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Fehlerbehebung
Verwandte Anleitungen für Leybold vacuum TURBOVAC 1100 C
Inhaltszusammenfassung für Leybold vacuum TURBOVAC 1100 C
- Seite 1 Applikations- LEYBOLD VACUUM Vakuum-Lösungen Unterstützung Service GA 05.128/7 TURBOVAC 1100 C Turbo-Molekularpumpe mit fettgeschmierten Lagern Turbomolecular pump with grease-lubricated bearings Kat.-Nr. / Cat. No. 894 80 894 83 894 84 Gebrauchsanleitung Operating instructions...
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Seite 2: Inhaltsverzeichnis
Beschreibung Inhalt 1 Beschreibung Seite Die TURBOVAC 1100 C ist eine Turbo-Molekularpumpe Beschreibung............. 2 mit fettgeschmierten Lagern. Sie ist geeignet zum Lieferumfang............3 Abpumpen von Vakuumbehältern auf Druckwerte im Bestell-Daten ............. 3 Hochvakuumbereich. Zum Betrieb der TURBOVAC sind Technische Daten ..........3 ein Frequenzwandler TURBOTRONIK und eine Vorva- kuumpumpe erforderlich. -
Seite 3: Lieferumfang
Gewicht 22 kg Erforderlicher Frequenzwandler 1.2 Bestelldaten TURBOTRONIK NT 20 Kat.-Nr. 857 20 (230 V) ab Fabr.-Nr. Z9601221 TURBOVAC 1100 C Kat.-Nr. Kat.-Nr. 857 21 (120 V) ab Fabr.-Nr. Z9600321 mit Hochvakuum-Flansch DN 250 ISO-K 894 80 Sperrgas-Anschluss DN 10 KF oder DN 16 KF... -
Seite 4: Anschluss
Transport nicht beschädigen. E Anschluss für Wasserkühlung F Anschluss TURBOTRONIK Beim Anschließen oder Ausbauen der TURBOVAC nicht G Sub-D-Stecker für unter der Pumpe stehen. - Meldesignal-Verarbeitung - manuelle Abfrage der Rotorlager-Temperatur Abb. 1 TURBOVAC 1100 C GA 05.128/7 - 05/2002... -
Seite 5: Umweltbedingungen
Anschluss max. 100 mm max. 100 mm max. 100 mm Falsch Abb. 3 Feste Anflanschung der TURBOVAC an den Vakuumbehälter 2.2 Pumpe an den Vakuum- 2.1 Umweltbedingungen behälter anbauen Sollte die TURBOVAC im Bereich eines Magnetfeldes zum Einsatz kommen, darf die magnetische Induktion an Den Verpackungsflansch vom Hochvakuumflansch der Manteloberfläche der Pumpe nicht größer sein als: abnehmen. -
Seite 6: Vorvakuum-Anschluss
Vorvakuumpumpe und Verbindungsleitung so bar, der am Hochvakuumflansch der TURBOVAC mon- auswählen, dass der Vorvakuumdruck und das Saug- tiert wird. Die TURBOVAC 1100 C bei Anbau über einen vermögen am Vorvakuum-Anschlussflansch bei allen Schwingungsdämpfer zusätzlich an den Füßen oder am Pumpprozessen ausreichend sind. -
Seite 7: Kühlung Anschließen
Anschluss l/min °C Kühlwasser-Temperatur Abb. 5 Kühlwasserbedarf 2.4 Kühlung anschließen 2.5 Sperrgas und Belüftung anschließen Die TURBOVAC benötigt Wasserkühlung. Kühlwasser-Spezifikationen Sperrgas 10 - 30 °C Zulauftemperatur Beim Abpumpen von reaktiven oder staubhaltigen Gasen muss die TURBOVAC mit Sperrgas betrieben Zulaufdruck 3 - 7 bar absolut werden. -
Seite 8: Turbotronik Anschließen
Anschluss Anschluss TURBO- TRONIK Pin-Belegung von X1 grüne LED nicht belegt Schnittstelle gelbe LED Schnittstelle Schnittstelle rote LED Masse Relaiskontakt grüne LED Betriebsstundenzähler Kontakt geschlossen, Relaiskontakt gelbe LED wenn LED aktiv Relaiskontakt rote LED 12 Pt 100 extern Pin 12 und 13 sind 13 Pt 100 Eingang im Stecker gebrückt 14 Pt 100 extern... -
Seite 9: Betrieb
Betrieb mbar Sv = Saugvermögen der Vorpumpe (m ·h V = Behältervolumen (m Abb. 7 Startdruck-Bestimmung einer TURBOVAC beim Evakuieren großer Volumina 3 Betrieb 3.2 Betrieb Während des Betriebes plötzliche Lageänderungen der 3.1 Einschalten Pumpe, erhebliche Fremdschwingungen und Stöße an die Pumpe vermeiden. -
