Verwandte Anleitungen für Leybold vacuum TURBOVAC Serie
Inhaltszusammenfassung für Leybold vacuum TURBOVAC Serie
- Seite 1 LEYBOLD VAKUUM LEYBOLD GA 05.118/5 Agolati0 TURBOVAC Turbo-Molekularpumpen mit fettgeschmierten Lagern Turbomolecular pumps with grease-lubricated bearings Gebrauchsanleitung Operating instructions...
- Seite 2 Beschreibung 1 Beschreibung Inhalt Seite Die TURBOVAC 50 bis 1000 sind Turbo-Molekularpum- Beschreibung....pen mit fettgeschmierten Lagern. Sie sind vorgesehen Lieferumfang ............3 zum Abpumpen von Vakuumbehältern auf Druckwerte Bestell-Daten ......3 im Hochvakuumbereich. Betrieb der TURBOVAC Technische Daten sind ein Frequenzwandler TURBOTRONIK und eine Vor- vakuumpumpe...
- Seite 3 Beschreibung 1.1 Lieferumfang Vorvakuum-Anschluß Zentrierring mit O-Ring und Spannring. Die TURBOVAC Wird in einem verschlossenen PE-Beu- Der Sperrgas- und der Belüftungs-Anschluß sind blind- tel mit Trockenmittel ausgeliefert. geflanscht. Wirkungsdauer des Trockenmittels max. 1 Jahr. Außerdem gehören bei den TURBOVAC 151, 361 und Hochvakuum-Anschluß...
- Seite 4 Beschreibung Technische Daten TURBOVAC 50 D 50 D 63 CF 40 KF 40 CF 63 ISO-K 63 CF Hochvakuum-AnschIuß 40 KF 40 CF 63 ISO-K I.s-l Saugvermögen für N2 < 8-10-9 8-109 < 8-10-9 8-10-9 Enddruck mbar 10-3 - 10-2 10-3 - 10-2 10-3 - 10-2 10-3 -...
- Seite 5 Beschreibung TURBOVAC 600 c Hochvakuum-AnschIuß 160 ISO-K 6" ANSI 160 ISO-K 6" ANSI 160 CF l.s-l Saugvermögen für N2 < 10-10 < 10-10 < 10-10 Enddruck < 10-10 mbar 10-3- 10-2 10-3 - 10-2 _ 10-2 10-3 - 10-2 Vorvakuumdruck mbar Empfohlene Vorvakuum- TRIVAC...
- Seite 6 Beschreibung TURBOVAC 50 D TURBOVAC 151 C; TURBOVAC 361 C ähnlich TURBOVAC Abb. 1 GA 05.118/5 - 12/97...
- Seite 7 Beschreibung TURBOVAC TURBOVAC 1000 C Hochvakuum-Anschlußflansch Vorvakuum-AnschIuBfiansch Belüftungsflansch Sperrgasflansch Anschluß für Wasserkühlung Elektroanschluß Abb. 2 GA 05.118/5 - 12/97...
- Seite 8 Anschluß Betriebsbedingungen und Kühlung TURBOVAC Keine zusätzliche Kühlung erforder- Luft- Oder Wasserkühlung erforderlich Wasserkühlung erforderlich, wenn eine lich, wenn alie diese Bedingungen dieser Bedingungen erfüllt ist erfüllt sind Umgebungstemp. 30 - 40 oc umgebungstemp. > 40 oc Umgebungstemp. < 30 oc 50 D kein Ausheizbetrieb Ausheizbetrieb...
- Seite 9 Anschluß ni11101 dIiiII max. max. 100 mm max. 100 mm Falsch Abb. 4 Feste Anflanschung der TURBOVAC an den Vakuumbehäiter 2.1 Umweltbedingungen Pumpe an den Vakuum- behälter anbauen Sollte die TURBOVAC im Bereich eines Magnetfeldes zum Einsatz kommen, darf die magnetische Induktion an Verpackungsflansch Hochvakuumflansch...
- Seite 10 AnschluB Außen-Zentrier- ring einbauen Abb. 5 Verwendung von ISO-K-FIanschen In den meisten Anwendungsfällen Wird die TURBOVAC Bremsmo- Klammer- direkt an den Hochvakuumflansch der Apparatur ange- TURBOVAC ment [Nm] schrauben flanscht. Aufgrund des Schmiersystems läßt sich die TURBOVAC in jeder beliebigen Lage montieren und betreiben.
- Seite 11 Anschluß Erläuterungen zur Abb.6 Turbo-MolekuIarpumpe Vorvakuum-Meßstelle Vorvakuum-Pumpe Federungskörper Adsorptionsfalle Vorvakuum-VentiI Belüftungsventil Hochvakuum-Ventil Sperrgas-Anschluß Ventil in der Grobpumpleitung Elektronischer Frequenzwandler Grobpumpleitung; zu empfehlen, wenn kürzeste Taktzeiten erreicht werden sollen Abb.6 Schema eines Turbo-MoIekular-Pumpstandes Antriebs- und Steuerleitung Splitterschutz Vorsicht Die Flanschheizung kann bei Betrieb 1m Hochvakuumflansch ist zum Schutz...
