Herunterladen Inhalt Inhalt Diese Seite drucken
Agilent Technologies 969-8991 Bedienungsanleitung
Vorschau ausblenden Andere Handbücher für 969-8991:
Inhaltsverzeichnis

Werbung

Turbo-V 301-AG
Rack Controller
Model 969-8991
Model 969-8992
Model 969-8993
87-900-982-01 (C)
JULY 2006
NOTICE: This document contains references to Varian.
Please note that Varian, Inc. is now part of Agilent
Technologies. For more information, go to
www.agilent.com/chem.
vacuum technologies
(I)
MANUALE DI ISTRUZIONI
(D)
BEDIENUNGSHANDBUCH
(F)
NOTICE DE MODE D'EMPLOI
(E)
MANUAL DE ISTRUCCIONES
(P)
MANUAL DE ISTRUÇÕES
(NL)
BEDRIJFSHANDLEIDING
(DK)
ISTRUKSTIONSBOG
(S)
BRUKSANVISNING
(N)
INSTRUKSJON MANUAL
(FIN) OHJEKÄSIKIRJA
Ο∆ΗΓΙΕΣ ΧΡΗΣΕΩΣ
(GR)
(Η)
FELHASZNÁLÓI KÉZIKÖNYV
(PL)
PODRECZNIK INSTRUKCJI
(CZ)
NÁVOD K POUŽITÍ
(SK)
NÁVOD NA OBSLUHU
(SLO) PRIROČNIK ZA NAVODILA
(GB)
INSTRUCTION MANUAL

Werbung

Inhaltsverzeichnis
loading

Inhaltszusammenfassung für Agilent Technologies 969-8991

  • Seite 1 Technologies. For more information, go to www.agilent.com/chem. vacuum technologies Turbo-V 301-AG MANUALE DI ISTRUZIONI Rack Controller BEDIENUNGSHANDBUCH NOTICE DE MODE D’EMPLOI MANUAL DE ISTRUCCIONES MANUAL DE ISTRUÇÕES Model 969-8991 (NL) BEDRIJFSHANDLEIDING Model 969-8992 (DK) ISTRUKSTIONSBOG Model 969-8993 BRUKSANVISNING INSTRUKSJON MANUAL (FIN) OHJEKÄSIKIRJA Ο∆ΗΓΙΕΣ...
  • Seite 2 Turbo-V 301-AG Rack Controller...
  • Seite 5: Inhaltsverzeichnis

    ISTRUZIONI PER L’USO ....................GEBRAUCHSANLEITUNG ................... MODE D’EMPLOI......................INSTRUCCIONES DE USO ..................INSTRUÇÕES PARA O USO ..................GEBRUIKSAANWIJZINGEN..................BRUGSANVISNING...................... BRUKSANVISNING ...................... BRUKERVEILEDNING....................KÄYTTÖOHJEET......................ODHGIES CRHSEWS......................HASZNÁLATI UTASÍTÁS …..................INSTRUKCJA UZYTKOWANIA ..................49 PŘÍRUČKA K POUŽITÍ ..................……… 53 NÁVOD K POUŽITIU ..................………. NAVODILA ZA UPORABO ....................
  • Seite 6 J5 - GAUGE CONNECTOR ......................J2 - SERIAL CONNECTOR......................Serial Communication Descriptions ..................Window Protocol ........................Window Meanings ......................... HOW TO USE FRONT PANEL ...................... General..........................Startup........................... Programming......................... Configuration menu ....................... MODE menu.......................... PUMP SETTING menu ......................INPUT/OUTPUT menu......................GAUGE menu ........................SERIAL menu........................
  • Seite 7: Informazioni Generali

    ISTRUZIONI PER L’USO INFORMAZIONI GENERALI PREPARAZIONE PER L'INSTALLAZIONE Questa apparecchiatura è destinata Il controller viene fornito in un imballo protettivo professionale. L'utilizzatore deve leggere attentamente speciale; se si presentano segni di danni, che il presente manuale di istruzioni ed ogni altra potrebbero essersi verificati durante il trasporto, informazione addizionale fornita dalla Varian prima contattare l'ufficio vendite locale.
  • Seite 8: Comandi, Indicatori E Connettori

    ISTRUZIONI PER L’USO INSTALLAZIONE PERICOLO! Per evitare danni alle persone ed all'apparato, nel caso PERICOLO! in cui la pompa sia appoggiata su di un tavolo Il controller deve essere alimentato mediante un cavo assicurarsi che sia stabile. Non far funzionare mai la di alimentazione a tre fili (vedere tabella delle parti pompa se la flangia di ingresso non è...
  • Seite 9: Procedure Di Uso

    ISTRUZIONI PER L’USO Connettore di ingresso dei segnali logici (il connettore di accoppiamento viene fornito con l’apposito ponticello di richiusura). Connettore segnali logici in uscita e monitoraggio frequenza pompa più uscita analogica programmabile. Connettore di uscita alimentazione (24 Vdc per la ventola di raffreddamento pompa, vent valve e calibro).
  • Seite 10: Messaggi Di Errore

    ISTRUZIONI PER L’USO MESSAGGI DI ERRORE In alcuni casi di guasto la circuiteria di autodiagnosi del controller presenta alcuni messaggi di errore elencati nella tabella seguente. MESSAGGIO DESCRIZIONE AZIONE CORRETTIVA Malfunzionamento nel collegamento tra Verificare che il cavo di collegamento tra CHECK CONNECTION pompa e controller.
  • Seite 11: Allgemeines

    GEBRAUCHSANLEITUNG ALLGEMEINES VOR DER INSTALLATION Dieser Apparat ist für Fachbetriebe bestimmt. Vor Controller wird einer speziellen Gebrauch sollte der Benutzer dieses Handbuch sowie Schutzverpackung geliefert. Eventuelle Transport- alle weiteren mitgelieferten Zusatzdokumentationen schäden müssen zuständigen örtlichen genau lesen. Bei Nichtbeachtung - auch teilweise - der Verkaufsstelle gemeldet werden.
  • Seite 12 GEBRAUCHSANLEITUNG INSTALLATION GEFAHR! Steht die Pumpe auf einem Tisch, muß auf den stabilen GEFAHR! Stand geachtet werden, da sonst die Gefahr von Der Turbo-V Controller muss mit einem dreiadrigen Personen- und Geräteschäden besteht. Die Pumpe nie Netzkabel (international zugelassenen) einschalten, wenn der Eingangsflansch nicht am Stecker angeschlossen werden.
  • Seite 13: Bedienung

