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BETRIEBSANLEITUNG
DE
Original
HIPACE 700 H
Turbopumpe

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Inhaltszusammenfassung für Pfeiffer Vacuum HIPACE 700 H

  • Seite 1 BETRIEBSANLEITUNG Original HIPACE 700 H Turbopumpe...
  • Seite 2: Haftungsausschluss

    Verwendung widersprechen oder explizit als vorhersehbarer Fehlgebrauch definiert sind. Urheberrechtshinweis (Copyright) Dieses Dokument ist das geistige Eigentum von Pfeiffer Vacuum, und alle Inhalte dieses Dokuments sind urheberrechtlich geschützt (Copyright). Sie dürfen ohne vorherige schriftliche Genehmigung von Pfeiffer Vacuum weder ganz noch auszugsweise kopiert, verändert, vervielfältigt oder veröffentlicht werden.
  • Seite 3: Inhaltsverzeichnis

    Allgemeine Sicherheitshinweise Sicherheitshinweise Sicherheitsmaßnahmen Einsatzgrenzen des Produkts Bestimmungsgemäße Verwendung Vorhersehbarer Fehlgebrauch Personenqualifikation 2.7.1 Personenqualifikation sicherstellen 2.7.2 Personenqualifikation bei Wartung und Reparatur 2.7.3 Mit Pfeiffer Vacuum weiterbilden Produktbeschreibung Funktion 3.1.1 Kühlung 3.1.2 Rotorlager 3.1.3 Antrieb Produkt identifizieren 3.2.1 Produkttypen 3.2.2 Produktmerkmale...
  • Seite 4 Betrieb Inbetriebnahme Betriebsarten 6.2.1 Betrieb ohne Bedieneinheit 6.2.2 Betrieb über Multifunktionsanschluss "remote" 6.2.3 Betrieb über Anschluss "E74" 6.2.4 Betrieb über Pfeiffer Vacuum Anzeige- und Bediengerät 6.2.5 Betrieb über Feldbus Turbopumpe einschalten Betriebsüberwachung 6.4.1 Betriebsanzeige über LED 6.4.2 Temperaturüberwachung Ausschalten und Fluten 6.5.1 Ausschalten...
  • Seite 5 Tab. 12: Werkseinstellungen für verzögertes Fluten bei Turbopumpen Tab. 13: Charakteristische Nenndrehzahlen der Turbopumpen Tab. 14: Störungsbehebung bei Turbopumpen Tab. 15: Verfügbare Ersatzteile Tab. 16: Zubehör Tab. 17: Umrechnungstabelle: Druckeinheiten Tab. 18: Umrechnungstabelle: Einheiten für Gasdurchsatz Tab. 19: Technische Daten für HiPace 700 H 5/62...
  • Seite 6 Abb. 22: Montage der Antriebselektronik TC 400 Abb. 23: Ersatzteile HiPace 700 Abb. 24: HiPace 700 H | TC 400 | DN 160 ISO-K Abb. 25: HiPace 700 H | TC 400 | DN 160 CF-F Abb. 26: HiPace 700 H | TC 400 | DN 160 ISO-F Abb.
  • Seite 7: Zu Dieser Anleitung

    Aufbewahren für späteres Nachschlagen. 1.1 Gültigkeit Diese Betriebsanleitung ist ein Kundendokument der Firma Pfeiffer Vacuum. Die Betriebsanleitung be- schreibt das benannte Produkt in seiner Funktion und vermittelt die wichtigsten Informationen für den sicheren Gebrauch des Gerätes. Die Beschreibung erfolgt nach den geltenden Richtlinien. Alle Anga- ben in dieser Betriebsanleitung beziehen sich auf den aktuellen Entwicklungsstand des Produktes.
  • Seite 8: Piktogramme

