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4 Technische Parameter und Eigenschaften
4.1 Technische Daten
Messbereich
Auflösung
Maßeinheit
Filter
Grenzwellenlänge (CUTOFF)
Anzahl von CUTOFF-Längen
Prinzip
Stylus
Druckkraft
Gleitkufe
Taster
Fahrgeschwindigkeit
Genauigkeit
Messwiederholbarkeit
Versorgung
Betriebszeit
Maße L × W × H
Gewicht
Betriebsumgebung
Lagerung
Z-Achse
160μm
(senkrecht)
X-Achse
17.5mm
(horizontal)
0．01μm/±20μm
Z-Achse
0．02μm/±40μm
(senkrecht)
0．04μm/±80μm
Ra
Parameter
Rp
Rs
Standard
ISO, ANSI, DIN, JIS
Grafik
Material Profilabbildungen
RC, PC-RC, Gauss, D-P
0.25, 0.8, 2.5mm
Ln= lr×n
Verschiebungsdifferenzinduktivität
Natürlicher Diamant, 90 ° Konuswinkel, 5μm Spitzenradius
<4mN
Rubin, Längsradius 40mm
lr = 0.25, Vt = 0.135mm/s
lr = 0.8, Vt = 0. 5mm/s
lr = 2. 5, Vt = 1mm/s
Rückkehr Vt=1mm/s
< ±10%
< ±6%
festeingebaute 3.7V Lithium-Batterie
Ladegerät: DC 5V / 800mA / 3 Stunden
> 20 Stunden
141 × 55 × 40mm
ca. 400 g
Temperatur：- 20℃ ~ 40℃
Luftfeuchtigkeit：< 90% RH
Temperatur：- 40℃ ~ 60℃
Luftfeuchtigkeit：< 90% RH
Rz==Ry(JIS)
Rq
Rv
R3z
R3y
Rsk
Rku
Rsm
n=1~5
23
Rt==Rmax
Rz(JIS)
Rmr
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