    GEBRAUCHSANLEITUNG Eingangsverbinder der logischen Signale (der Kupplungs- verbinder wird mit einer Wiederverschließbrücke geliefert). Stecker für logische Signale und Pumpenmonitor plus programmierbarer Analogausgang. Stromausgangsstecker (24 V= für Pumpenkühlventilator, Vent Valve und Messinstrument). Netzeingangsmodul des Controllers bestehend aus Netzsicherungen, Netzstecker und EMC Filter. Drehschalter zum Setzen der Profibus Adresse.
  • Seite 14: Fehlermeldungen

    GEBRAUCHSANLEITUNG FEHLERMELDUNGEN In einigen Störungsfällen zeigt das Selbstdiagnoses- system des Controllers die in der nachstehenden Tabelle zusammengefaßten Meldungen an. MELDUNG BESCHREIBUNG BEHEBUNG CHECK CONNECTION Fehlfunktion der Pumpen-Controller Ver- Sicherstellen, daß das Verbindungs- bindung. kabel zwischen Pumpe und Controller TO PUMP an beiden Seiten korrekt befestigt ist oder und keine Unterbrechung vorliegt.
  • Seite 15: Indications Generales

    MODE D'EMPLOI INDICATIONS GENERALES PREPARATION POUR L'INSTALLATION Cet appareillage a été conçu en vue d'une utilisation Le contrôleur est fourni dans un emballage de professionnelle. Il est conseillé à l'utilisateur de lire protection spécial; si l'on constate des marques de attentivement cette notice d'instructions ainsi que toute dommages pouvant...
  • Seite 16: Commandes, Indicateurs Et Connecteurs

    MODE D'EMPLOI INSTALLATION DANGER! Pour éviter tous dommages aux personnes et à l'appareil, DANGER! si la pompe est placée sur un plateau d'appui s'assurer Le contrôleur doit être alimenté au moyen d’un câble que ce dernier est stable. Ne jamais faire fonctionner la d'alimentation à...
  • Seite 17: Procedures D'utilisation

    MODE D'EMPLOI Connecteur d'entrée signaux logiques connecteur d'enclenchement est doté de la barrette de réenclenchement spéciale). Connecteur signaux logiques en sortie et monitorage fréquence pompe plus sortie analogique programmables. Connecteur de sortie alimentation (24 Vdc pour le ventilateur de refroidissement pompe, vent valve et calibre).
  • Seite 18: Messages D'erreur

    MODE D'EMPLOI MESSAGES D'ERREUR Dans certains cas de panne, l'ensemble de circuits d'autodiagnostic contrôleur présente certains messages d'erreur indiqués dans le tableau ci- dessous. MESSAGE DESCRIPTION INTERVENTION Dysfonctionnement connexion S'assurer que le câble de connexion entre CHECK CONNECTION TO entre la pompe et le contrôleur. la pompe et le contrôleur et le contrôleur PUMP est bien fixé...
  • Seite 19: Información General

    INSTRUCCIONES DE USO INFORMACIÓN GENERAL PREPARACIÓN PARA LA INSTALACIÓN Este equipo se ha concebido para un uso profesional. El controler se suministra en un embalaje de El usuario deberá leer atentamente el presente manual protección especial; si se observan señales de daños, instrucciones cualquier otra...
  • Seite 20: Mandos, Indicadores Y Conectores

    INSTRUCCIONES DE USO INSTALACIÓN ¡PELIGRO! ¡PELIGRO! Para evitar lesiones a las personas y al aparato, si la bomba está apoyada sobre una mesa cerciorarse que es El controler debe ser alimentado mediante un cable de estable. No poner en marcha nunca la bomba si la brida tres hilos (ver tabla de los componentes que pueden de entrada no está...
  • Seite 21: Procedimientos De Uso

    INSTRUCCIONES DE USO Conector de entrada de las señales lógicas (el conector de acoplamiento se suministra con el conector puente específico de cierre). Conector señales lógicas en salida y monitoreo frecuencia bomba y salida analógica programable. Conector de salida alimentación (24 Vdc para el ventilador de refrigeración bomba, vent valve y calibre).
  • Seite 22: Mensajes De Error

    INSTRUCCIONES DE USO MENSAJES DE ERROR algunos casos avería circuitos autodiagnosis del controler presenta algunos mensajes de error detallados en la tabla siguiente. MENSAJE DESCRIPCIÓN ACCIÓN CORRECTIVA Comprobar que el cable de conexión entra CHECK CONNECTION Mal funcionamiento en la conexión entre en la bomba y el controler está...
  • Seite 23: Informações Gerais

    INSTRUÇÕES PARA O USO INFORMAÇÕES GERAIS PREPARAÇÃO PARA A INSTALAÇÃO Esta aparelhagem destina-se ao uso profissional. O O controller é fornecido numa embalagem protectora utilizador deve ler atentamente o presente manual de especial; se apresentarem sinais de danos, que instruções todas informações adicionais...
  • Seite 24: Instalação

    INSTRUÇÕES PARA O USO INSTALAÇÃO PERIGO! Para evitar danos às pessoas e à aparelhagem, caso a PERIGO! bomba esteja apoiada numa mesa, certificar-se que esteja estável. Nunca activar a bomba se o flange de O controller deve ser alimentado mediante um cabo de entrada não está...
  • Seite 25: Procedimentos De Uso

    INSTRUÇÕES PARA O USO 1. Conector de entrada dos sinais lógicos (o conector de acoplamento é fornecido com ponte específica fecho). 2. Conector sinais lógicos na saída e monitoragem freqüência bomba mais saída analógica programável. 3. Conector de saída alimentação (24 Vdc para a ventoinha resfriamento bomba, vent valve e calibragem).
  • Seite 26: Mensagens De Erro

    INSTRUÇÕES PARA O USO MENSAGENS DE ERRO Em alguns casos de defeitos, os circuitos de autodiagnóstico do controller apresentam mensagens de erro relacionadas na tabela abaixo. MENSAGEM DESCRIÇÃO ACÇÃO CORRECTIVA CHECK CONNECTION Mau funcionamento na ligação entre a Verificar se o cabo de ligação entre a bomba e o controller.
  • Seite 27: Algemene Informatie

