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Siemens ELMISKOP 102 Betriebsanleitung Seite 65

Hochleistungs-elektronenmikroskop

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17.4. HO&-
Zur Beschleunigung der Elektronen liefert die Hochspannungsanlage eine Gleich-
spannungsanlage
Spannung (20, 40, 60, 80, 100 oder 125 kV) mit hoher Konstanz, die durch eine
elektronische Regelung erreicht wird.
Die Hochspannung wird im Hochspannungsgleichrichter HGL erzeugt. Der Trans-
formator HGL T r l wird vom Netzspannungsregler NR über den Stufentransformator
HN Trl und die Strombegrenzungsdrossel Dr mit einer stabilisierten Wechsel-
spannung entsprechend der vorgewählten Beschleunigungsspannung versorgt.
Die hochtransformierte Sekundärspannung von HGL T r l wird in einer Spannungs-
verdopplerschaltung gleichgerichtet, so daß an den Kondensatoren C1 und C2
eine Hochspannung liegt. Die Differenz zwischen dieser Hochspannung und der
Spannung an der Regeltriode Rö1 ergibt die stabilisierte Hochspannung UH. Die
Regeltriode Rö1 arbeitet als Stellglied in einem geschlossenen Regelkreis mit dem
Hochspannungsregler HR als Regelverstärker, dem Kondensator C4 und dem
Meßwiderstand M W als Gegenkopplungselemente und der Referenzspannungs-
quelle HTM. Die hohe Verstärkung des Regelkreises sorgt dafür, daß die Abwei-
chungen der Spannung UH am Teilerabgriff des Meßwiderstandes M W gegenüber
der hochkonstanten Referenzspannung U sehr klein bleiben. Da andererseits auch
das Teilerverhältnis k des Meßwiderstandes M W hochkonstant ist, ergibt sich die
stabilisierte Hochspannung UH :
U und k werden entsprechend der gewählten Hochspannung vorgegeben.
Der Meßwiderstand M W ist aus hochstabilen Metallschichtwiderständen aufge-
baut, die sich in einem Druckgefäß mit SF,-Füllung
befinden.
Die Kathode im Elektronenstrahler wird mit Gleichstrom geheizt. Die Potential-
trennung zwischen der Kathode und den auf Erdpotential liegenden Einstellern
und Versorgungseinheiten übernimmt der Trenntransformator Tr3.
B7
Anzeiger für Kathodenheizung
B9
Anzeiger für Strahlstrom
Dr
Strombegrenzungsdrossel
HGL
Hochspannungsgleichrichter
H N Trl Transformator des Hochspannungsnetzgerätes
HR
Hochspannungsregler
HTM
Referenzspannungsquelle für Hochspannung
M W
Meßwiderstand
Bild 58
Schaltung der Hochspannungsanlage, schematisch

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