    Dieser Abschnitt beschreibt alle vorhandenen Aufkleber auf dem Produkt, sowie deren Bedeutung. Typenschild Das Typenschild der Turbopumpe befindet sich am Unterteil D-35614 Asslar der Pumpe. HiPace 700 H Mod. PM P05 750 Das Typenschild der Antriebselektronik befindet sich auf deren - - - - - - - - Außenseite direkt neben den LEDs...
  • Seite 9: Abkürzungen

    Bedeutung im Dokument Flansch: Anschlussverbindung metallgedichtet gemäß ISO 3669 Betrag des Durchmessers (in mm) Gleichstrom Display Control Unit (Anzeige- und Bediengerät von Pfeiffer Vacuum). Nomineller Durchmesser als Größenbeschreibung Betrag der Drehzahl einer Vakuumpumpe (frequency, in 1/min oder Hz) Hochkompression Handheld Programming Unit. Assistent zur Steuerung und Kontrolle der Pumpenpara-...
  • Seite 10: Sicherheit

    Sicherheit 2 Sicherheit 2.1 Allgemeine Sicherheitshinweise Im vorliegenden Dokument sind folgende 4 Risikostufen und 1 Informationslevel berücksichtigt. GEFAHR Unmittelbar bevorstehende Gefahr Kennzeichnet eine unmittelbar bevorstehende Gefahr, die bei Nichtbeachtung zum Tod oder zu schweren Verletzungen führt. ► Anweisung zur Vermeidung der Gefahrensituation WARNUNG Möglicherweise bevorstehende Gefahr Kennzeichnet eine bevorstehende Gefahr, die bei Nichtbeachtung zum Tod oder zu schweren Verlet-...
  • Seite 11 Sicherheit Risiken bei der Installation GEFAHR Lebensgefahr durch elektrischen Schlag Nicht spezifizierte oder nicht zugelassene Netzteile führen zu schwersten Verletzungen bis hin zum Todesfall. ► Achten Sie darauf, dass das Netzteil den Anforderungen für doppelte Isolierung zwischen Netz- eingangsspannung und Ausgangsspannung gemäß IEC 61010-1, IEC 60950-1 und IEC 62368-1 entspricht.
  • Seite 12 Sicherheit WARNUNG Verletzungsgefahr durch Abreißen der Turbopumpe mit Dämpfungskörper im Störungsfall Plötzliches Blockieren des Rotors erzeugt gemäß ISO 27892 hohe zerstörende Drehmomente. Diese führen bei Verwendung eines Dämpfungskörpers höchstwahrscheinlich zum Abreißen der Turbo- pumpe. Die dabei freigesetzte Energie kann die gesamte Turbopumpe oder Bruchstücke aus deren Inneren durch den Raum schleudern.
  • Seite 13 Sicherheit Risiken bei der Wartung, Außerbetriebnahme und Entsorgung WARNUNG Lebensgefahr durch elektrischen Schlag bei Wartungs- und Servicearbeiten Das Gerät ist nur bei gezogenem Netzstecker und stillstehender Turbopumpe völlig spannungsfrei. Es besteht Lebensgefahr durch elektrischen Schlag bei Berührung spannungsführender Komponen- ten. ►...
  • Seite 14: Sicherheitsmaßnahmen

    Verletzungen, evtl. mit Todesfolge und großen Sachschäden. ► Befolgen Sie die Installationsanweisungen für diese Turbopumpe. ► Beachten Sie die Anforderungen an Stabilität und Auslegung des Gegenflansches. ► Verwenden Sie nur original Zubehör oder von Pfeiffer Vacuum zugelassenes Befestigungsmate- rial für die Installation. WARNUNG Lebensgefahr durch Vergiftung bei Austritt von toxischen Prozessmedien an beschädigten...
  • Seite 15: Einsatzgrenzen Des Produkts

    Sicherheit ► Lösen Sie während des Betriebs keine Steckerverbindungen. ► Beachten Sie die genannten Ausschaltprozeduren. ► Warten Sie vor Arbeiten am Hochvakuumanschluss den völligen Stillstand des Rotors ab (Dreh- zahl f = 0). ► Setzen Sie das Gerät nicht mit offenem Hochvakuumanschluss in Betrieb. ►...
  • Seite 16: Personenqualifikation

