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Pfeiffer Vacuum HIPACE 2300 IT Betriebsanleitung
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Pfeiffer Vacuum HIPACE 2300 IT Betriebsanleitung

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BETRIEBSANLEITUNG
OPERATING INSTRUCTIONS
HIPACE 2300 IT ∣ IUT
Turbopumpe mit Temperatur Management System
Turbopump with temperature management system
DE
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Verwandte Anleitungen für Pfeiffer Vacuum HIPACE 2300 IT

Inhaltszusammenfassung für Pfeiffer Vacuum HIPACE 2300 IT

  • Seite 1 BETRIEBSANLEITUNG OPERATING INSTRUCTIONS Original HIPACE 2300 IT ∣ IUT Turbopumpe mit Temperatur Management System Turbopump with temperature management system...

  • Seite 2: Disclaimer Of Liability

    Dear Customer, Thank you for choosing a Pfeiffer Vacuum product. Your new turbopump is designed to support you by its performance, its perfect operation and without interfering your individual application. The name Pfeiffer Vacuum stands for high-quality vacuum technology, a comprehensive and complete range of top-quality products and first-class service.

  • Seite 3: Inhaltsverzeichnis

    Allgemeine Sicherheitshinweise Sicherheitshinweise Sicherheitsmaßnahmen Einsatzgrenzen des Produkts Bestimmungsgemäße Verwendung Vorhersehbarer Fehlgebrauch Personenqualifikation 2.7.1 Personenqualifikation sicherstellen 2.7.2 Personenqualifikation bei Wartung und Reparatur 2.7.3 Mit Pfeiffer Vacuum weiterbilden Produktbeschreibung Funktion 3.1.1 Kühlung 3.1.2 Rotorlager 3.1.3 Antrieb Produkt identifizieren 3.2.1 Produkttypen 3.2.2 Produktmerkmale...
  • Seite 4 Betrieb Inbetriebnahme Betriebsarten 6.2.1 Betrieb ohne Bedieneinheit 6.2.2 Betrieb über Anschluss "E74" 6.2.3 Betrieb über Multifunktionsanschluss "remote" 6.2.4 Betrieb über Pfeiffer Vacuum Anzeige- und Bediengeräte 6.2.5 Betrieb über Feldbus Turboumpe einschalten Betrieb mit TMS 6.4.1 TMS Anschluss 6.4.2 Ablaufbeschreibung TMS Betriebsüberwachung...
  • Seite 5 Inhaltsverzeichnis 13.2 Zubehör bestellen Technische Daten und Abmessungen 14.1 Allgemeines 14.2 Technische Daten 14.3 Abmessungen Konformitätserklärung 5/150...
  • Seite 6 Tab. 19: Störungsbehebung bei Turbopumpen Tab. 20: Verfügbare Ersatzteile Tab. 21: Zubehör Tab. 22: Umrechnungstabelle: Druckeinheiten Tab. 23: Umrechnungstabelle: Einheiten für Gasdurchsatz Tab. 24: Technische Daten für HiPace 2300 IT standard Tab. 25: Technische Daten für HiPace 2300 IUT, Überkopf Version 6/150...
  • Seite 7 Abb. 33: Rohrverschraubungen montieren Abb. 34: Ersatzteile HiPace 2300 IT | IUT Abb. 35: HiPace 2300 IT | TC 1200 DN 250 ISO-K Abb. 36: HiPace 2300 IT | TC 1200 DN 250 ISO-F Abb. 37: HiPace 2300 IUT | TC 1200 DN 250 ISO-K Abb.

  • Seite 8: Zu Dieser Anleitung

    Aufbewahren für späteres Nachschlagen. 1.1 Gültigkeit Diese Betriebsanleitung ist ein Kundendokument der Firma Pfeiffer Vacuum. Die Betriebsanleitung be- schreibt das benannte Produkt in seiner Funktion und vermittelt die wichtigsten Informationen für den sicheren Gebrauch des Gerätes. Die Beschreibung erfolgt nach den geltenden Richtlinien. Alle Anga- ben in dieser Betriebsanleitung beziehen sich auf den aktuellen Entwicklungsstand des Produktes.

  • Seite 9: Konventionen

    Dieser Abschnitt beschreibt alle vorhandenen Aufkleber auf dem Produkt, sowie deren Bedeutung. Typenschild Typenschilder einzelner Baugruppen befinden sich am Unter- D-35614 Asslar teil der Turbopumpe oder auf den betreffenden Anbauten. HiPace 2300 IT Mod. PM P06 340 - - - - - - - - PM 006 336 -T TÜV Rheinland...

  • Seite 10: Abkürzungen

    Zu dieser Anleitung Betriebsmitteleinfüllschraube Dieser Aufkleber beschreibt die Position der jeweiligen Einfüll- schraube für Betriebsmittel. Schutzklasse Dieser Aufkleber beschreibt die Schutzklasse 1 für das Pro- dukt. Die Platzierung zeigt die Position für den Erdungsan- schluss an. Kühlwasseranschluss COOLING WATER IN Dieser Aufkleber beschreibt die Position und die Vorausset- zungen für den Kühlwasserzufluss der Turbopumpe.

  • Seite 11: Markennachweis

    Zu dieser Anleitung Abkürzung Bedeutung im Dokument Betrag des Durchmessers (in mm) Anzeige- und Bediengerät (display and control unit) Nomineller Durchmesser als Größenbeschreibung Notabschaltung (Emergency stop) Betrag der Drehzahl einer Vakuumpumpe (Frequency, in 1/min oder Hz) Assistent zur Steuerung und Kontrolle von Parametern (Handheld programming unit) Hochvakuumflansch, Hochvakuumseite Flansch: Anschlussverbindung gemäß...

  • Seite 12: Sicherheit

    Sicherheit 2 Sicherheit 2.1 Allgemeine Sicherheitshinweise Im vorliegenden Dokument sind folgende 4 Risikostufen und 1 Informationslevel berücksichtigt. GEFAHR Unmittelbar bevorstehende Gefahr Kennzeichnet eine unmittelbar bevorstehende Gefahr, die bei Nichtbeachtung zum Tod oder zu schweren Verletzungen führt. ► Anweisung zur Vermeidung der Gefahrensituation WARNUNG Möglicherweise bevorstehende Gefahr Kennzeichnet eine bevorstehende Gefahr, die bei Nichtbeachtung zum Tod oder zu schweren Verlet-...
  • Seite 13 Sicherheit Risiken bei der Installation GEFAHR Lebensgefahr durch elektrischen Schlag Das Berühren von offenliegenden und spannungsführenden Elementen erzeugt einen elektrischen Schlag. Unsachgemäßer Anschluss der Netzversorgung führt zu der Gefahr berührbarer, spannungs- führender Gehäuseteile. Es besteht Lebensgefahr. ► Kontrollieren Sie die Anschlussleitungen vor der Installation auf spannungsfreien Zustand. ►...
  • Seite 14 Sicherheit WARNUNG Gefahr schwerer Verletzungen durch pendelnde, kippende oder herabfallende Gegenstände Unsachgemäße Handhabung während der mechanischen Installation führt zur Gefahr von pendel- nden, kippenden oder herabfallenden schweren Lasten. Es besteht das Risiko von Quetschungen und Stoßen (z.B. an kollidierenden Flanschanschlüssen). Es besteht die Gefahr von Verletzungen an Gliedmaßen bis hin zu Knochenbrüchen und Kopfverletzungen.
  • Seite 15 Sicherheit Risiken bei der Wartung, Außerbetriebnahme und Entsorgung WARNUNG Lebensgefahr durch elektrischen Schlag bei Wartungs- und Servicearbeiten Das Gerät ist nur bei gezogenem Netzstecker und stillstehender Turbopumpe völlig spannungsfrei. Es besteht Lebensgefahr durch elektrischen Schlag bei Berührung spannungsführender Komponen- ten. ►...
  • Seite 16 Sicherheit WARNUNG Verbrühungsgefahr an plötzlich austretendem Kühlwasser Die Wasseranschlüsse der Turbopumpe sind zu beiden Seiten offen. Bei Anschluss der Kühlwasser- versorgung besteht Verbrühungsgefahr durch plötzlich austretendes, heißes Kühlwasser mit Über- druck. ► Sorgen Sie vor der Installation für Druckentlastung und Abkühlung des Kühlwassersystems. ►...

