Rvg 050 C Ausschalten Und; Udv 146 Schließen - Pfeiffer Vacuum Rvg 050 C Betriebsanleitung

4.9 RVG 050 C
ausschalten und
UDV 146 schließen
Ohne Absperrventil
Mit Absperrventil
36
• Bei einer gut eingestellten Regelung folgt der Istwert
ohne großes Über- bzw. Einschwingen dem Sollwert.
Istwert
Istwert
GEFAHR
GEFAHR: Heiße Oberfläche
Das Berühren der heißen Oberfläche
(>55 °C) kann zu Verbrennungen führen.
Das Produkt außer Betrieb setzen und ab-
kühlen lassen.
RVG 050 C ausschalten (→  29).
Nach einer Abkühlzeit von ≈2 Minuten das
UDV 146 von Hand vollständig schließen.
Bei Netzausfall öffnet das UDV 146 bis zur
mechanischen Begrenzung.
Das elektromagnetisch betätigte Absperrventil muss
stromlos geschlossen sein. Das bedeutet, dass beim
Ausschalten des RVG 050 C sowie bei Netzausfall die
Gaszufuhr zur Prozesskammer gestoppt wird.
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BG 5282 BDE (2011-11) RVG050C.bet