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Siemens ELMISKOP 102 Betriebsanleitung Seite 56

Hochleistungs-elektronenmikroskop

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16. Wartung
Werkzeuge Bild 53, Seite 5 6
16.1. Reinigen des
Elektronenstrahlers und
Wechseln der Kathode
Wenn sich das Mikroskop nicht mehr frei von Glimm- und Mikroentladungen betreiben läßt oder
der Glimmstrom 5 /LA überschreitet, dann sollten Wehneltzylinder und Isolator gereinigt werden.
Die gleichen Arbeiten sind durchzuführen, wenn ein Kathodendefekt durch Aufleuchten der
S~gnallampe (B6) im linken Mikroskop-Pult gemeldet wird.
I . Mikroskoprohr belüften.
2. Elektronenstrahler nach hinten kippen (Bild
47),
Oberteil rastet ein. Oberen seitlichen Knopf
(102a) herausziehen und Oberteilzur Seite schwenken.
3. Anodenraum mit Abdeckplatte abdecken.
4. Uberwurfmutter (103d) abschrauben, Wehneltzylinder (703c) abziehen, Kathode aus der
Fassung herausziehen.
5 . Neue Kathode einsetzen.
A 3
Erdungsbügel
102a Rastknopf
zum seitlichen
Ausschwenken des
Elektronenstrahlers
102b Rastknopf zum
Schließen des
Elektronenstrahlers
B i l d 47
Elektronenstrahler,
zum Wechsel der Kathode
aufgeklappt
103
103a
103d
1 0 3
Zylinder
103a Anodenteller
103b Anode
103c Wehneltzylinder
1 0 3 d Überwurfmutter
B i l d
48
Bauteile des
Elektronenstrahlers

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