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Siemens ELMISKOP 102 Betriebsanleitung Seite 69

Hochleistungs-elektronenmikroskop

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Objekttisch
Tischverstellung in zwei zueinander
senkrechten Koordinaten
L-
I mm
Begrenzung möglich auf
L- 0,5 mm
Ein Skalenteil am Meßtrieb entspricht
einer Objektverschiebung von
1 ~m
Zwischenlinsen
Konstanz des Linsenstromes
<
5 . 10-6/min
Umpolmöglichl<eit für Linsenstrom
vorhanden
Stigmator in Zwischenlinse 1
elektromagnetisch
Projektiv
Durchmesser des Zwischenbildschirms
7 0 mm
Konstanz des Linsenstromes
5 . I O-6/min
Endbildtubus
Eingebauter elektrischer
Belichtungsverschluß
Belichtungszeiten
0,4 bis 100 s in 22 Stufen
Zeitaufnahmen beliebig (,,T")
Vergrößerung der Binokularlupe
9fach
Gesichtsfelddurchmesser der Binokularlupe 25 mm
Aufnahmekammer
Durchmesser des Umfeldleuchtschirmes
203 mm
Durchmesser des Zentralfeldleucht-
schirmes
110 mm
Durchmesser des Kleinfeldleuchtschirmes
9 mm
Belichtungsmessung über Endbildstrom-
dichte
integral
Zentralfeldleuchtschirm
partiell
Kleinfeldleuchtschirm
Aufnahmekammer mit Universalkassette
für 36 Planfilme oder 24 Platten
6,5 cm
X
9 cm
Automatische Bildnumerierung
1 bis 99 999
Vakuumanlage
V o r v a k u u m p u m p e
Zweistufige, rotierende Gasballastpumpe
D 1 2 SL
Saugvermögen
1 2 m3/h bei 760 Torr (1 01 3 mbar)
Füllung: Spezialöl T 0 20
500 cm3
H o c h v a k u u m p u m p e n
Quecksilberdampfstrahlpumpe Hg 1 2
(wassergekü hlt)
Saugvermögen
1 2 11s bei 1 OP2 Torr (1,3. 10-* mbar)
Füllung: Quecksilber
3 0 cm3
Vierstufige ÖIdiffusionspumpe DO-400
(wassergekühlt)
Saugvermögen
350 I/s bei 1 OP3 Torr (1,3. 1OP3 mbar)
Füllung: Silikonöl SO 66
140 cm3
Drucktastengesteuerter Magnetventilblock
mit Sicherheitsschaltung und vollauto-
matischer Steuerung, fehlbedienungssicher
Exsikkator, Fassungsvermögen
2800 cm3
Vakuum
Erreichbares Vorvakuum
1 0-2 Torr (1,3. 1 OP2 mbar)
Hinreichendes Vorvakuum
6 Torr (8 mbar)
Normales Hochvakuum
<
5.
10-6 Torr (6,6
-
1 0-6 mbar)
Anheizzeit der Diffusionspumpen
etwa 15 min
Vorvakuummessung nach Pirani-Prinzip
Meßbereich 1 0-3 bis 100 Torr
(1,3
.
10-3 bis 130 mbar)

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