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Dann leiten Sie ein verdünntes Gasgemisch für das Mindestvolumen (Spalte C)
des Betriebsgases durch den Reiniger. Die maximale Flussrate darf bei der
Konditionierung nicht überschritten werden. Nach Abschluss der Konditionierung
mit verdünntem Gasgemisch wiederholen Sie den Vorgang mit der tatsächlichen
Betriebsgaskonzentration für weitere 20 – 30 Bettvolumen (Produktspalte). Wenn
die Verwendung einer verdünnten Mischung nicht möglich ist, verwenden Sie die
tatsächliche Betriebsgaskonzentration mit einer reduzierten Flussrate (10% des
Wertes in Spalte E). Beispiel: Konditionieren Sie einen Gaskleen
für SiH4-Service, indem Sie zunächst 2 Std. lang mit 10%igem SiH4-Gemisch
unter Druck setzen. Dann lassen Sie 72 Minuten lang 0,5 slpm (1,1 scfh) des
10%igen SiH4-Gemischs durch das Gerät fließen. Dann wechseln Sie den Fluss
für 18 weitere Minuten zu 1,0 slpm (2,1 scfh) des 100%igen SiH4-Betriebsgases.
Stellen Sie sicher, dass das Abgas beim Konditionieren in einen Gaswäscher
oder Lüfter geleitet wird und NICHT in das Betriebswerkzeug.
Hinweis: Die Oberfläche des Reinigers fühlt sich beim Konditionieren von
Gasen der Gruppe IV warm an. Wenn der Reiniger beim Konditionieren heiß
wird, reduzieren Sie die Gasflussrate oder verwenden eine stärker verdünnte
Mischung.
Es können für einige Zeit nach der Konditionierung Argonspuren im Abgas
vorhanden sein.
Stellen Sie nach Abschluss der o.g. Konditionierungsverfahren sicher, dass
das Typenschild auf dem Reiniger mit dem verwendeten Betriebsgas
übereinstimmt und spülen Sie alle Leitungen und Anlagen durch. Der Pall
Gaskleen
®
Massengasreiniger ist jetzt betriebsbereit.
®
PG550 Reiniger
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