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4
3
Abb.6
Schema eines Turbo-MoIekular-Pumpstandes
Splitterschutz
1m Hochvakuumflansch
ist zum
ein Splitterschutz
eingesetzt.
Die Pumpe nur mit dem Splitterschutz
zelne Fremdkörper,
die über den Ansaugstutzen
Pumpe
gelangen,
zu schweren
führen. Schäden,
die durch Eindringen
pern
in den
Rotorbereich
Gewährleistung
ausgeschlossen.
Flanschheizung
(nur für Pumpen mit CF-Flansch)
Die Flanschheizung
ermöglicht
Ausheizen
des
Hochvakuum-AnschluBflansches
TURBOVAC und Gegenflansch
Die Flanschheizung
direkt am Ansaugflansch
BOVAC montieren.
Dies ist auch bei angeflanschter
Pumpe möglich.
GA 05.118/5
- 12/97
6
7
O
2
1
Schutz
der TURBOVAC
betreiben, da ein-
in die
Schäden
am Rotor
von Fremdkör-
entstehen,
sind
von der
automatisch
geregeltes
an
der Vakuumkammer.
der TUR-
11
9
10
Erläuterungen
zur Abb.6
1
Turbo-MolekuIarpumpe
2
Vorvakuum-Meßstelle
Vorvakuum-Pumpe
3
4
Federungskörper
5
Adsorptionsfalle
6
Vorvakuum-VentiI
7
Belüftungsventil
8
Hochvakuum-Ventil
Sperrgas-Anschluß
9
Ventil in der Grobpumpleitung
10
11
Elektronischer Frequenzwandler
Grobpumpleitung;
wenn
kürzeste
Taktzeiten
Antriebs- und Steuerleitung
Vorsicht
Die Flanschheizung
heiß werden (> 80 oc), daß Verbrennungs-
gefahr besteht.
Die heißen
Teile vor dem
Das Laufgeräusch
der Pumpe liegt unter 70 dB(A); es
sind
keine
lärmdämmenden
Anschluß
zu empfehlen,
erreicht
werden
sollen
kann bei Betrieb
Berühren
sichern.
Maßnahmen
erforderlich.
so
11
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