Verwandte Anleitungen für Leybold vacuum COOLVAC series
Inhaltszusammenfassung für Leybold vacuum COOLVAC series
- Seite 1 Applikations- LEYBOLD VAKUUM Vakuum-Lösungen Unterstützung Service GA 12.123/4.01 COOLVAC 1500 3000 Refrigerator-Kryopumpen Kat.-Nrn. 892 61/63 892 56 893 21/23 Gebrauchsanleitung...
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Seite 2: Inhaltsverzeichnis
Beschreibung Inhalt LEYBOLD-Service Seite Falls Sie eine Pumpe an LEYBOLD schicken, geben Sie Beschreibung ......3 an, ob die Pumpe frei von gesundheitsgefährdenden Aufbau und Funktion . -
Seite 3: Beschreibung
Beschreibung Erläuterungen zur Abb. 1 1 Kaltkopfmotor mit Gehäuse und elektrischem Anschluß 2 Helium-Gas-Anschlüsse 3 Vorvakuum-Flansch 4 Pumpengehäuse 5 Hochvakuum-Flansch 6 Baffle 7 Strahlungsschild 8 Pumpflächen 9 Sicherheitsventil mit Flansch-Anschluß Abb. 1 Schematische Darstellung einer Kryopumpe 1 Beschreibung 1.1 Aufbau und Funktion Eine Refrigerator-Kryopumpe besteht im wesentlichen Kryopumpen sind Hochvakuum-Pumpen, die Gase und aus gekühlten Pumpflächen, gekühltem Strahlungs-... -
Seite 4: Lieferumfang
Beschreibung Pumpmechanismus Temperatur-Messung In Kryopumpen werden Gase und Dämpfe an tiefkalten Einige COOLVAC-Kryopumpen haben eine Silizium- Flächen angelagert. Die Gase werden nicht durch die Diode als Temperaturfühler an der 2. Stufe des Kaltkopf- Kryopumpe hindurchtransportiert sondern verbleiben im Pumpenraum. Der Meßbereich der Silizium-Diode ist 4-320 K. Das Wasserdampf und die meisten Kohlenwasserstoffe kon- Meßsignal wird an einer Stromdurchführung abgegriffen. -
Seite 5: Technische Daten
Beschreibung 1.3 Technische Daten COOLVAC 1500 3000 Hochvakuum (HV)-Flansch 160 ISO-K 160 CF 200 ISO-K 10“ ANSI / 320 ISO-K Vorvakuum-Flansch 40 KF 40 CF 40 KF 25 KF 2-polige Stromdurchführung für Silizium-Diode auf Flansch 25 KF 25 KF 4-polige Stromdurchführung für Silizium-Diode auf Flansch 16 KF Sonstiger Flansch... -
Seite 6: Beschreibung
Beschreibung COOLVAC 800 (160 CF) COOLVAC 800 (160 ISO-K) 216,5 135 ° versetzt gezeichnet COOLVAC 1500 COOLVAC 3000 Abb. 2 Maßzeichnung GA 12.123/4.01 - 01/99... -
Seite 7: Bestell-Informationen
Beschreibung 1.4 Bestell-Informationen Kryopumpen COOLVAC 1500 3000 Hochvakuum (HV)-Flansch 160 ISO-K 160 CF 200 ISO-K 10“ ANSI / 892 61 892 63 892 56 893 21 320 ISO-K 893 23 Kompressor-Einheiten RW 2: 220 V, 50 Hz, 1ph 891 96 891 96 891 96 RW 3: 208 V, 60 Hz, 1ph... -
Seite 8: Installation