  • Seite 17: Sicherheitsmaßnahmen

    Verletzungen, evtl. mit Todesfolge und großen Sachschäden. ► Befolgen Sie die Installationsanweisungen für diese Turbopumpe. ► Beachten Sie die Anforderungen an Stabilität und Auslegung des Gegenflansches. ► Verwenden Sie nur original Zubehör oder von Pfeiffer Vacuum zugelassenes Befestigungsmate- rial für die Installation. WARNUNG Verletzungsgefahr durch Abreißen der Turbopumpe mit Dämpfungskörper im Störungsfall...

  • Seite 18: Einsatzgrenzen Des Produkts

    Sicherheit ► Lösen Sie während des Betriebs keine Steckerverbindungen. ► Beachten Sie die genannten Ausschaltprozeduren. ► Warten Sie vor Arbeiten am Hochvakuumanschluss den völligen Stillstand des Rotors ab (Dreh- zahl f = 0). ► Setzen Sie das Gerät nicht mit offenem Hochvakuumanschluss in Betrieb. ►...

  • Seite 19: Vorhersehbarer Fehlgebrauch

    ● Verwendung von Zubehör oder Ersatzteilen, die nicht in dieser Anleitung genannt sind 2.7 Personenqualifikation Die in diesem Dokument beschriebenen Arbeiten dürfen nur Personen ausführen, die die geeignete technische Ausbildung besitzen und über die nötigen Erfahrungen verfügen oder über Pfeiffer Vacuum an entsprechenden Schulungen teilgenommen haben. Personen schulen 1.

  • Seite 20: Personenqualifikation Bei Wartung Und Reparatur

    ─ Kunde mit Pfeiffer Vacuum-Serviceausbildung ─ Pfeiffer Vacuum-Servicetechniker 2.7.3 Mit Pfeiffer Vacuum weiterbilden Für die optimale und störungsfreie Nutzung dieses Produktes bietet Pfeiffer Vacuum ein umfangreiches Angebot an Schulungen und technischen Trainings an. Für weitere Auskünfte wenden Sie sich bitte an die technische Schulung von Pfeiffer Vacuum.

  • Seite 21: Produktbeschreibung

    Das Temperatur Management System (TMS) verhindert kondensierbare Prozessrückstände durch die geregelte Aufheizung des Pumpengehäuses. Das Kühlsystem sorgt für die sichere und ausreichende Wärmeableitung ohne Energieverlust beim Heizprozess. 16 15 Abb. 2: Aufbau HiPace 2300 IT Hochvakuumanschluss, DN 250 ISO-F Sperrgasventil TMS Heizmanschette Schutzdeckel für Hochvakuumanschluss TMS Box Schutzdeckel für Vorvakuumanschluss...

  • Seite 22: Kühlung

    Funktion der Kugellager. 3.1.3 Antrieb ● Antriebselektronik TC 1200 3.2 Produkt identifizieren ► Halten Sie zur sicheren Produktidentifikation bei der Kommunikation mit Pfeiffer Vacuum immer alle Angaben des Typenschildes bereit. ► Informieren Sie sich über Zertifizierungen durch Prüfsiegel auf dem Produkt oder unter www.certi- pedia.com...

  • Seite 23: Lieferumfang

    Produktbeschreibung Netzspannung ± 10 % Motoreingangsleistung der Antriebselektronik 100 bis 120 V AC 700 bis 930 W 200 bis 240 V AC 1200 W Tab. 6: Abgegebene Antriebsleistung in Abhängigkeit der bereitgestellten Netzspannung 3.3 Lieferumfang ● Turbopumpe mit Antriebselektronik und integriertem Netzteil ●...

  • Seite 24: Transport Und Lagerung

    ► Lassen Sie das Betriebsmittel ab, bevor Sie die Vakuumpumpe bewegen oder transportieren. ► Befüllen Sie die Vakuumpumpe erst nach der mechanischen Installation mit Betriebsmittel. Pfeiffer Vacuum empfiehlt die Transportverpackung und die Original-Schutzdeckel aufzu- bewahren. Allgemeine Hinweise für den sicheren Transport 1.

  • Seite 25: Transport In Vertikaler Raumlage

    Transport und Lagerung 4.1.1 Transport in vertikaler Raumlage HINWEIS Zerstörung der Vakuumpumpe durch Misachtung der typenspezifischen Raumlage Unzulässige Raumlagen führen zur Verschmutzung der Vakuumpumpe durch Betriebsmittel. Es be- steht die Gefahr der Verunreinigung des Prozessvakuums und Schäden an der Vakuumpumpe bis hin zu deren Zerstörung.

  • Seite 26: Lagerung

    – Heben Sie die Ringschraube für die spätere Verwendung auf. 4.2 Lagerung Empfehlung Pfeiffer Vacuum empfiehlt die Lagerung der Produkte in ihrer original Transportverpackung. Turbopumpe lagern 1. Verschließen Sie die Flanschöffnungen mit den original Schutzdeckeln. 2. Verschließen Sie weitere Anschlüsse (z. B. Flutanschluss) mit entsprechenden Originalteilen.

  • Seite 27: Installation

    Installation 5 Installation Die Installation der Turbopumpe und ihrer Befestigung ist von herausragender Bedeutung. Der Rotor der Turbopumpe dreht sich mit sehr hoher Geschwindigkeit. In der Praxis ist nicht auszuschließen, dass der Rotor den Stator berührt (z. B. durch Eindringen von Fremdkörpern in den Hochvakuumanschluss). Die freigesetzte kinetische Energie wirkt innerhalb von Sekundenbruchteilen auf das Gehäuse und auf die Verankerung der Turbopumpe.

  • Seite 28: Hochvakuumseite Anschließen

    ● Stellen Sie sicher, dass im Falle eines plötzlichen Blockierens des Rotors der Hochva- kuumanschluss und die betreiberseitige Anlage alle auftretenden Drehmomente auf- nehmen müssen. ● Verwenden Sie für den Hochvakuumanschluss der Turbopumpe nur die zugelassenen Befestigungssätze von Pfeiffer Vacuum. Parameter HiPace 2300 IT 16000 Nm...

  • Seite 29: Splitterschutz Oder Schutzgitter Verwenden

    Beispiel: Sicherung gegen Verschieben und Kippen durch externe Erschütterungen 1 Sicherheitsverbindung, kundenseitig 5.2.3 Splitterschutz oder Schutzgitter verwenden Pfeiffer Vacuum Zentrierringe mit Splitterschutz oder Schutzgitter im Hochvakuumflansch schützen die Turbopumpe vor Fremdkörpern aus dem Rezipienten. Das Saugvermögen reduziert sich entsprechend der Durchgangsleitwerte und der Größe des Hochvakuumflansches.

  • Seite 30: Einbaulagen

    Installation 5.2.5 Einbaulagen HINWEIS Zerstörung der Vakuumpumpe durch Misachtung der typenspezifischen Raumlage Unzulässige Raumlagen führen zur Verschmutzung der Vakuumpumpe durch Betriebsmittel. Es be- steht die Gefahr der Verunreinigung des Prozessvakuums und Schäden an der Vakuumpumpe bis hin zu deren Zerstörung. ► Beachten Sie die Aufkleber über die gültige Raumlage auf der Vakuumpumpe. ►...