    GEBRUIKSAANWIJZINGEN ALGEMENE INFORMATIE VOORBEREIDING VOOR INSTALLATIE Deze apparatuur is bestemd voor beroepsmatig De controller wordt in een speciale beschermende gebruik. De gebruiker wordt verzocht aandachtig deze verpakking geleverd; schade wordt handleiding en alle overige door Varian verstrekte geconstateerd die tijdens het transport veroorzaakt zou informatie door te lezen alvorens het apparaat in kunnen zijn, meteen contact opnemen met het gebruik te nemen.
  • Seite 28 GEBRUIKSAANWIJZINGEN INSTALLATIE GEVAAR! Indien de pomp op een tafel is geplaatst, controleren of GEVAAR! deze stabiel staat om letsel aan personen en schade aan het apparaat te voorkomen. Laat de pomp nooit werken controller moet gevoed worden zonder dat de ingangsflens aan het systeem is voedingskabel drie draden...
  • Seite 29: Afvalverwerking

    GEBRUIKSAANWIJZINGEN Connector voor ingang logische signalen (de te koppelen connector wordt met de speciale sluitklem geleverd). Connector voor uitgang logische signalen frequentiecontrole pomp plus programmeerbare analogische uitgang. Uitgangsconnector voeding voor koelventilator van de pomp, vent valve en kaliber). Ingangsmodule voeding controller die de zekeringen, het voedingscontact en het ENC-filter bevat.
  • Seite 30 GEBRUIKSAANWIJZINGEN FOUTMELDINGEN In geval van storingen wekt het zelfdiagnose-circuit van de controller enkele foutmeldingen op die in de volgende tabel zijn omschreven. BOODSCHAP OMSCHRIJVING REMEDIE CHECK CONNECTION Foutieve verbinding tussen pomp en Controleren of de verbindingskabel tussen controller. pomp en controller aan beide uiteinden TO PUMP goed bevestigd is en geen onderbrekingen vertoond.
  • Seite 31: Generel Information

    BRUGSANVISNING GENEREL INFORMATION FORBEREDELSER FØR INSTALLATION Dette materiel er beregnet til professionel anvendelse. Styreenheden leveres speciel beskyttende Brugeren bør læse denne brugsanvisning og anden emballage. Kontakt lokale forhandler, hvis yderligere information Varian, før udstyret emballagen viser tegn på skader, der kan være opstået anvendes.
  • Seite 32 BRUGSANVISNING INSTALLATION ADVARSEL! Sørg for, at pumpen står fast, hvis den er installeret på ADVARSEL! et bord. Dette er for at forebygge skader på apparatet For at sikre brugersikkerhed skal styreenheden og personer. Start aldrig pumpen, hvis pumpetilløbet tilkobles strømkabel ledere ikke er tilsluttet systemet eller er blokeret.
  • Seite 33: Bortskaffelse

    BRUGSANVISNING Indgangskontakt til logiske signaler (tilslutningskontakten leveres med speciel forbindelsesbro). Udgangskontakt til logiske signaler og kontrol af pumpens frekvens samt programmerbar analog udgang. Udtag (24 Vdc til pumpens blæser, vent valve og manometer). Indgangsmodul til styreenhed omfattende sikringer, strømudtag og ENC filter. Drejekontakt til indstilling af Profibus adressen.
  • Seite 34 BRUGSANVISNING FEJLMEDDELELSER Når visse fejl opstår, viser styreenheden selvdiagnose aktuelle fejl på displayet. De mulige meddelelser listes i følgende tabel. MEDDELELSE BESKRIVELSE KONTROL CHECK CONNECTION Tilslutning mellem pumpe og styreenhed Kontrollér tilslutningskabel mellem er defekt. pumpe og styreenhed er korrekt monteret TO PUMP samt at ingen afbrydninger forekommer.
  • Seite 35: Allmän Information

    BRUKSANVISNING ALLMÄN INFORMATION FÖRBEREDELSER FÖR INSTALLATION Utrustningen är avsedd för yrkesmässig användning. Styrenheten levereras särskilt skyddande Användaren bör läsa denna bruksanvisning, samt övrig emballage. Kontakta det lokala försäljningskontoret om dokumentation från Varian före användning emballaget visar tecken på skador som kan ha uppstått utrustningen.
  • Seite 36 BRUKSANVISNING INSTALLATION VARNING! Försäkra dig att pumpen står stadigt, om den är VARNING! installerad på ett bord, detta för att förebygga skador på Styrenheten fungerar med en strömkabel som har tre apparaten och personer. Sätt aldrig igång pumpen, om ledare (se tabellen som visar de delar som kan intagsflänsen varken är kopplad till systemet eller är beställas) och för användarens säkerhet ska den ha blockerad på...
  • Seite 37: Instruktioner För Bruk

    BRUKSANVISNING Ingångskontakt för logiska signaler (anslutnings- kontakten levereras med speciell stängningsbrygga). Kontakt för utgående logiksignaler och kontroll av pumpfrekvens plus programmerbar analog utgång. Uttag (24 Vdc för kylfläkt, vent valve och manometer). Inmodul för styrenhet omfattande säkringar, strömuttag och ENC filter. Vred för inställning av Profilbus adressen.
  • Seite 38 BRUKSANVISNING FELMEDDELANDEN När vissa uppstår visar styrenhetens självdiagnoskrets aktuellt felmeddelande på displayen. De möjliga meddelandena listas i följande tabell. MEDDELANDE BESKRIVNING ÅTGÄRD CHECK CONNECTION Anslutningen mellan pump och styrenhet Kontrollera att anslutningskabeln mellan är defekt. pump och styrenhet är ordentligt monterad TO PUMP samt att inget avbrott förekommer.
  • Seite 39: Generell Informasjon

    BRUKERVEILEDNING GENERELL INFORMASJON FORBEREDE INSTALLASJONEN Dette utstyret er beregnet til bruk av profesjonelle Styreenheten leveres i en spesiell beskyttelses- brukere. Brukeren bør lese denne brukerveiledningen emballasje. Viser denne tegn på skader som kan ha og all annen informasjon fra Varian før utstyret tas i oppstått under transporten, må...
  • Seite 40 BRUKERVEILEDNING INSTALLASJON ADVARSEL! Dersom pumpen er installert på et bord må du ADVARSEL! kontroller at pumpen står støtt. Dette er viktig for å forhindre skader på apparatet og på personer. Dersom Styreenheten må koples til en strømkabel med tre inngangsflensen hverken er tilkoplet systemet eller ledere (se tabellen over deler som kan bestilles) med et dersom den er blokkert av låseflensen må...
  • Seite 41: Instruksjoner For Bruk