    ● Verwendung von Zubehör oder Ersatzteilen, die nicht in dieser Anleitung genannt sind 2.7 Personenqualifikation Die in diesem Dokument beschriebenen Arbeiten dürfen nur Personen ausführen, die die geeignete technische Ausbildung besitzen und über die nötigen Erfahrungen verfügen oder über Pfeiffer Vacuum an entsprechenden Schulungen teilgenommen haben. Personen schulen 1.
  • Seite 17: Personenqualifikation Bei Wartung Und Reparatur

    ─ Kunde mit Pfeiffer Vacuum-Serviceausbildung ─ Pfeiffer Vacuum-Servicetechniker 2.7.3 Mit Pfeiffer Vacuum weiterbilden Für die optimale und störungsfreie Nutzung dieses Produktes bietet Pfeiffer Vacuum ein umfangreiches Angebot an Schulungen und technischen Trainings an. Für weitere Auskünfte wenden Sie sich bitte an die technische Schulung von Pfeiffer Vacuum.
  • Seite 18: Produktbeschreibung

    Die Turbopumpe bildet mit der Antriebselektronik eine kompakte Einheit. Zur Spannungsversorgung dienen Pfeiffer Vacuum Netzteile. Die Eigenschaftsbezeichnung "H" kennzeichnet Turbopumpen, die herausragende Kompressionsver- hältnisse ausweisen, insbesondere für leichte Gase. Abb. 2: Aufbau HiPace 700 H 1 Antriebselektronik TC 400 Flutschraube 2 Erdungsanschluss Anschlusskupplungen für Kühlwasser 3 Pumpengehäuse, Edelstahl...
  • Seite 19: Produkt Identifizieren

    Produktbeschreibung 3.2 Produkt identifizieren ► Halten Sie zur sicheren Produktidentifikation bei der Kommunikation mit Pfeiffer Vacuum immer alle Angaben des Typenschildes bereit. ► Informieren Sie sich über Zertifizierungen durch Prüfsiegel auf dem Produkt oder unter www.certi- pedia.com mit der Firmen ID-Nr. 000021320.
  • Seite 20: Transport Und Lagerung

    ► Entfernen Sie die Schutzdeckel erst unmittelbar vor der Installation. 4.2 Lagerung Empfehlung Pfeiffer Vacuum empfiehlt die Lagerung der Produkte in ihrer original Transportverpackung. Turbopumpe lagern 1. Verschließen Sie die Flanschöffnungen mit den original Schutzdeckeln. 2. Verschließen Sie weitere Anschlüsse (z. B. Flutanschluss) mit entsprechenden Originalteilen.
  • Seite 21: Installation

    Installation 5 Installation Die Installation der Turbopumpe und ihrer Befestigung ist von herausragender Bedeutung. Der Rotor der Turbopumpe dreht sich mit sehr hoher Geschwindigkeit. In der Praxis ist nicht auszuschließen, dass der Rotor den Stator berührt (z. B. durch Eindringen von Fremdkörpern in den Hochvakuumanschluss). Die freigesetzte kinetische Energie wirkt innerhalb von Sekundenbruchteilen auf das Gehäuse und auf die Verankerung der Turbopumpe.
  • Seite 22: Hochvakuumseite Anschließen

    ● Stellen Sie sicher, dass im Falle eines plötzlichen Blockierens des Rotors der Hochva- kuumanschluss und die betreiberseitige Anlage alle auftretenden Drehmomente auf- nehmen müssen. ● Verwenden Sie für den Hochvakuumanschluss der Turbopumpe nur die zugelassenen Befestigungssätze von Pfeiffer Vacuum. Parameter HiPace 700 4200 Nm...
  • Seite 23: Splitterschutz Oder Schutzgitter Verwenden