Installation Erläuterungen zur Abb. 3 Auspuffleitung Vorvakuum-Pumpe Feinvakuum-Adsorptionsfalle Vorvakuum-Meßgerät Temperatur-Meßgerät Vorvakuum-Meßgerät Hochvakuum-Meßgerät Vakuumbehälter Kryopumpe 10 Kompressor-Einheit 11 Flexible Druckleitungen 12 Sicherheitsventil 13 Bypass-Leitung mit Ventil V1 Hochvakuum-Schieber V2 Vorvakuumventil V3 Vorvakuumventil V4 Belüftungsventil V5 Absperrventil Adsorptionsfalle Abb. 3 Schematische Darstellung eines Kryo-Pumpsystems GA 12.123/4.01 - 01/99... -
Seite 9: Sicherheitshinweise
Sicherheits-Hinweise 2 Installation Elektrische Sicherheit Vor Montage- und Demontagearbeiten die 2.1 Sicherheitshinweise Kryopumpe, die Steuerung und die Kom- pressor-Einheit vom Netz trennen. Mechanische Sicherheit Die Pumpen zum Transport auf den Hochvakuum- Die Kryopumpe, die Anlage und alle Einbauten sorgfältig Flansch stellen. und fachmännisch erden, um elektrostatische Aufladun- Achtung gen zu vermeiden. - Seite 10 Sicherheits-Hinweise Schutz vor Überdruck Das Sicherheitsventil und die Vorvakuum- Pumpe müssen mit einer Abgasleitung aus- Die Kryopumpe ist eine gasbindende Vakuumpumpe, gerüstet sein, um gefährliche Gase oder d.h. Gasmoleküle aus der Vakuumkammer werden in Gasgemische unter Beachtung geltender der Kryopumpe gespeichert. Sicherheits- und Umweltvorschriften in einen Auffangbehälter oder ins Freie zu lei- Beim Erwärmen der Pumpe durch Regenerieren oder...
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Seite 11: Sicherheitsvorschriften
Sicherheits-Hinweise Sicherheitsvorschriften Leybold-Kryopumpen mit elektrischem Regenerier- System von Leybold Gemäß den geltenden Sicherheitsbestimmungen muß Die Kryopumpe wird auf Zimmertemperatur aufgewärmt, bei Verwendung gefährlicher Gase auf nachfolgende indem die 1. und 2. Kaltkopf-Stufe mit elektrischen Hei- Gefahrenklassen hingewiesen werden. zern erwärmt werden. Dabei können die Temperaturen in der Kryopumpe definiert eingestellt und kontrolliert werden. - Seite 12 Installation Hochvakuum-Flansch Flansch für Meßröhre* Stromdurchführung für Silizium-Diode Sicherheitsventil V8 Flansch für Regenerier-Heizungen* Vorvakuum-Flansch* Anschlußleitung zur Kompressor-Einheit Helium-Niederdruck-Anschluß Helium-Hochdruck-Anschluß * Die Belegung dieser 3 Flansche Abb. 4 COOLVAC 800 (ISO-K), Anschlußelemente; COOLVAC 1500 ähnlich kann auch getauscht werden. Hochvakuum-Flansch Sicherheitsventil V8 Vorvakuum-Flansch Anschlußleitung zur Flansch DN 16 CF...
- Seite 13 Installation Hochvakuum-Flansch Flansch DN 40 KF Sicherheitsventil V8 Stromdurchführung für Silizium-Diode, DN 16 KF Vorvakuum-Flansch, DN 25 KF Anschlußleitung zur Kompressor-Einheit Flansch DN 16 KF Helium-Niederdruck-Anschluß Helium-Hochdruck-Anschluß Abb. 6 COOLVAC 3000, Anschlußelemente GA 12.123/4.01 - 01/99...