    BRUKERVEILEDNING Inngangskontakt logiske signaler (tilkoplings- kontakten leveres med spesiell lukkebrygge). Port logiske signaler monitoring pumpefrekvens og analogisk utgang programmerbar. Port for mating ut (24 Vdc på kjølevifte på pumpen, vent valve og kaliber). Inngangsmodul til mating av styreenheten som består av sikringer, matekontakt og ENC-filter.
  • Seite 42 BRUKERVEILEDNING FEILMELDINGER Når det oppstår visse feil viser selvdiagnosekretsen i styreenheten den aktuelle feilmeldingen i displayet. De aktuelle feilmeldingen fremgår av tabellen nedenfor. MELDING BESKRIVELSE FORHOLDSREGEL Defekt kopling mellom pumpe Kontroller at tilkoplingskabelen mellom CHECK CONNECTION pumpe og styreenhet er skikkelig montert TO PUMP styreenhet.
  • Seite 43: Yleisiä Tietoja

    KÄYTTÖOHJEET YLEISIÄ TIETOJA VALMISTELUT ASENNUSTA VARTEN Tämä laite on tarkoitettu ammattimaiseen käyttöön. Valvoja toimitetaan erityisessä suojaavassa Ennen laitteen käyttöönottoa käyttäjän tulee lukea pakkauksessa. Mikäli havaitsette mahdollisesti huolellisesti mukana seuraava käyttöohje sekä kaikki kuljetuksen aikana sattuneita vaurioita, ottakaa yhteys muut Varianin toimittamat lisätiedot. Varian ei vastaa paikalliseen myyntitoimistoon.
  • Seite 44: Etupaneelin Kuvaus

    KÄYTTÖOHJEET ASENNUS VAARA! Mikäli pumppu on asetettu pöydälle, varmistakaa että VAARA! se on vakaa. Näin vältytään vammoilta ihmisille sekä Käyttäjän turvallisuuden vuoksi valvojan virranottoon on itse koneelle. Älkää myöskään käyttäkö pumppua, käytettävä kolmijohtimista sähkökaapelia (ks. tilattavien mikäli sisääntulon laippaa ei ole kytketty järjestelmään osien taulukko), jonka pistoke on kansainvälisesti tai mikäli sitä...
  • Seite 45 KÄYTTÖOHJEET Logiikkasegnaalien tulokytkentä (pariliittimet toimitetaan niihin sopivilla yhdyskaapelisulkijalla). Lähtevien logiikkasignaalien pumpun taajuuden tarkkailun sekä ohjelmoitavan analogisen ulostulon liitin. Virran ulostuloliitin tasavirta pumpun jäähdytyssiivikolle, vent valve ja kaliiperille). Valvojan tulovirran moduuli, johon sisältyvät sulakkeet, virtapistoke ja suodatin ENC. Profibus-osoitteen asettamiseen tarkoitettu kiertokytkin. Profibus (valinnainen).
  • Seite 46: Vianetsintä

    KÄYTTÖOHJEET VIANETSINTÄ Joidenkin toimintahäiriöiden yhteydessä valvojan itsemäärittelypiiri analysoi virheen, joka näkyy viesteinä, jotka on kuvailtu seuraavassa taulukossa. VIESTI VIKA KORJAUSTOIMENPITEET Toimintahäiriö pumpun valvojan Tarkistakaa että pumpun valvojan CHECK CONNECTION välinen yhteyskaapeli on hyvin kiinnitetty liitännässä. TO PUMP päistään eikä sen varrella ole esteitä. Painakaa kaksi kertaa painonappia START Pumpun lämpötila on alempi kuin 0 °C.
  • Seite 47: Odhgies Crhsews

    ODHGIES CRHSEWS GENIKES PLHROFORIES PROETOIMASIA GIA THN EGKATASTASH Authv h suskeuhv proorivzetai gia epaggelmatikhv crhvsh. O O ruqmisthvÇ promhqeuvetai se miva eidikhv prostateutikhv crhvsthÇ qa prevpei na diabavsei prosektikav tiÇ odhgiveÇ suskeuasiva. An upavrcoun endeivxeiÇ blavbhÇ pou qa tou parovntoÇ egceiridivou kai opoiadhvpote avllh provsqeth mporouvsan na evcoun proklhqeiv katav th diavrkeia thÇ...
  • Seite 48 ODHGIES CRHSEWS EGKATASTASH KINDUNOS KINDUNOS Gia na apofuvgete blavbeÇ se avtoma hv sth suskeuhv, se perivptwsh pou h antliva eivnai topoqethmevnh se evna trapevzi O ruqmisthvÇ eivnai efodiasmevnoÇ me tripolikov kalwvdio sigoureuteivte ovti eivnai kalav staqeropoihmevnh. Mhn qevtete se trofodosivaÇ (blevpe pivnaka merwvn gia ta opoiva mporevi leitourgiva thn antliva an h flavntza eisovdou den eivnai na givnei paraggeliva) me miva privza pou evcei egkriqeiv sundedemevnh sto suvsthma hv an den eivnai kleisthv me thn flavntza...
  • Seite 49 ODHGIES CRHSEWS Buvsma eisovdou twvn logikwvn shmavtwn (to buvsma zeugarwvmatoÇ promhqeuvetai eidikov gefuravki kleisivmatoÇ). Buvsma twvn logikwvn shmavtwn exovdou kai parakolouvqhsh suxnovthtaÇ antlivaÇ suvn analogikhv evxodoÇ pou mporeiv na programmatisqeiv (24 Vdc Buvsma exovdou trofodvothshÇ gia ton strovbilo vent valve yuvxewÇ...
  • Seite 50 ODHGIES CRHSEWS MHNUMATA LAQOUS Se orismevneÇ periptwvseiÇ blavbhÇ ta kuklwvmata autodiavgnwshÇ tou ruqmisthv parousiavzoun orismevna mhnuvmata lavqouÇ ta opoiva parousiavzontai ston pivnaka pou akolouqeiv. MHNUMA PERIGRAFH DIORQWSH CHECK CONNECTION Kakhv leitourgiva στη suvndesh antlivaς Elevgcete an to kalwvdio suvndeshÇ metaxuv antlivaÇ...
  • Seite 51: Általános Információk