    Beispiel: Sicherheitsverbindungen Sicherheitsverbindungen, kundenseitig 5.2.3 Splitterschutz oder Schutzgitter verwenden Pfeiffer Vacuum Zentrierringe mit Splitterschutz oder Schutzgitter im Hochvakuumflansch schützen die Turbopumpe vor Fremdkörpern aus dem Rezipienten. Das Saugvermögen der Turbopumpe reduziert sich entsprechend der Durchgangsleitwerte und der Größe des Hochvakuumflansches. Flanschgröße Reduziertes Saugvermögen in % für Gasart...
  • Seite 24: Einbaulagen

    Installation 5.2.5 Einbaulagen Pfeiffer Vacuum Turbopumpen der Serie HiPace sind bei Verwendung von trocken verdichtenden Vor- pumpen für den Einbau in allen Raumlagen geeignet. ► Vermeiden Sie bei Verwendung ölgedichteter Vorpumpen Rückströmungen aus dem Vorvakuum- bereich. ± 25° max Abb. 4: Empfohlene Ausrichtung bei Verwendung ölgedichteter Vorpumpen...
  • Seite 25: Abb. 6: Flanschverbindung Iso-K Zu Iso-F, Sechskantschraube Und Gewindeboh

    Flanschverbindung ISO-K zu ISO-F, Sechskantschraube und Gewindebohrung Verbindung von Sechskantschraube und Gewindebohrung 1. Verwenden Sie für den Anschluss nur die zugelassenen Befestigungssätze von Pfeiffer Vacuum. 2. Legen Sie den Überwurfflansch über den Hochvakuumflansch der Turbopumpe. 3. Setzen Sie den Sprengring in die seitliche Nut am Hochvakuumflansch der Turbopumpe.
  • Seite 26: Iso-F Flansch An Iso-F Befestigen

    Flanschverbindung ISO-K zu ISO-F, Stiftschraube und Durchgangsbohrung Verbindung von Stiftschraube und Durchgangsbohrung 1. Verwenden Sie für den Anschluss nur die zugelassenen Befestigungssätze von Pfeiffer Vacuum. 2. Legen Sie den Überwurfflansch über den Hochvakuumflansch der Turbopumpe. 3. Setzen Sie den Sprengring in die seitliche Nut am Hochvakuumflansch der Turbopumpe.
  • Seite 27: Cf-Flansch An Cf-F Befestigen

    Installation Verbindung von Stiftschraube und Gewindebohrung 1. Verwenden Sie für den Anschluss nur die zugelassenen Befestigungssätze von Pfeiffer Vacuum. 2. Schrauben Sie die Stiftschrauben mit dem kürzeren Ende in die Gewindebohrungen am Gegen- flansch ein. – Beachten Sie die Mindestzugfestigkeit des Flanschmaterials und die Einschraubtiefe.
  • Seite 28: Abb. 13: Flanschverbindung Cf-F, Siftschraube Und Gewindebohrung

    Installation Verbindung von Sechskantschraube und Durchgangsbohrungen 1. Verwenden Sie für den Anschluss nur die zugelassenen Befestigungssätze von Pfeiffer Vacuum. 2. Sofern verwendet: Setzen Sie das Schutzgitter oder den Splitterschutz mit den Klemmfahnen nach unten in den Hochvakuumflansch der Turbopumpe ein.
  • Seite 29: Vorvakuumseite Anschließen

    Vorvakuumdruck bereitstellen oder unterschreiten kann. Set- zen Sie zum Erreichen des Vorvakuumdrucks eine geeignete Vakuumpumpe oder einen Pumpstand aus dem Pfeiffer Vacuum Portfolio ein. In diesem Fall ist die Steuerung der Vorpumpe auch direkt über die Schnittstellen der An- triebselektronik der Turbopumpe möglich (z. B.
  • Seite 30: Kühlwasseranschluss

