Fehlersuchtabelle, Allgemein - Bronkhorst In-Flow Benutzerhandbuch

7.2 Fehlersuchtabelle, allgemein

Symptom
kein Ausgangssignal
Max. Ausgangssignal
Ausgangssignal viel niedriger
als Sollwert-Signal oder
gewünschter Durchfluss
Durchfluss läßt allmählich nach
Oszillation
kleiner Durchfluss bei Sollwert
0
Anmerkung: Bei anderen (mehr spezifischen) lesen Sie bitte die Fehlersuchtabellen in anderen Dokumenten.
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BRONKHORST
mögliche Ursache
Keine Spannungsversorgung
Ausgangsstufe ausgefallen
infolge längeren Kurzschlusses
und/oder Hochspannungsspitzen
Gasdruck zu hoch oder Differenzdruck
am Gerät zu hoch
Ventil verstopft / kontaminiert
Sieb am Einlass verstopft
Sensor-/Kapillarausfall
Ausgangsstufe ausgefallen
Sensor-/Kapillarausfall
Sieb verstopft /kontaminiert
LFE verstopft/kontaminiert;
und/oder Flüssigkeit im Gerät
Ventil verstopft/kontaminiert
Ventil im Innern beschädigt
(gequollener Sitz im Kolben)
Falsche Gasart und/oder
Druck/Differenzdruck
Kondensation, geschieht bei NH3,
C H ,C H
Hydrokarbonen wie.
3
Ventiljustage hat sich verändert
Anschlussdruck/Differenzdruck zu hoch
Rohrleitung zwischen Druckregler und
MFC zu kurz
Druckregler schwingt
Schäden an der Ventilhülse oder im
Innern
Reglerjustage falsch
Ventilleckagen infolge von defektem
Kolben oder Schmutz in Ventildüse
Druck zu hoch oder viel zu niedrig
®
Aktion
1a) Prüfen der Spannungsversorgung
1b) Prüfen des Kabelanschlusses
1c) zurück ans Werk
1d) Vordruck senken
1e) schließen Sie 0..15 Vdc an das
Ventil an und erhöhen Sie langsam die
Spannung, während der Anschlussdruck
ansteht. Das Ventil sollte bei
7V G 3V geöffnet sein; wenn nicht,
Teile reinigen und Ventil justieren
(nur geschultes Personal)
1f) reinigen Sie das Sieb
1g) zurück ans Werk
2a) zurück ans Werk
2b) zurück ans Werk
3a) Sieb reinigen
3b) LFE entfernen und reinigen, Gerät mit
Luft oder N2 trocknen
3c) Ventil reinigen
3d) Teile austauschen und Ventil justieren
oder zurücksenden
3e) prüfen Sie das Gerät unter
Bedingungen, für die es ausgelegt wurde
4a) Vordruck reduzieren und/oder Gas
erwärmen
usw.
8 4 10
4b) siehe 1e
5a) Druck herabsetzen
5b) Länge oder Durchmesser der
Eingangsrohrleitung erhöhen
5c) Druckregler ersetzen oder 5b versuchen
5d) defekte Teile ersetzen und Ventil
justieren, siehe 1e oder zurück an Werk
5e) Regler justieren
Zusammenbau 1e beachten
6b) richtigen Druck anwenden
6a) Düse reinigen und beim
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