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Alle Tasten ausgetastet
Hauptschalter eincchaltm
b
Schlusseltaste eintasten
Einschult taste drücken
I
Vorvakuumpumpe
V1
pumpt V B aus
v 7
I
b=/"~''
eintosten
I
Wasserhahn öffnen
werden geheizt
"M Autom" eintasten
V2
VP wird abgeschaltet V2
Ein
6
00 heiß
I
HM wird erigeschaltet
I
Einschalttaste für
Hochspannung
H M
Meßstelle für Hochvakuum im Mikroskoprohr
V1 bis V7 geöffnete Ventile
ÖD
Öl-~iffusionspumpe
VB
Vorratsbehälter
P
Druck im Mikroskoprohr
VP
Vorvakuumpumpe
P„
Druck im Vorratsbehälter
Bild 6
Ablaufschema der Vakuumautomatik
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