  • Seite 31: Iso-K Flansch An Iso-K Befestigen

    Flanschverbindung ISO-K zu ISO-K, Klammerschraube Verbindung mit Klammerschraube 1. Verwenden Sie für den Anschluss nur die zugelassenen Befestigungssätze von Pfeiffer Vacuum. 2. Verbinden Sie die Flansche gemäß der Abbildung mit den Bauteilen des Befestigungssatzes. 3. Verwenden Sie alle für die Turbopumpe vorgeschriebenen Bauteile.

  • Seite 32: Abb. 11: Flanschverbindung Iso-K Zu Iso-F, Sechskantschraube Und Gewindeboh

    Flanschverbindung ISO-K zu ISO-F, Sechskantschraube und Gewindebohrung Verbindung von Sechskantschraube und Gewindebohrung 1. Verwenden Sie für den Anschluss nur die zugelassenen Befestigungssätze von Pfeiffer Vacuum. 2. Legen Sie den Überwurfflansch über den Hochvakuumflansch der Turbopumpe. 3. Setzen Sie den Sprengring in die seitliche Nut am Hochvakuumflansch der Turbopumpe.

  • Seite 33: Iso-F Flansch An Iso-F Befestigen

    Flanschverbindung ISO-F, Sechskantschraube und Gewindebohrung Verbindung von Sechskantschraube und Gewindebohrung 1. Verwenden Sie für den Anschluss nur die zugelassenen Befestigungssätze von Pfeiffer Vacuum. 2. Befestigen Sie die Turbopumpe gemäß der Abbildung mit Zentrierring am Gegenflansch. 3. Verwenden Sie alle für die Turbopumpe vorgeschriebenen Bauteile.

  • Seite 34: Betriebsmittel Einfüllen

    Installation Verbindung von Stiftschraube und Gewindebohrung 1. Verwenden Sie für den Anschluss nur die zugelassenen Befestigungssätze von Pfeiffer Vacuum. 2. Schrauben Sie die Stiftschrauben mit dem kürzeren Ende in die Gewindebohrungen am Gegen- flansch ein. – Beachten Sie die Mindestzugfestigkeit des Flanschmaterials und die Einschraubtiefe.

  • Seite 35: Vorvakuumseite Anschließen

    Installation Abb. 18: Position der Einfüllschrauben abhängig von der Einbaulage. Beispiel: Standard Ver- sionen Richtung des Hochvakuumanschlusses Abb. 19: Position der Einfüllschrauben abhängig von der Einbaulage. Beispiel: U-Versionen Richtung des Hochvakuumanschlusses Vorgehen 1. Schrauben Sie die jeweils höher gelegene Einfüllschraube aus der Betriebsmittelpumpe heraus. 2.

  • Seite 36: Kühlwasseranschluss

    In diesem Fall ist die Steuerung der Vorpumpe auch direkt über die Schnittstellen der An- triebselektronik der Turbopumpe möglich (z. B. Relaisbox oder Verbindungskabel). Abb. 20: Beispiel für den Vorvakuumanschluss an HiPace 2300 IT 1 Vorpumpe (z.B. Zweistufige Drehschieberpumpe) Vakuumkomponenten DN 40 ISO-KF...

  • Seite 37: Kühlwasseranschluss Mit Schlauchtüllen Herstellen

    Installation Parameter Kühlwasser Aussehen ● filtriert ● mechanisch klar ● optisch klar ● keine Trübung ● kein Bodensatz ● frei von Fetten und Ölen pH-Wert 7 bis 9 Karbonathärte max. 10 °dH 12,53 °e 17,8 °fH 178 ppm CaC0 Chloridgehalt max. 100 mg/l Sulfatgehalt max.

  • Seite 38: Kühlwasseranschluss Mit Rohrverschraubungen Herstellen

    2 Kühlwassereingang, G 1/4" Einschraubtülle (2x) Vorgehen Pfeiffer Vacuum empfiehlt die Verwendung eines Schmutzfängers in der Vorlaufleitung. 1. Schrauben Sie je eine Schlauchtülle mit Dichtring auf die Kühlwasseranschlüsse der Turbopum- – Anziehdrehmoment: Max. 15 Nm 2. Stecken Sie die Kühlwasservorlaufleitung auf die Schlauchtülle am bezeichneten Kühlwasserein- gang der Turbopumpe.

  • Seite 39: Zubehör Anschließen An Turbopumpen Mit Tms

    ► Verändern Sie nicht die werkseitig voreingestellten Parameter für das TMS [P:036] und [P:038]. ► Lösen Sie keine Kabelverbindung während des Betriebs. Installation und Betrieb von Zubehör Pfeiffer Vacuum bietet für Ihre Produkte eine Reihe von speziell abgestimmtem Zubehör ● Informationen und Bestellmöglichkeiten zu zugelassenem Zubehörportfolio für hybrid- gelagerte Turbopumpen finden Sie online.

  • Seite 40: Sperrgas Anschließen

    ► Beachten Sie die Installationshinweise in den Betriebsanleitungen des betreffenden Zubehörs. ► Achten Sie auf die vorhandene Konfiguration bestehender Anschlüsse. ► Verwenden Sie das Pfeiffer Vacuum Anzeige- und Bediengerät DCU 002 oder ein DCU mit integ- riertem Netzteil. 5.7 Sperrgas anschließen Die Verwendung von Sperrgas dient dem Schutz der Turbopumpe bei staubbehafteten Prozessen oder zu hohem Gasdurchsatz.

  • Seite 41: Elektrische Schutzmaßnahmen Einrichten

    Installation 5.8 Elektrische Schutzmaßnahmen einrichten WARNUNG Lebensgefahr durch fehlende Netztrenneinrichtung Die Vakuumpumpe und die Antriebselektronik sind nicht mit einer Netztrenneinrichtung (Hauptschal- ter) ausgestattet. ► Installieren Sie eine Netztrenneinrichtung gemäß SEMI-S2. ► Sehen Sie einen Leistungsschalter mit einem Ausschaltvermögen von min. 10.000 A vor. Keine Notabschaltung Die Vakuumpumpe ist nicht mit einer Notabschaltung (EMS) oder mit einer elektrischen Verriegelung ausgestattet.

  • Seite 42: Elektrische Versorgung Anschließen

    Installation 5.9 Elektrische Versorgung anschließen GEFAHR Lebensgefahr durch elektrischen Schlag Das Berühren von offenliegenden und spannungsführenden Elementen erzeugt einen elektrischen Schlag. Unsachgemäßer Anschluss der Netzversorgung führt zu der Gefahr berührbarer, spannungs- führender Gehäuseteile. Es besteht Lebensgefahr. ► Kontrollieren Sie die Anschlussleitungen vor der Installation auf spannungsfreien Zustand. ►...

  • Seite 43: Tab. 14: Anschlussbelegung Des Netzanschlusssteckers

    Sie haben 2 Möglichkeiten, den Netzanschluss für die Turbopumpe und die TMS Box auszulegen. ► Achten Sie auf die gültige Versorgungsspannung. ► Bestellen Sie das passende Netzanschlusskabel aus dem Pfeiffer Vacuum Zubehör. ► Konfektionieren Sie eigene Netzanschlusskabel unter Verwendung beider Anschlussbuchsen HAN 3A aus dem Lieferumfang.

  • Seite 44: Betrieb

    Wichtige Einstellwerte und funktionsrelevante Kenngrößen sind als Parameter werksseitig in der An- triebselektronik der Vakuumpumpe programmiert. Jeder Parameter besitzt eine dreistellige Nummer und eine Benennung. Betrieb und Steuerung durch Parameter ist über Pfeiffer Vacuum Anzeige- und Bediengeräte oder über RS-485 extern mittels Pfeiffer Vacuum Protokoll möglich.

