind. WARNUNG: Ein Reiniger, der für ein bestimmtes Betriebsgas konditioniert wurde,...
- Seite 20 Gehäuse angebracht. Bei der normalen Konditionierung für den Service in HCl, HBr oder CDA, kann die Temperatur des Reinigers hoch genug ansteigen, um die Anzeige schwarz zu färben. Daher empfiehlt Pall, die Anzeige erst nach der Konditionierung am Reiniger anzubringen.
- Seite 21 und überprüfen, dass der Inhalt von Gaszylinder / Gasquelle mit dem für den Reiniger vorgesehenen Betriebsgas übereinstimmen (gemäß Produktteilenr.). Wenn keine Lecks gefunden wurden und der Zylinderinhalt stimmt, fahren Sie mit der Konditionierung fort. Gruppe II: Für Luft, O O, NH , CO , und SO Entnehmen Sie das Mindestvolumen des Betriebsgases, das durch den Reiniger...
- Seite 22 Hinweis: Die Oberflächentemperatur des Reinigers fühlt sich beim Kondi- tionieren warm an. Wir der Reiniger heiß, führen Sie die Konditionierung fort indem Sie die Gasflussrate reduzieren oder ein inertes Gas einführen, um eine verdünnte Mischung herzustellen, bis die Temperatur absinkt. Dann gehen Sie wieder zu den vorherigen Konditionierungsparametern über.
- Seite 23 Nach Abschluss der Konditionierung mit verdünntem Gasgemisch wiederholen Sie den Vorgang mit der tatsächlichen Betriebsgaskonzentration für weitere 200 – 300 Bettvolumen (Produktspalte). Wenn die Verwendung einer verdünnten Mischung nicht möglich ist, verwenden Sie die tatsächliche Betriebsgaskonzen- tration mit einer reduzierten Flussrate (10% des Wertes in Spalte D). Beispiel: Konditionieren Sie einen Gaskleen ®...
- Seite 24 Es können für einige Zeit nach der Konditionierung Argonspuren im Abgas vorhanden sein. Stellen Sie nach Abschluss der o.g. Konditionierungsverfahren sicher, dass das Typenschild auf dem Reiniger mit dem verwendeten Betriebsgas übereinstimmt und spülen Sie alle Leitungen und Anlagen durch. Der Pall Gaskleen ® Massengasreiniger ist jetzt betriebsbereit.
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Seite 25: Nachkonditionierung
6. NACHKONDITIONIERUNG 1. Wenn der Reiniger mit einem Betriebsgas konditioniert wurde, muss der mit diesem Gas beaufschlagt werden. Wenn das Betriebsgas hinterher mit einem inerten Gas gespült wird, ist vor der Wiederverwendung eine weitere Konditionierung mit demselben Betriebsgas erforderlich. 2. Eine Konditionierung ist möglicherweise auch dann erforderlich, wenn das Betriebsgasgemisch mit einer Gasmischung anderer Konzentration ersetzt wird. -
Seite 26: Betrieb
2. Evakuieren Sie das gesamte Personal aus dem Bereich. Fehlfunktion. Sollten Sie eine Fehlfunktion vermuten, brechen Sie den Betrieb der Anlage umgehend ab und benachrichtigen dann die Pall Corporation SLS. Betreiben Sie keine Anlagen, die nicht vollständig repariert und getestet wurden. -
Seite 27: Wartung
Sollten Sie Zweifel haben, ob ein in Betracht gezogenes Spülprotokoll angemessen ist, oder wenn Sie Rat bzgl. der Anforderungen an die Spülanlage benötigen, kontaktieren Sie den technischen Support der Pall Corporation SLS GEFAHR! REINIGUNGSMATERIALBETTEN, DIE MIT GEFÄHRLICHEN GASEN IN KONTAKT GEKOMMEN SIND, MÜSSEN VOR DEM ABTRENNEN ANGEMESSEN GESPÜLT WERDEN... - Seite 28 Spülen Sie hierfür den Reiniger je nach Typ mit der Mindestmenge inerten Gases (nachstehend angegeben). Überwachen Sie die Abgase, um festzustellen, wann die Konditionen für die Entfernung des Reinigers sicher sind. Gaskleen ® PG550 Reiniger: Mindestens 1.200 Liter (42,4 ft3) inertes Spülgas Gaskleen ®...
- Seite 29 aufgeführt wurden, sollten mindestens mit dem Mindestvolumen des o.g. inerten Gases für den einschlägigen, zu spülenden Bausatz gesäubert werden (Ausnahmen sind SiH , Si H , SiH CH und SiH(CH ), die mit geleitet wird und NICHT in das Betriebswerkzeug. •...
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Seite 30: Fehlerbehebung
trationen nicht auf OSHA TWA Standards gereinigt werden können, muss der Reiniger so lange gespült werden, bis die Konzentration der gefährlichen/giftigen Gase unter den nach OSHA zulässigen Konzentrationshöchstwerten (TLV) liegt. Stellen Sie sicher, dass die Konzentration gefährlicher/toxischer Gase unter dem NIOSH IDLH für das Gas liegt. - Seite 31 Die Reinigungsanlagen sind mit einer Übertemperaturanzeige ausgestattet, die beim normalen Betrieb überprüft werden sollte. Wenn sich die Anzeige schwarz verfärbt, wenden Sie sich an den technischen Support von Pall Corporation SLS. Mögliche Ursachen: • Leck oder Kontamination der Anlage nach dem Reiniger.
- Seite 32 Reinigungsmaterial aufgefüllt werden (nicht für alle vorgesehenen Gastypen verfügbar). Kontaktieren Sie den technischen Support von Pall Corporation Microelectronics. Bei allen Pall Reinigern, die Teil eines Verteilersatzes sind (PG2400-MAN und PG11000-MAN), kann der Reiniger einfach und ohne Abschalten der Betriebsgasleitung entfernt werden. Bei geschlossenen Ein- und Auslassventilen kann das Betriebsgas durch den Verteilerkopf fließen, auch wenn der Reiniger und seine...
- Seite 36 Microelectronics Besuchen Sie uns im Web unter www.pall.com/MicroE 25 Harbor Park Drive Die Pall Corporation besitzt Büros und Werke auf der ganzen Welt. Um einen Pall Vertreter in Ihrer Region zu finden, gehen Sie zu www.pall.com/contact Port Washington, NY 11050 Aufgrund technologischer Entwicklungen bzgl.