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Produktbeschreibung
3 Produktbeschreibung
3.1 Funktion
Die Turbopumpe bildet mit der Antriebselektronik eine kompakte Einheit. Zur Spannungsversorgung
dienen Pfeiffer Vacuum Netzteile.
Die Eigenschaftsbezeichnung "H" kennzeichnet Turbopumpen, die herausragende Kompressionsver-
hältnisse ausweisen, insbesondere für leichte Gase.
13
12
Abb. 2:
1 Antriebselektronik TC 400
2 Erdungsanschluss
3 Pumpengehäuse, Edelstahl
4 Turborotor
5 Hochvakuumanschluss, DN 160 CF-F
6 Vorvakuumanschluss, DN 25 ISO-KF
7 LED Betriebsanzeige
8 Pumpenunterteil
3.1.1 Kühlung
● Wasserkühlung
● Luftkühlung (optional)
Die Antriebselektronik regelt die Antriebsleistung bei Übertemperaturen automatisch herunter.
3.1.2 Rotorlager
Hybridgelagerte Turbopumpe
● Hochvakuumseite: verschleißfreies Permanentmagnetlager
● Vorvakuumseite: Kugellager mit Keramikkugeln
Die dauerhafte Schmierung der Rotorlagerung auf der Vorvakuumseite gewährleistet ein Betriebsmittel-
speicher.
3.1.3 Antrieb
● Antriebselektronik TC 400
18/62
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16
11
10
9
Aufbau HiPace 700 H
─ Betriebsspannung 48 V DC
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2
8
7
6
9
Flutschraube
10
Anschlusskupplungen für Kühlwasser
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Schutzdeckel für Vorvakuumanschluss
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Anschlussstecker Spannungsversorgung DCin
13
Anschlusspanel der Antriebselektronik
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Pumpengehäuse, Aluminium
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Sperrgasanschluss
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Schutzdeckel für Hochvakuumanschluss
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4
5
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Fehlerbehebung
