Pfeiffer Vacuum RVG 050 C Betriebsanleitung Seite 44

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– P –
PI-Regler
Potenziometer
Heizspannungsbe-
grenzung
Proportionalverstärkung
Sollwertvorgabe
Proportionalverstärkung 27; 35
– R –
Regelbereich
Regelkreis
Regelparameter
Regelstrecke
Aufbau
Erweiterte-
Regelventil
Reparatur
– S –
Sicherheit
Sicherung
einsetzen
Halter
Sollwertvorgabe
extern
intern
Spannung
Nenn-
Netz-
Wahlschalter
Spezifikation
SPS
Stecker
Absperrventil
Netz
Störungsbehebung
– T –
3; 9; 26 Technische Daten
Tischgerät
Totaldruckmess-
26; 31
gerät
35
29
– U –
Umrechnungen
– V –
30
Vakuum
27
Messgerät
35
System
25
– W –
27
Wartung
20; 27
38
– Z –
Zubehör
6
17
17
29; 34
29; 33
8; 16
16
16
8
34
21
18
38
BG 5282 BDE
8
15
23; 30; 37
41
37
25; 27
37
39
(2011-11) RVG050C.bet