  • Seite 45: Betriebsarten

    Der Anschluss eines Pfeiffer Vacuum Anzeige- und Bediengerätes ermöglicht die Steuerung der Turbo- pumpe über die in der Antriebselektronik verankerten Parameter. Anzeige- und Bediengerät verwenden 1. Beachten Sie für den Umgang mit den Pfeiffer Vacuum Anzeige- und Bediengeräten die dazuge- hörende Betriebsanleitung: – Betriebsanleitung verfügbar im Download Center.

  • Seite 46: Turboumpe Einschalten

    Betrieb Zur Verfügung stehen: ● Profibus ● EtherCAT ● DeviceNet Hiweise für den Betrieb mit Feldbus ► Beachten Sie die Betriebsanleitung der Antriebselektronik mit entsprechendem Anschlusspanel. 6.3 Turboumpe einschalten WARNUNG Gefahr von Schnittverletzungen durch unvorhergesehenen automatischen Hochlauf Das Verwenden von Gegensteckern für die Antriebselektronik (Zubehör), ermöglicht den sofortigen Hochlauf der Vakuumpumpe nach Herstellen der Spannungsversorgung.

  • Seite 47: Betrieb Mit Tms

    Betrieb Abb. 24: Netzanschluss HiPace 2300 IT 1 TMS Box mit Anschlusstecker "ST1" Netzkabel mit Buchse zur Antriebselektronik 2 Netzkabel mit Buchse zur TMS-Box Antriebselektronik mit Anschlussstecker "ACin" Netzanschluss herstellen 1. Achten Sie darauf, dass die Verbindung zum betreiberseitigen Netz unterbrochen oder ausge- schaltet ist.

  • Seite 48: Betriebsüberwachung

    Solltemperatur zu halten. 6.5 Betriebsüberwachung 6.5.1 Betriebsanzeige über LED LEDs an der Antriebselektronik zeigen grundlegende Betriebszustände der Vakuumpumpe an. Eine dif- ferenzierte Fehler- und Warnungsanzeige ist nur bei Betrieb mit Pfeiffer Vacuum Anzeige- und Bedien- gerät oder PC möglich. Symbol LED Status...

  • Seite 49: Ausschalten

    Generelle Hinweise für schnelles Fluten Wir empfehlen das schnelle Belüften größerer Volumina in 4 Schritten durchzuführen. 1. Verwenden Sie ein Pfeiffer Vacuum Flutventil für die Turbopumpe oder stimmen Sie den Ventilqu- erschnitt auf die Größe des Rezipienten und die maximale Flutrate ab.

  • Seite 50: Wartung

    6. Lassen Sie das Rotorlager der Turbopumpe mindestens alle 4 Jahre durch den Pfeiffer Vacu- um Service austauschen. 7. Stimmen Sie kürzere Wartungsintervalle bei extremen Belastungen oder unreinen Prozessen mit dem Pfeiffer Vacuum Service ab. 8. Wenden Sie sich für alle anderen Reinigungs-, Wartungs- oder Instandsetzungsarbeiten an das zuständige Pfeiffer Vacuum Service Center.

  • Seite 51: Betriebsmittel Wechseln

    Wartung 7.3 Betriebsmittel wechseln WARNUNG Vergiftungsgefahr durch Kontakt mit gesundheitsschädlichen Stoffen Das Betriebsmittel und Teile der Turbopumpe enthalten möglicherweise giftige Substanzen aus den gepumpten Medien. ► Dekontaminieren Sie betreffende Teile vor der Ausführung von Wartungsarbeiten. ► Verhindern Sie Gesundheitsgefährdungen oder Umweltbelastungen durch entsprechende Si- cherheitsvorkehrungen.

  • Seite 52: Betriebsmittel Einfüllen

    ► Befüllen Sie die Turbopumpe mit Betriebsmittel erst nach der mechanischen Installation. ► Befüllen Sie die Turbopumpe mit Betriebsmittel nur über eine der durch ein Ölkannen-Symbol gekennzeichnteten Einfüllschrauben. ► Wenden Sie sich im Falle von Unsicherheiten an Pfeiffer Vacuum. Benötigtes Verbrauchsmaterial ● Betriebsmittel F3, 50 ml Benötigte Werkzeuge...

  • Seite 53: Antriebselektronik Austauschen

    Wartung Abb. 27: Position der Einfüllschrauben abhängig von der Einbaulage. Beispiel: U-Versionen Richtung des Hochvakuumanschlusses Vorgehen 1. Schrauben Sie die jeweils höher gelegene Einfüllschraube aus der Betriebsmittelpumpe heraus. 2. Verwenden Sie die Injektionsspritze und das Betriebsmittel aus dem Lieferumfang der Turbopum- 3.

  • Seite 54: Antriebselektronik Demontieren

    Wartung Sicherung von kundenseitigen Einstellungen Im Austauschgerät sind immer die werkseitigen Betriebsparameter voreingestellt. Alle kun- denseitig vorgenommenen Einstellungen der original Antriebselektronik gehen nach einem Austausch verloren. Zum Erhalt Ihrer persönlichen Einstellungen haben Sie folgende Mög- lichkeiten: 1. Sichern Sie alle Ihre Einstellungen als Parametersatz in einem HPU. 2.

  • Seite 55: Drehzahlvorgabe Bestätigen

    Tab. 18: Charakteristische Nenndrehzahlen der Turbopumpen Benötigte Hilfsmittel ● Ein angeschlossenes Pfeiffer Vacuum Anzeige- und Bediengerät. ● Kenntnis der Konfiguration und Einstellung von Betriebsparametern der Antriebselektronik. Einstellen der Bestätigung der Nenndrehzahl 1. Beachten Sie die Betriebsanleitung des Anzeige- und Bediengeräts.

  • Seite 56: Heizmanschette Austauschen

    Wartung 4. Öffnen und editieren Sie den Parameter [P:777]. 5. Stellen Sie den Parameter [P:777] auf den erforderlichen Wert der Nenndrehzahl in Hertz ein. 7.5 Heizmanschette austauschen WARNUNG Verbrennungsgefahr an heißen Oberflächen bei Verwendung von Zusatzeinrichtungen zum Heizen für den Betrieb Die Verwendung von Zusatzeinrichtungen zum Heizen der Vakuumpumpe oder zur Prozessoptimie- rung erzeugt sehr hohe Temperaturen an berührbaren Oberflächen.

  • Seite 57: Heizmanschette Montieren

    Wartung 7.5.2 Heizmanschette montieren Abb. 31: Heizmanschette montieren 1 Heizmanschette Stecker 2 Spanngurt TMS-Box Heizmanschette montieren 1. Legen Sie die neue Heizmanschette um den zylindrischen Abschnitt des Pumpengehäuses. 2. Ziehen Sie den Spanngurt fest. 3. Verschließen Sie alle Klettverschlüsse. 4. Achten Sie darauf, dass die Heizmanschette komplett am Gehäuse anliegt. 5.

  • Seite 58: Rohrverschraubungen Montieren

    Wartung Abb. 32: Rohrverschraubungen demontieren 1 Markierung am Rohr Überwurfmutter 2 Markierung an der Überwurfmutter Verschraubungskörper 3 Markierung am Verschraubungskörper Rohrverschraubung demontieren Swagelok Rohrverschraubungen können viele Male demontiert und wieder montiert werden. 1. Markieren Sie vor der Demontage das Rohr an der Außenkante der Überwurfmutter mit einem Strich.