    Installation 5.4 Kühlwasseranschluss WARNUNG Verbrühungsgefahr an plötzlich austretendem Kühlwasser Die Wasseranschlüsse der Turbopumpe sind zu beiden Seiten offen. Bei Anschluss der Kühlwasser- versorgung besteht Verbrühungsgefahr durch plötzlich austretendes, heißes Kühlwasser mit Über- druck. ► Sorgen Sie vor der Installation für Druckentlastung und Abkühlung des Kühlwassersystems. ►...
  • Seite 31: Zubehör Anschließen

    2. Stecken Sie die Schläuche für Vor- und Rücklauf des Kühlwassers bis zum Anschlag in je einen Anschluss an der Turbopumpe. 5.5 Zubehör anschließen Installation und Betrieb von Zubehör Pfeiffer Vacuum bietet für Ihre Produkte eine Reihe von speziell abgestimmtem Zubehör ● Informationen und Bestellmöglichkeiten zu zugelassenem Zubehörportfolio für hybrid- gelagerte Turbopumpen finden Sie online.
  • Seite 32: Elektrische Versorgung Anschließen

    ► Beachten Sie die Installationshinweise in den Betriebsanleitungen des betreffenden Zubehörs. ► Achten Sie auf die vorhandene Konfiguration bestehender Anschlüsse. ► Verwenden Sie das Pfeiffer Vacuum Anzeige- und Bediengerät DCU 002 oder ein DCU mit integ- riertem Netzteil. 5.6 Elektrische Versorgung anschließen...
  • Seite 33: Elektrischen Anschluss Herstellen

    1. Achten Sie auf die gültige Versorgungsspannung. 2. Achten Sie darauf, dass der Hauptschalter des Netzteils vor dem Anschluss ausgeschaltet ist. 3. Verwenden Sie ein passendes Verbindungskabel aus dem Pfeiffer Vacuum Zubehörprogramm. 4. Stecken Sie das Verbindungskabel in den Anschluss "DCin" an der Antriebselektronik und schlie- ßen Sie die Bajonettverriegelung.
  • Seite 34: Betrieb

    Wichtige Einstellwerte und funktionsrelevante Kenngrößen sind als Parameter werksseitig in der An- triebselektronik der Vakuumpumpe programmiert. Jeder Parameter besitzt eine dreistellige Nummer und eine Benennung. Betrieb und Steuerung durch Parameter ist über Pfeiffer Vacuum Anzeige- und Bediengeräte oder über RS-485 extern mittels Pfeiffer Vacuum Protokoll möglich.
  • Seite 35: Betriebsarten

    Der Anschluss eines Pfeiffer Vacuum Anzeige- und Bediengerätes ermöglicht die Steuerung der Turbo- pumpe über die in der Antriebselektronik verankerten Parameter. Hinweise für den Betrieb mit Anzeige- und Bediengerät 1. Beachten Sie für den Umgang mit dem Pfeiffer Vacuum Anzeige- und Bediengerät die dazugehö- rende Betriebsanleitung: – Betriebsanleitung "DCU" verfügbar im Download Center.
  • Seite 36: Turbopumpe Einschalten

    ► Schalten Sie das Netzteil ein. 6.4 Betriebsüberwachung 6.4.1 Betriebsanzeige über LED LEDs an der Antriebselektronik zeigen grundlegende Betriebszustände der Vakuumpumpe an. Eine dif- ferenzierte Fehler- und Warnungsanzeige ist nur bei Betrieb mit Pfeiffer Vacuum Anzeige- und Bedien- gerät oder PC möglich. 36/62...
  • Seite 37: Temperaturüberwachung