    HASZNÁLATI UTASÍTÁS ÁLTALÁNOS INFORMÁCIÓK A TELEPÍTÉSRE VALÓ ELŐKÉSZÍTÉS Ez a berendezés hivatásos használatra tervezett. A vezérlő speciális védőcsomagolásban kerül felhasználónak, berendezés használatát leszállításra; ha ez károsodás jeleit mutatja, melyek a megelőzően, gondosan el kell olvasnia e felhasználói szállítás során keletkezhettek, kapcsolatba kell lépni a kézikönyvet és minden...
  • Seite 52 HASZNÁLATI UTASÍTÁS TELEPÍTÉS VESZÉLY! Abban az esetben, ha a szivattyú egy asztalon került VESZÉLY! elhelyezésre, a személyekben és a berendezésben vezérlő nemzetközileg jóváhagyott való károk elkerülése érdekében, biztosítani kell az csatlakozódugóval ellátott, háromerű hálózati kábellel asztal stabilitását. Soha nem szabad a szivattyút a kell, hogy táplálva legyen (a rendelhető...
  • Seite 53: Használati Eljárások

    HASZNÁLATI UTASÍTÁS Logikai jelek bemeneti csatlakozója (az összekötő csatlakozó megfelelő lezáró átkötéssel (jumper) van ellátva). Csatlakozó a kimeneti logikai jelek, a szivattyúfrekvencia ellenőrzése és programozható analóg kimenet számára. Kimeneti tápcsatlakozó szivattyú hűtőventillátora, a vent valve és az idomszer számára). Bementei tápellátó modul, a vezérlő számára. Magában foglalja a biztosítékokat, a tápcsatlakozót és az EMC- szűrőt.
  • Seite 54: Hibaüzenetek

    HASZNÁLATI UTASÍTÁS HIBAÜZENETEK Néhány meghibásodási esetben vezérlő öndiagnosztikai áramkörei hibaüzenetet jelenítenek meg (lásd az alábbi táblázatot). ÜZENET LEÍRÁS JAVÍTÁSI TEVÉKENYSÉG CHECK CONNECTION Összeköttetési hiba a szivattyú és a Ellenőrizni, hogy a szivattyú és a vezérlő vezérlő között, közti összekötő kábel mindkét végén jól TO PUMP van-e rögzítve és nincs e megszakadva.
  • Seite 55: Informacje Ogolne

    INSTRUKCJA UZYTKOWANIA INFORMACJE OGOLNE PRZYGOTOWANIE DO INSTALACJI Urzadzenie jest przeznaczone uzytku Kontroler zostaje dostarczony specjalnym, zawodowego. Przed przystapieniem do korzystania ochronnym opakowaniu; jezeli opakowanie prezentuje uzytkownik powinien wnikliwie przesledzic zarowno ten jakiekolwiek uszkodzenia ktore moglyby powstac podrecznik zawierajacy instrukcje jak rowniez kazda podczas transportu wowczas nalezy niezwlocznie inna dostarczona...
  • Seite 56: Sterowniki,Wskazniki I Laczniki

    INSTRUKCJA UZYTKOWANIA INSTALACJA ZAGROZENIE! unikniecia obrazen personelu obslugujacego ZAGROZENIE! urzadzenie jak rowniez uszkodzen samego urzadzenia nalezy upewnic sie, szczegolnie w przypadku gdy pompa Kontroler jest zasilany przy uzyciu kabla skladajacego zostala ustawiona na stole, czy stol jest odpowiednio sie z trzech przewodow (patrz tabela czesci na stabilny.Pod zadnym pozorem nie uruchamiac pompy zamowienie) rodzaju...
  • Seite 57: Procedure Uzytkowania

    INSTRUKCJA UZYTKOWANIA Lacznik wejsciowy sygnalow logicznych (lacznik blizniaczy jest dostarczany z specialnym mostkiem zamykajacym Lacznik wyjsciowy sygnalow logicznych i nadzor czestotlowoscia na wyjsciu podczas zaprogramowanej, wielokrotnej pracy pompy. Lacznik zasilania na wyjsciu (24 Vdc dla turbiny chlodzacej pompy, vent valve i kaliber). Modul wejsciowy zasilania...
  • Seite 58: Bledne Informacje

    INSTRUKCJA UZYTKOWANIA BLEDNE INFORMACJE niektorych przypadkach uszodzen obwod do autodiagnozy kontrolera pokazuje niektore blendne informacje wymienione w ponizszej tabeli. INFORMACJA OPIS AKCJA KORYGUJACA Zaklocenia na polaczeniu miedzy pompa Zweryfikowac czy kabel laczacy pompe z CHECK CONNECTION i kontrolerem. kontrolerem jest dobrze zamocowany na TO PUMP obydwu koncach I czy nie jest przerwany.
  • Seite 59: Všeobecné Informace

    P Ř ÍRU Č KA K POUŽITÍ VŠEOBECNÉ INFORMACE PŘÍPRAVA K INSTALACI Tento přístroj je určen pro profesionální potřebu. Kontrolér je dodáván v speciálním ochranném balení; Uživatel si musí před použitím tuto příručku velmi objeví-li se následkem dopravy nějaké poškození, je pozorně...
  • Seite 60: Instalace

    P Ř ÍRU Č KA K POUŽITÍ INSTALACE NEBEZPEČÍ Aby se vyhnulo nebezpečí, které může ohrozit osoby i NEBEZPEČÍ! přístroj, musí se zkontrolovat jeho stabilita v případě, že čerpadlo je položené na stole. Jestliže vstupní Kontrolér musí být napájen třídrátovým kabelem (viz příruba není...
  • Seite 61: Používané Procedury

    PŘÍRUČKA K POUŽITÍ Vstupní konektor logických signálů (konektor spojky je dodáván s příslušným znovu zavírajícím můstkem). Konektor výstupních logických signálů a monitorování frekvence čerpadla plus naprogramovatelný analogový výstup. Konektor výstupu napájení (24 Vdc na ochlazovací lopatku čerpadla, vent valvea a kalibr). Vstupní...
  • Seite 62: Chybné Zprávy

    PŘÍRUČKA K POUŽITÍ CHYBNÉ ZPRÁVY některých případných poruchách autodiagnostických obvodech, kontrolér předává několik chybných odkazů, které jsou vyjmenovány v tabulce, která se nachází na následující stránce. ZPRÁVA POPIS KOREKCE Chybné fungování spojení mezi CHECK CONNECTION Prověřit kabelové spojení mezi čerpadlem a konrolérem (P31). TO PUMP pumpou kontrolérem...
  • Seite 63: Všeobecné Informácie