  • Seite 59: Außerbetriebnahme

    2. Reinigen Sie die Turbopumpe außen mit einem fusselfreien Tuch und wenig Isopropanol. 3. Lassen Sie die Turbopumpe ggf. durch den Pfeiffer Vacuum Service komplett reinigen. 4. Beachten Sie die Gesamtlaufzeit der Turbopumpe und lassen ggf. einen Lagerwechsel durch den Pfeiffer Vacuum Service durchführen.

  • Seite 60: Recycling Und Entsorgung

    Schutz von Umwelt und Personen betreffenden Vorschriften er- folgen, um die Verschwendung von Naturressourcen zu reduzieren und Verschmutzungen zu verhindern. 9.1 Allgemeine Entsorgungshinweise Pfeiffer Vacuum Produkte enthalten Werkstoffe, die Sie recyclen müssen. ► Entsorgen Sie unsere Produkte nach Beschaffenheit als – Eisen – Aluminium –...

  • Seite 61: Störungen

    Verletzungen, evtl. mit Todesfolge und großen Sachschäden. ► Befolgen Sie die Installationsanweisungen für diese Turbopumpe. ► Beachten Sie die Anforderungen an Stabilität und Auslegung des Gegenflansches. ► Verwenden Sie nur original Zubehör oder von Pfeiffer Vacuum zugelassenes Befestigungsmate- rial für die Installation. WARNUNG Verletzungsgefahr durch Abreißen der Turbopumpe mit Dämpfungskörper im Störungsfall...
  • Seite 62 ● Antriebselektronik de- ● Tauschen Sie die Antriebselektronik aus. fekt ● Verständigen Sie den Pfeiffer Vacuum Service. Turbopumpe läuft nicht an; ● Bei Betrieb ohne Be- ● Verbinden Sie die Anschlüsse gemäß Anschlussplan grüne LED an der Antriebs- dieneinheit: Pin 1-3, der Antriebselektronik.

  • Seite 63: Tab. 19: Störungsbehebung Bei Turbopumpen

    Ein und Störungsquittierung. ● Führen Sie eine differenzierte Fehleranalyse mit einem Anzeige- und Bediengerät durch. ● Verständigen Sie den Pfeiffer Vacuum Service. Kühlwasser hat das Isolati- ● Leck im Kühlwassersys- ● Ziehen Sie den Stecker der Heizung an der TMS-Box.

  • Seite 64: Servicelösungen Von Pfeiffer Vacuum

    Wir sind stets darauf bedacht, unsere Kernkompetenz, den Service an Vakuumkomponenten, zu per- fektionieren. Nach dem Kauf eines Produktes von Pfeiffer Vacuum ist unser Service noch lange nicht zu Ende. Oft fängt Service dann erst richtig an. Natürlich in bewährter Pfeiffer Vacuum Qualität.
  • Seite 65 6. Bringen Sie die Erklärung zur Kontaminierung außen an der Verpa- ckung an. ERKLÄRUNG KONTAMINIERUNG 7. Senden Sie nun Ihr Produkt an Ihr lokales Service Center. 8. Sie erhalten eine Rückmeldung/ein Angebot von Pfeiffer Vacuum. Für alle Serviceaufträge gelten unsere Verkaufs- und Lieferbedingungen sowie die Reparatur- und War- tungsbedingungen für Vakuumgeräte und -komponenten.

  • Seite 66: Ersatzteile

    Ersatzteile 12 Ersatzteile Abb. 34: Ersatzteile HiPace 2300 IT | IUT Position Bezeichnung Größe Bestellnummer Bemerkung Stück Antriebselektronik TC 1200 siehe Typenschild abhängig vom Anschlusspanel Stecker E74 15-polig P 4723 110 je nach TC-Ausführung, (mit Brücken) Remotestecker 26-polig PM 061 378 X...

  • Seite 67: Zubehör

    Befestigung der Vakuumpumpe. Optional mit Splitterschutz oder Schutzgitter. Netzteile und Anzeigegeräte Netzteile zur optimalen Spannungsversorgung von Pfeiffer Vacuum Produkten zeichnen sich durch mi- nimale Baugröße und angepasste Leistungsversorgung bei maximaler Zuverlässigkeit aus. Anzeige- und Bediengeräte dienen der Kontrolle und Einstellung von Betriebsparametern.

  • Seite 68: Tab. 21: Zubehör

    Zubehör Benennung Bestellnummer Befestigungssatz für DN 250 ISO-F, inklusive Zentrierring beschichtet, Schutzgit- PM 016 482 -T ter, Sechskantschrauben Befestigungssatz für DN 250 ISO-F, inklusive Zentrierring beschichtet, Stiftschrau- PM 016 485 -T Befestigungssatz für DN 250 ISO-F, inklusive Zentrierring beschichtet, Splitter- PM 016 486 -T schutz, Stiftschrauben Befestigungssatz für DN 250 ISO-F, inklusive Zentrierring beschichtet, Schutzgit-...

  • Seite 69: Technische Daten Und Abmessungen

    Technische Daten und Abmessungen 14 Technische Daten und Abmessungen 14.1 Allgemeines Dieser Abschnitt benennt die Grundlagen für die technischen Daten von Pfeiffer Vacuum Turbopumpen. Technische Daten Angegebene Maximalwerte beziehen sich ausschließlich auf den Eintrag als Einzelbelas- tung. ● Vorgaben nach PNEUROP Komitee PN5 ●...
  • Seite 70 Technische Daten und Abmessungen Typenbezeichnung HiPace® 2300 IT HiPace® 2300 IT HiPace® 2300 IT HiPace® 2300 IT Hochlaufzeit 4 min 4 min 4 min 4 min Saugvermögen für Ar 1800 l/s 1800 l/s 1800 l/s 1800 l/s Saugvermögen für H 1850 l/s 1850 l/s 1850 l/s...

  • Seite 71: Tab. 24: Technische Daten Für Hipace 2300 It Standard

    -25 – 55 °C Gewicht 41,5 kg 42,6 kg 41,5 kg 42,6 kg Tab. 24: Technische Daten für HiPace 2300 IT standard Typenbezeichnung HiPace® 2300 IUT HiPace® 2300 IUT HiPace® 2300 IUT HiPace® 2300 IUT Anschlussflansch (Eingang) DN 250 ISO-K...

  • Seite 72: Abmessungen

    Technische Daten und Abmessungen Typenbezeichnung HiPace® 2300 IUT HiPace® 2300 IUT HiPace® 2300 IUT HiPace® 2300 IUT Kompressionsverhältnis für 2 · 10 2 · 10 2 · 10 2 · 10 Kompressionsverhältnis für 3 · 10 3 · 10 3 · 10 3 ·...

  • Seite 73: Abb. 35: Hipace 2300 It | Tc 1200 Dn 250 Iso-K

    Technische Daten und Abmessungen DN 250 ISO-K DN 40 ISO-KF cooling water in cooling water out Abb. 35: HiPace 2300 IT | TC 1200 DN 250 ISO-K DN 250 ISO-F DN 40 ISO-KF cooling water in cooling water out Abb. 36:...

  • Seite 74: Abb. 38: Hipace 2300 Iut | Tc 1200 Dn 250 Iso-F

    Technische Daten und Abmessungen cooling water out cooling water in DN 40 ISO-KF DN 250 ISO-F Abb. 38: HiPace 2300 IUT | TC 1200 DN 250 ISO-F 74/150...