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Seite 14: Kryopumpe An Die Anlage Anbauen
Installation 2.2 Kryopumpe an die Regenerier-Heizungen Regenerier-Heizungen sind als Option erhältlich. Die Anlage anbauen Regenerier-Heizungen über die fünfpolige Buchse am Temperaturwächter an ein geeignetes Netzgerät an- Wir empfehlen, einen Hochvakuum-Schieber zwischen schließen, z.B. HU 1. der Kryopumpe und dem Vakuumbehälter einzubauen. Der Anschluß... -
Seite 15: Kompressor-Einheit Anschließen
Installation Vorsicht Sicherheitsventil Beim Regenerieren können gefährliche Das Sicherheitsventil der Kryopumpe an die Auspufflei- Gase aus der Vorvakuum-Pumpe austre- tung anschließen. ten. Deshalb muß der Auspuff der Vorvaku- um-Pumpe an eine geeignete Auspufflei- tung angeschlossen werden. Auch Inertgas Vorsicht in großen Mengen kann gefährlich sein, Das Sicherheitsventil darf nicht blockiert wenn es den Sauerstoff der Atemluft ver- werden. -
Seite 16: Bedienung
Bedienung 1 mbar > p > p > 1 mbar 4·10 mbar Abb. 7 Kryopumpe vorpumpen: 1. Phase Abb. 8 Kryopumpe vorpumpen: 2. Phase 3 Bedienung den Pumpflächen darf dabei 320 K nicht überschreiten. Die Vorpumpe mit Gasballast betreiben. Zum Vorpumpen den Hochvakuum-Schieber V1 und die Vorvakuumventile V2 und V3 schließen. -
Seite 17: Ausheizen Des Vakuumbehälters
Bedienung 3.1.3 Kryopumpe einschalten und abkühlen Nach dem Erreichen des Startdrucks die Kryopumpe an der Kompressor-Einheit einschalten. Der Hochvakuum- Schieber V1 und das Vorvakuumventil V2 müssen geschlossen sein. Wir empfehlen, regelmäßig vor und nach dem Abkühlen folgende Daten zu erfassen: <... -
Seite 18: Vakuumbehälter Vorpumpen Und Mit Der Kryopumpe Verbinden
Bedienung 1013 mbar > p p < Übernahme- > 4·10 mbar druck Abb. 10 Vakuumbehälter vorpumpen Abb. 11 Betrieb 3.1.4 Vakuumbehälter vorpumpen und mit Einige Minuten nach dem Schließen des Vorvakuum- ventils V3 die Vorvakuum-Pumpe ausschalten. der Kryopumpe verbinden Der Crossover- oder Übernahme-Druck ist der maxima- Den Vakuumbehälter über das geöffnete Vorvakuum- le Druck im Vakuumbehälter, bei dem die Kryopumpe ventil V3 vorpumpen. -
Seite 19: Betrieb
Bedienung 3.2 Betrieb 2. Zyklenbetrieb Wenn der Vakuumbehälter jeweils vom Crossover-Wert Vorsicht bis zum Enddruck abgepumpt wird, gilt: Alle Sicherheitshinweise gemäß Abschnitt —— 2.1 beachten! Kapazität Anzahl der Zyklen = ——————— Bei Betrieb der Kryopumpe folgendes beachten: Crossover-Wert - Die Kryopumpe nicht über ihren Crossover-Wert bela- Beispiel: Eine COOLVAC 3000 pumpt aus einem Vaku- sten, sie erwärmt sich dann und gibt gepumpte Gase umbehälter Argon jeweils vom Crossover-Wert bis zum... -
Seite 20: Betrieb In Schweißanlagen
Bedienung 3.2.2 Betrieb in Schweißanlagen 3.2.3 Betrieb in Sputteranlagen In Schweißanlagen wird die Kryopumpe neben der Bela- Während des Prozesses wird in Sputteranlagen ein stung durch Wärmestrahlung auch mit großen Mengen Druck im Bereich zwischen 2·10 mbar und 10 mbar von Staub beladen. -
Seite 21: Betrieb In Uhv-Anlagen
Bedienung 3.2.4 Betrieb in UHV-Anlagen 3.3 Regenerieren Refrigerator-Kryopumpen haben ein sehr hohes Saug- Da Kryopumpen gasbindende Pumpen sind, muß das in vermögen für Wasserstoff und Wasserdampf und sind der Pumpe gespeicherte Gas gelegentlich entfernt wer- geeignet für den Einsatz an UHV-Anlagen bei Drücken den. - Seite 22 Bedienung < Regenerieren Regen. °C °C < 30/40 30/40 p < p < 1 mbar 4·10 mbar Abb. 12 Regenerieren: 1. Phase Abb. 13 Regenerieren: 2. Phase Wenn beim Regenerieren Wasserdampf frei wird, muß Hochvakuumschieber V1 schließen. die Vorvakuum-Pumpe mit Gasballast laufen. Wasser- Kryopumpe an der Kompressor-Einheit ausschalten.
