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Benutzer-Handbuch
Allgemeine Hinweise digitale
Massedurchfluss- und
Druckmesser / -regler
Laborausführung / IN-FLOW
Dok. Nr.: 9.19.022AF Datum: 06-04-2021
ACHTUNG
Es wird empfohlen, vorliegendes Benutzer-Handbuch vor dem Einbau
und vor der Inbetriebnahme des Produktes sorgfältig zu lesen.
Die nicht Beachtung der Anleitung kann Personenschäden
und/oder Beschädigungen der Anlage zur Folge haben.

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Inhaltszusammenfassung für Bronkhorst IN-FLOW

  • Seite 1 Benutzer-Handbuch Allgemeine Hinweise digitale Massedurchfluss- und Druckmesser / -regler Laborausführung / IN-FLOW Dok. Nr.: 9.19.022AF Datum: 06-04-2021 ACHTUNG Es wird empfohlen, vorliegendes Benutzer-Handbuch vor dem Einbau und vor der Inbetriebnahme des Produktes sorgfältig zu lesen. Die nicht Beachtung der Anleitung kann Personenschäden...
  • Seite 2 Weitere Informationen sind in anderen Dokumenten zu finden. Die Handbücher für Multibus Instrumente sind modular aufgebaut und umfassen: Allgemeine Hinweise digitale Massedurchfluss- und Druckmesser /-Regler Laborausführung / IN-FLOW (Dokument Nr. 9.19.022) Betriebsanleitung digitale Instrumente (Dokument Nr. 9.19.023) Feldbus-/Schnittstellen-Beschreibung: FLOW-BUS Schnittstelle (Dokument Nr. 9.19.024) PROFIBUS DP Schnittstelle (Dokument Nr.
  • Seite 3 Zweck und die Inhalte können ohne Ankündigung jederzeit geändert werden. Gewährleistungs-Bedingungen Die Garantie der Produkte von Bronkhorst bezieht sich auf den bestimmungsgemäßen Gebrauch und auf Material- und Verarbeitungsfehler. Die Garantiezeit beträgt 36 Monate – beginnend vom Versanddatum des Werks.
  • Seite 4 Stellen Sie die richtigen Drücke ein. ! Achtung Wenn das Gerät nicht wie erwartet funktioniert, wenden Sie sich bitte für weitere Anweisungen an Bronkhorst High Tech B.V. oder Ihren Händler. Anschluss für analoge Bedienung Schließen Sie das Instrument an die Versorgungsspannungs/Auswerteeinheit Bus-Anschluss für digitale Bedienung...
  • Seite 5 Typ und demselben Nennwert. Eine Öffnung des Geräts ist nicht zulässig. Im Inneren sind keine reparaturfähigen Teile vorhanden. Bei einem Gerätedefekt senden Sie das Gerät an Bronkhorst High Tech B.V. Das Symbol auf dem Gerät weist den Benutzer auf die Bedienungsanleitung hin, die sich im Handbuch befindet.
  • Seite 6 (Beachten Sie, dass zur Erhaltung der Genauigkeit und Funktionalität des Produkts ausgewählte Teile nur von Bronkhorst bezogen werden sollten.) Wenn Sie sich über die Verwendbarkeit eines Ersatzbauteils unsicher sind, rufen Sie ein Bronkhorst-Büro an und lassen Sie sich informieren.
  • Seite 7 BRONKHORST ®...
  • Seite 8 BRONKHORST ® INHALTSVERZEICHNIS Einführung ............................10 Allgemeine Beschreibung ......................10 1.1.1 Gasfluss ..........................10 1.1.2 Flüssigkeitsmessung ......................10 1.1.3 Druck ..........................10 1.1.4 Gehäuse ..........................10 1.1.5 Ventile ..........................12 Messprinzip Sensor ........................13 1.2.1 Gasflusssensoren (bypass Messprinzip) ................13 1.2.2...
  • Seite 9 BRONKHORST ® Regler ............................31 Regelventile ..........................31 4.6.1 Magnetische Regelventile ....................31 4.6.2 Vary-P-Ventil ........................32 4.6.3 Pilotgesteuertes Ventil ......................32 4.6.4 Balgventile .......................... 32 Kalibriervorgang ......................... 32 Reinigung ........................... 32 Digitale Geräte ..........................33 Beschreibung der Schnittstellen ....................... 34 Fehlersuche ............................