  • Seite 75: Konformitätserklärung

    DIN EN 61010-1 : 2011 DIN EN 61326-1 : 2013 DIN EN 62061 : 2013 Bevollmächtigter für die Zusammenstellung der technischen Unterlagen ist Herr Tobi- as Stoll, Pfeiffer Vacuum GmbH, Berliner Straße 43, 35614 Aßlar. Unterschrift: Pfeiffer Vacuum GmbH Berliner Straße 43 35614 Aßlar...
  • Seite 76 76/150...
  • Seite 77 Limits of use of the product Proper use Foreseeable improper use Personnel qualification 2.7.1 Ensuring personnel qualification 2.7.2 Personnel qualification for maintenance and repair 2.7.3 Advanced training with Pfeiffer Vacuum Product description Function 3.1.1 Cooling 3.1.2 Rotor bearing 3.1.3 Drive Identifying the product 3.2.1 Product types...
  • Seite 78 Operating modes 6.2.1 Operation without operating unit 6.2.2 Operation via connection "E74" 6.2.3 Operation via multi-function connection "remote" 6.2.4 Operation via Pfeiffer Vacuum display and control units 6.2.5 Operation via field bus Switching on the turbopump Operation with TMS 6.4.1 TMS connection 6.4.2 Process description for TMS...
  • Seite 79 Table of contents 13.2 Ordering accessories Technical data and dimensions 14.1 General 14.2 Technical data 14.3 Dimensions Declaration of Conformity 79/150...

  • Seite 80: List Of Tables

    Available spare parts Tbl. 21: Accessories Tbl. 22: Conversion table: Pressure units Tbl. 23: Conversion table: Units for gas throughput Tbl. 24: Technical data for HiPace 2300 IT Standard Tbl. 25: Technical data for HiPace 2300 IUT, overhead version 80/150...

  • Seite 81: List Of Figures

    Mounting the pipe fittings Fig. 34: Spare parts HiPace 2300 IT | IUT Fig. 35: HiPace 2300 IT | TC 1200 DN 250 ISO-K Fig. 36: HiPace 2300 IT | TC 1200 DN 250 ISO-F Fig. 37: HiPace 2300 IUT | TC 1200 DN 250 ISO-K Fig.

  • Seite 82: About This Manual

    Keep the manual for future consultation. 1.1 Validity This operating instructions is a customer document of Pfeiffer Vacuum. The operating instructions de- scribe the functions of the named product and provide the most important information for the safe use of the device. The description is written in accordance with the valid directives. The information in this op- erating instructions refers to the product's current development status.

  • Seite 83: Conventions

    Rating plate Rating plates of individual assemblies are located on the lower D-35614 Asslar part of the turbopump or on the relevant attachments. HiPace 2300 IT Mod. PM P06 340 - - - - - - - - PM 006 336 -T TÜV Rheinland...

  • Seite 84: Abbreviations

    About this manual Operating fluid filler screw This sticker describes the position of the respective filler screw for operating fluid. Protection class This sticker describes protection class 1 for the product. The positioning indicates the position for the ground connection. Cooling water connection COOLING WATER IN This sticker indicates the position and conditions for the cooling...

  • Seite 85: Trademark Proof

    About this manual Abbreviation Meaning in this document Display and Control Unit Nominal diameter as size description Emergency Stop Rotation speed value of a vacuum pump (frequency, in rpm or Hz) Handheld Programming Unit, aid for controlling and monitoring parameters High vacuum flange, high vacuum side Flange: Connector in accordance with ISO 1609 and ISO 2861 Light emitting diode...

  • Seite 86: Safety

    Safety 2 Safety 2.1 General safety information The following 4 risk levels and 1 information level are taken into account in this document. DANGER Immediately pending danger Indicates an immediately pending danger that will result in death or serious injury if not observed. ►...
  • Seite 87 Safety Risks during installation DANGER Danger to life from electric shock Touching exposed and voltage-bearing elements causes an electric shock. Improper connection of the mains supply leads to the risk of touchable live housing parts. There is a risk to life. ►...
  • Seite 88 Safety WARNING Risk of serious injury from oscillating, toppling or falling objects Incorrect handling during the mechanical installation leads to a risk of oscillating, toppling or falling heavy loads. There is a risk of crushing and impacts (e.g. on colliding flange connections). There is a risk of injuries to limbs, up to and including bone fractures and head injuries.
  • Seite 89 Safety Risks during maintenance, decommissioning and disposal WARNING Danger to life from electric shock during maintenance and service work The device is only completely de-energized when the mains plug has been disconnected and the tur- bopump is at a standstill. There is a danger to life from electric shock when making contact with live components.
  • Seite 90 Safety WARNING Risk of scalding from suddenly escaping hot cooling water The turbopump water connections are open to both sides. When connecting the cooling water supply, there is a risk of scalding from suddenly escaping, hot cooling water at over pressure. ►...

  • Seite 91: Safety Precautions

    ► Follow the installation instructions for this turbopump. ► Observe the requirements regarding stability and design of the counter flange. ► Use only original accessories or fixing material approved by Pfeiffer Vacuum for the installation. WARNING Risk of injury caused by the turbopump breaking away with the vibration compensator in the event of a malfunction Sudden jamming of the rotor generates high destructive torques in accordance with ISO 27892.

  • Seite 92: Limits Of Use Of The Product

    Safety ► Never put the device into operation with the high vacuum connection open. ► Keep lines and cables away from hot surfaces (> 70°C). ► Never fill or operate the unit with cleaning agents or cleaning agent residues. ► Do not carry out your own conversions or modifications on the unit. ►...

  • Seite 93: Personnel Qualification

    The work described in this document may only be carried out by persons who have appropriate profes- sional qualifications and the necessary experience or who have completed the necessary training as provided by Pfeiffer Vacuum. Training people 1. Train the technical personnel on the product.

  • Seite 94: Personnel Qualification For Maintenance And Repair

    ─ Customer with Pfeiffer Vacuum service training ─ Pfeiffer Vacuum service technician 2.7.3 Advanced training with Pfeiffer Vacuum For optimal and trouble-free use of this product, Pfeiffer Vacuum offers a comprehensive range of courses and technical trainings. For more information, please contact Pfeiffer Vacuum technical training.

  • Seite 95: Product Description

    The cooling system ensures safe and sufficient heat dissipation with- out energy loss during the heating process. 16 15 Fig. 2: HiPace 2300 IT design High vacuum connection, DN 250 ISO-F Sealing gas valve TMS heating sleeve...

  • Seite 96: Cooling

    ID no. 000021320. 3.2.1 Product types The product designation of Pfeiffer Vacuum turbopumps from the HiPace series is composed of the family name, the size (which is based on the pumping speed of the vacuum pump) and, if required, an additional feature description.

  • Seite 97: Scope Of Delivery

    Product description Mains voltage ± 10% Motor input power of the electronic drive unit 100 to 120 V AC 700 to 930 W 200 to 240 V AC 1200 W Tbl. 6: Delivered drive power depending on the supplied mains voltage 3.3 Scope of delivery ●...

  • Seite 98: Transportation And Storage

    ► Drain off the operating fluid before moving or transporting the vacuum pump. ► Only fill the vacuum pump with operating fluid after mechanical installation. Pfeiffer Vacuum recommends keeping the transport packaging and original protective cov- General information regarding safe transport 1.

  • Seite 99: Transport In Horizontal Orientation

    Transportation and Storage 60° 60° Fig. 4: Slinging points for vertical transport of the turbopump without packaging Instructions for vertical transport 2 eye bolts are included in the shipment and are firmly bolted to the turbopump ex works. 1. Transport the turbopump in its permissible position only. 2.

  • Seite 100: Storage

    – Keep the eye bolt for future use. 4.2 Storage We recommend Pfeiffer Vacuum recommends storing the products in their original transport packaging. Storing the turbopump 1. Seal all flange openings with the original protective caps. 2. Seal all other connections (e.g. venting connection) with the corresponding original parts.

  • Seite 101: Installation

    Installation 5 Installation The installation of the turbopump and its fastening is of outstanding importance. The rotor of the turbo- pump revolves at very high speed. In practice it is not possible to exclude the risk of the rotor touching the stator (e.g. due to the penetration of foreign bodies into the high vacuum connection). The kinetic energy released acts on the housing and on the anchoring of the turbopump within fractions of a sec- ond.

