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Mit einem Umschalter im Bedienungspult können verschiedene Funktionen der
Strahlkippung gewählt werden:
1.
Großwinkelkippung für hochauflösende Dunkelfeldmikrosl<opie. Der maximale
,
Kippwinkel beträgt
I
2,5" ( I
4") in alle Richtungen.
2.
Kleinwinkelkippung zur Strahlzentrierung bei Hellfeldmikroskopie mit einem
maximalen Kippwinkel von
I
0 3 " ( I
0,8").
3. Scharfstellhilfe: Das Ablenksystem wird mit Rechteck-Wechselspannung ver-
sorgt, die dadurch vergrö8erte Bestrahlungsapertur verringert die Schärfentiefe
und erleichtert somit das Scharfstellen (Wobbler).
Die Winkel für die Groß- ~ n d Kleinwinkelkippung werden mit verschiedenen,
voneinander unabhängigen Einstellern gewählt, Die Großwinkelkippung und die
Kippung de's Wobblers werden zur Zentrierkippung hinzuaddiert, so da8 jeweils
um die zentrierte Strahllage gekippt wird.
Die Spulenpaare für ~trahlverdchiebung sind fur Sonderzwecke (RMAS, Raster-
Zusatz) auch extern ansteuerbar (RE
=
30
n).
A n d e r Seitenwanci des linken Pult-
aufsatzes ist dafür eine fünfpolige Tuchel-Steckdose angebracht. Die Ablenkver-
schiebung bleibt weiterhin in Betrieb. Die Versorgung6für das Ablenksystem ist
stromgeregelt und wird mit der Hochspannung umgeschaltet.
.
a ,
B
18 Objektpatrone
-
76
31 Automat. Entlüftungsventil
80
77
67
Objekttisch
69
Präparat
76 Elektronenstrahl
7 9
:
77 Ablenksystem
7 8 Äußere Schleusentür
7 8
79 Automat. Belüftungsventil
3 1
67
80 Schleusenkammer
1 8
A
Arbeitsstellung
69
B
Schleusstellung
Bild 42 Objektschleuse mit Ablenk-
System (Schema)
81 Ablenkspulen
82
Korrekturspulen
83 Ablenkspulenpaar für Strahl-
verschiebung
Bild 43 Ablenkeinheit des Ablenk-
Systems (Schema)
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