- Seite 12 Anschluß 2.4 Kühlung anschließen Vorvakuum-Anschluß Eine geeignete Vorvakuumpumpe Vorvakuum- Wasserkühlung Anschlußflansch anschließen. TURBOVAC 50 und D zum Anbauen Abb. 6 zeigt den schematischen Aufbau eines Pump- Wasserkühlung den Pumpenfuß entfernen und dann die standes mit einer Turbo-Molekularpumpe TURBOVAC Wasserkühlung unter der Pumpe festschrauben. und einer Vorvakuumpumpe TRIVAC mit Saugstutzen- Befestigungsschrauben gehören zum Lieferumfang der...
- Seite 13 Anschluß 2.5 Sperrgas und Belüftung TURBOTRONIK anschließen anschließen TURBOVAC mit der Verbindungsleitung an die TUR- TURBOVAC 50, 50 D mit 'SO-K-Anschluß BOTRONIK anschließen; siehe dazu die Gebrauchsan- Die TURBOVAC werden über die Anlage belüftet. leitung zur TURBOTRONIK. Vorsicht TURBOVAC 50, 50 D mit CF-Ansch1uß Die Pumpe nur mit dem passenden Fre- TURBOVAC...
- Seite 14 Betrieb mbar Sv = Saugvermögen der Vorpumpe (ma.h•l) V = Behältervolumen (m3) Abb. 7 Startdruck-Bestimmung einer TURBOVAC beim Evakuieren großer Volumina Betrieb Einschalten Ausheizen Aus dem Diagramm in Abb. 7 kann man den Startdruck Sollen in kurzer Zeit Drücke im Bereich von 10-8 mbar der TURBOVAC ablesen.
- Seite 15 Betrieb mbar TURBOVAC 50, 50 D TURBOVAC 151, 361 Idaaaan TURBOVAC 600, 1000 10-1 10-2 Zeit Abb. 8 Druckanstiegskurven Betrieb Wurde die TURBOVAC zum Abpumpen korrosiver Gase eingesetzt, soll sie vor dem Abschalten 1 Stunde mit trockenem Stickstoff gespült werden. Während Still- Während...
- Seite 16 Betrieb Wenn die Pumpe vorher korrosive Gase gefördert hat, Achtung das Sperrgas beim Ausbau so lange wie möglich weiter- Druck im Motorraum der TURBO- fließen lassen muß immer höher sein als im Vor- vakuumraum. TURBOVAC aus der Anlage ausbauen. TURBOVACs, die Z.B. in Halbleiter-Prozessen einge- setzt waren, sind mit Prozeßgasen verschmutzt.
- Seite 17 Wartung 4 Wartung Service LEYBOLD Die TURBOVAC ist wartungsfrei. Das Sorptionsmittel in der Adsorptionsfalle regelmäßig Falls Sie eine Pumpe an LEYBOLD schicken, geben Sie regenerieren Oder erneuern, siehe dazu die Gebrauchs- an, 0b die Pumpe frei von gesundheitsgefährdenden anleitung der Adsorptionsfalle. Schadstoffen ist Oder 0b sie kontaminiert ist.
- Seite 18 Fehlersuche Fehlersuche Sind die Anschlüsse: -Netzleitung zum Frequenzwandler, -Verbindungsleitung Frequenzwandler/Netz in Ord- Vorsicht nung? Bei angeschlossener Verbindungsleitung Funktioniert ein eventuell angeschlossener Wasserströ- zur TURBOVAC sind die Ausgänge des Fre- mungswächter? quenzwandlers TURBOTRONIK nicht Wasserströmungswächter zur Prüfung kurz überbrücken potentialfrei. und die TURBOVAC starten.
- Seite 19 EG-Herstellererklärung LEYBOLD im Sinne der Maschinenrichtlinie 89/392/EWG, Anhang 11b Hiermit erklären wir, die Leybold Vakuum GmbH, daß die Katalog-Nummern: Inbetriebnahme der nachfolgend bezeichneten unvoll- 853 99, 854 00/01/02 ständigen Maschine solange untersagt ist, bis festge- stellt wurde, daß die Maschine, in die diese unvollständi- 856 60/61/62/63 ge Maschine eingebaut werden soll, den Bestimmungen...
- Seite 20 Description 1 Description Contents Page Description TURBOVAC models 50 to 1000 are turbomolecular Standard equipment pumps featuring grease-lubricated bearings. These Order data units are engineered to pump vacuum chambers down to Technical data pressures in the high-vacuum range. A TURBOTRONIK frequency converter and a forevacuum...