  • Seite 102: Connecting The High Vacuum Side

    ● Make sure that all the torques generated if the rotor blocks suddenly, are absorbed by the system on the operator side and the high vacuum connection. ● Only use the approved mounting kits of Pfeiffer Vacuum for the high vacuum connec- tion of the turbopump.

  • Seite 103: Using A Splinter Shield Or Protective Screen

    1 Safety connection, customer-side 5.2.3 Using a splinter shield or protective screen Pfeiffer Vacuum centering rings with splinter shield or protective screen in the high vacuum flange pro- tect the Turbopump against foreign matter from the vacuum chamber. The pumping speed of the pump is reduced according to the passage guide values and the size of the high vacuum flange.

  • Seite 104: Mounting Orientations

    Installation 5.2.5 Mounting orientations NOTICE Destruction of the vacuum pump due to failure to observe the type-specific spatial position Impermissible spatial positions lead to pollution of the vacuum pump by operating fluid. There is a risk of pollution of the process vacuum and damage to the vacuum pump up to and including its de- struction.

  • Seite 105: Attaching Iso-K Flange Onto Iso-K

    Flange connection ISO-K to ISO-F, bracket screws Connection with bracket screw 1. For the connection of the turbopump, use only the approved mounting kits from Pfeiffer Vacuum. 2. Connect the flange with the components of the mounting kit according to the figure.
  • Seite 106 Flange connection ISO-K to ISO-F, hexagon head screw and tapped hole Connection of the hexagon head screw and tapped hole 1. For the connection of the turbopump, use only the approved mounting kits from Pfeiffer Vacuum. 2. Place the collar flange over the high vacuum flange of the turbopump.

  • Seite 107: Attaching Iso-F Flange To Iso-F

    Connection of the hexagon head screw and tapped hole 1. For the connection of the turbopump, use only the approved mounting kits from Pfeiffer Vacuum. 2. Attach the turbopump with centering ring to the counter flange according to the figure.

  • Seite 108: Filling The Operating Fluid

    Connection of the stud screw and tapped hole 1. For the connection of the turbopump, use only the approved mounting kits from Pfeiffer Vacuum. 2. Screw in the stud screws with the shorter end in the tapped holes on the counter flange.

  • Seite 109: Connecting Fore-Vacuum Side

    Installation Fig. 18: The position of the filler screws depends on the mounting orientation. Example: Standard versions Direction of the high vacuum connection Fig. 19: The position of the filler screws depends on the mounting orientation. Example: U versions Direction of the high vacuum connection Procedure 1.

  • Seite 110: Cooling Water Connection

    Use the turbopump only in combination with a suitable backing pump that can deliver up to the required maximum fore-vacuum pressure. To achieve the fore-vacuum pressure, use a suitable vacuum pump or a pumping station from the Pfeiffer Vacuum range. In this case, the backing pump is also controlled directly via the turbopump electronic drive unit interfaces (e.g., relay box or connection cable).

  • Seite 111: Establishing A Cooling Water Connection With Hose Nozzles

    Installation Parameter Cooling water Appearance ● filtered ● mechanically clear ● visually clear ● no turbidity ● no sediment ● free from grease and oil pH value 7 to 9 Carbonate hardness, max. 10 °dH 12.53 °e 17.8 °fH 178 ppm CaC0 Chloride content, max.

  • Seite 112: Establishing A Cooling Water Connection With Pipe Fittings

    2 Cooling water inlet, 1/4" thread Threaded nozzle (2x) Procedure Pfeiffer Vacuum recommends the use of a dirt trap in the supply line. 1. Screw one hose nozzle with sealing ring onto each of the turbopump's cooling water connections. – Tightening torque: max. 15 Nm 2.

  • Seite 113: Connecting Accessories To Turbopumps With Tms

    3 Return line Procedure Pfeiffer Vacuum recommends the use of a dirt trap in the supply line. 1. Debur the internal and external diameter of the pipe on the connection side. 2. Insert the pipe into the pipe fitting up to the limit stop.

  • Seite 114: Connecting Sealing Gas

    ► Observe the installation instructions in the operating instructions for the relevant accessory. ► Note the existing configuration of existing connections. ► Use the Pfeiffer Vacuum display and control unit DCU 002, or a DCU with integrated power supply pack.

  • Seite 115: Installing A Circuit Breaker

    Installation Installing the mains disconnection device 1. Install a mains disconnection device as a main switch. 2. Specify the mains disconnection device according to SEMI-S2. 3. Use a circuit breaker with an interrupting capacity of at least 10 kA. 5.8.1 Installing a circuit breaker Circuit breaker Tripping characteristic B or C according to IEC 60947-2...

  • Seite 116: Establishing The Electric Connection

    There are two options for the mains connection for the turbopump and the TMS box. ► Make sure that you have the correct supply voltage. ► Order a corresponding power supply cable from the Pfeiffer Vacuum accessories range. ► Assemble your own power supply cable using the HAN 3A connecting sockets from the shipment.

  • Seite 117: Operation

    Simultaneous loading by means of high drive power (gas throughput, fore-vacuum pressure), high heat radiation, or strong magnetic fields results in uncontrolled heating of the rotor and can destroy the vacuum pump. ► Consult Pfeiffer Vacuum before combining varying loads on the vacuum pump. Lower limit val- ues apply. NOTICE...

  • Seite 118: Operating Modes

    Instructions for operation without control panel 1. Use only the approved Pfeiffer Vacuum mating plug with bridges on the connection of the elec- tronic drive unit. 2. Switch on the mains supply of the turbopump only immediately before operation.

  • Seite 119: Switching On The Turbopump

    ► Make sure that high, process-related over pressures cannot directly enter the vacuum pump. Fig. 24: Mains connection HiPace 2300 IT 1 TMS box with "ST1" connecting plug Mains cable with socket for electronic drive unit 2 Mains cable with socket to TMS box Electronic drive unit with "AC in"...

  • Seite 120: Operation With Tms

    6.5.1 Operating mode display via LED LEDs on the electronic drive unit show the basic operating states of the vacuum pump. A differentiated error and warning display is only possible for operation with the Pfeiffer Vacuum display and control unit or a PC.

  • Seite 121: Temperature Monitoring

    Operation Symbol LED status Display Meaning Currentless On, flashing "pumping station OFF", rotation speed ≤ 60 rpm Green On, inverse flashing "pumping station ON", set rotation speed not reached On, constant "pumping station ON", set rotation speed reached On, flashing "pumping station OFF", speed >...
  • Seite 122 General information for fast venting We recommend fast venting of larger volumes in 4 steps. 1. Use a Pfeiffer Vacuum venting valve for the turbopump, or match the valve cross-section to the size of the recipient and maximum venting rate.

  • Seite 123: Maintenance

    5. Replace the operating fluid at least every 4 years. 6. Have Pfeiffer Vacuum Service replace the rotor bearing of the turbopump at least every 4 years. 7. Consult with Pfeiffer Vacuum Service about shorter maintenance intervals for extreme loads or im- pure processes.

  • Seite 124: Changing The Operating Fluid

    Maintenance 7.3 Changing the operating fluid WARNING Risk of poisoning from contact with harmful substances The operating fluid and parts of the turbopump may contain toxic substances from pumped media. ► Decontaminate affected parts before carrying out maintenance work. ► Prevent health hazards or environmental impacts with adequate safety precautions. ►...

  • Seite 125: Filling The Operating Fluid

    ► Only fill the turbopump with operating fluid after mechanical installation. ► Fill the turbopump with operating fluid via one of the filler screws marked with an oil can symbol only. ► If in doubt, contact Pfeiffer Vacuum. Required consumables ● Operating fluid F3, 50 ml Required tools ●...