    NÁVOD K POUŽITIU VŠEOBECNÉ INFORMÁCIE PRÍPRAVA PRE INŠTALÁCIU Tento prístroj slúži k profesionálnemu použitiu. Užívateľ “Controller” je dodaný v špeciálnom ochrannom obale; si pred použitím tohto prístroja musí pozorne prečítať keby objavili škodu, spôsobenú prepravou, tento návod k použitiu a jeho ďalšie doplnky, dodané skontaktujte sa s kanceláriou miestneho predaja.
  • Seite 64 NÁVOD K POUŽITIU INŠTALÁCIA NEBEZPEČIE! Aby ste sa vyhli sobnému nebezpe č iu a poškodeniu NEBEZPEČIE! prístroja, skontrolujte, aby č erpadlo, umiestnené na Č erpadlo pracovnom stole bolo stabilné. nikdy Controller musí byť napojený na sieť s trojdôtovým nenaštartujte vtedy, ke ď vstupná príruba nie je napájacím káblom (viď...
  • Seite 65 NÁVOD K POUŽITIU Vstupná spojka logických signálov (spojovacia spojka je doganá s príslušným uzavierajúcim mostíkom.). Spojka východzích logických signálov a monitorovanie frekvencie čerpadla a navyše programovateľný analogický výstup. Výstupá spojka napájania (24 Vdc pre chladiacu lopatku čerpadla, vent valve a kaliber). Vstupný...
  • Seite 66: Oznamy Vád

    NÁVOD K POUŽITIU OZNAMY VÁD V niektorých prípadoch, týkajúcich sa vád, obvod samodiagnostiky “controller” signalizuje niekoľko oznamov vád, uvedených na ďalšej strane. OZNAM POPIS ZÁSAH OPRAVY Nefunguje napojenie medzi čerpadlom a Skontrolujte, či je spojovací kábel medzi CHECK CONNECTION “controller”. čerpadlom a “controller”...
  • Seite 67: Splošne Informacije

    NAVODILA ZA UPORABO SPLOŠNE INFORMACIJE PRIPRAVA ZA MONTAŽO Controller dobite v posebni zaščitni embalaži; če so na Naprava je namenjena samo za strokovno rabo. Uporabnik mora temeljito prebrati priročnik in pri tem embalaži znaki poškodbe, ki naj bi nastale med upoštevati vsako dodatno informacijo, ki jo nudi Varian.
  • Seite 68 NAVODILA ZA UPORABO MONTAŽA SVARILO! SVARILO! Da bi se izognili poškodbam bodisi oseb kot naprave, morate poskrbeti, da ste črpalko stabilno položili (če ste jo vgradili na mizo). Črpalka ne sme nikoli delovati, če Controller ima napajalni vod s tremi žicami (gledaj tudi vhodna prirobnica ni priklopljena k sistemu ali če ni preglednico delov, ki lahko naročiš) in mednarodno zaprta s zapiralno prirobnico.
  • Seite 69: Postopki Uporabe

    NAVODILA ZA UPORABO Vhodni konektor logičnih signalov (spajalni konektor ima ustrezen zapiralni mostiček) Konekotr logičnih izhodnih signalov in nadzor frekvence črpalke plus analogični izhod, ki lahko programirate. Izhodni napajalni konektor (24 Vdc za ohlajevalni ventil črpalke, vent valve in kaliber). Vhodni modul napajanje...
  • Seite 70: Obvestilo O Napaki

    NAVODILA ZA UPORABO OBVESTILO O NAPAKI V nekaterih slučajih kvara pokaže električno vezje avtodiagnoze controller-a nekaj obvestil o napakah kot so opisane v spodnji tabeli. OBVESTILO OPIS POPRAVA Napaka v priključitvi črpalke in Preverite, da je priključni kabel med CHECK CONNECTION controller-a.
  • Seite 71: General Information

    INSTRUCTIONS FOR USE GENERAL INFORMATION PREPARATION FOR INSTALLATION This equipment is destined for use by professionals. The controller is supplied in a special protective The user should read this instruction manual and any packing. If this shows signs of damage which may have other additional information supplied by Varian before occurred during transport, contact your local sales operating the equipment.
  • Seite 72: Controls, Indicators And Connectors

    INSTRUCTIONS FOR USE INSTALLATION WARNING! WARNING! To avoid injury to personnel and damage to the equipment, if the pump is lying on a table make sure it The Turbo-V controller must be powered with 3-wire is steady. Never operate the Turbo-V pump if the pump power cord (see orderable parts table) and plug inlet is not connected to the system or blanked off.
  • Seite 73: Use Procedure

    INSTRUCTIONS FOR USE 1. Logic input signals connectors (mating connector supplied with link). 2. Logic output signals connector and pump frequency monitor plus programmable analog output. 3. Power output connector (24 Vdc for pump cooling fan, Vent Valve and Gauge). 4.
  • Seite 74: Error Messages

    INSTRUCTIONS FOR USE ERROR MESSAGES For a certain type of failure, the controller will self- diagnose the error and the messages described in the following table are displayed. MESSAGE DESCRIPTION REPAIR ACTION Wrong connection between the pump Check connection between controller and CHECK CONNECTION and the controller.
  • Seite 75: Technical Information

    TECHNICAL INFORMATION TURBO-V 301 RACK CONTROLLER DESCRIPTION – Drives the pumps of the 301-NAV family. – Powers the pump cooling fan The controller is available in three models (see – Drives the vent valve. orderable parts table): – Provides and acquires the pressure of the wide •...
  • Seite 76: Controller Specifications

    TECHNICAL INFORMATION CONTROLLER SPECIFICATIONS Input: Applied norr. EN 61010 -1 EN 55011 (Class-A) Voltage 100, 240 Vac EN 61000-3-2, EN 61000-3-3, Frequency 50 to 60 Hz EN 61000-6-2, Power 350 VA EN 61000-4-2,3,4,5,6,11, 8 Fuse 2 x T4 A (slow blow) 250 V Weight: 1.7 Kg (3.2 lbs) Output:...
  • Seite 77: Controller Connection

    TECHNICAL INFORMATION J7 – Vent CONTROLLER CONNECTION J6 – Fan The 24 Vdc, 150 mA maximum output voltage is present after START pushbutton is pressed and will remain present until a fault condition is displayed on front panel display or the turbopump is stopped. This dedicated output...
  • Seite 78: P1 - Input