  • Seite 10 ® Einführung 1.1 Allgemeine Beschreibung 1.1.1 Gasfluss Mit den Bronkhorst Massedurchflussmessern für Gase können, je nach Bauform, Gasflüsse bis 700 bar ® genau gemessen werden, und zwar nahezu unabhängig von Druck- und Temperatur-veränderungen. Das System kann mittels Regelventil und flexibler Anzeige für die Messung und Regelung von Gasflüssen von 1 ml n /min bis zu mehreren tausend m 3 n /h, je nach Gerätetyp, erweitert werden.
  • Seite 11 BRONKHORST ® IN-FLOW, IN-PRESS In Übereinstimmung mit dem Sicherheitsstandard IP65 sind die Platinen in einem abgedichteten metallen Gehäuse untergebracht. Elektrische Anschlüsse werden durch 8DIN male Anschluss für den analogen/RS232 hergestellt. Für den digitalen Betrieb hat das Gerät verschiedene Steckers auf der Oberseite.
  • Seite 12 BRONKHORST ® 1.1.5 Ventile Labormodell Für Gase: Das Spulengehäuse dieses Ventils entspricht der Schutzklasse IP-50. Die Ventile sind für den Gebrauch im (trockenen) Innenbereich geeignet. Für Flüssigkeiten: Das Spulengehäuse dieses Ventils entspricht der Schutzklasse IP-50. Die Ventile sind für den Gebrauch im (trockenen) Innenbereich geeignet.
  • Seite 13 Signallevel. 1.2.2 Gasflusssensoren (Direkte Hauptstrom Messung) Die IN-FLOW CTA Baureihe arbeitet nach dem thermischen Hauptstrom Messprinzip. Der Hauptstromsensor (CTA Prinzip) besteht aus einem Heizwiderstand und einem Temperaturfühler. Beide Sensoren bestehen aus einem Heizwiderstand, dass mit wärmeübertragenden Edelstahl ummantelt ist. Die Heizleistung wird geregelt und sorgt für eine konstante Temperaturdifferenz zwischen dem Heizwiderstand...
  • Seite 14 BRONKHORST ® 2) Der CTA- basierte LIQUI-FLOW™ Serien L10 / L20 für Flussraten bis 1000 g/h. Der CTA basierte LIQUI-FLOW™ Serien L10 / L20 besteht grundsätzlich aus einem geraden Rohr mit 2 platzierten Sensorelementen um das Rohr herum. Das erste Sensor-Element ist ein Temperatursensor, welcher die Temperatur des fließenden Mediums im Rohr misst.
  • Seite 15 BRONKHORST ® 1.3.3 Pilotgesteuertes Ventil Das pilotgesteuerte Ventil wurde für hohe Durchflussraten konstruiert. Ein magnetgesteuertes Regelventil regelt die Druckdifferenz über einen Steuerkolben, wodurch der Hauptkolben bewegt wird. Pilotventil Durchfluß- Ausgleichventil Durchfluß-Regelventil 1.3.4 Balgventil Dieser Ventiltyp ist ein direkt mit Magnetspule betriebenes Regelventil mit geringem Energiebedarf.
  • Seite 16 BRONKHORST ® Bei Massendurchflussmessern für Flüssigkeiten ist normal nur ein geschlossenes Ventil verfügbar. Der Düsendurchmesser kann berechnet oder der Tabelle entnommen werden. Durchmesser [mm] Normal geschlossen ∆p max. [bard] 0,10 1,73x10 0,14 3,39x10 0,20 6,93x10 0,30 1,56x10 0,37 2,37x10 0,50...
  • Seite 17 BRONKHORST ® 1.5 Sensoren und laminare Flowelemente Flowelemente werden verwendet, um den Messbereich eines Gasflussmessers oder -reglers festzulegen. Beachten Sie, dass Flüssigkeitssensoren, CTA basierende Sensoren und Drucksensoren kein Flowelement benötigen. Je nach Anwendung haben die Durchflusssensoren verschiedene austauschbare Kapillaren, die unterschiedliche laminare Flowelemente erforderlich machen.
  • Seite 18 BRONKHORST ® 1.6 Konversionsfaktoren 1.6.1 Gas Konversionsfaktor (bypass Messung) Die allgemeine Formel für die Bestimmung des Verhältnisses zwischen Signal und Massedurchfluss ist wie folgt: ⋅ ⋅ Φ ⋅ ⋅ ⋅ ρ Φ signal wobei: = Ausgangssignal signal = Konstante = Dichte ρ...