Seite 10: Abschalten
Betrieb mbar Zeit Abb. 8 Druckanstiegskurve 3.3 Abschalten Vakuumbereich. Somit wird vermieden, dass Partikel, Stäube oder aggressive Gase durch die Lager in den noch nicht belüfteten Motorraum der Pumpe gedrückt Die TURBOVAC an der TURBOTRONIK abschalten. werden. Einzelheiten siehe Gebrauchsanleitung zur TUR- BOTRONIK. -
Seite 11: Pumpe Aus Der Anlage Ausbauen
Betrieb / Wartung langsamer die Pumpe belüftet wird, desto höher ist die 4 Wartung Lagerlebensdauer. Nach spätestens 10 000 Betriebsstunden muss ein Die Pumpe darf nicht über Umgebungsdruck belüftet Standard-Lagerwechsel durchgeführt werden. Weiter werden. empfehlen wir, je nach thermischer Belastung des Rotors, jeweils nach 45 000 bis 100 000 Betriebsstun- den die Rotoreinheit austauschen zu lassen. -
Seite 12: Fehlersuche
Fehlersuche 5 Fehlersuche Sind die Anschlüsse: -Netzleitung zum Frequenzwandler, -Verbindungsleitung Frequenzwandler/Netz in Ord- Vorsicht nung? Bei angeschlossener Verbindungsleitung Funktionieren Kühlwasser- oder Sperrgasströmungs- zur TURBOVAC sind die Ausgänge des wächter ? Frequenzwandlers TURBOTRONIK nicht Strömungswächter zur Prüfung kurz überbrücken und potentialfrei. die TURBOVAC starten. -
Seite 13: Eg-Herstellererklärung
Betrieb der Pumpe mit dem vorgesehenen • DIN ISO 1940 Dez. 1993 Leybold-Frequenzwandler werden die Schutzziele der EMV-Richtlinie eingehalten. Bezeichnung: Turbo-Molekularpumpe Typ: TURBOVAC 1100 C Katalog-Nummern: 894 80/83/84 Köln, den 20.10. 1997 Köln, den 20.10. 1997 ————————————————————— ————————————————————— Dr. Mattern-Klosson, Geschäftsbereichsleiterin Hölzer, Konstruktionsleiter... -
Seite 14: Description
2.3 Making the forevacuum connection ..18 The TURBOVAC 1100 C is equipped with a type Turbo 2.4 Connecting the cooling ....19 Guard 3 rotor bearing monitoring device featuring an 2.5 Connecting the purge gas and... -
Seite 15: Standard Equipment
7 l/sec Nominal rotation speed 30,000 r.p.m. Run-up period approx. 9 min. 1.2 Order data Weight 22 kg TURBOVAC 1100 C Part No. Required frequency converter with high-vacuum port DN 250 ISO-K 894 80 TURBOTRONIK NT 20 DN 200 ISO-K 894 83 Ref. -
Seite 16: Connections
G Sub-D socket for Do not stand below the pump while it is being TURBOVAC - Processing status signals connected to or detached from the system. - Manual query of the rotor bearing temperature Fig. 1 TURBOVAC 1100 C GA 05.128/7 - 05/2002... -
Seite 17: Operating Environment
Connections max. 100 mm (4 inch) max. 100 mm (4 inch) max. 100 mm Incorrect (4 inch) Fig. 3 Permanent flanging of the TURBOVAC to the vacuum chamber 2.1 Operating environment 2.2 Connecting the pump to the vacuum chamber When using the inside a magnetic field, the TURBOVAC magnetic induction at the pump housing surface may not... -
Seite 18: Making The Forevacuum Connection
Connections Install outer centering ring Fig. 4 Using ISO-K flanges In most applications the will be flanged direct The pump running noise is below 70 dB(A); no noise- TURBOVAC to the high-vacuum flange for the system. The design of insulating measures are required. the lubricating system makes it possible to mount and run the in any desired attitude. -