- Seite 21 Description 1.1 Standard equipment Forevacuum port Centering ring with O-ring and clamping ring. The TURBOVAC is shipped in a sealed PE bag which also Both the purge gas port and the airing port are blanked contains a desiccant. off for shipping. The maximum effective life of the desiccant is one year.
- Seite 22 Description Technical data TURBOVAC 50 D 50 D 63 CF High-vacuum port nom.diam. 40 CF 63 ISO-K 63 CF 40 KF 40 CF 63 ISO-K Pumping speed for N2 l/sec 8-10-9 < 8-10-9 8-10-9 < 8-10-9 8-10-9 < 10-9 8-10-9 <...
- Seite 23 Description TURBOVAC 600 c High-vacuum port nom. diam. 160 iSO-K 6" ANSI 160 ISO-K 6" ANSI 160 CF I.s-l Pumping speed for N? < 10-10 < 10-10 < 10-10 < 10-10 Ultimate pressure mbar 10-3 - 10-2 10-3 - 102 10-3 - 104 10-3- 10-2...
- Seite 24 Description TURBOVAC 50 D TURBOVAC 151 C; TURBOVAC 361 C is similar TURBOVAC Fig. 1 GA 05.118/5 - 12/97...
- Seite 25 Description TURBOVAC 600 C TURBOVAC 1000 A High-vacuum connector flange B Forevacuum connector flange C Airing flange D Purge gas flange E Connection for water cooling F Electrical connection Fig. 2 GA 05.118/5 - 12/97...
- Seite 26 Connections Operating environment and cooling Water cooling required if any one Of these TURBOVAC No additional cooling required if all Air or water cooling required conditions prevails these conditions are satisfied Ambient temperature < 300C Ambient temperature 30 to 400C Ambient temperature >...
- Seite 27 Connection max. 100 mm (4 inch) max. 100 mm (4 inch) max. 100 mm Incorrect (4 inch) Fig. 4 Permanent flanging of the TURBOVAC to the vacuum chamber 2.2 Connecting the pump to 2.1 Operating environment vacuum chamber When using the TURBOVAC inside a magnetic field, the magnetic induction at the pump housing surface may not Remove packing...
- Seite 28 Connection Install outer centering ring Fig. 5 using ISO-K flanges In most applications the TURBOVAC will be flanged direct Braking Clamping to the high-vacuum flange for the system. The design of TURBOVAC torque [Nm] bolts the lubricating system makes it possible to mount and run the TURBOVAC in any desired attitude.
- Seite 29 Connection Legend for Fig. 6 Turbomolecular pump Forevacuum test point Forevacuum pump Anti-vibration bellows Adsorption trap Forevacuum valve Airing valve High-vacuum valve Purge gas connection Valve in the roughing pump line Electronic frequency converter Roughing pump line; recommended to achieve the shortest possible cycling times Fig.
- Seite 30 Anschluß 2.3 Making the forevacuum 2.4 Connecting the cooling connection Water cooling When attaching the water cooling unit to the TURBOVAC A suitable forevacuum pump is to be connected to the 50 and 50 D, remove the pump foot and then bolt the forevacuum connection flange.
- Seite 31 Connection 2.5 Connecting the purge 2.6 Connecting gas and airing device TURBOTRONIK TURBOVAC 50, 50 D with ISO-K connectors connector cable to attach the TURBOVAC the TURBOTRONIK; see the operating instructions on the The TURBOVAC is aired through the system. TURBOTRONIK for details.
- Seite 32 Operation iEiÆ mbar Sf= Pumpingspeedat the forevacuumpump(m3/h) V = Chamber volume (m3) Fig. 7 Determining the starting pressure for a TURBOVAC when evacuating larger volumes Operation Bakeout 3.1 Switching If pressures in the range of 10-8mbar are to be devel- oped within a short period of time, the vacuum chamber and the components installed...
- Seite 33 Operation mbar TURBOVAC 50, 50 D TURBOVAC 151, 361 TURBOVAC 600, 1000 10-2 Time Fig. 8 Curves showing the pressure rise 3.3 Operation If the pump previously handled corrosive gases, it will be necessary to purge the pump with dry nitrogen for one hour prior to shut-down.
- Seite 34 Operation Caution If the pump previously handled corrosive gases, then allow the purge gas to flow for as long as possible befo- pressure in the TURBOVAC motor re detaching the pump from the system. chamber must always be higher than that in the forevacuum chamber.
- Seite 35 Maintenance Maintenance 4.2 Service by LEYBOLD The TURBOVAC requires no maintenance. Regenerate or replace the agent in the sorption trap at Whenever you send a pump to LEYBOLD, indicate regular intervals; please refer to the operating instruc- whether the pump is contaminated or is free of sub- tions for the sorption trap for details.
- Seite 36 Troubleshooting Troubleshooting Are the connections - from the mains power cord to the frequency converter - at the connector cable from the frequency converter to Warning the mains network in good working order? When the connector cable to the TURBOVAC If a water flow monitoring device is connected, is it func-...