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6.2 Betriebsarten
Der Betrieb der Turbopumpe ist auf verschiedene Arten möglich.
● Betrieb ohne Steuergerät
● Betrieb über Anschluss "E74"
● Betrieb über Anschluss "remote"
● Betrieb über Schnittstelle RS-485 von Pfeiffer Vacuum Steuergerät oder PC
6.2.1 Betrieb ohne Bedieneinheit
Hinweise für den Betrieb ohne Bedieneinheit
1. Verwenden Sie nur die zugelassenen Pfeiffer Vacuum Gegenstecker mit Brücken auf dem An-
2. Schalten Sie die Stromversorgung der Turbopumpe erst unmittelbar vor dem Betrieb ein.
Nach Anlegen der Betriebsspannung führt die Antriebselektronik einen Selbsttest zur Überprüfung der
Versorgungsspannung durch. Nach erfolgreich abgeschlossenem Selbsttest startet die Turbopumpe
und aktiviert verbundene Zusatzeinrichtungen entsprechend der Konfiguration.
6.2.2 Betrieb über Anschluss "E74"
Die Bedienung ist über den 15-poligen D-Sub-Anschluss mit der Bezeichnung "E74" an der Antriebs-
elektronik möglich. Der Anschluss enthält neben den in der Richtlinie SEMI E74-0301 definierten Signa-
len ein invertiertes Alarmsignal und einen Analogausgang.
Hinweise für den Betrieb mit E74
► Beachten Sie die Betriebsanleitung der Antriebselektronik in E74 Ausführung.
6.2.3 Betrieb über Multifunktionsanschluss "remote"
Die Fernbedienung ist über den 26-poligen D-Sub-Anschluss mit der Bezeichnung "remote" an der An-
triebselektronik möglich. Die bedienbaren Einzelfunktionen sind durch "SPS-Pegel" dargestellt.
Hinweise für den Betrieb mit Fernbedienung
► Beachten Sie die Betriebsanleitung der Antriebselektronik für die Standardausführung.
6.2.4 Betrieb über Pfeiffer Vacuum Steuergerät
Der Anschluss eines Pfeiffer Vacuum Steuergeräts ermöglicht die Steuerung der Turbopumpe über die
in der Antriebselektronik verankerten Parameter.
Steuergerät verwenden
1. Beachten Sie für den Umgang mit den Pfeiffer Vacuum Steuergeräten die dazugehörende Be-
2. Beachten Sie die Betriebsanleitung der Antriebselektronik aus dem Lieferumfang der Vakuum-
3. Schließen Sie das Steuergerät am Anschluss "RS-485" an der Antriebselektronik an.
4. Schalten Sie die Stromversorgung der Turbopumpe über das externe Netzteil oder das Steuerge-
Automatischer Anlauf
Bei Verwendung des mitgelieferten Gegensteckers auf der Antriebselektronik oder Über-
brücken von Kontakten gemäß Anschlussbelegung ist die Turbopumpe betriebsbereit.
Nach Bereitstellen der Versorgungsspannung läuft die Turbopumpe sofort hoch.
schluss der Antriebselektronik.
triebsanleitung:
– Betriebsanleitung verfügbar im
pumpe.
– Verwenden Sie dazu ein geeignetes Verbindungskabel mit Anschluss "RS-485".
rät mit integriertem Netzteil ein.
Download
Center.
Betrieb
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