  • Seite 126: Replacing The Electronic Drive Unit

    Maintenance Fig. 27: The position of the filler screws depends on the mounting orientation. Example: U versions Direction of the high vacuum connection Procedure 1. Unscrew and remove the higher filler screw from the operating fluid pump. 2. Use the syringe and the operating fluid from the turbopump shipment. 3.

  • Seite 127: Removing Electronic Drive Unit

    Maintenance Backing up settings made by the customer The factory operating parameters are always preset in replacement units. All settings made by the customer to the original electronic drive unit are lost when it is replaced. To preserve your custom settings, you have the following options: 1.

  • Seite 128: Confirming The Speed Specification

    Tbl. 18: Characteristic nominal rotation speeds of the turbopumps Required aids ● A connected Pfeiffer Vacuum display and control unit. ● Knowledge of the configuration and setting of electronic drive unit operating parameters. Adjusting the nominal rotation speed confirmation 1. Observe the display and control unit operating instructions.

  • Seite 129: Replacing The Heating Jacket

    Maintenance 7.5 Replacing the heating jacket WARNING Risk of burns on hot surfaces when using additional equipment for heating during operation The use of additional equipment for heating the vacuum pump or for optimizing the process gener- ates very high temperatures on surfaces that can be touched. There is a risk of burning. ►...

  • Seite 130: Installing A Heating Jacket

    Maintenance 7.5.2 Installing a heating jacket Fig. 31: Installing a heating jacket 1 Heating jacket Plug 2 Lashing strap TMS box Installing a heating jacket 1. Fit the new heating jacket around the cylindrical section of the pump housing. 2. Tighten the lashing strap. 3.

  • Seite 131: Mounting The Pipe Fittings

    Maintenance Fig. 32: Dismantling the pipe fittings 1 Marking on the pipe Lock nut 2 Marking on the lock nut Connector body 3 Marking on the connector body Dismantling the pipe fitting Swagelok pipe fittings can be repeatedly dismantled and remounted. 1.

  • Seite 132: Decommissioning

    Procedures for recommissioning the turbopump 1. Check the turbopump for pollution and moisture. 2. Clean the turbopump exterior with a lint-free cloth and a little isopropanol. 3. If necessary, arrange for Pfeiffer Vacuum Service to completely clean the turbopump. 132/150...
  • Seite 133 Decommissioning 4. Observe the total running time of the turbopump and if necessary, arrange for Pfeiffer Vac- uum Service to replace the bearing. 5. Change the turbopump's operating fluid. 6. Install the turbopump according to these instructions (see chapter “Installation”, page 101).

  • Seite 134: Recycling And Disposal

    9.1 General disposal information Pfeiffer Vacuum products contain materials that you must recycle. ► Dispose of our products according to the following: – Iron –...

  • Seite 135: Malfunctions

    ► Follow the installation instructions for this turbopump. ► Observe the requirements regarding stability and design of the counter flange. ► Use only original accessories or fixing material approved by Pfeiffer Vacuum for the installation. WARNING Risk of injury caused by the turbopump breaking away with the vibration compensator in the event of a malfunction Sudden jamming of the rotor generates high destructive torques in accordance with ISO 27892.
  • Seite 136 ● Electronic drive unit de- ● Replace the electronic drive unit. fective ● Contact Pfeiffer Vacuum Service. Turbopump will not start up; green ● For operation without ● Connect the connections according to the elec- LED on the electronic drive unit is control unit: Pins 1-3, tronic drive unit connection diagram.
  • Seite 137 ● Carry out a differentiated malfunction analysis with a display and control unit. ● Contact Pfeiffer Vacuum Service. Cooling water has soaked the in- ● Leakage in cooling water ● Remove the heater plug from the TMS box.

  • Seite 138: Service Solutions By Pfeiffer Vacuum

    We are always focused on perfecting our core competence – servicing of vacuum components. Once you have purchased a product from Pfeiffer Vacuum, our service is far from over. This is often exactly where service begins. Obviously, in proven Pfeiffer Vacuum quality.
  • Seite 139 Service solutions by Pfeiffer Vacuum 5. Prepare the product for transport in accordance with the provisions in the contamination declaration. a) Neutralize the product with nitrogen or dry air. b) Seal all openings with blind flanges, so that they are airtight.

  • Seite 140: Spare Parts

    Spare parts 12 Spare parts Fig. 34: Spare parts HiPace 2300 IT | IUT Position Designation Size Order number Remark Pieces Electronic drive unit refer to the rating plate depending on the connection TC 1200 panel E74 plug 15-pole P 4723 110...

  • Seite 141: Accessories

    Optionally with splinter shield or protective screen. Power supply packs and display units Power supply packs for optimal voltage supply of Pfeiffer Vacuum products are characterized by their compact size and adapted power supply with maximum reliability. Display and operating units are used to check and adjust operating parameters.
  • Seite 142 Accessories Description Order number Mounting kit for DN 250 ISO-F, including coated centering ring, stud screws PM 016 485 -T Mounting kit for DN 250 ISO-F, including coated centering ring, splinter shield, stud PM 016 486 -T screws Mounting kit for DN 250 ISO-F, including coated centering ring, protective screen, PM 016 487 -T stud screws Mounting kit for DN 250 ISO-K to ISO-F, with collar flange, coated centering ring,...

  • Seite 143: Technical Data And Dimensions

    Technical data and dimensions 14 Technical data and dimensions 14.1 General This section describes the basis for the technical data of Pfeiffer Vacuum turbopumps. Technical data Maximum values refer exclusively to the input as a single load. ● Specifications according to PNEUROP committee PN5 ●...
  • Seite 144 Technical data and dimensions Type designation HiPace® 2300 IT HiPace® 2300 IT HiPace® 2300 IT HiPace® 2300 IT Run-up time 4 min 4 min 4 min 4 min Pumping speed for Ar 1800 l/s 1800 l/s 1800 l/s 1800 l/s Pumping speed for H 1850 l/s 1850 l/s...
  • Seite 145 -25 – 55 °C ature Weight 41.5 kg 42.6 kg 41.5 kg 42.6 kg Tbl. 24: Technical data for HiPace 2300 IT Standard Type designation HiPace® 2300 IUT HiPace® 2300 IUT HiPace® 2300 IUT HiPace® 2300 IUT Connection flange (in) DN 250 ISO-K...

  • Seite 146: Dimensions

    Technical data and dimensions Type designation HiPace® 2300 IUT HiPace® 2300 IUT HiPace® 2300 IUT HiPace® 2300 IUT Compression ratio for N > 1 · 10 > 1 · 10 > 1 · 10 > 1 · 10 Performance curve in gas 440/31500 W/min 440/31500 W/min 440/31500 W/min...
  • Seite 147 Technical data and dimensions DN 250 ISO-K DN 40 ISO-KF cooling water in cooling water out Fig. 35: HiPace 2300 IT | TC 1200 DN 250 ISO-K DN 250 ISO-F DN 40 ISO-KF cooling water in cooling water out Fig. 36:...
  • Seite 148 Technical data and dimensions cooling water out cooling water in DN 40 ISO-KF DN 250 ISO-F Fig. 38: HiPace 2300 IUT | TC 1200 DN 250 ISO-F 148/150...

  • Seite 149: Declaration Of Conformity

    DIN EN 61010-1: 2011 DIN EN 61326-1: 2013 DIN EN 62061: 2013 The authorized representative for the compilation of technical documents is Mr. Tobias Stoll, Pfeiffer Vacuum GmbH, Berliner Straße 43, 35614 Asslar, Germany. Signature: Pfeiffer Vacuum GmbH Berliner Straße 43...

Diese Anleitung auch für:

Hipace 2300 iut

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