    Betrieb Symbol LED Status Anzeige Bedeutung stromlos Ein, blitzend "Pumpstand AUS", Drehzahl ≤ 60 min Grün Ein, invers blitzend "Pumpstand EIN", Solldrehzahl nicht erreicht Ein, konstant "Pumpstand EIN", Solldrehzahl erreicht Ein, blinkend "Pumpstand AUS", Drehzahl > 60 min Gelb keine Warnung Ein, konstant Warnung kein Fehler, keine Warnung...
  • Seite 38: Tab. 12: Werkseinstellungen Für Verzögertes Fluten Bei Turbopumpen

    Generelle Hinweise für schnelles Fluten Wir empfehlen das schnelle Belüften größerer Volumina in 4 Schritten durchzuführen. 1. Verwenden Sie ein Pfeiffer Vacuum Flutventil für die Turbopumpe oder stimmen Sie den Ventilqu- erschnitt auf die Größe des Rezipienten und die maximale Flutrate ab.
  • Seite 39: Wartung

    6. Lassen Sie das Rotorlager der Turbopumpe mindestens alle 4 Jahre durch den Pfeiffer Vacu- um Service austauschen. 7. Stimmen Sie kürzere Wartungsintervalle bei extremen Belastungen oder unreinen Prozessen mit dem Pfeiffer Vacuum Service ab. 8. Wenden Sie sich für alle anderen Reinigungs-, Wartungs- oder Instandsetzungsarbeiten an die zuständige Pfeiffer Vacuum Servicestelle.
  • Seite 40: Betriebsmittelspeicher Austauschen

    Dichtflächen und somit zu Undichtigkeiten an der Vakuumpumpe. ► Verwenden Sie niemals scharfkantige, metallische Hilfsmittel (z. B. Pinzette). ► Entnehmen Sie Dichtringe nur mit einem O-Ring Picker. Sie finden das Sicherheitsdatenblatt unter Pfeiffer Vacuum Download Center. Voraussetzungen ● Die Turbopumpe ist ausgeschaltet.
  • Seite 41: Betriebsmittelspeicher Montieren

    Wartung Abb. 19: Betriebsmittelspeicher demontieren 1 O-Ring Kapillarstab (9×) 2 Verschlussdeckel Spritzspitze 3 Innensechskantschraube Schutzdeckel 4 Betriebsmittelspeicher Betriebsmittelspeicher demontieren 1. Tragen Sie Laborhandschuhe um Hautkontakt zu vermeiden. 2. Stellen Sie die Turbopumpe auf den verschlossenen Hochvakuumflansch. 3. Schrauben Sie alle Innensechskantschrauben aus dem Verschlussdeckel am Pumpenunterteil heraus.
  • Seite 42: Antriebselektronik Austauschen

    Wartung Abb. 20: Betriebsmittelspeicher montieren 1 Betriebsmittelspeicher Verschlussdeckel 2 Kapillarstäbe (9×) Innensechskantschraube 3 Spritzspitze Schutzdeckel 4 O-Ring Betriebsmittelspeicher montieren 1. Setzen Sie alle neuen Kapillarstäbe mit der Pinzette ein. 2. Setzen Sie den Betriebsmittelspeicher mit der Filzseite in Richtung der Spritzspitze in die Lager- fassung.
  • Seite 43: Antriebselektronik Demontieren

    Wartung HINWEIS Sachschaden durch elektrostatische Entladungen Die Nichtbeachtung der elektrostatischen Gefährdung von elektronischen Komponenten führt zu de- ren Beschädigung oder Zerstörung. ► Stellen Sie ESD-Schutzmaßnahmen am Arbeitsplatz sicher. ► Beachten Sie DIN EN 61340 "Schutz von elektronischen Bauelementen gegen elektrostatische Phänomene".
  • Seite 44: Antriebselektronik Installieren

