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Siemens ELMISKOP 102 Betriebsanleitung Seite 47

Hochleistungs-elektronenmikroskop

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11. Belüften des Mikroskops
I . Kathodenheizung u n d Hochspannung ausschalten: Einsteller für Kathodenheizung (135) auf
„0" stellen; Ausschalttaste ,,O" für Hochspannung (B I ) drücken.
2. Taste ,,M Autom" austasten (B21).
Taste ,,M 760" eintasten (B2 1).
Das Mikroskoprohr ist nach etwa 2 min. vollständig belüftet.
12. Abschalten der Anlage
I . Kathodenheizung ausschalten (Schalter ( 8 5 ) auf ,,O").
2 . Hochspannung ausschalten (Taste
, , O
( B I ) drücken).
3.
Heizung der Diffusionspumpe mit Taste ,,D"
(B21) ausschalten (Tastenlampe erlischt).
4. Wasserhahn zudrehen.
5 . Schlüssel um
1 8 0 '
drehen, Taste rastet aus.
6 . Hauptschalter (außerhalb der Anlage) ausschalten.

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