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Seite 23: Abschalten
Bedienung / Wartung 3.4 Abschalten 4 Wartung Die Kryopumpe muß vor dem Abschalten regeneriert Das Sorptionsmittel in der Feinvakuum-Adsorptionsfalle werden; siehe dazu Abschnitt 3.3. regelmäßig regenerieren oder erneuern; siehe dazu die Gebrauchsanleitung der Feinvakuum-Adsorptionsfalle. Die Kryopumpe nur zur Atmosphäre hin öffnen, wenn sie mindestens Zimmertemperatur hat. -
Seite 24: Fehlersuche
Fehlersuche 5 Fehlersuche Störung Mögliche Ursache Beseitigung Reparatur-Hinweis* 1 Die Temperatur an Kryopumpe ist mit Gas gesättigt. Kryopumpe regenerieren. den Kaltflächen ist zu hoch, oder die Abkühl- Startdruck oder Crossover-Wert/ Pumpe und Vakuumbehälter ausreichend zeit ist zu lang. Übernahme-Druck war zu hoch. vorpumpen. - Seite 25 Fehlersuche Störung Mögliche Ursache Beseitigung Reparatur-Hinweis Der Kaltkopf läuft Heliumkreislauf verschmutzt. Heliumkreislauf spülen. Kompressor-Einheit, unregelmäflg, zu laut Kaltkopf und flexible Druckleitungen reinigen. Service / 4 oder zu leise. Verdränger oder Steuerventil verschmutzt Verdränger reinigen oder austauschen. Service / 4 oder verschlissen. Der Verdränger sollte alle 9000 Betriebsstunden vorbeugend ausgetauscht werden.
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Seite 26: Ersatzteile
Ersatzteile 6 Ersatzteile Sicherheitsventil um 135° versetzt dargestellt Abb. A COOLVAC 3000, COOLVAC 800,1500 ähnlich Abb. B Kaltkopf zu COOLVAC 3000, Kaltkopf zu COOLVAC 800,1500 ähnlich GA 12.123/4.01 - 01/99... - Seite 27 Ersatzteile Stückzahl COOLVAC 800,1500,3000 Siehe Abb. A, B Pos. Bestell-Nr. COOLVAC Benennung Kenndaten 1500 3000 Stromdurchführung 200 19 256 Stromdurchführung mit Silizium-Diode 200 20 694 Indiumscheibe ø4,3 Indium 200 19 473 Indiumscheibe ø5,3 Indium 200 19 783 Baffle 200 19 282 Baffle 200 19 554 Baffle...
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Seite 28: Eg-Herstellererklärung
EG-Herstellererklärung im Sinne der Maschinenrichtlinie 89/392/EWG, Anhang IIb Hiermit erklären wir, die Leybold Vakuum GmbH, daß die Angewandte harmonisierte Normen: Inbetriebnahme der nachfolgend bezeichneten unvoll- • EN 292-1 u. -2: 1991 ständigen Maschine solange untersagt ist, bis festge- Sicherheit von Maschinen - Grundbegr. stellt wurde, daß... - Seite 29 Erklärung über Kontaminierung von Vakuumgeräten und -komponenten Die Reparatur und/oder die Wartung von Vakuumgeräten und -komponenten wird nur durchgeführt, wenn eine korrekt und vollständig ausgefüllte Erklärung vorliegt. Ist das nicht der Fall, kommt es zu Verzögerungen der Arbeiten. Wenn die Repara- tur/Wartung im Herstellerwerk und nicht am Ort ihres Einsatzes erfolgen soll, wird die Sendung gegebenenfalls zurückgewie- sen.
- Seite 30 LEYBOLD VAKUUM GmbH Bonner Strasse 498 (Bayenthal) D-50968 Köln Tel.: (0221) 347-0 Fax: (0221) 347-1250 http://www.leyboldvac.de e-mail:documentation@leyboldvac.de...