    820 Hz Tab. 13: Charakteristische Nenndrehzahlen der Turbopumpen Benötigte Hilfsmittel ● angeschlossenes Pfeiffer Vacuum Anzeige- und Bediengerät ● Kenntnis der Konfiguration und Einstellung von Betriebsparametern der Antriebselektronik Einstellen der Bestätigung der Nenndrehzahl 1. Beachten Sie die Betriebsanleitung des Anzeige- und Bediengeräts.
  • Seite 45 Wartung Alternative zum Einstellen der Bestätigung der Nenndrehzahl Austauschgeräten liegt ein Pfeiffer Vacuum SpeedConfigurator für die einmalige Sofortein- stellung des Parameters [P:777] bei. 45/62...
  • Seite 46: Außerbetriebnahme

    1. Überprüfen Sie die Turbopumpe auf Verschmutzungen und Feuchtigkeit. 2. Reinigen Sie die Turbopumpe außen mit fusselfreiem Tuch und wenig Isopropanol. 3. Lassen Sie die Turbopumpe ggf. durch den Pfeiffer Vacuum Service komplett reinigen. 4. Beachten Sie die Gesamtlaufzeit der Turbopumpe und lassen ggf. einen Lagerwechsel durch den Pfeiffer Vacuum Service durchführen.
  • Seite 47: Recycling Und Entsorgung

    Schutz von Umwelt und Personen betreffenden Vorschriften er- folgen, um die Verschwendung von Naturressourcen zu reduzieren und Verschmutzungen zu verhindern. 9.1 Allgemeine Entsorgungshinweise Pfeiffer Vacuum Produkte enthalten Werkstoffe, die Sie recyclen müssen. ► Entsorgen Sie unsere Produkte nach Beschaffenheit als – Eisen – Aluminium –...
  • Seite 48: Störungen

    Verletzungen, evtl. mit Todesfolge und großen Sachschäden. ► Befolgen Sie die Installationsanweisungen für diese Turbopumpe. ► Beachten Sie die Anforderungen an Stabilität und Auslegung des Gegenflansches. ► Verwenden Sie nur original Zubehör oder von Pfeiffer Vacuum zugelassenes Befestigungsmate- rial für die Installation. WARNUNG Verletzungsgefahr durch Abreißen der Turbopumpe mit Dämpfungskörper im Störungsfall...
  • Seite 49 ● Schalten Sie das Netzteil ein. ● Antriebselektronik de- ● Tauschen Sie die Antriebselektronik aus. fekt ● Verständigen Sie den Pfeiffer Vacuum Service. Turbopumpe läuft nicht an; ● Bei Betrieb ohne Be- ● Verbinden Sie die Anschlüsse gemäß Anschlussplan grüne LED an der Antriebs- dieneinheit: Pin 1-3 der Antriebselektronik.
  • Seite 50: Tab. 14: Störungsbehebung Bei Turbopumpen

    Störungen Ungewöhnliche Betriebsge- ● Rotorlagerung ist be- ● Verständigen Sie den Pfeiffer Vacuum Service. räusche schädigt ● Rotor ist beschädigt ● Verständigen Sie den Pfeiffer Vacuum Service. ● Splitterschutz oder ● Überprüfen und korrigieren Sie den Sitz des Splitter- Schutzgitter lose schutzes oder Schutzgitters im Hochvakuumflansch.
  • Seite 51: Servicelösungen Von Pfeiffer Vacuum

    Wir sind stets darauf bedacht, unsere Kernkompetenz, den Service an Vakuumkomponenten, zu per- fektionieren. Nach dem Kauf eines Produktes von Pfeiffer Vacuum ist unser Service noch lange nicht zu Ende. Oft fängt Service dann erst richtig an. Natürlich in bewährter Pfeiffer Vacuum Qualität.
  • Seite 52 6. Bringen Sie die Erklärung zur Kontaminierung außen an der Verpa- ckung an. ERKLÄRUNG KONTAMINIERUNG 7. Senden Sie nun Ihr Produkt an Ihr lokales Service Center. 8. Sie erhalten eine Rückmeldung/ein Angebot von Pfeiffer Vacuum. Für alle Serviceaufträge gelten unsere Verkaufs- und Lieferbedingungen sowie die Reparatur- und War- tungsbedingungen für Vakuumgeräte und -komponenten.
  • Seite 53: Ersatzteile Hipace 700