    TECHNICAL INFORMATION P1 – Input All the logic input to the controller must be connected at J1 mating connector. With the provided J1 mating connector (shipped with pin 3 and pin 8 shorted) make the connections with AWG 24, (0.24 mm ) or smaller wire to the pins indicated in the figure to obtain the desired capability.
  • Seite 79: J1 - Output

    TECHNICAL INFORMATION The following figure shows a typical contact logic input The following figure shows a typical logic output connection and the related simplified circuit of the controller. connection (relay coil) but any other device may be connected e.g. a LED, a computer, etc., and the related simplified circuit of the controller.
  • Seite 80: R1 - R2 Output Diagrams

    TECHNICAL INFORMATION Pins Name Description Electrical Note 14-7 R2 Programmable Set Point Out Optically isolated Connect 10kohm Can be related to: Frequency, Power, Vmax (=open) = 24v resistor between the 2 Time Status or Pressure. Vlow, max = 1,5v pins before measuring See following figures for more details.
  • Seite 81 TECHNICAL INFORMATION Diagram 3 – R1 or R2 related to time V (Volt) R1-R2 Stop Waiting Ramp Auto Braking Normal Fail t (sec) Interlock tuning Diagram 4 – R1 or R2 related to Normal status Diagram 5 – R1 or R2 related to pressure reading (if gauge connected) 87-900-982-01 (C)
  • Seite 82: Programmable Analog Output Diagrams

    TECHNICAL INFORMATION PROGRAMMABLE ANALOG OUTPUT DIAGRAMS: V (Volt) Output Voltage Frequency (Hz) Diagram 1 – Programmable analog output related to frquency V (Volt) Output Voltage Power (W) Diagram 2 – Programmable analog output related to power V (Volt) Output Voltage Pump Temp (°C) Diagram 3 –...
  • Seite 83: Pump Connector

    TECHNICAL INFORMATION Pump Connector J5 – GAUGE CONNECTOR A five-meter long cable is available to connect the This connector is available to connect “EyeSys controller to the pump. The following figure shows the Mini-IMG” gauge with it’s extention cable (see controller output connector configuration where pins: orderable parts table).
  • Seite 84: Pump Driving

    TECHNICAL INFORMATION Pump Driving J2 – SERIAL CONNECTOR Typical pump driving chart start and normal operation. This connector provides the connection for RS – 232 and RS – 485 serial line. J2 Pin-out: 1200 1000 Freq. (Hz) Power. (W) - 20 PIN N.
  • Seite 85: Serial Communication Descriptions

    TECHNICAL INFORMATION The communication port mating connector is supplied LETTER PROTOCOL DESCRIPTION: with the RS 232 PCB (AMP/Cannon or equivalent 15- pin "D" type male connector). The default protocol is “Window” For example, the Transmit data signal from controller Communication format: (pin 2) must be connected to the host computer's •...
  • Seite 86 TECHNICAL INFORMATION When the Request is "E, the Answer will contain the complete set of the following parameters: CHARACTER ASCII CONVERTED ASCII FOR CRC CALCULATION BYTES MEANING "A" "B" "C" - - - - X X X X = STOP "D"...
  • Seite 87: Window Protocol

    TECHNICAL INFORMATION The following parameters can be changed: Window Protocol Description BYTES MEANING Speed threshold Communication Format Run up time in seconds • 8 data bit (long coded in 4 bytes) • no parity Deat time • 1 stop bit (0 = NO 1 = YES) •...
  • Seite 88 TECHNICAL INFORMATION The addressed SLAVE will respond with an ANSWER NOTE whose structure depends from the MESSAGE type. Using the RS 485 interface, the message structure When the MESSAGE is a reading command, the SLAVE remains identical to the one used for the RS 232 will respond transmitting a string with the same interface, the only difference being that the value structure of the MESSAGE.
  • Seite 89: Window Meanings

    TECHNICAL INFORMATION Window Meanings Examples: Command: START Read/ Data Description Admitted Source: PC Write Type Values Destination: Controller Start/Stop Start = 1 STX ADDR WINDOW (in remote/ Stop = 0 Front mode Source: Controller the window is Destination: PC a read only) STX ADDR ACK ETX Low Speed No = 0...
  • Seite 90 TECHNICAL INFORMATION Read/ Data Description Admitted Read/ Data Description Admitted Write Type Values Write Type Values Analog 0 = frequency Pressure unit 0 = mBar output type: 1 = power of measure 1 = Pa output 2 = Torr (default = 1) voltage Stop speed 0 = disable...
  • Seite 91 TECHNICAL INFORMATION NOTES Read/ Data Description Admitted Write Type Values 1. Automatic means that when the controller stops, the vent valve is opened with a delay defined by window n. 126; Pump status Stop = 0 when the controller starts, the vent valve is immediately Waiting intlk = 1 closed.
  • Seite 92: How To Use Front Panel

    TECHNICAL INFORMATION – Counters HOW TO USE BY FRONT PANEL Pressing the first time on the display, the following information is displayed: C Y C L E X X X X I M E X X X X X m Where VACUUM TECHNOLOGIES CYCLE XXXX...
  • Seite 93 TECHNICAL INFORMATION P = X X X W X X X X H z P = X X X W X X X X H z T = X X X X E - Y Y m B a ° Where: Where: P= XXX W is the current power supplied to the...
  • Seite 94: General

    TECHNICAL INFORMATION N O R M A L X X X X H z General X X X X X X X X X X X X X X Make all vacuum manifold and electrical connections and refer to Turbo-V pump instruction manual before to operating the Turbo-V controller.
  • Seite 95: Startup

    TECHNICAL INFORMATION Startup Once operating speed has been reached, the following screen page is displayed: – Plug the controller power cable into a suitable power source. – The display lights up for approx. 2 seconds and N O R M A L 6 3 H z shows: F R O N T...
  • Seite 96 TECHNICAL INFORMATION – – Press the MEASURES push button: the display Pressing the MEASURES key three times, with the shows: GAUGE connected and functioning, the following screen page is displayed: 5 0 W 9 6 3 H z T = 4 5 °...
  • Seite 97: Programming

    TECHNICAL INFORMATION Pressing the COUNTERS key, the following is Programming obtained: Configuration menu C Y C L E X X X X access configuration menu, press COUNTERS + MEASURES buttons at the same time I M E X X X X X m for at least 2 sec.
  • Seite 98: Mode Menu

    TECHNICAL INFORMATION Switching from a parameter to the previous parameter PUMP SETTING menu (using the “PREVIOUS” key) indicates the intention to abort any changes made to the specific parameter. Abort is indicated by the caption “ Changes aborted ” PUMP SETTING that is displayed for approx.
  • Seite 99: Input/Output Menu