  • Seite 19 BRONKHORST ® Die ungefähre Genauigkeit der aufgeführten Konversionsfaktoren ist: in der Regel für Konversionsfaktoren: >1 2% x Faktor <1 2 % / Faktor Da jedoch die Genauigkeit auch von Viskosität, Druck und Temperatur abhängt, sollte den Gasen im kritischen Bereich, wo spezifische Wärme, Dichte und Viskosität erheblich abweichen können, besondere Aufmerksamkeit zukommen.
  • Seite 20 FLUID ≅ λ CUSTOM FLUID Für die genaue Nutzung diese Formel setzen Sie sich bitte mit Bronkhorst in Verbindung. 1.6.4 Software für die Errechnung des Konversionsfaktors Bronkhorst hat die physikalischen Eigenschaften von über 600 Gasen und Flüssigkeiten in seiner ®...
  • Seite 21 Geräte, mit denen giftige oder gefährliche Fluids gemessen wurden, müssen vom Anwender sachkundig und sorgfältig gereinigt werden. Wichtig: Notieren Sie auf dem Paket deutlich die Verzollungskundennummer von Bronkhorst High-Tech B.V.: NL801989978B01 Gegebenenfalls wenden Sie sich an Ihren Vertriebspartner. 2.3 Service Wenn die Geräte nicht sachgemäß...
  • Seite 22 Weitere Informationen erhalten Sie von Ihrem Vertriebspartner. 2.6 Fluidanschlüsse In der Regel werden die Mess- und Regelgeräte von Bronkhorst mit Klemmring- oder Vakuumverschraubungen (VCR/VCO) ausgestattet. Meist erfolgen die Verbindungen zu den Instrumenten über parallele BSP Gewinde, welche mit gekammerten O-Ringen am Instrument abzudichten sind. Bei einigen Geräten sind diese Fittings orbital angeschweißt.
  • Seite 23 2.8 Elektrische Anschlüsse Hinweis: Manche DeviceNET Konfigurationssoftware könnte eventuell eine Diskrepanz des Gerätes in Bezug auf den „ProdCode“ melden. Bitte wenden Sie sich an support@bronkhorst.com, damit wir Ihnen eine Lösung zur Verfügung stellen können. Der elektrische Anschluss muss mit Standardkabeln oder gemäß den anwendbaren Anschlussplänen hergestellt werden.
  • Seite 24 Mess- und Regeleinheiten für hohe Drücke, die über ein kolbengesteuertes Regelventil verfügen. Für instrumente über 10 barg: Bronkhorst empfiehlt eine maximale Dekompressionsrate von 70 bar / min gemäß NACE TM0297. Überschreitung dieser Rate kann sich negativ auf die Lebensdauer der Dichtungsmaterialien auswirken. Seite 24...
  • Seite 25 Alle in diesem Handbuch beschriebenen Systeme tragen das CE-Zeichen. Sie müssen daher den EMC- Anforderungen für diese Ausrüstungen entsprechen. Jedoch ist die Übereinstimmung mit den EMC- Anforderungen nur möglich unter Verwendung der richtigen Kabel und Anschlüsse. Für einwandfreie Verbindungen kann Bronkhorst Standardkabel liefern. Anderenfalls sind die unten ®...
  • Seite 26 BRONKHORST ® 8DIN Stecker-Montage Anmerkung: 1. Wenn das System an andere Geräte angeschlossen wird (z.B. PLS oder SPS), vergewissern Sie sich, dass die Abschirmung hierdurch nicht beeinträchtigt ist. Verwenden Sie keine nicht abgeschirmten Kabelanschlüsse. 2. Bei dem Anschluss eines FLOW-BUS S(F)TP-Datenkabels an RJ45-Stecker befolgen Sie die Anweisungen des Herstellers.
  • Seite 27 BRONKHORST ® Betrieb 3.1 Allgemein Die Bronkhorst Geräte sind so konstruiert, dass Sie die Anforderungen des Anwenders in größtmöglicher ® Weise erfüllen. Massedurchfluss-/Druckmesser/-regler werden mit +15 Vdc bis +24Vdc betrieben. Wenn Sie Ihr eigenes Netzteil verwenden, stellen Sie sicher, dass die Spannung und Stromstärke den Angaben auf dem Schild des Geräts/der Geräte entsprechen.
  • Seite 28 BRONKHORST ® Nach der Aufwärmphase (noch kein Gasfluss) starten Sie die automatische 0-Punkt-Einstellung unter Betriebsbedingungen durch Betätigen des Drucktasters auf der Oberseite des Gerätes, falls gewünscht. Bei Durchflussreglern muss der Sollwert auf 0 sein. Versichern Sie sich, dass noch kein Gas fließt.