    Ersatzteile HiPace 700 12 Ersatzteile HiPace 700 Abb. 23: Ersatzteile HiPace 700 Position Bezeichnung Bestellnummer Bemerkung Stück Menge Antriebselektronik siehe Typenschild abhängig vom Anschlus- TC 400 spanel Betriebsmittelspeicher PM 143 452 -T inkl. Kapillarstäbe Tab. 15: Verfügbare Ersatzteile 53/62...
  • Seite 54: Zubehör

    Befestigung der Vakuumpumpe. Optional mit Splitterschutz oder Schutzgitter. Netzteile und Anzeigegeräte Netzteile zur optimalen Spannungsversorgung von Pfeiffer Vacuum Produkten zeichnen sich durch mi- nimale Baugröße und angepasste Leistungsversorgung bei maximaler Zuverlässigkeit aus. Anzeige- und Bediengeräte dienen der Kontrolle und Einstellung von Betriebsparametern.
  • Seite 55: Tab. 16: Zubehör

    HPU 001, Handheld Programming Unit PM 051 510 -T PV TurboViewer Software zum Visualisieren von Geräten mit RS-485 PM 061 740 PV TurboControl - Software für Pfeiffer Vacuum Produkte mit PV Protokoll PM 061 741 Verlängerungskabel M12 auf M12 PM 061 747 -T Y-Verteiler, geschirmt, M12 für Zubehör...
  • Seite 56: Technische Daten Und Abmessungen

    Technische Daten und Abmessungen 14 Technische Daten und Abmessungen 14.1 Allgemeines Dieser Abschnitt benennt die Grundlagen für die technischen Daten von Pfeiffer Vacuum Turbopumpen. Technische Daten Angegebene Maximalwerte beziehen sich ausschließlich auf den Eintrag als Einzelbelas- tung. ● Vorgaben nach PNEUROP Komitee PN5 ●...
  • Seite 57 Technische Daten und Abmessungen Typenbezeichnung HiPace® 700 H HiPace® 700 H HiPace® 700 H Kompressionsverhältnis für Ar > 1 · 10 > 1 · 10 > 1 · 10 Kompressionsverhältnis für H 2 · 10 2 · 10 2 · 10 Kompressionsverhältnis für He 1 ·...
  • Seite 58: Abmessungen

    Ø8 DN 160 ISO-K DN 25 ISO-KF / G 1/4” M8 (6x) 145.5 Abb. 24: HiPace 700 H | TC 400 | DN 160 ISO-K Ø 8 DN 160 CF-F DN 25 ISO-KF / G 1/4“ M8 (6x) 145.5 Abb. 25:...
  • Seite 59: Abb. 26: Hipace 700 H | Tc 400 | Dn 160 Iso-F

    Technische Daten und Abmessungen Ø 8 DN 160 ISO-F DN 25 ISO-KF / G 1/4“ M8 (6x) 145.5 Abb. 26: HiPace 700 H | TC 400 | DN 160 ISO-F 59/62...
  • Seite 60: Kennlinien

    Technische Daten und Abmessungen 14.4 Kennlinien foreline pressure [hPa ; mbar] Abb. 27: Kennlinie für Kompressionsverhältnis gegen Vordruck bei Gasdurchsatz = 0 | HiPace 700 H 60/62...
  • Seite 61: Konformitätserklärung

    DIN EN 61010-1 : 2011 DIN EN 61326-1 : 2013 DIN EN 62061 : 2013 Bevollmächtigter für die Zusammenstellung der technischen Unterlagen ist Herr Tobi- as Stoll, Pfeiffer Vacuum GmbH, Berliner Straße 43, 35614 Aßlar. Unterschrift: Pfeiffer Vacuum GmbH Berliner Straße 43 35614 Aßlar...
  • Seite 62 Notizen / Notes:...

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