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Siemens ELMISKOP 102 Betriebsanleitung Seite 64

Hochleistungs-elektronenmikroskop

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Bedingt durch die hohe Verstärkung der gegengekoppelten Regelverstärker ist der
Spannungsabfall I
.
R am Strommeßwiderstand R durch den Linsenstrom I nahezu
gleich der Referenzspannung U„+ Für den Linsenstrom I gilt daher in sehr guter
Näherung:
U r e f
I = -
R
.
Die Funktion eines Regelkreises kann am einfachsten durch Messen des Span-
nungsabfalls I
-
R und Vergleich mit der Referenzspannung U„+ überprüft werden.
Größe und Richtung der Linsenströme werden von einer elektronischen Steuer-
schaltung automatisch der gewählten Betriebsart angepaßt. Die beiden Referenz-
Spannungen der Regelkreise werden mit der gewählten Beschleunigungsspannung
umgeschaltet. Die Referenzspannung für den Objektiv-Regelkreis Iäßt sich auch
frei wählen (B1 9). Die Strommeßwiderstände der Regelkreise für die beiden
Zwischenlinsen, des Kondensors 2 und des Objektivs werden von der Steuer-
schaltung so eingestellt, daß entsprechend der gewählten Vergrößerung oder
Beugungslänge automatisch die richtigen Linsenströme fließen. Die schwache
Erregung des Objektivs durch Gegeneinanderschalten zweier Wicklungshälften,
die Wahl der Stromrichtungen durch die beiden Zwischenlinsen und das Aus-
schalten der Zwischenlinsen werden ebenfalls automatisch vorgenommen.
In die Stromkreise von Kondensor 2, Objektiv und Zwischenlinse 2 sind Wider-
stände geschaltet, die zur Versorgung der Stigmatorwicklungen mit Strömen pro-
portional zu den Linsenströmen dienen.
Die Linsen lassen sich nur dann einschalten, wenn ein ausreichender Kühlwasser-
17.3. D i e Sicher-
strom fließt. Andernfalls öffnet der Kontakt des Durchflußwächters und schaltet
heifsschalfung d e r
die 24-V-Versorgung für die Einschaltrelais in den Linsenstromreglern LR ab
(Bild 57).
Gleichzeitig wird auch die Heizung des Durchlauferhitzers für die Objektivtempe-
raturstabilisierung vom Einschub KWR abgeschaltet. Ein weiterer Sicherheits-
kontakt schaltet bei Überhitzung des Durchlauferhitzers die Linsenströme und den
Kühlwasserregelkreis ab.
M i t Hilfe des Schalters TKr S4, der an der rechten Tischklappe, halb verdeckt durch
die überstehende rechte Tischplatte, angebracht ist, kann der Linsen-Kühlwasser-
strom durch das Kühlwasserventil unterbrochen werden, ohne das Mikroskop
auszuschalten.
Linsenkühl
-
wasserventil
Durchflußwächter
des
Linsenkühlwassen
Thermoschalter
des
Durchlouferhitzers
KWR Kühlwasserregler
LR
Linsenstromregler
TKr S4Schalter an der rechten Tischklappe
ZN
Zusatznetzgerät
B i l d
57
Sicherheitsschaltung der Linsenkreise

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