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4.8.2
Die niedrigsten VergroOerungen
Im Gegensatz zum zuvor Gesagten sind die gerinasten erreichbaren VergroOerungen abhangig
vom Arbeitsabstand. So ist bei WD
=
7 mm die geringste VergroOerung 15-fach, bei WD
=
50
mm die geringste VergroOerung 3-fach. Mit den geringen VergroOerungen kann man sich also
schnell einen [Jberblick iiber das Praparat verschaffen.
Die niedrigsten VergroOerungen werden erreicht, indem man mit MAGNIFICATION COARSE auf
den geringsten Wert geht und von dort mit MAGNIFICATION FINE bis zum Anschlag nach unten
fahrt.
4.8.3
Arbeiten bei mittleren VergroOerungen (1
kx
bis 10kx)
In diesem Bereich wird es zunehmend wichtig, die Einstellungen APERTURE und RESOLUTION
COARSE/FINE richtig vorzunehmen, um ausreichende Bildscharfe zu erhalten.
Bei niederen Hochspannungen (unter 5 kV) kann in diesem Bereich bereits die Auflosungsgrenze
erreicht sein. Dann sollten Sie wie im folgenden Abschnitt 4.8.4. verfahren.
4.8.4
Arbeiten bei hohen VergroOerungen (ab 10kx)
Hier miissen alle Parameter sorgfaltig gewahlt und beachtet werden, da man in diesem VergroOe-
rungsbereich an die Leistungsgrenze des DSM 940 kommt. Besonders sind folgende Einstellun-
gen zu beachten:
*
Zentrierung der Wolframkathode in der Wehneltblende
(Abschnitt 5.3.2, Seite 72)
*
Sattigung der Emission (Abschnitt 4.4.3, Seite 33)
*
Zentrierung des Strahls (Abschnitt 4.4.4, Seite 34)
*
Wahl der richtigen Blende, Blendenjustierung
(Abschnitt 4.6, Seite 36)
*
Astigmatismus-Korrektur (Abschnitt 4.7, Seite 37)
Die Auflosung (RESOLUTION) muO nun in den Bereich SMALL gestellt werden. Mit dem ge-
ringen Strahlstrom wird das Signal sehr klein und das Rauschen groO, so daO zu Iangeren
Abtastzeiten ubergegangen werden muO.
Weiterhin sollte bei kurzen Arbeitsabstanden gearbeitet werden, da hier einerseits Storeinflusse
durch externe magnetische Storfelder geringer sind, als auch die Verkleinerung des Crossovers
in der Saule hoher ist, also ein kleinerer effektiver Strahlfleck erreicht wird.
Bedienungsanleitung DSM 940
Seite 40
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