Seite 19: Connecting The Cooling
Connections l/min °C Cooling water temperature Fig. 5 Cooling water consumption 2.4 Connecting the cooling 2.5 Connecting the purge gas and the airing device The TURBOVAC must be cooled with water. Cooling water specifications Purging gas 10 - 30 °C Inlet temperature When evacuating reactive gases or gases containing dust, the TURBOVAC will have to be used with purging... -
Seite 20: Connecting The Turbotronik
Connections Connection TURBO- TRONIK Pin assignment of X1 not connected green LED Interface Interface yellow LED Interface Ground red LED Relay contact green LED Contact Operating hours counter closed Relay contact yellow LED when LED aktive Relay contact red LED 12 Pt 100 external Pins 12 and 13 are 13 Pt 100 Input... -
Seite 21: Operation
Operation mbar = Pumping speed at the forevacuum pump (m V = Chamber volume (m Fig. 7 Determining the starting pressure for a TURBOVAC when evacuating larger volumes 3 Operation 3.2 Operation 3.1 Switching on Avoid sudden changes of attitude during operation and avoid severe outside vibrations and shock to the pump. -
Seite 22: Switching Off
Operation mbar Time Fig. 8 Curve showing the pressure rise 3.3 Switching off area. This will prevent particles, dust or aggressive gases from being forced through the bearings into the not yet vented motor chamber of the pump. Switch off the at the . -
Seite 23: Removing The Pump From The System
Operation / Maintenance 3.5 Removing the pump 4 Maintenance from the system After 10,000 operating hours at the latest a standard bearing exchange will be required. Moreover we recom- Switch off the pump and vent it as per the instructions in mend to have the rotor assy. -
Seite 24: Troubleshooting
Troubleshooting 5 Troubleshooting Are the connections . . . - from the mains power cord to the frequency converter - at the connector cable from the frequency converter to Warning the mains network in good working order? When the connector cable to the TURBO- If a water flow or purge gas monitoring device is connec- is attached, the outputs of the... -
Seite 25: Ec Manufacturer's Declaration
• DIN ISO 1940 December 1993 ters, the protection level prescribed in the EMC Guide- lines will be attained Designation: Turbomolecular pump Model: TURBOVAC 1100 C Catalog no.: 894 80/83/84 Cologne, Oct. 20, 1997 Cologne, Oct. 20, 1997 ————————————————————— —————————————————————... - Seite 26 Erklärung über Kontaminierung von Vakuumgeräten und -komponenten Die Reparatur und/oder die Wartung von Vakuumgeräten und -komponenten wird nur durchgeführt, wenn eine korrekt und vollständig ausgefüllte Erklärung vorliegt. Ist das nicht der Fall, kommt es zu Verzögerungen der Arbeiten. Wenn die Repara- tur/Wartung im Herstellerwerk und nicht am Ort ihres Einsatzes erfolgen soll, wird die Sendung gegebenenfalls zurückgewie- sen.
- Seite 27 Declaration of Contamination of Vacuum Equipment and Components The repair and/or service of vacuum equipment and components will only be carried out if a correctly completed declaration has been submitted. Non-completion will result in delay. The manufacturer could refuse to accept any equipment without a declara- tion.
- Seite 28 LEYBOLD VAKUUM GmbH Bonner Strasse 498 (Bayenthal) D-50968 Köln Tel.: (0221) 347-0 Fax: (0221) 347-1250 http://www.leyboldvac.de e-mail:documentation@leyboldvac.de...