  • Seite 29 3.8 Analogbetrieb Digitale Geräte können mit analogen Signalen über die 9-polige Sub-D-Anschlussbuchse betrieben werden. In diesem Punkt sind die Geräte in der Anwendung kompatibel mit analogen Geräten. Analog betriebene Geräte können, gemäß Bronkhorst Standard, mit einem 8-adrigen abgeschirmten Kabel ®...
  • Seite 30 BRONKHORST ® 3.9 FLOW-BUS / Digitalbetrieb Der Betrieb über den Feldbus reduziert die Anzahl von Kabeln, die für den Aufbau eines Systems aus verschiedenen Geräten erforderlich sind und bietet dem Anwender die Möglichkeit, eine größere Anzahl von Parameterwerten anzuzeigen und zu ändern.
  • Seite 31 Beschädigungen des Gerätes oder des Systems führen, in dem es verwendet wird. Die Wartung muss daher von geschultem und qualifiziertem Personal durchgeführt werden. Kontaktieren Sie Ihren Bronkhorst- Vertreter für Informationen zur Reinigung und Kalibrierung. Bronkhorst verfügt über ein geschultes Personal. 9.19.022...
  • Seite 32 BRONKHORST ® 4.6.2 Vary-P-Ventil Das Vary-P-Ventil wurde konstruiert, um auch extrem variable Prozessbedingungen vor oder hinter dem Ventil oder auf beiden Seiten bewältigen zu können. Das ∆P kann stark variieren. Das Hauptregelventil ist ein direkt betriebenes Magnetventil. Das Patent ist erteilt.
  • Seite 33 BRONKHORST ® Digitale Geräte Detaillierte Informationen finden Sie in Dokument Nr. 9.19.023. Dieses Dokument ist verfügbar als PDF-Datei auf der Multibus documentation/software tool CD. 9.19.022 Seite 33...
  • Seite 34 BRONKHORST ® Beschreibung der Schnittstellen Beschreibungen der verfügbaren Schnittstellen finden Sie unter folgenden Dokument-Nummern: 9.19.024 für FLOW-BUS 9.19.025 für PROFIBUS DP 9.19.026 für DeviceNet 9.19.027 für RS232 9.19.035 für Modbus ASCII / RTU / TCP 9.19.063 für EtherCAT 9.19.095 für PROFINET 9.19.131 für CANopen...
  • Seite 35 BRONKHORST ® Fehlersuche 7.1 Allgemein Um den einwandfreien Betrieb eines Massedurchflussmessers/-reglers korrekt zu beurteilen, wird empfohlen, die Einheit aus dem Prozess herauszunehmen und sie zu überprüfen, ohne dass ein Gasdruck vorliegt. Falls die Einheit verschmutzt ist, kann dies sofort festgestellt werden, indem man die Klemmringverschraubungen und, falls vorhanden, den Flansch an der Einlassseite löst.
  • Seite 36 BRONKHORST ® 7.2 Fehlersuchtabelle, allgemein Symptom mögliche Ursache Aktion kein Ausgangssignal Keine Spannungsversorgung 1a) Prüfen der Spannungsversorgung 1b) Prüfen des Kabelanschlusses Ausgangsstufe ausgefallen 1c) zurück ans Werk infolge längeren Kurzschlusses und/oder Hochspannungsspitzen Gasdruck zu hoch oder Differenzdruck 1d) Vordruck senken am Gerät zu hoch...
  • Seite 37 ANHANG 1 GAS KONVERSIONSTABELLE Doc. no.: 9.02.086...
  • Seite 39 GAS KONVERSIONSTABELLE Nr.: Name: Formel Dichte Spez. Wärme* Konv.-Faktor   20°C, 1 atm. [ / ] cal cal g K / . ] 0°C, 1 atm. 20°C, 1 atm. Acetylene (Ethyne) 1.172 0.438 0.61 1.293 0.241 1.00 Allene (Propadiene) 1.832 0.392 0.43...
  • Seite 40 GAS KONVERSIONSTABELLE Nr.: Name: Formel Dichte Spez. Wärme* Konv.-Faktor   20°C, 1 atm. [ / ] cal cal g K / . ] 20°C, 1atm. 0°C, 1 atm. Helium 0.1785 1.24 1.41 Helium (3-) 0.1346 1.606 1.44 Hydrogen 0.08991 3.44 1.01 Hydrogen bromide...