Beschreibung
1.3
Technische
TURBOVAC
Hochvakuum-AnschIuß
Saugvermögen für N2
Enddruck
mbar
Vorvakuumdruck
mbar
Empfohlene Vorvakuum-
TRIVAC
pumpe
Empfohlene Frequenz-
wandler
mimi
Drehzahl
Hochlaufzeit
ca.
KühIwasser-Durch-
flußmenge bei 15 oc'
Vorvakuum-Anschluß
Sperrgas-Anschluß
Beiüftungs-AnschluB
Gewicht, ca.
Max. Ausheiztemperatur
am CF-FIansch
TURBOVAC
Hochvakuum-Anschluß
Saugvermögen für N
2
Enddruck
mbar
Vorvakuumdruck
mbar
Empfohlene
Vorvakuum-
TRIVAC
pumpe
Empfohlene Frequenz-
wandler
Oder
Drehzahl
m in-I
Hochlaufzeit
ca. min
Kühiwasser-Anschluß
Schlauchtülle
Kühlwasser-Temperatur
KühIwasser-Durch-
flußmenge bei 15 oc
Vorvakuum-AnschIuß
Sperrgas-AnschIuß
Belüftungs-Anschiuß
Gewicht, ca.
Max. Ausheiztemperatur
am CF-Flansch
* Bei Verwendung der Option Wasserkühlung, Kat.-Nr.854 08
4
Daten
50
50
DN
40 KF
40 CF
I.s-l
33
29
< 8-10-9
10-3 - 10-2
10-3 - 10-2
D 1,6B
D 1,6B
10/12/13
10/12/13
72
ooo
72
ooo
2
min
2
l•h-l
20
20
16 KF
16 KF
10 KF
kg
2
2
80
151
151
63 ISO-K
100
ISO-K
2" ANSI
100 CF
115
145
< 10-10
< 10-10
10-3 - 10-2
10-3 - 10-2
D 4B
151/361
151/361
20
20
50
ooo
50 ooo
2
2
10
10
mm
10 - 25
10-25
I.h-l
20
20
25
KF
25
KF
10 KF
10 KF
kg
8
8
100
50
50
50
D
63 CF
40 KF
63 ISO-K
35
55
55
8-109
< 8-10-9
8-10-9
10-3 - 10-2
10-3 -
2
D 1,6B
D 1,6B
S 1,6B
10/12/13
10/12/13
10/12/13
72 ooo
72 ooo
72 000
3
2
2
20
20
20
16 KF
16 KF
16 KF
10 KF
2
2
2
80
151 c
361
100 ISO-K
100 ISO-K
100 CF
145
345
< 10-10
< 10-10
10-3 - 10-2
10-3 - 10-2
D 16B
D 16B
151/361
151/361
20
20
50 ooo
45 000
2
2
10
10
10 - 25
10-25
20
20
25 KF
25 KF
10 KF
10 KF
10 KF
8
12
100
50 D
50
D
40 CF
63 ISO-K
35
55
2
2
S 1,6B
S 1,6B
10/12/13
10/12/13
72 ooo
72 ooo
3
3
20
20
16 KF
16 KF
10 KF
2
2
80
361 c
361
160 ISO-K
100 ISO-K
160 ISO-K
160 CF
4" ANSI
400
345
< 10-10
< 10-10
< 10-10
10-3 - 10-2
10-3 - 10-2
D 16B
D 25 B
D 25 B
151/361
151/361
151/361
20
20
45 ooo
45 ooo
45 ooo
2
2
10
10
10-25
10 - 25
10 - 25
20
20
25 KF
25 KF
10 KF
10 KF
10 KF
12
12
100
GA 05.118/5
50 D
63 CF
55
2
S 1,6B
10/12/13
72 ooo
3
20
16 KF
10 KF
2
80
361 c
400
- 10-2
20
2
10
20
25
KF
10 KF
10 KF
12
- 12/97