    TECHNICAL INFORMATION • • VENT VALVE MODE: makes it possible to select START MODE: Permits selection of one of the driving of the vent valve three types of functioning of the START/STOP and INTERLOCK inputs: AUTO TIME: the valve is controlled by the START/INTERLOCK: The pump is started if controller the START/STOP input is activated and is...
  • Seite 100: Gauge Menu

    TECHNICAL INFORMATION • R1 (R2) OUTPUT LOGIC: Selects the control logic SETPOINT R1 and SETPOINT R2 submenus of the SETPOINT output. This submenu contains the settings relating to the _|-- positive logic (the relay is energized when the output with relay R1 (R2). measurement exceeds the reference) --|_ negative logic (the relay is energized when the measurement is below the reference)
  • Seite 101: Serial Menu

    TECHNICAL INFORMATION • SERIAL menu BAUD RATE: permits selection communication speed selecting this from 600, This menu contains the settings for management of the 1200, 4800, 9600 baud RS232/485 serial line. • SERIAL MODE: permits setting of the type of interface to RS232 (point to point) or RS485 (multidrop) SERIAL...
  • Seite 102: How To Use By Remote I/O

    TECHNICAL INFORMATION HOW TO USE BY REMOTE I/O HOW TO USE IN SERIAL MODE Power ON the controller Power on the controller Connect the serial cable Press the “COUNTERS” and “MEASURES” button Select by front panel if you want to work in 232 or toghether.
  • Seite 103: Profibus Option

    TECHNICAL INFORMATION Software operation and state machine PROFIBUS OPTION From the software point of view, the interface can be seen as two devices (one for ProfiBus and the other for General the internal link) linked together. The ProfiBus option allow to communicate with the controller as ProfiBus DP slave device.
  • Seite 104: Message Mapping

    TECHNICAL INFORMATION Message mapping INTERNAL LINK STATE MACHINE The communication is based on the continuous data Status Meaning exchange capability of the ProfiBus standard, where POWER_ON Interface set-up the master sends continuously the entire slave configuration and reads back the entire slave status. SRC_ADDR Search for the controller serial address For this purpose one Input (from slave to master) and...
  • Seite 105: Parameter Buffer

    Parameter Buffer Offset Size Unit Range Description WIN Serial Byte Byte 0-99 Gauge gas load type The value is divided by 10 (entering 12 the controller will apply 1.2) Enter here the correction factor for gas (necessary only if gauge is connected). mA/Hz/sec 0-10000 Setpoint 1 value...
  • Seite 106 Offset Size Unit Range Description WIN Serial Byte Byte -10 - +10 Setpoint 2 Pressure Value Exponent Set the exponent of the exponential value of the R2 setpoint (format X.XE-XX) when it is used for pressure monitoring (Parameter Buffer, Offset 20, B = 4).
  • Seite 107 Offset Size Unit Range Description WIN Serial Byte Byte = Setpoint R1 Type 0 = frequency 1 = current 2 = time 3= normal operation 4= pressure = Setpoint R2 Type 0 = frequency 1 = current 2 = time 3= normal operation 4= pressure =Analog Output 1 Type...
  • Seite 108: Output Buffer

    Output Buffer Offset Size Unit Range Description WIN Serial Byte Byte = Start/Stop 0 = Stop, 1 = Start = Low Speed This bit set the pump target speed to “low speed value” (Output Buffer, Offset 3), otherwise the target speed is set to “high speed value”...
  • Seite 109: Input Buffer

    Input Buffer Offset Size Unit Range Description WIN Serial Byte Byte 0-100 Voltage Voltage provided to the motor °C 0-100 Pump Bearing Temperature Read the pump upper bearing temperature If > 60°C the controller goes into fail status and the pump is stopped °C 0-100...
  • Seite 110 Offset Size Unit Range Description WIN Serial Byte Byte – Set Point R1 Status 0 = open 1 = closed – Set Point R2 Status 0 = open 1 = closed – Vent Valve Status 0 = closed 1 = open –...
  • Seite 111: Diagnostic Management

    TECHNICAL INFORMATION Diagnostic management Diagnostic buffer In addition to the ProfiBus six byte standard diagnostic, the interface provides both user diagnostic and static Meaning diagnostics functions station non exist (set by master) The standard diagnostic management is fully compliant station not ready (slave not ready for with the ProfiBus specification.
  • Seite 112: Error Messages

    TECHNICAL INFORMATION ERROR MESSAGES NOTE For a certain type of failure, the controller will self- If the upper bearing/pump temperature exceeds diagnose the error and the following messages will be 60 °C, the pump is shut off, and the display will be as displayed.
  • Seite 113: Orderable Parts

    Press the START push-button twice to start the pump. Should the message still be present, call the Varian service. ORDERABLE PARTS DESCRIPTION PART NUMBER Turbo-V 301-AG 969-8991 Turbo-V 301-AG with RS-232/485 option 969-8992 Turbo-V 301-AG with Profibus option 969-8993 Turbo-V 301-AG Air Cooling Kit (0.5 m cable) 969-9291...
  • Seite 114 Request for Return 1. A Return Authorization Number (RA#) WILL NOT be issued until this Request for Return is completely filled out, signed and returned to Varian Customer Service. 2. Return shipments shall be made in compliance with local and international Shipping Regulations (IATA, DOT, UN). 3.
  • Seite 115 Request for Return FAILURE REPORT TURBO PUMPS and TURBOCONTROLLERS POSITION PARAMETERS Power: Rotational Speed: Does not start Noise Vertical Current: Inlet Pressure: Does not spin freely Vibrations Horizontal Temp 1: Foreline Pressure: Does not reach full speed Leak Upside-down Mechanical Contact Overtemperature Other: Temp 2:...
  • Seite 116 Sales and Service Offices France and Benelux Japan Other Countries Varian s.a. Varian Vacuum Technologies Varian Inc. 7 Avenue des Tropiques Sumitomo Shibaura Building, 8th Floor Vacuum Technologies Z.A. de Courtaboeuf - B.P. 12 4-16-36 Shibaura Via F.lli Varian 54 Les Ulis cedex (Orsay) 91941 Minato-ku, Tokyo 108 10040 Leini, (Torino)

Diese Anleitung auch für:

Turbo-v 301-ag969-8992969-8993

Inhaltsverzeichnis