Werbung
Quicklinks
Benutzer-handbuch
CEM
Flüssigkeitsdosiersystem
mit geregelter Verdampfung
Doc. no.: 9.19.010I Date: 08-06-2015
ACHTUNG
Es wird empfohlen, vorliegendes Benutzer-Handbuch vor dem Einbau
und vor der Inbetriebnahme des Produktes sorgfältig zu lesen.
Die nichtbeachtung der Anleitung kann Personenschäden
und/oder Beschädigungen der Anlage zur Folge haben.
Werbung
Verwandte Anleitungen für Bronkhorst CEM
Inhaltszusammenfassung für Bronkhorst CEM
- Seite 1 Benutzer-handbuch Flüssigkeitsdosiersystem mit geregelter Verdampfung Doc. no.: 9.19.010I Date: 08-06-2015 ACHTUNG Es wird empfohlen, vorliegendes Benutzer-Handbuch vor dem Einbau und vor der Inbetriebnahme des Produktes sorgfältig zu lesen. Die nichtbeachtung der Anleitung kann Personenschäden und/oder Beschädigungen der Anlage zur Folge haben.
- Seite 2 9.19.010 Seite 2...
- Seite 3 Ankündigung jederzeit geändert werden. Bronkhorst HIGH-TECH B.V. Juli 2011 Garantiebedingungen Die Garantie der Produkte von Bronkhorst High-Tech BV bezieht sich auf den bestimmungsgemäßen Gebrauch und auf Material- und Verarbeitungsfehler. Die Garantiezeit beträgt 36 Monate – beginnend vom Versanddatum des Werks.
- Seite 4 BRONKHORST HIGH-TECH Bedienungsanleitung in Kurzform Bevor Sie Ihr CEM-System installieren, lesen Sie bitte das Typenschild und prüfen Sie: * Meßbereich * zu regelndes / zu verdampfendes Fluid * Vor- und Hinterdruck * Ausgangssignale * Heizungstemperatur Beachten Sie den roten Aufkleber und versichern Sie sich, daß...
- Seite 5 Allgemein ......................Seite 10 Spannungsversorgung und Aufwärmen ............. Seite 10 Starten / Ausschalten ..................Seite 10 Kabel EMC und Kabel ....................Seite 12 Anhang Empfehlungen für die Anwendung des DLI (CEM) Systems von Bronkhorst High-Tech A. Vakuum-System B. Überdruck-System Seite 5 9.19.010...
- Seite 6 BRONKHORST HIGH-TECH Seite 6 9.19.010...
- Seite 7 Die völlige Verdampfung der Flüssigkeit erfolgt im Verdampfer. * Bitte beachten Sie die entsprechenden Bedienungsanleitungen für diese Geräte. CEM-Aufbau Das „CEM“-System besteht aus drei verschiedenen Teilen; einem Regelventil, einem Mischgerät und einem Wärmetauscher, in dem der Flüssigkeitsmischung zur Verdampfung und zur Verhinderung von Kondensation Wärme zugefügt wird.
- Seite 8 Nehmen Sie ggf. unseren Werksservice in Anspruch. Einbaulage Das CEM-System sollte in vertikaler Position montiert werden, wobei das Regelventil nach oben und der Dampfausgang nach unten ausgerichtet sein muß. Das System sollte nicht in der Nähe einer starken Wärmequelle installiert werden und der die Stelle muß frei von mechanischen Erschütterungen bzw. Vibrationen sein.
- Seite 9 Der Ausgang des Gasflußreglers muß am Gaseingangsport des CEM-Ventils angeschlossen werden. Der Dampfauslaß des CEM sollte direkt an den Prozess angeschlossen sein. Die Temperatur in diesem Rohr sollte höher sein als in der Heizung, um eine Kondensation des Dampfes in dieser Rohrleitung zu verhindern. Vermeiden Sie Kältebrücken am Auslaß.
- Seite 10 Außerdem sollten alle Drücke die richtigen Werte aufweisen. Danach muß der Trägergasfluß richtig eingestellt werden. Wenn dieser Fluß stabilisiert ist, kann der Flüssigkeitsfluß im System gestartet werden, indem der Sollwert des Flüssigkeitsreglers langsam erhöht wird. Jetzt ist Ihr „CEM“- System in Betrieb.
- Seite 11 BRONKHORST HIGH-TECH Bei 50 % relativer Feuchte ist das Mol-Verhältnis zwischen Gas und Wasser: [mbar] Das Mol-Verhältnis: 1013 Daher ist in einem Gasfluß von 2 ln/min der gesättigte Wassergehalt (50% r.F.): ...
- Seite 12 BRONKHORST HIGH-TECH Kabel Die Verwendung von Bronkhorst High-Tech Standardkabeln wird empfohlen. EMC und Kabel Alle in diesem Handbuch beschriebenen Geräte tragen das CE-Zeichen. Sie müssen daher den EMC-Anforderungen für diese Ausrüstungen entsprechen. Jedoch ist die Übereinstimmung mit den EMC-Anforderungen nur möglich unter Verwendung der richtigen Kabel und Anschlüsse.
- Seite 13 ANHANG Empfehlungen für die Anwendung des CEM-Systems von Bronkhorst High-Tech Vakuum-System Überdruck-System...
- Seite 15 Vakuum-System Inertgassupply Vacuum Vacuum Carrier Processgas Liquid Heated line Liquid Valve Process Vacuum A) Füllen des Systems: Vorgang:Vorgehensweise: Vorgehensweise: A1) Evakuieren der Vakuum-Rohrleitungen. Pumpen starten A2) Evakuieren aller Rohrleitungen Schließen: 2, 3, 5, 10 und 9. Inertgas an den Trägergaseinlaß anschließen. Öffnen: 1, 4, 7, 11.
- Seite 16 B) Aufstart des Prozesses: Vorgang: Vorgehensweise: B1) Einstellen der CEM-Heizung auf die richtige Geben Sie dem Temperaturregler einen Sollwert, Temperatur warten Sie, bis die Temperatur erreicht ist. B2) Starten des Gasflusses. Öffnen Sie 9. Geben Sie dem Gas-MFC einen Sollwert..
- Seite 17 Überdruck-System Inertgassupply Atmospheric / waste Carrier Processgas Liquid Heated line Liquid Valve Process Atmospheric / waste Befüllen des Systems: Vorgang: Vorgehensweise: A1) Spülen aller Rohrleitungen. Schließen: 3, 5 und 10. Schließen Sie das Inertgas an den Trägergas-Einlaß an. Öffnen: 2, 4, 7, 9 und 11. Geben Sie dem Gasregler einen Sollwert, das Regelventil 8 öffnet sich.
- Seite 18 B) Aufstart des Prozesses: Vorgang: Vorgehensweise: B1) Einstellen der CEM-Heizung auf die richtige Geben Sie dem Temperaturregler einen Sollwert, Temperatur warten Sie, bis sich die Temperatur stabilisiert hat B2) Starten des Gasflusses. Geben Sie dem Gasregler einen Sollwert. B3) Starten des Flüssigkeitsflusses.