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Nach Abschluss der Konditionierung mit verdünntem Gasgemisch wiederholen
Sie den Vorgang mit der tatsächlichen Betriebsgaskonzentration für weitere
200 – 300 Bettvolumen (Produktspalte). Wenn die Verwendung einer verdünnten
Mischung nicht möglich ist, verwenden Sie die tatsächliche Betriebsgaskonzen-
tration mit einer reduzierten Flussrate (10% des Wertes in Spalte D). Beispiel:
Konditionieren Sie einen Gaskleen
Sie das Gerät zunächst 2 Std. lang mit 10%igem SiH
beanschlagen. Dann lassen Sie 3 Std. lang 1,0 slpm (2,1 scfh) des 10%igen
SiH
Cl
-Gemischs durch das Gerät fließen. Dann wechseln Sie den Fluss für 33
2
2
weitere Minuten zu 5 slpm (10,6 scfh) des 100%igen SiH2Cl2-Betriebsgases.
Stellen Sie sicher, dass das Abgas beim Konditionieren in einen Gaswäscher
oder Lüfter geleitet wird und NICHT in das Betriebswerkzeug.
Hinweis: Die Oberfläche des Reinigers fühlt sich beim Konditionieren von
Gasen der Gruppe III warm an. Wenn der Reiniger beim Konditionieren heiß
wird, reduzieren Sie die Gasflussrate oder verwenden eine stärker verdünnte
Mischung.
Gruppe IV:
Für C
H
, C
H
, COS, SiH
2
4
3
6
Für Gase der Gruppe IV empfehlen wir sehr, die Konditionierung zuerst mit
einem verdünnten Gemisch durchzuführen, das weniger als 20% des Betriebs-
gases bei einer geringen Flussrate enthält. Nach Verwendung einer verdünnten
Mischung sollte die Konditionierung mit der tatsächlichen Betriebsgasmis-
chung wiederholt werden. Diese Konditionierung in zwei Schritten verhindert
die Entwicklung hoher Temperaturen im Reiniger. Hohe Temperaturen
beschädigen das AresKleen Reinigungsmaterial zwar nicht, können aber zum
Zerfall des Betriebsgases und Verletzungsgefahr durch heiße Oberflächen
führen.
Siehe Tabelle 4, Spalten C und E. Setzen Sie den Reiniger langsam 2 Stunden
lang mit einer verdünnten Mischung bei ≥ 15 psig (0,10 MPa) unter Druck
(maximale Gasflussrate bei Konditionierung nicht überschreiten - Spalte E).
®
PG550 Reiniger für SiH
, Si
H
, SiH
CH
4
2
6
3
Cl
-Gemisch Druck
2
2
, SiH(CH
)
, GeH
3
3
3
Cl
-Service, indem
2
2
, SF
, und B
H
4
6
2
6
.
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